JP2010010343A - 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 - Google Patents
差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010010343A JP2010010343A JP2008167112A JP2008167112A JP2010010343A JP 2010010343 A JP2010010343 A JP 2010010343A JP 2008167112 A JP2008167112 A JP 2008167112A JP 2008167112 A JP2008167112 A JP 2008167112A JP 2010010343 A JP2010010343 A JP 2010010343A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- cross
- spiral inductor
- intersection
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 128
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 32
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 8
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000005236 sound signal Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Coils Of Transformers For General Uses (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の差動型スパイラルインダクタ10は、端子12と、対称線16に対して端子12と線対称の位置にある端子14と、端子12と端子14を電気的に接続する導電性配線100と、それぞれ導電性配線100の一部であり、異なる配線層に形成された交差配線112と交差配線114が対称線16上において交差する少なくとも1つの交差部110と、を含む。導電性配線100は、交差部以外の非交差部において、交差配線112が形成された配線層及び交差配線114が形成された配線層を含む複数の配線層に、対称線16に対して線対称な形状の複数の配線パターンがそれぞれ形成され、当該複数の配線パターンは多数のホール108を介して導電性部材により電気的に接続されている。
【選択図】図1
Description
第1の端子と、
対称線に対して前記第1の端子と線対称の位置にある第2の端子と、
前記第1の端子と前記第2の端子を電気的に接続する導電性配線と、
それぞれ前記導電性配線の一部であり、異なる配線層に形成された第1の交差配線と第2の交差配線が前記対称線上において交差する少なくとも1つの交差部と、を含み、
前記導電性配線は、
前記交差部以外の非交差部において、前記第1の交差配線が形成された配線層及び前記第2の交差配線が形成された配線層を含む複数の配線層に、前記対称線に対して線対称な形状の複数の配線パターンがそれぞれ形成され、当該複数の配線パターンは多数のホールを介して導電性部材により電気的に接続されていることを特徴とする差動型スパイラルインダクタである。
奇数個の前記交差部を含むようにしてもよい。
前記導電性配線は、
前記非交差部において1つの前記配線パターンが最上位の配線層に形成されているようにしてもよい。
前記交差部は、
前記第1の交差配線及び前記第2の交差配線が前記最上位の配線層と異なる少なくとも1つの配線層にそれぞれ形成され、前記第1の交差配線が形成される配線層の数と前記第2の交差配線が形成される配線層の数が同じであるようにしてもよい。
前記交差部は、
前記第1の交差配線が前記最上位の配線層に形成されているようにしてもよい。
前記交差部は、
前記第2の交差配線が、前記最上位の配線層と異なる連続した複数の配線層に形成された複数の配線パターンがホールを介して導電性部材により電気的に接続されているようにしてもよい。
前記交差部は、
前記交差部は、
前記第1の交差配線の幅が前記第2の交差配線の幅よりも狭いようにしてもよい。
前記交差部は、
前記第1の交差配線の幅及び前記第2の交差配線の幅が前記非交差部の配線の幅と略同じであるようにしてもよい。
前記導電性配線は、
前記非交差部において、前記第1の交差配線又は前記第2の交差配線の両端に接続される2つの非交差配線の幅が異なり、前記2つの非交差配線のうち、幅の狭い前記非交差配線が形成される配線層の数は幅の広い前記非交差配線が形成される配線層の数よりも多いようにしてもよい。
上記のいずれかに記載の差動型スパイラルインダクタを含むことを特徴とする集積回路装置である。
上記に記載の集積回路装置と、
前記集積回路装置の処理対象となるデータの入力手段と、
前記集積回路装置により処理されたデータを出力するための出力手段とを含むことを特徴とする電子機器である。
1−1.第1実施例
図1(A)〜図1(C)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの第1実施例について説明するための図である。図1(A)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの半導体基板上の配線パターンを概略的に示す平面図であり、図1(B)及び図1(C)は、それぞれ、図1(A)のI−I線断面図及びII−II線断面図である。
図2(A)〜図2(C)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの第2実施例について説明するための図である。図2(A)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの半導体基板上の配線パターンを概略的に示す平面図であり、図2(B)及び図2(C)は、それぞれ、図2(A)のI−I線断面図及びII−II線断面図である。
図3(A)〜図3(C)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの第3実施例について説明するための図である。図3(A)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの半導体基板上の配線パターンを概略的に示す平面図であり、図3(B)及び図3(C)は、それぞれ、図3(A)のI−I線断面図及びII−II線断面図である。ここで、差動型スパイラルインダクタ30は、図2(A)〜図2(C)に示した差動型スパイラルインダクタ20の交差部130を交差部150に置き換えた構成であり、交差部150以外の構成は差動型スパイラルインダクタ20と同じであるため図2(A)〜図2(C)と同じ番号を付しており、その説明を省略する。
図4(A)〜図4(C)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの第4実施例について説明するための図である。図4(A)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの半導体基板上の配線パターンを概略的に示す平面図であり、図4(B)及び図4(C)は、それぞれ、図4(A)のI−I線断面図及びII−II線断面図である。ここで、差動型スパイラルインダクタ40は、図2(A)〜図2(C)に示した差動型スパイラルインダクタ20の交差部130を交差部170に置き換えた構成であり、交差部170以外の構成は差動型スパイラルインダクタ20と同じであるため図2(A)〜図2(C)と同じ番号を付しており、その説明を省略する。
図5(A)〜図5(C)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの第5実施例について説明するための図である。図5(A)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの半導体基板上の配線パターンを概略的に示す平面図であり、図5(B)及び図5(C)は、それぞれ、図5(A)のI−I線断面図及びII−II線断面図である。
図6(A)〜図6(C)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの第6実施例について説明するための図である。図6(A)は、本実施形態の差動型スパイラルインダクタの半導体基板上の配線パターンを概略的に示す平面図であり、図6(B)及び図6(C)は、それぞれ、図6(A)のI−I線断面図及びII−II線断面図である。
図7に、本実施の形態の集積回路装置の一例である通信コントローラのブロック図を示す。
図8に、本実施の形態の電子機器の一例である通信装置のブロック図を示す。
Claims (11)
- 第1の端子と、
対称線に対して前記第1の端子と線対称の位置にある第2の端子と、
前記第1の端子と前記第2の端子を電気的に接続する導電性配線と、
それぞれ前記導電性配線の一部であり、異なる配線層に形成された第1の交差配線と第2の交差配線が前記対称線上において交差する少なくとも1つの交差部と、を含み、
前記導電性配線は、
前記交差部以外の非交差部において、前記第1の交差配線が形成された配線層及び前記第2の交差配線が形成された配線層を含む複数の配線層に、前記対称線に対して線対称な形状の複数の配線パターンがそれぞれ形成され、当該複数の配線パターンは多数のホールを介して導電性部材により電気的に接続されていることを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項1において、
奇数個の前記交差部を含むことを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項1又は2において、
前記導電性配線は、
前記非交差部において1つの前記配線パターンが最上位の配線層に形成されていることを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項3において、
前記交差部は、
前記第1の交差配線及び前記第2の交差配線が前記最上位の配線層と異なる少なくとも1つの配線層にそれぞれ形成され、前記第1の交差配線が形成される配線層の数と前記第2の交差配線が形成される配線層の数が同じであることを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項3において、
前記交差部は、
前記第1の交差配線が前記最上位の配線層に形成されていることを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項5において、
前記交差部は、
前記第2の交差配線が、前記最上位の配線層と異なる連続した複数の配線層に形成された複数の配線パターンがホールを介して導電性部材により電気的に接続されていることを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項5又は6において、
前記交差部は、
前記第1の交差配線の幅が前記第2の交差配線の幅よりも狭いことを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記交差部は、
前記第1の交差配線の幅及び前記第2の交差配線の幅が前記非交差部の配線の幅と略同じであることを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項1乃至8のいずれかにおいて、
前記導電性配線は、
前記非交差部において、前記第1の交差配線又は前記第2の交差配線の両端に接続される2つの非交差配線の幅が異なり、前記2つの非交差配線のうち、幅の狭い前記非交差配線が形成される配線層の数は幅の広い前記非交差配線が形成される配線層の数よりも多いことを特徴とする差動型スパイラルインダクタ。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の差動型スパイラルインダクタを含むことを特徴とする集積回路装置。
- 請求項10に記載の集積回路装置と、
前記集積回路装置の処理対象となるデータの入力手段と、
前記集積回路装置により処理されたデータを出力するための出力手段とを含むことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008167112A JP5311000B2 (ja) | 2008-06-26 | 2008-06-26 | 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008167112A JP5311000B2 (ja) | 2008-06-26 | 2008-06-26 | 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010010343A true JP2010010343A (ja) | 2010-01-14 |
JP5311000B2 JP5311000B2 (ja) | 2013-10-09 |
Family
ID=41590491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008167112A Expired - Fee Related JP5311000B2 (ja) | 2008-06-26 | 2008-06-26 | 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5311000B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004349703A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Texas Instruments Inc | 集積回路インダクタおよびその形成方法 |
JP2005191217A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Sharp Corp | スパイラルインダクタおよびそれを備えた回路装置または差動回路 |
JP2010010344A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Seiko Epson Corp | 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 |
-
2008
- 2008-06-26 JP JP2008167112A patent/JP5311000B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004349703A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Texas Instruments Inc | 集積回路インダクタおよびその形成方法 |
JP2005191217A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Sharp Corp | スパイラルインダクタおよびそれを備えた回路装置または差動回路 |
JP2010010344A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Seiko Epson Corp | 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5311000B2 (ja) | 2013-10-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20210134507A1 (en) | Tunable Inductor Arrangement, Transceiver, Method and Computer Program | |
US11923119B2 (en) | Tunable inductor arrangement, transceiver, method, and computer program | |
JP5912808B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2011151367A (ja) | 回路基板積層モジュール及び電子機器 | |
US11533036B2 (en) | Transformer-based wideband filter with ripple reduction | |
JP2013229716A5 (ja) | ||
JP5163887B2 (ja) | 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 | |
JP2010154474A (ja) | 薄膜バラン | |
US6825749B1 (en) | Symmetric crossover structure of two lines for RF integrated circuits | |
JP5311000B2 (ja) | 差動型スパイラルインダクタ、集積回路装置及び電子機器 | |
US7675397B2 (en) | Transformer | |
JP2008219758A (ja) | Mmic回路、インピーダンス整合回路、及び電力増幅器 | |
JP4127706B2 (ja) | 無線機 | |
WO2023163810A1 (en) | Capacitor embedded 3d resonator for broadband filter | |
CN112671399B (zh) | 一种超宽带低相噪的频率综合器 | |
WO2003010820A1 (fr) | Circuit integre hybride analogique/numerique | |
JP3854254B2 (ja) | 無線機 | |
JP2002057597A (ja) | 高周波フロントエンドモジュール | |
US8350630B2 (en) | Method and system for LOGEN based on harmonics using microstrip techniques | |
JP3795879B2 (ja) | 無線機 | |
JP2005333313A (ja) | 半導体集積回路 | |
US10985437B2 (en) | Integrated coupling device, in particular of the 90° hybrid type | |
JP2006135835A (ja) | 高周波信号処理用電子部品および無線通信システム | |
JP4698711B2 (ja) | シンセサイザ装置及びこれを備える携帯通信端末 | |
JP2005079397A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5311000 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |