JP2008219758A - Mmic回路、インピーダンス整合回路、及び電力増幅器 - Google Patents
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Abstract
【課題】マイクロ波、ミリ波帯のMMICにおいて、製造時のキャパシタの容量のばらつきに起因する高周波特性の劣化を改善し、歩留まりを向上させる。
【解決手段】MMIC電力増幅器は、DCカットやインピーダンス整合回路に使用しているキャパシタとして、容量の異なる複数のキャパシタを互いに並列接続した構成のものを用いる。複数のキャパシタは、それぞれオンオフ切り替え可能なMEMSスイッチを有し、MEMSスイッチのオンオフ切り替えにより、複数のキャパシタの内の所望のキャパシタを選択可能に構成される。
【選択図】図1
【解決手段】MMIC電力増幅器は、DCカットやインピーダンス整合回路に使用しているキャパシタとして、容量の異なる複数のキャパシタを互いに並列接続した構成のものを用いる。複数のキャパシタは、それぞれオンオフ切り替え可能なMEMSスイッチを有し、MEMSスイッチのオンオフ切り替えにより、複数のキャパシタの内の所望のキャパシタを選択可能に構成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、MMIC回路、インピーダンス整合回路、及び電力増幅器に係り、特にマイクロ波、ミリ波帯のMMICで用いるキャパシタの回路構成に関する。
MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit:モノリシックマイクロ波集積回路)は、マイクロ波回路技術と半導体製造技術とを融合して、半導体基板上に、トランジスタやダイオードなどの能動素子と、伝送線路、抵抗、キャパシタ、インダクタなどの受動素子とを一体化して集積したマイクロ波集積回路である。このMMICは、近年、マイクロ波に限らずミリ波帯の周波数をも対象とし、無線通信システムや放送システム等の種々の送受信装置で研究開発されている。
現在の技術では、半導体製造プロセスにおいて、毎回完全に同じ特性の製品を作ることはできない。その理由は、製造ロット毎にプロセスのばらつきがあり、また同じロットでもウェハー自体にも一枚一枚特性のばらつきがあるためである。これらがMMICの特性のばらつきの一因となっている。特性のばらつきを製造後に修正できれば理想的だが、マイクロ波、ミリ波帯のMMICにおいて、製造後に回路パターンや回路定数を変更することは非常に困難である。
特にキャパシタにおいては、キャパシタに使用している誘電体の誘電率、膜圧、及び電極面積で容量が決まっているが、そのどれもが製造後に変更することは、現状ほぼ不可能である。ここでキャパシタ容量のばらつきの主原因となっているのは、誘電体の誘電率と膜圧のばらつきである。これらを製造後に変更することは現状不可能であり、製造後にキャパシタの容量を変更することは非常に困難である。
図7は、従来例のMMIC電力増幅器100の回路構成を示す。同図に示す電力増幅器100は、入力端子1と、出力端子2との間に、2つのトランジスタ3、4と、4つのストリップライン5、6、7、8と、7つのキャパシタ10、20、30、40、50、60、70とを備えている。
なお、本発明に関連する先行技術文献としては、以下のものがある。
特開2002−084148号公報
従来例のMMICでは、製造後にキャパシタの容量を変えることは非常に困難である。しかし、キャパシタの容量をいつも一定の値に製造することは、非常に困難であり、現状どうしてもばらついてしまう。そして、このキャパシタ容量のばらつきがMMICの特性劣化の一因となり、歩留まりを低下させている原因の一つとなっている。
本発明の目的は、マイクロ波、ミリ波帯のMMICにおいて、製造時のキャパシタの容量のばらつきに起因する高周波特性の劣化を改善し、歩留まりを向上させることである。
上記目的を達成するため、本発明は、キャパシタを有するMMIC回路において、前記キャパシタは、容量の異なる複数のキャパシタを互いに並列接続して構成され、前記複数のキャパシタは、それぞれオンオフ切り替え可能なスイッチを有し、前記スイッチのオンオフ切り替えにより、前記複数のキャパシタの内の所望のキャパシタを選択可能に構成されることを特徴とする。
本発明において、前記スイッチは、MEMSスイッチであることが好ましい。また、前記複数のキャパシタは、3つのキャパシタから構成され、前記3つのキャパシタは、容量が所定値に設計された第1のキャパシタと、容量が前記所定値よりも小さい値に設計された第2のキャパシタと、容量が前記所定値よりも大きい値に設計された第3のキャパシタとを有してもよい。また、前記複数のキャパシタは、2つのキャパシタから構成され、前記2つのキャパシタは、容量が所定値に設計された第1のキャパシタと、容量が前記所定値よりも大きい値又は小さい値に設計された第2のキャパシタとを有してもよい。また、前記複数のキャパシタは、4つ以上のキャパシタから構成されてもよい。さらに、前記複数のキャパシタは、場所毎に数量が異なってもよい。
本発明に係るインピーダンス整合回路は、上記いずれかのMMIC回路を用いて構成されたことを特徴とする。
本発明に係る電力増幅器は、上記いずれかのMMIC回路を用いて構成されたことを特徴とする。
本発明によれば、マイクロ波、ミリ波帯のMMICにおいて、複数のスイッチ付きのキャパシタを選択できるようにすることで、製造工程におけるキャパシタの容量のばらつきに起因する高周波特性の劣化を修正し、歩留まりを向上させることができる。
次に、本発明に係るMMIC、インピーダンス整合回路、及び電力増幅器を実施するための最良の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1〜図3を参照すると、本発明の一実施形態としてのMMIC電力増幅器100の回路構成が示されている。同図に示すMMIC電力増幅器100は、前述した図7に示す従来例と比べると、入力端子1と、出力端子2と、トランジスタ3、4と、ストリップライン5、6、7、8との構成は同様であるが、キャパシタとして、それぞれ容量の異なる複数(本実施形態では3個)のキャパシタを備える点が相違する。
複数のキャパシタは、本実施の形態では、図1〜図3に示すように、互いに容量の異なる3個のキャパシタ、すなわち第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71と、第2のキャパシタ12、22、32、42、52、62、72と、第3のキャパシタ13、23、33、43、53、63、73とをそれぞれ並列接続して構成される。
本実施の形態では、第2のキャパシタ12、22、32、42、52、62、72は、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71より容量が小さい。また、第3のキャパシタ13、23、33、43、53、63、73は、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71より容量が大きい。
第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71と、第2のキャパシタ12、22、32、42、52、62、72と、第3のキャパシタ13、23、33、43、53、63、73とは、電力増幅器100のDC(直流)カットやインピーダンス整合回路として使用しているキャパシタであり、いずれもオンオフ切り替え可能なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems 微小電子機械システム)スイッチを有している。このMEMSスイッチの構造は、キャパシタをオンオフ切り替え可能なものであれば、いずれのタイプでも利用でき、公知のものや将来的に開発されるものであってもよい。
次に、図1〜図3を参照して、本実施形態のMMIC電力増幅器で用いるキャパシタの容量設計及び選択の一例を説明する。
図1〜図3の電力増幅器は、キャパシタの容量のばらつきが、±7%以内であれば所望の特性が得られるような設計と仮定する。
図1〜図3において、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71の容量は設計値になっている。第2のキャパシタ12、22、32、42、52、62、72の容量は設計値の90%、第3のキャパシタ13、23、33、43、53、63、73の容量は設計値の110%と仮定する。
もしある製造ロットにおいて、すべてのパラメータが設計値通りであれば、この時、図1に示すように、MEMSスイッチのオンオフ切り替えにより、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71を使用すれば、設計値通りの特性が得られる。
次に、製造時のばらつきでキャパシタ容量が設計値より10%小さくなってしまった時を考える。キャパシタ容量が設計値よりも小さくなってしまう主な原因としては、キャパシタに使用している誘電体の膜厚が設計値よりも厚くなった、もしくは誘電体の誘電率が設計値よりも小さかった、キャパシタの電極面積が設計値よりも小さくなってしまったケースが考えられる。
この場合、キャパシタ容量が10%小さくなってしまったため、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71の容量も設計値の90%となっていて、図1に示すように、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71を使用した場合、設計値とのずれが−10%となり、所望の特性が得られず不良品となってしまう。
しかし、この時、第3のキャパシタ13、23、33、43、53、63、73の容量は設計値の99%(1.1×0.9)となっているので、図3に示すように、MEMSスイッチのオンオフ切り替えにより、第3のキャパシタ13、23、33、43、53、63、73を使用すれば、ほぼ設計値通りの特性となり良品が得られる。
次に、製造時のばらつきでキャパシタ容量が設計値より10%大きくなってしまった時を考える。キャパシタ容量が大きくなってしまう主な原因としては、キャパシタに使用している誘電体の膜厚が設計値よりも薄くなった、もしくは誘電体の誘電率が設計値よりも大きかった、キャパシタの電極面積が設計値よりも大きくなってしまったケースが考えられる。
この場合、キャパシタ容量が10%大きくなってしまったため、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71の容量も設計値の110%となっていて、図1に示すように、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71を使用した場合、設計値とのずれが+10%となり、所望の特性が得られず不良品となってしまう。
しかし、この時、第2のキャパシタ12、22、32、42、52、62、72の容量は設計値の99%(0.9×1.1)となっているので、図2に示すように、MEMSスイッチのオンオフ切り替えにより、第2のキャパシタ12、22、32、42、52、62、72を使用すれば、ほぼ設計値通りの特性となり良品が得られる。
以上のように、本実施形態のMMIC電力増幅器では、DCカットやインピーダンス整合回路に使用しているキャパシタとして、容量の違う複数のMEMSスイッチ付きキャパシタを回路上に配置している。そして、キャパシタの容量が製造プロセスが原因で設計値からずれても、チップ毎に良好な特性の得られるキャパシタを選択することができるようになっている。更に、このスイッチはオンオフの切り替え可能なので、最初に選択したキャパシタで良好な特性が得られない場合、このキャパシタを、そのスイッチをオフにすることにより切り離し、容量の違う別のキャパシタに変更することができる。
従って、本実施形態によれば、個別のMMIC毎に、適切な容量のキャパシタを選択することにより、安定した特性のMMICを製造することが可能になり、歩留まりの向上が見込める。
すなわち、本実施の形態においては、以下に記載するような効果を奏する。
第1の効果は、MMIC回路内のキャパシタの容量を複数選択可能とし、製造時のばらつきでキャパシタ容量が設計値からはずれて従来の方法では不良品となった場合でも、良品にできる確立を上げ歩留まりの向上が見込めることである。
第2の効果は、スイッチのオンオフにより特性を調整できるので、調整のデジタル化が可能になり、生産性を向上できることである。
第3の効果は、キャパシタ容量以外のパラメータがばらついて特性不良となった場合でも、使用するキャパシタを変えることで、ばらついた他のパラメータに起因する特性の変化をキャンセルできる場合があり、歩留まりの向上が見込めることである。
(他の実施形態)
図4〜図6は、本発明の他の実施形態に係るMMIC電力増幅器100の回路構成を示す。
(他の実施形態)
図4〜図6は、本発明の他の実施形態に係るMMIC電力増幅器100の回路構成を示す。
図4は、切り替え可能なキャパシタの数を2個にした場合の例である。前述した実施形態と比べると、第3のキャパシタがない点が相違する。この場合、第2の12、22、32、42、52、62、72は、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71より容量の小さいものでも大きいものでも、いずれでも良い。
図5は、切り替え可能なキャパシタの数を4個にした場合の例である。前述した実施形態と比べると、第4のキャパシタ14、24、34、44、54、64、74が追加されている点が相違する。この場合、第4のキャパシタ14、24、34、44、54、64、74は、第1のキャパシタ11、21、31、41、51、61、71より容量の小さいものでも大きいものでも、いずれでも良い。
図6は、場所毎にキャパシタの数を変えた場合の例である。キャパシタの容量の変化に対して特性の変化が小さい所には、調整用のキャパシタの数を少なくし、キャパシタの容量の変化に対して特性の変化が大きい所には、調整用のキャパシタの数を多くした例である。この場合、1個〜4個のキャパシタで構成されているが、4個以上のキャパシタで構成してもよい。
本発明は、インピーダンス整合回路、MMIC電力増幅器のほか、マイクロ波、ミリ波帯のMMICを用いた各種回路の用途にも適用できる。
1 入力端子
2 出力端子
3、4 トランジスタ
5、6、7、8 ストリップライン
11、21、31、41、51、61、71 第1のキャパシタ
12、22、32、42、52、62、72 第2のキャパシタ
13、23、33、43、53、63、73 第3のキャパシタ
14、24、34、44、54、64、74 第4のキャパシタ
100 MMIC電力増幅器
2 出力端子
3、4 トランジスタ
5、6、7、8 ストリップライン
11、21、31、41、51、61、71 第1のキャパシタ
12、22、32、42、52、62、72 第2のキャパシタ
13、23、33、43、53、63、73 第3のキャパシタ
14、24、34、44、54、64、74 第4のキャパシタ
100 MMIC電力増幅器
Claims (8)
- キャパシタを有するMMIC回路において、
前記キャパシタは、容量の異なる複数のキャパシタを互いに並列接続して構成され、
前記複数のキャパシタは、それぞれオンオフ切り替え可能なスイッチを有し、
前記スイッチのオンオフ切り替えにより、前記複数のキャパシタの内の所望のキャパシタを選択可能に構成されることを特徴とするMMIC回路。 - 前記スイッチは、MEMSスイッチである請求項1に記載のMMIC回路。
- 前記複数のキャパシタは、3つのキャパシタから構成され、
前記3つのキャパシタは、
容量が所定値に設計された第1のキャパシタと、
容量が前記所定値よりも小さい値に設計された第2のキャパシタと、
容量が前記所定値よりも大きい値に設計された第3のキャパシタとを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のMMIC回路。 - 前記複数のキャパシタは、2つのキャパシタから構成され、
前記2つのキャパシタは、
容量が所定値に設計された第1のキャパシタと、
容量が前記所定値よりも大きい値又は小さい値に設計された第2のキャパシタとを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のMMIC回路。 - 前記複数のキャパシタは、4つ以上のキャパシタから構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のMMIC回路。
- 前記複数のキャパシタは、場所毎に数量が異なることを特徴とする請求項1又は2に記載のMMIC回路。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のMMIC回路を用いて構成されたことを特徴とするインピーダンス整合回路。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のMMIC回路を用いて構成されたことを特徴とする電力増幅器。
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