JP2010010274A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のレーザ加工装置1は、レーザ受光部42、ピークパワー測定部3、平均パワー測定部4、制御部62を備える。ピークパワー測定部3は、レーザ受光部42から得たレーザ光FBの出力信号に基づいてピークパワー値を測定する。平均パワー測定部4は、レーザ受光部42から得たレーザ光FBの出力信号に基づいて平均パワー値を測定する。制御部62は、ピークパワー値および平均パワー値に基づいてレーザ光FBのピークパワーまたは平均パワーがピークパワー基準値または平均パワー基準値になるように、レーザ光FBの出力を制御する。
【選択図】図2
Description
2 レーザ発振部
3 ピークパワー測定部
4 平均パワー測定部
10 ファイバレーザ発振器
12 レーザ電源部
42 レーザ受光部42
62 制御部
Claims (7)
- レーザ光を出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器により出力されたレーザ光を受光して出力信号に変換するレーザ受光部と、
前記レーザ受光部から得られた前記出力信号に基づいてピークパワー値を測定するピークパワー測定部と、
前記ピークパワー測定部からフィードバックされた前記ピークパワー値に基づいて、前記レーザ発振器から出力されるレーザ光のピークパワーが予め設定されたピークパワー基準値になるように前記レーザ発振器の出力を制御する制御部と
を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記ピークパワー測定部は、入力電圧と基準電圧とを比較して所定の出力電圧を得るコンパレータ回路を有しており、前記レーザ受光部から得た前記出力信号の電圧変化に応じて変化した前記入力電圧に基づき出力された前記出力電圧を前記ピークパワー値として測定する
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記基準電圧は、前記ピークパワー測定部から得られた前記出力電圧である
ことを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ受光部から得られた前記出力信号に基づいて平均パワー値を測定する平均パワー測定部を備えており、
前記制御部は、前記平均パワー測定部からフィードバックされた前記平均パワー値に基づいて、前記レーザ発振器から出力されるレーザ光の平均パワーが予め設定された平均パワー基準値になるように前記レーザ発振器の出力を制御する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記平均パワー測定部は、2つの異なる入力電圧の差分に基づき出力電圧を得る作動増幅回路を有しており、前記レーザ受光部から得た前記出力信号の電圧変化により変化する前記2つの入力電圧の差分に基づき出力された前記出力電圧を前記平均パワー値として測定する
ことを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工装置。 - 前記平均パワー測定部は、定電圧源から得られる定電圧を分圧して前記2つの異なる入力電圧を得る抵抗と、前記抵抗に並列に接続されているとともに前記差動増幅回路の2つの入力端子の間に接続されているコンデンサとを有しており、前記レーザ受光部を前記抵抗と直列に接続させることによって前記出力信号の電圧変化を前記2つの入力電圧の差分変化に反映させる
ことを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工装置。 - 前記制御部は、前記ピークパワー値および前記平均パワー値の両値に基づいて、前記レーザ発振器から出力されるレーザ光のピークパワーおよび平均パワーを同時に制御する
ことを特徴とする請求項4から請求項6のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
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WO2014002583A1 (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 三菱電機株式会社 | レーザ出力制御装置、レーザ発振器およびレーザ出力制御方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63116481A (ja) * | 1986-11-05 | 1988-05-20 | Nikon Corp | レ−ザ加工装置 |
JPH0459193A (ja) * | 1990-06-28 | 1992-02-26 | Nec Corp | レーザ加工装置 |
JPH06114582A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-04-26 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | メッキ鋼板のパルスレーザ照射方法 |
JP2007253189A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Miyachi Technos Corp | レーザ加工装置 |
-
2008
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63116481A (ja) * | 1986-11-05 | 1988-05-20 | Nikon Corp | レ−ザ加工装置 |
JPH0459193A (ja) * | 1990-06-28 | 1992-02-26 | Nec Corp | レーザ加工装置 |
JPH06114582A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-04-26 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | メッキ鋼板のパルスレーザ照射方法 |
JP2007253189A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Miyachi Technos Corp | レーザ加工装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2528173A2 (en) | 2011-05-26 | 2012-11-28 | Omron Corporation | Light amplifier and laser processing device |
EP2528172A2 (en) | 2011-05-26 | 2012-11-28 | Omron Corporation | Light amplifier and laser processing device |
US8804230B2 (en) | 2011-05-26 | 2014-08-12 | Omron Corporation | Light amplifier and laser processing device |
US9025240B2 (en) | 2011-05-26 | 2015-05-05 | Omron Corporation | Light amplifier and laser processing device |
WO2014002583A1 (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 三菱電機株式会社 | レーザ出力制御装置、レーザ発振器およびレーザ出力制御方法 |
CN103931062A (zh) * | 2012-06-26 | 2014-07-16 | 三菱电机株式会社 | 激光输出控制装置、激光振荡器及激光输出控制方法 |
US9442480B2 (en) | 2012-06-26 | 2016-09-13 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser output control device, laser oscillator, and laser output control method |
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