JP2009533306A5

JP2009533306A5 -

Info

Publication number: JP2009533306A5
Application number: JP2009504684A
Authority: JP
Filing date: 2007-04-02
Publication date: 2010-05-20

Claims

周期表の３〜１５族から選択される一つ以上の金属の酸化物からなる少なくとも一つの絶縁層を含む、面平行な構造を作製するためのプロセスであって、：
（ａ）場合により、基材上に剥離材料の層を塗布する工程、
（ｂ）一つ以上の所望の金属酸化物の一つ以上の前駆体を含む組成物を前記剥離層上または剥離材料の層がない基材上に直接的に塗布する工程、
（ｃ）一つ以上の所望の金属酸化物の一つ以上の前駆体をマイクロ波放射に晒し、基材上または剥離材料の層上に金属酸化物層を形成する工程；および
（ｄ）結果として生じる金属酸化物層を面平行な構造として基材から分離する工程
を含むプロセス。
面平行な構造の形成中、剥離材料が触媒またはフッ化スカベンジャーとしての役割を果たす、請求項１記載のプロセス。
剥離材料がフッ化スカベンジャーを含み、所望の金属酸化物の前駆体がフッ素含有金属錯体である、請求項２記載のプロセス。
剥離材料が酸性触媒を含み、所望の金属酸化物の前駆体が金属酸エステルである、請求項２記載のプロセス。
酸性触媒がポリスチレンスルホン酸、ポリビニルスルホン酸、ポリスチレンスルホン酸のコポリマーまたはポリビニルスルホン酸のコポリマーである、請求項４記載のプロセス。
剥離材料がポリビニルアミンまたはポリビニルピリジンからなる群から選択される塩基性触媒を含み、所望の金属酸化物の前駆体が金属酸エステルである、請求項２記載のプロセス。
所望の金属酸化物の前駆体を含む組成物が酸性触媒も含有し、剥離材料の層がない基材に直接的に塗布される、請求項１記載のプロセス。
所望の金属酸化物の前駆体が金属酸エステルである、請求項７記載のプロセス。
酸性触媒が、ポリスチレンスルホン酸、ポリビニルスルホン酸、ポリスチレンスルホン酸のコポリマーまたはポリビニルスルホン酸のコポリマーである、請求項８記載のプロセス。
酸触媒がポリ（４−スチレンスルホン酸）であり、金属酸エステルが、アルミニウム、ホウ素、ケイ素、スズおよびジルコニウムのアリールアルコラート、カルボン酸塩、カルボキシルラジカルアルコラート、アルキルラジカルアルコラートおよびアリールラジカル置換アルキルアルコラートからなる群から選択される、請求項９記載のプロセス。
所望の金属酸化物の前駆体を含む組成物が、水または有機溶剤のいずれかに可溶性であるポリマーも含有し、多孔性面プレートレット構造が生成される、請求項７記載のプロセス。
（ｂ１）請求項１の工程（ｂ）および（ｃ）で形成される金属酸化物層に対し、所望の金属酸化物の一つ以上の前駆体を含む組成物を塗布する工程；および
（ｃ１）前駆体をマイクロ波放射に晒し、すでに形成された金属酸化物層上に所望の金属酸化物を含む層を形成する工程
をさらに含み、工程（ｃ１）で形成される金属酸化物層が工程（ｃ）で形成される金属酸化物と異なる、請求項１記載のプロセス。