JP2009525898A - プリントヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- 第1面及び第2面を有するポリマ基板を準備するステップと、
ポリマ基板の第1面上に付加素材層を設けるステップと、
ポリマ基板の第2面上にパターン付きのキャリア基板を配するステップと、
ポリマ基板のうちキャリア基板のパターンで覆われていない部分又はその一部をエッチングにより除去するステップと、
を有するプリントヘッド製造方法。 - 請求項1記載のプリントヘッド製造方法であって、
付加素材層上にマスクを配するステップと、
マスクで覆われていない部分を含め付加素材層の一部をエッチングにより除去するステップと、
を有するプリントヘッド製造方法。 - 請求項2記載のプリントヘッド製造方法であって、付加素材層のうちエッチング後に残ったパターンを使用し、ポリマ基板のうち当該付加素材層パターンで覆われていない部分をエッチングにより除去するステップを有するプリントヘッド製造方法。
- 請求項3記載のプリントヘッド製造方法であって、ポリマ基板をパターン付きのキャリア基板からはがすステップを有するプリントヘッド製造方法。
- 請求項2記載のプリントヘッド製造方法であって、ポリマ基板をパターン付きのキャリア基板からはがすステップを有するプリントヘッド製造方法。
- 請求項2記載のプリントヘッド製造方法であって、付加素材層からマスクを除去するステップを有するプリントヘッド製造方法。
- 請求項1記載のプリントヘッド製造方法であって、
キャリア基板をパターニングするステップと、
パターニングしたキャリア基板をポリマ基板と積層するステップと、
を有し、それらのステップによりポリマ基板の第2面上にパターン付きのキャリア基板を配するプリントヘッド製造方法。 - 請求項1記載のプリントヘッド製造方法であって、ポリマ基板のうちキャリア基板のパターンで覆われていない部分又はその一部を除去することによってプリントヘッドの液室を形成するプリントヘッド製造方法。
- ポリマ基板と、ポリマ基板の表面に配された付加素材層と、を備え、
ノズル孔が液室に通流するようポリマ基板には液室がまた付加素材層にはノズル孔がそれぞれ形成されたプリントヘッド。 - 請求項9記載のプリントヘッドであって、
ポリマ基板の表面のうち上記付加素材層即ち第1付加素材層が配されている第1面とは別の面である第2面上に配された第2付加素材層を備え、
第2付加素材層に液用の流路が形成されたプリントヘッド。 - 請求項9記載のプリントヘッドであって、液室と連携する液滴形成機構を備えるプリントヘッド。
- 請求項11記載のプリントヘッドであって、液滴形成機構が付加素材層に設けられたプリントヘッド。
- 請求項11記載のプリントヘッドであって、その上に液滴形成機構が設けられた基板状のマニホルド部を備えるプリントヘッド。
- 請求項9記載のプリントヘッドであって、ポリマ基板がポリエステル系素材及びポリイミド系素材のうち少なくとも一種類を含むプリントヘッド。
- 請求項9記載のプリントヘッドであって、付加素材層がSiN、SiO2及びSiONのうち少なくとも一種類の素材を含むプリントヘッド。
- 請求項9記載のプリントヘッドであって、付加素材層がポリシロキサン、ポリシラン、ポリベンゾシクロブテン及びポリイミド系素材のうち少なくとも一種類を含むプリントヘッド。
- 請求項9記載のプリントヘッドであって、付加素材層を複数個備えるプリントヘッド。
- 請求項9記載のプリントヘッドであって、ページ幅プリントヘッドであるプリントヘッド。
- 請求項9記載のプリントヘッドであって、付加素材層の厚みが10μm未満であるプリントヘッド。
- 請求項10記載のプリントヘッドであって、第2付加素材層が第1付加素材層のそれと同種の素材を含むプリントヘッド。
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