JP2009516913A - 発光モジュール及びその製造方法 - Google Patents

発光モジュール及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009516913A
JP2009516913A JP2008540773A JP2008540773A JP2009516913A JP 2009516913 A JP2009516913 A JP 2009516913A JP 2008540773 A JP2008540773 A JP 2008540773A JP 2008540773 A JP2008540773 A JP 2008540773A JP 2009516913 A JP2009516913 A JP 2009516913A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
sheet
laminated sheet
emitting module
light emitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008540773A
Other languages
English (en)
Inventor
ウェー ウェーカンプ,ヨーハネス
ホーフィング,ウィレム
フリュンスフェン,エリック セー エー ファン
レンス,ピート セー イェー ファン
エム ヤンセン,ヘラルト
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Koninklijke Philips NV
Koninklijke Philips Electronics NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koninklijke Philips NV, Koninklijke Philips Electronics NV filed Critical Koninklijke Philips NV
Publication of JP2009516913A publication Critical patent/JP2009516913A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/145Beam splitting or combining systems operating by reflection only having sequential partially reflecting surfaces
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1006Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
    • G02B27/102Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths for generating a colour image from monochromatic image signal sources
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1073Beam splitting or combining systems characterized by manufacturing or alignment methods
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/144Beam splitting or combining systems operating by reflection only using partially transparent surfaces without spectral selectivity
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00Details of colour television systems
    • H04N9/12Picture reproducers
    • H04N9/31Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3141Constructional details thereof
    • H04N9/315Modulator illumination systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21KNON-ELECTRIC LIGHT SOURCES USING LUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING ELECTROCHEMILUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING CHARGES OF COMBUSTIBLE MATERIAL; LIGHT SOURCES USING SEMICONDUCTOR DEVICES AS LIGHT-GENERATING ELEMENTS; LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21K9/00Light sources using semiconductor devices as light-generating elements, e.g. using light-emitting diodes [LED] or lasers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V29/00Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
    • F21V29/50Cooling arrangements
    • F21V29/70Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks
    • F21V29/74Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks with fins or blades
    • F21V29/76Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks with fins or blades with essentially identical parallel planar fins or blades, e.g. with comb-like cross-section
    • F21V29/763Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks with fins or blades with essentially identical parallel planar fins or blades, e.g. with comb-like cross-section the planes containing the fins or blades having the direction of the light emitting axis
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21YINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2113/00Combination of light sources
    • F21Y2113/10Combination of light sources of different colours
    • F21Y2113/13Combination of light sources of different colours comprising an assembly of point-like light sources
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21YINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2115/00Light-generating elements of semiconductor light sources
    • F21Y2115/10Light-emitting diodes [LED]
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21YINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2115/00Light-generating elements of semiconductor light sources
    • F21Y2115/30Semiconductor lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4012Beam combining, e.g. by the use of fibres, gratings, polarisers, prisms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)

Abstract

発光モジュール(19)は、光を発光することができる少なくとも1つの半導体光源(20a乃至c)と、光の発光方向において少なくとも1つの半導体光源に隣接して備えられている光修正部材(21)とを有する。光修正部材(21)は、第1積層シート及び第2積層シートを有する集積積層シート構造から選択された積層シート要素により形成され、それ故、積層シート要素(21)は、第1積層シートと、第2積層シートの第1ソート部分及び第2シート部分とを有する。集積積層シート構造から分離された積層シート要素として光修正部材を備えることにより、光修正部材のバッチ製造及び/又は発光モジュールが可能であり、それ故、人手を必要とする又は高価な装置を用いる製造ステップが、集積積層シート構造を製造して実行されることができる。それらの製造ステップのコストは、その場合、複数の構成要素に亘って分配され、それにより、製造コストを低減することができる。

Description

本発明は、発光モジュールであって、光を発光することができる少なくとも1つの半導体光源と、その光の発光方向においてその少なくとも1つの半導体光源に隣接して備えられている光修正部材とを有する発光モジュール、及びそのような発光モジュールを有する照明装置に関する。
本発明は更に、積層シート要素、そのような光修正部材又は発光モジュールの製造方法に関する。
近年、コンパクトで高強度のランプの用途は、益々広範囲に亘り、多様化してきている。そのような用途には、例えば、オーバーヘッドプロジェクタ等の、従来、存在するツールを急速に置き換えつつあるコンピュータ及び/又はテレビジョン接続可能プロジェクタがある。
そのようなプロジェクタの重要な構成要素はランプである。そのランプは、高信頼性の高強度光を有して発光することができ、プロジェクタ又は他のアプリケーションが市場の要求に適合し、小型で、比較的安価で、高エネルギー効率である必要がある。
性能の観点からは、LED又は種々の種類のダイオードレーザのような半導体光源に基づくランプは、他の従来型の光源に比べて原理的に優れていて、例えば、そのようなランプは、ロバストであり、長い保証された寿命を有する。
米国特許出願公開第2005/0041000号明細書においては、光を発生するようにレーザダイオードが用いられる投写型表示装置について開示されている。その表示装置においては、各々のダイオードレーザは、光ファイバを介してビーム整形光学系及び出力結合光学系に結合されている。
上記の特許文献において開示されているランプアセンブリは、空間を要し、複雑であり、大量生産には適さないものである。更に、人手による組み立て作業を多く必要とすることは避けられない。このことは、明らかに費用の掛かる製造をもたらす。
従来技術に関連する上記の課題を軽減するためには、それ故、半導体光源に基づくよりコストパフォーマンスの高い照明装置に対する要請が存在している。特に、大量生産に適する半導体に基づく発光モジュールに対する要請が存在している。
米国特許出願公開第2005/0041000号明細書
上記の及び他の従来技術における短所の観点から、本発明の一般的な目的は、改善された半導体に基づく発光モジュールを提供することである。
本発明の更なる目的は、そのような発光モジュールの大量製造を可能にすることである。
本発明の第1の特徴に従って、上記の及び他の目的は、発光モジュールであって、光を発光することができる少なくとも1つの半導体光源と、その光の発光方向にその少なくとも1つの半導体光源に隣接して備えられている光修正部材とを有する、発光モジュールであり、光修正部材は、第1積層シート及び第2積層シートを有する集積積層シート構造から分離されている積層シート要素により構成され、それ故、その積層シート要素は、第1及び第2積層シートの第1及び第2シート部分を有し、少なくとも第1シート部分は発光された光を修正する、発光モジュールにより達成される。
本明細書においては、“半導体光源”は、少なくとも1つの半導体材料が光の発生及び/又は発光において関与している光源として理解される必要がある。そのような光源は、例えば、発光ダイオード(LED)及び半導体レーザ、例えば、所謂、端面発光型レーザ又は面発光レーザ等の種々の種類を有する。
用語“光修正部材”は、何らかの光の修正ができる部材として理解される必要がある。光は、それ故、波長、波長分布及び偏光等の基本的な光特性、並びにビーム方向、ビーム幅、ビーム形状、ビームの発散又は収束等のビーム関連特性を含む何れかの特性に関連して、そのような光修正部材により修正されることが可能である。更に、その光修正部材は、部分的に又は完全に、光を遮断することが可能である。
用語“集積積層シート構造”は、少なくとも2つのシートを積層する及び接合することにより構成される構造として理解される必要がある。
シートの積層及びその積層の個別の部分への分離自体については知られている。しかしながら、発光モジュールについては、従来、このような方法は示唆されていない。特に、発光用途に対して意図された発光モジュールに関して、本発明の方法は、実際には、当業者にとっては全く新しい概念である。
各々のシート及びシート部分は、発光モジュールの適切な動作のために必要な1つ又はそれ以上の特定の機能を担持することが可能である。
集積積層シート構造から分離されている積層シート要素を有する光修正部材は、予め分離されているシート部分を積層する及び接合することにより製造された部分とは区別可能である。そのような識別可能性は、例えば、光修正部材の側縁について調査することにより決定されることが可能であり、光修正部材は、本発明の光発光モジュールの場合には、積層シート要素が分離された集積積層シート構造において行われた一分離処理のからもたらされた断面を有する。側縁については、例えば、光学顕微鏡、電子顕微鏡、機械式表面測定装置及び材料分析装置の何れか一のような種々のツールを用いて、調査して解析されることが可能である。集積積層シート構造を分離するために用いられる分離方法に応じて、種々の識別可能な特徴を決定することが可能である。機械的な切断の場合には、例えば、複数のシートの断面において、連続的切断パターンスパンニングが決定されることが可能である。更に、層からの残渣が、隣接する層の断面に沿って巻き込まれている及びそこに堆積されている可能性がある。レーザカッティング又はウォータジェットカッティング等の代替の分離方法が用いられる場合、他の識別可能な特徴が決定されることが可能である。レーザカッティングの場合のそのような特徴の例は、レーザ研磨処理によりもたらされる微量の炭素が、断面において検出される可能性があることである。更に、殆どの場合におけるそのような複雑な分析は、集積積層シート構造から分離された積層シート要素に特有の完全なシート位置アライメントが光学顕微鏡における迅速な観測によって容易に明らかになるために、実行される必要はないことに留意する必要がある。
集積積層シート構造から分離された積層シート要素として光修正部材を備えることにより、光修正部材及び/又は発光モジュールのバッチ製造が可能であり、それ故、人手を必要とする製造ステップ又は高価な装置の使用により集積積層シート構造を製造するように実行される。それらの製造ステップについてのコストは、複数の構成要素において分散されることが可能であり、それにより、製造コストを低減することが可能である。
更に、複数の発光モジュールにおいては、光修正部材を構成する積層シート構造が分離された集積積層シート構造の第1及び第2シートのアライメントのような特定の製造ステップと実質的に同じ様式で影響下にあるために、発光モジュールの品質レベル及び一様性は、従来技術に比べて改善される。
更に、シートを取り扱うことにより、単独部分について実現可能でない製造方法を用いることが可能になる。そのような製造方法は、スクリーン印刷、自動構成要素位置付け、自動ワイヤボンディング、孔開け、ミリング、成形等を有することが可能である。それ故、品質の改善及びコストの削減に加えて、よりコンパクトな発光モジュールを達成することが可能である。
半導体光源により発光される光を修正するように第2シート部分を付加して構成することにより、発光された光のより複雑な修正を達成することが可能である。
有利であることに、シート部分の少なくとも一は少なくとも1つの光学要素を有することが可能である。
更に、光修正部材は、好適には、少なくとも1つの光学要素が少なくとも1つの半導体光源とアライメントされるように備えられていることが可能である。
発光モジュールは、更に、複数の半導体光源と、少なくとも1つのシート部分に含まれる少なくとも第1の対応する複数の光学要素とを有することが可能である。
光学要素は、光修正部材に含まれるシート部分の1つ又はそれ以上を有することが可能である。例えば、第1の複数の第1光学要素は第1シート部分に含まれることが可能であり、第2の複数の第2光学要素は第2シート部分に含まれることが可能である。第1光学要素の各々は、有利であることに、第2光学要素の対応する一とアライメントされることが可能である。このことは、好適には、集積積層シート構造に含まれる第1及び第2シートをアライメントすることにより達成されることが可能である。
シート部分の少なくとも1つに含まれる少なくとも1つの光学要素は、シート部分における対応するキャビティ内に埋め込まれていることが可能である。
光修正部材が分離されている集積積層シート構造に含まれているシートの少なくとも1つを有する少なくとも1つにおける適切な位置にキャビティを形成することにより、光学要素は、正確に位置付けられることが可能である。更に、光学要素の自動位置付けが容易化され、それにより、発光モジュールの大量生産性を改善することができる。
キャビティは、例えば、孔開け、ミリング、成形、孔抜き、機械加工又はレーザ研磨等の種々の方法で形成されることが可能である。
本発明に従った発光モジュールに含まれる光修正部材は、集積積層構造に含まれる第3積層シートの第3シート部分を更に有することが可能である。
第3シート部分を含むことにより、第3の機能が、光修正部材により得られることが可能である。そのような第3機能は、半導体光源により発光される光の修正、他の層に含まれる光学要素の保護、他のシート部分及び/又は半導体光源の電気的相互接続並びに種々の電気的及び/又は機械的構成要素の支持を有することが可能である。
更に、光修正部材に含まれるシート部分の少なくとも一は、発光モジュールの制御を可能にする回路を有することが可能である。
この回路は、受動及び/能動構成要素を有することが可能である。この回路により達成される機能の例には、例えば、少なくとも1つの半導体光源のデカップリング、光学要素の加熱及び/又は制御、少なくとも1つの半導体光源により発光された光の検知、半導体光源の制御、並びに少なくとも1つの半導体光源により発光された光の変調の制御を有することが可能である。
それ故、コンパクトで、多かれ少なかれスタンドアロン式の発光モジュールを得ることができる。その回路は、例えば、はんだ付け又は他の何れかの接続方法により、シートに取り付けられる電子構成要素として備えられることが可能である。シートを積層することを可能にするように、隣接する層内に形成される対応する凹部により、構成要素が受け入れられることが可能である。代替として、そのような構成要素は、集積積層シート構造の最上部及び最下部に位置付けられるように意図されたシートの一又は両方に取り付けられることが可能であり、それらの構成要素はシートから凸状になることが可能である。
有利であることに、光修正部材は、外部の制御回路に発光モジュールを接続する接続手段を有することが可能である。
そのような接続手段は、例えば、はんだ付け、押圧、ウェルダリング又は接着等の種々の接続方法のために適合されたピン又はパッドであることが可能である。
光修正部材において接続手段を備えることにより、この部材に、付加機能を備えることが可能である。少なくとも1つの半導体光源により発光された光を修正することに加えて、その光修正部材は、発光モジュールへの接続及びその発光モジュールの外部制御を可能にする。
その接続手段は、好適には、集積積層シート構造からの光修正部材の分離の際に露わにされる断面において備えられることが可能である。これは、例えば、集積シート構造におけるシートの少なくとも1つにおける複数の金属化された孔により得られる。接続手段は、その場合、例えば、その金属化された孔を通る切断による分離又はダイシングの際に形成される。更に、接続手段は、最上部のシートの上部又は最下部のシートの下部において形成されることが可能である。
本発明の第1の特徴の第1実施形態に従って、発光モジュールは、第1波長分布を有する光を発光することができる第1半導体光源と、第2波長分布を有する光を発光することができる第2半導体光源とを有し、発光モジュールは、少なくとも第1及び第2半導体光源により発光される光を結合することにより得られる第3波長分布を有する光を出射することができる。
異なる主波長で光を発光することができる少なくとも2つの半導体光源において発光モジュールを有することにより、他の波長の光がその発光モジュールにより出射されることが可能である。半導体光源、並びに周波数二倍器及びアップ又はダウンコンバージョン材料等の周波数変換要素のような可能性の高い他の光学要素の適切な選択により、白色のような好ましい色の光が発光モジュールにより発光されることが可能である。
本発明の第1特徴の他の実施形態に従って、発光モジュールは、第1波長分布を有する光を発光することができる第1半導体光源と、第2波長分布を有する光を発光することができる第2半導体光源と、第3波長分布を有する光を発光することができる第3半導体光源と、光学要素を各々有する少なくとも3つのキャビティを有する第1シート部分及び第1シート部分におけるキャビティを覆い、それにより光学要素を保護する第2シート部分を有する光修正部材とを有することが可能であり、それらの半導体光源の各々は、特定の光源が対応する光学要素にアライメントされ、その位置であって、光修正部材に接合された、位置において備えられている。
本発明の第1特徴に従った発光モジュールは、有利であることに、発光モジュールを制御する制御回路及び発光モジュールに電力を供給する電源を更に有する照明装置に含まれることが可能である。
本発明の第2特徴に従って、上記の及び他の目的は、半導体光源により発光された光を修正する第1シートを備えるステップと、第2シートを備えるステップと、第1シート及び第2シートをアライメントして積層するステップと、第1及び第2シートを接合し、それにより、集積積層シート構造を形成するステップと、その集積積層シート構造を分割し、それにより、第1シート部分及び第2シート部分を有する複数の積層シート要素を形成するステップと、を有する積層シート要素を製造する方法により達成される。
第1シートは、光を多かれ少なかれ均一に修正することが可能であり、又は、第1シートは、複数の光学要素を有することが可能である。そのような光学要素は、制御可能な空間光変調器のような可変要素と、固定レンズ又はミラーのような固定要素とを有することが可能である。
シートのために適切な材料は、それらの意図されたそれぞれの機能に依存する。それらのシートの少なくとも1つについては、例えば、FR−4のようなの従来の回路基板材料がその好適な材料の選択である。
それらのシートは、種々の方法のうちの何れかの一を用いて接合される。それらのシートは、例えば、接着、ウェルダリング、はんだ付け、スプリング又はネジによる機械的クランピング若しくはそれらの接合方法の組み合わせにより接合されることが可能である。
集積積層シート構造は、例えば、切断、ミリング、ウォータージェット、レーザ切断等のような何れかの適切な方法を用いて、分割されることが可能である。
有利であることに、第1シートを備えるステップは、少なくとも第1の複数のキャビティを有する第1シートを備えるステップであって、それらのキャビティの各々は第1光学要素を受け入れるように適合されている、ステップと、対応するキャビティにおいて第1光学要素を位置付けるステップとを有する。
それらのキャビティは、孔開け、ミリング、ミリング、成形、孔抜き、鋳造、機械加工又はレーザ研磨等の何れかの適切な方法を用いて分割されることが可能である。
好適な実施形態に従って、第1積層シート構造から分割された第1ストリップ形状積層シート構造及び第2積層シート構造から分割された第2ストリップ形状積層シート構造は、復号集積積層シート構造を形成するように、隣り合わせてアライメントされ、接合される。この復号構造は、その場合、複数の復号積層シート要素に分割され、それ故、各々の復号積層シート要素は、前記第1及び第2積層シート要素の両方の部分を有する。勿論、この方法は、3つ又はそれ以上の異なるストリップに容易に拡張可能である。
本発明に従った方法のこの実施形態は、混色の光が出射される必要があるアプリケーションのために積層シート要素を製造することに対して、特に有用である。複数の積層シートストリップは、その場合、異なる色について適合された種々の集積積層シート構造から分離されることが可能である。例えば、赤色、緑色及び青色のような3つの異なる色が組み合わされることが可能である。
複数のシートストリップをアライメントし、接合することにより、それらの第1及び第2色の混合のために適合された新しい複合積層シート構造が形成される。この複合積層シート構造は、続いて、そのように形成された複合積層シート要素の各々が、用いられる積層シートストリップの各々からの少なくとも1つの部分を有するように、分割されることが可能である。
本発明に従った方法は、少なくとも1つの半導体光源を積層シート要素の各々に備えるステップであって、それにより、複数の発光モジュールを形成する、ステップを更に有することが可能である。
本発明に従った方法の一実施形態に従って、その備えるステップは、集積積層シート構造に複数の半導体光源を取り付けるステップであって、それ故、少なくとも1つの半導体光源が積層シート要素の各々に備えられる、ステップを有することが可能である。
上記の複数の発光モジュールは、それ故、この実施形態に従って、先ず、集積積層シート構造に複数の半導体光源を取り付け、続いて、その集積積層シート構造を分割することにより形成される。
本発明に従った方法の他の実施形態に従って、その備えるステップは、分割に後続して、積層シート要素の各々に少なくとも1つの半導体光源を取り付けるステップを有することが可能である。
本発明のこの第2特徴により得られる更なる効果は、本発明の第1特徴に関連付けて上で説明した特徴とかなり類似している。
本発明の上記の及び他の特徴については、以下で、現在の本発明の好適な実施形態を示す添付図を参照して、例示として詳述する。
以下の説明においては、白色光の発光を得るVCSEL(垂直共振器型面発光レーザ)に基づく発光モジュールに関連付けて、本発明について説明する。この説明は、本発明の範囲を決して限定するものでなく、本発明は発光モジュールに、同様に適用可能であり、その発光モジュールは、種々の種類のLEDのような他の半導体光源及び端面発光型レーザのような他の種類の半導体レーザに基づく発光モジュールに、同様に適用可能である。更に、本明細書で説明する光修正以外の光修正の他の様式は、半導体光源の種類及びアプリケーションに応じて好ましいものとなる。更に、発光モジュールは。白色光を発光するように必ずしも適合される必要はないが、実際には、何れかの色の又は可変色の光を発光することが可能である。更に、下で説明する半導体レーザは、好ましい波長の略2倍の光を発光するが、好ましい色の1つ又はそれ以上がまた、半導体光源から直接、生成されることが可能である。この場合、光修正部材に含まれる光学要素は、円形のビーム形状を得るように発光ビームを修正する、実質的に非点収差レンズ又は光コリメートレンズである。それにより、ビーム整形機能が、積層シート要素に含まれる1つのシート部分により得られる。
図1は、本発明に従った例示としての照明装置の模式図である。
図1においては、コンピュータ2への接続のためのプロジェクタ1の形である照明装置が示されている。プロジェクタ1においては、レーザに基づく発光モジュール4及び第1ビーム修正光学系5を有するランプ3が備えられている。第1ビーム修正光学系5を透過した後、発光モジュール4からの光は、SLMモジュール(空間光変調器)6により決定される画像を投写するように、SLMモジュール6及び第2ビーム修正光学系7を透過する。ランプ3及びSLMモジュールモジュール6は、通信インタフェース9を介してコンピュータ2からの命令を受け入れる内部制御器8により制御される。ランプ3及び制御器8は、電源コードを介して交流電力を受け入れる内部電源10を介して電力供給される。
図2a及びbは、本発明に従った発光モジュール19の好適な実施形態を示している。
図2a及びbにおいては、VCSEL20a乃至c(図2b)の形の3つの半導体光源モジュールが光修正部材21に接合されているように示され、その光修正部材21は、VCSEL20a乃至cによる光の発光方向にVCSEL20a乃至cを位置付けられている。VCSEL20a乃至cは、典型的には、1220乃至1300nm(610乃至650nm)、1020乃至1080nm(510乃至540nm)及び840乃至960nm(420乃至480nm)のそれぞれの範囲の主波長を有する光を発光することができ、ここで、周波数二倍化の後に得られる波長範囲は括弧内に与えられている(それらの波長はまた、そのような光を直接、発光することができる半導体光源を有する上記の代替の実施形態における好適な波長範囲である)。各々のVCSEL20a乃至cは、それぞれのシリコンサブマウント22a乃至2にダイボンドされ、そしてそれぞれのリードフレーム23a乃至cにワイヤボンドされていて、そのリードフレーム23a乃至cはまた、それぞれのサブマウント22a乃至cに取り付けられている。サブマウント22a乃至cの反対側においては、クーリングフィンを有する金属スラブ24の形でヒートシンクが備えられている。
リードフレームパッド25a及びb(図の簡略化のために、ここでは、そのようなパッドの2つのみが示されている)は、ここでは、光修正部材21に含まれる第1のシート部分27として示されている、最下部の底部側における対応するパッド26a及びbに接続されている。光修正部材21へのVCSEL20a乃至cの接続に従い、VCSELは、VCSEL20a乃至c及び結合ワイヤの環境保護を達成するように、透明なアンダーフィルにより封入されている。集積積層シート構造から分離されている場合、光修正部材21は6つのシート部分を有し、それらの各々は、それら自体の機能により光修正部材21に寄与している。機能に応じて、異なるシート(従って、シート部分)は異なる材料から成ることが可能である。そのような異なる材料は、好適には、熱膨張特性について適合されている。代替として、応力吸収遷移層が、熱膨張特性に対して適合されていないシート間に備えられている。電気接続パッドを備えるように及び/又は電気的構成要素を支持するように意図されているシートについては、FR−4のような従来の回路基板材料が好ましい。それらのシートは、勿論、光学要素を支持する及び位置付ける付加機能を果たすことが可能である。光学要素を支持するように意図されたシートについては、シートの厚さは光学要素により決定され得る。一部の場合、シートの厚さは数mmであることが可能である。他のシートは、有利であることに、ガラス又は、多かれ少なかれ、他の均一な材料から成る。第1シート部分27に、傾斜したダイクロイックミラー28a乃至cの形の第1光学要素が、発光モジュール19から赤外光を反射するように及び偏光方向を選択するように、埋め込まれている。第2シート部分29においては、周波数二倍化結晶30a乃至c(図2b)の形の第2光学要素が、第2シート部分29内に形成されたキャビティ内に埋め込まれている。第2シート部分29は、発光モジュール19の制御を可能にする回路を更に有し、その回路は、ここでは、周波数二倍化結晶30a乃至cを加熱するヒータ31a乃至cの形で備えられている。第3シート部分32は、下方にある周波数二倍化結晶を保護するための、又は環境から加熱された周波数二倍化結晶の断熱のための透明なカバーである。そのような断熱はまた、例えば、第1シート部分27と第2シート部分29との間の付加的な積層シート部分の形で備えられていることが可能である。第4シート部分33として、(狭い)波長選択ミラー又はブラッグ格子が備えられている。ブラッグ格子33の目的は、光修正部材21により形成された長いキャビティ内にエンドミラーを形成することである。ブラッグ格子33を介して、VCSEL20a乃至cのそれぞれから最初に放射された赤色R、緑色G及び青色B光は、得られたビーム36、即ち、白色光が発光モジュール19から出射されることが可能であるように、光を方向付け、混合するように、半透明なアウトカップリングミラー35a乃至cが埋め込まれている第4シート部分34に入射する。最終的に、第6シート部分37が、アウトカップリングミラー35a乃至cを保護する。
第5シート部分34及び第6シート部分37を有するアウトカップリングモジュールは任意であって、アプリケーションによるものである。図1に示すアプリケーションにおいては、発光モジュールが、このアウトカップリングモジュールの有無に拘わらず、用いられることが可能である。
上記の半導体光源と光修正部材との間の接続は、好適には、はんだ付け又はウェルダリングにより得られる、又は、代替の実施形態に従って、最下部のシート部分が、例えば、スライドすることにより、半導体光源モジュールを受け入れるように適合され、その場合、半導体光源モジュール及び最下部のシート部分のそれぞれに備えられている対応するコンタクトパッドの互いに対して押圧することにより得られる。
以下においては、本発明に従った製造方法について、図3及び図4a乃至dを参照して説明されていて、図4a乃至dは、図3における方法の種々の実施形態を例示している。
図3を参照するに、第1シートが第1ステップにおいて備えられる。続くステップ101においては、第2シートが備えられている。その後、ステップ102においては、第1及び第2シートが積層され、アライメントされる。その積層されてアライメントされたシートは、続くステップ103において互いに接合される。接合又は重ね合わせに後続して、結果的に得られた積層シート構造は、ステップ104において、積層シート要素に分離され、単独化される。
図4bに示すように、本発明の製造方法の第2実施形態に従って、集積積層シート構造に半導体光源を取り付ける付加ステップ106は、好適には、図3のステップ103とステップ104との間に挿入されることが可能である。
図4cに示すように、本発明の製造方法の第3実施形態に従って、単独化された積層シート要素に半導体光源を取り付ける付加ステップ107は、好適には、図3において挿入された後続のステップ104であることが可能である。例えば、半導体光源は、ヒートシンク及び/又は他の担体に予め固定され、積層シート要素は、それらの予め固定された半導体光源に取り付けられることが可能である。
図4dに示すように、本発明の製造方法の第4実施形態に従って、集積積層シート構造を第1積層シートストリップに分離し、第1積層シートストリップ及び他の積層シート構造からもたらされる第2積層シートストリップを隣り合わせてアライメントして、接合する付加ステップ108及び109が、図3におけるステップ104に先行して実行される。勿論、上記の第2実施形態及び第3実施形態の各々は、有利であることに、上記の第1実施形態と組み合わされることが可能である。更に、上記の第4実施形態は、有利であることに、上記の第1、第2及び第3実施形態の何れかの一と組み合わされることが可能である。
上記の第4実施形態については、ここで、本発明に従った製造方法の第4実施形態に従った例示としての製造フローの一部を示している図5を参照して詳述する。
図5においては、ここでは、R(赤色)、G(緑色)及びB(青色)のそれぞれで示されている異なる色について、各々適合されている積層シート構造40、41、42が備えられている。積層シート構造40、41、42の各々は、上記のように、積層シートストリップ40a及びb、41a及びb、42a及びb(各々の図において、各々の2つのみが示されている)に分離されている。それらの積層シートストリップ40a及びb、41a及びb、42a及びbは、続いて、複合積層シート構造43が形成されるように、隣り合わせてアライメントされ、接合される。本実施例に従って、積層シートストリップは、RGB構造を形成するように、40a、41a、42a、40b、41b、42b、...の順序でアライメントされ、接合される。アライメント及び接合の後、複合積層シート構造43は、RGB動作のために適合された積層シート要素43i乃至c(図の各々について、それらの3つのみが示されている)に分割される。それらの積層シート要素は、RGB型発光モジュールである、又は、そのような発光モジュールで用いるように適合された光修正部材であることが可能である。
当業者は、本発明が上記の好適な実施形態に限定されるものでは決してないことを理解している。それに対して、同時提出の特許請求の範囲における範囲内で、多くの修正及び変形が可能である。例えば、上記のサブマウントは、銅又はダイヤモンドのような何れかの良好な熱伝導体から成ることが可能である。更に、半導体光源は、例えば、サブマウントに直接、形成された導体パターンを介して、何れかの手段により光修正部材に電気的に接続されることが可能である。上記のワイヤボンディングはまた、フリップチップのような、従来、知られている何れかの代替のボンディング技術で置き換えられることが可能である。更に、ヒートシンクは、上記のように、受動的又は能動的であることが可能である。能動ヒートシンクは、例えば、ファン又はペルチェ素子を利用することが可能である。上記の単独のVCSELは、勿論、有利であることに、各々の主波長における光を発光するVCSELのアレイで置き換えることが可能である。更に、上記の例示としての照明装置における空間光変調器は、発光モジュールのシート部分において実行される対応する変調器で置き換えられることが可能である。上記の実施形態においては、発光モジュールは、白色光の発光を得るように、3つの半導体光源を有する。このために、上記に比べてより多い数の及び他の色の光源を用いることが可能である。特に、一般目的の照明アプリケーションについては、演色評価数を改善するアンバー色又はシアン色のような4番目の又は更に5番目の色を加えることは有用である。
本発明に従った例示としての照明装置の模式図である。 本発明に従った発光モジュールの好適な実施形態の斜視図である。 図2aの発光モジュールの断面図である。 本発明に従った製造方法のフロー図である。 図3の製造方法の第1実施形態を示すフロー図である。 図3の製造方法の第2実施形態を示すフロー図である。 図3の製造方法の第3実施形態を示すフロー図である。 図3の製造方法の第4実施形態を示すフロー図である。 図4bの製造方法に従った例示としての製造フローの模式図である。

Claims (21)

  1. 光を発光することができる少なくとも1つの半導体光源;及び
    前記光の発光方向において前記少なくとも1つの半導体光源に隣接して備えられている光修正部材;
    を有する発光モジュールであって、
    前記光修正部材は、第1積層シート及び第2積層シートを有する集積積層シート構造から選択された積層シート要素により形成され、それ故、前記積層シート要素は、前記第1積層シート及び第2積層シートの第1シート部分及び第2シート部分を有し;
    少なくとも前記第1シート部分は前記発光された光を修正する;
    ことを特徴とする発光モジュール。
  2. 請求項1に記載の発光モジュールであって、前記第2シート部分は前記発光された光を修正する、ことを特徴とする発光モジュール。
  3. 請求項1又は2に記載の発光モジュールであって、前記第1シート部分及び第2シート部分の少なくとも一は少なくとも1つの光学要素を有する、ことを特徴とする発光モジュール。
  4. 請求項3に記載の発光モジュールであって、前記光修正部材は、前記少なくとも1つの光学要素が前記少なくとも1つの半導体光源とアライメントされるように、備えられている、ことを特徴とする発光モジュール。
  5. 請求項3又は4に記載の発光モジュールであって、複数の半導体光源と、前記少なくとも1つのシート部分に含まれる第1の対応する複数の光学要素とを有する、ことを特徴とする発光モジュール。
  6. 請求項3乃至5の何れか一項に記載の発光モジュールであって、前記少なくとも1つの光学要素は前記シート部分における対応するキャビティに埋め込まれている、ことを特徴とする発光モジュール。
  7. 請求項1乃至6の何れか一項に記載の発光モジュールであって、前記光修正部材は、前記集積積層構造に有する第3積層シートの第3シート部分を更に有する、ことを特徴とする発光モジュール。
  8. 請求項1乃至7の何れか一項に記載の発光モジュールであって、前記シート部分の少なくとも1つは、前記発光モジュールの制御を可能にする回路を有する、ことを特徴とする発光モジュール。
  9. 請求項1乃至8の何れか一項に記載の発光モジュールであって、前記光修正部材は、外部の制御回路に前記発光モジュールを接続する接続手段を有する、ことを特徴とする発光モジュール。
  10. 請求項1乃至9の何れか一項に記載の発光モジュールであって:
    第1波長分布を有する光を発光することができる第1半導体光源;及び
    第2波長分布を有する光を発光することができる第2半導体光源;
    を有する発光モジュールであって、
    前記発光モジュールは、少なくとも前記第1半導体光源及び前記第2半導体光源により発光された光を結合することにより得られる第3波長分布を有する光を出射することができる;
    ことを特徴とする発光モジュール。
  11. 請求項1に記載の発光モジュールであって:
    第1波長分布を有する光を発光することができる第1半導体光源;
    第2波長分布を有する光を発光することができる第2半導体光源;
    第3波長分布を有する光を発光することができる第3半導体光源;及び
    光修正部材であって、
    光要素を各々有する、少なくとも3つのキャビティを有する第1シート部分と、
    前記第1部分における前記キャビティを覆い、それにより、前記光学要素を保護する、第2シート部分と、
    を有する、光修正部材;
    を有する、発光モジュールであり、
    前記半導体光源の各々は、前記光源が対応する光学要素に対してアライメントされた位置に備えられ、前記位置において前記光修正部材に接合されている;
    ことを特徴とする発光モジュール。
  12. 請求項10又は12に記載の発光モジュールであって、前記半導体光源の少なくとも1つはレーザダイオード又はLEDのアレイである、ことを特徴とする発光モジュール。
  13. 請求項1乃至12の何れか一項に記載の発光モジュール;
    前記発光モジュールを制御する制御回路;及び
    前記発光モジュールに電力を供給する電源;
    を有する照明装置。
  14. 積層シート要素を製造する方法であって:
    半導体光源により発光された光を修正する第1シートを備えるステップ;
    第2シートを備えるステップ;
    前記第1シート及び前記第2シートを積層して、アライメントするステップ;
    前記第1シート及び前記第2シートを接合し、それにより、集積積層シート構造を形成するステップ;並びに
    前記集積積層構造を分割し、それにより、複数の積層シート要素を形成するステップであって、各々の積層シート要素は第1シート部分及び第2シート部分を有する、ステップ;
    を有する方法。
  15. 請求項14に記載の方法であって、前記の第1シートを備えるステップは:
    少なくとも第1の複数のキャビティを有する第1シートを備えるステップであって、前記複数のキャビティの各々は第1光学要素を受け入れるように適合されている、ステップ;及び
    対応するキャビティにおいて第1光学要素を位置付けるステップ;
    を有する、方法。
  16. 請求項14又は15に記載の方法であって、前記積層シート要素は整形されたストリップである、方法であり:
    第1積層シート構造から分割された第1ストリップ整形積層シート要素と、第2積層シート構造から分割された第2ストリップ整形積層シート要素とを隣り合わせてアライメントして接合し、それにより、複合集積積層シート構造を形成するステップであって、前記複合構造は第1積層シート要素及び第2積層シート要素を有する、ステップ;並びに
    前記複合積層シート構造を複数の複合積層シート要素に分割するステップであって、それ故、各々の複合積層シート要素は、前記第1積層シート要素及び前記第2積層シート要素の両方の部分を有する、ステップ;
    を更に有する、方法。
  17. 請求項16に記載の方法であって、前記複合積層シート構造は、前記ストリップ整形要素が前記ストリップ整形要素の長手方向を横断して分割される、方法。
  18. 請求項16又は17に記載の方法であって、前記複合積層シート構造は3つの異なる積層シート構造からのストリップ整形積層シート要素を有する、方法。
  19. 請求項14乃至18の何れか一項に記載の方法であって:
    少なくとも1つの半導体光源により、前記積層シート要素の各々又は前記複合積層シート要素の各々を与え、それにより、複数の発光モジュールを形成するステップ;
    を更に有する、方法。
  20. 請求項19に記載の方法であって、前記の半導体光源により積層シート要素を与えるステップは;
    複数の半導体光源を前記集積積層シート構造に取り付けるステップであって、それ故、少なくとも1つの半導体光源が前記積層シート要素の各々に備えられる、ステップ;
    を有する、方法。
  21. 請求項19に記載の方法であって、前記の半導体光源により積層シート要素を与えるステップは;
    前記分割するステップに後続して、少なくとも1つの半導体光源を前記積層シート要素の各々に取り付けるステップ;
    を有する、方法。
JP2008540773A 2005-11-22 2006-11-20 発光モジュール及びその製造方法 Pending JP2009516913A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05111063 2005-11-22
PCT/IB2006/054333 WO2007060592A2 (en) 2005-11-22 2006-11-20 Light emitting module and manufacturing method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009516913A true JP2009516913A (ja) 2009-04-23

Family

ID=38067615

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008540773A Pending JP2009516913A (ja) 2005-11-22 2006-11-20 発光モジュール及びその製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20080298061A1 (ja)
EP (1) EP1954974A2 (ja)
JP (1) JP2009516913A (ja)
KR (1) KR20080074186A (ja)
CN (1) CN101313172A (ja)
TW (1) TW200730023A (ja)
WO (1) WO2007060592A2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI481496B (zh) 2007-12-19 2015-04-21 Heptagon Micro Optics Pte Ltd 製造光學元件的方法
JP2010103487A (ja) * 2008-09-26 2010-05-06 Sanyo Electric Co Ltd 半導体レーザ装置および表示装置
JP5664248B2 (ja) * 2010-03-17 2015-02-04 株式会社リコー 面発光レーザモジュール、光走査装置及び画像形成装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1119482A (zh) * 1993-02-03 1996-03-27 尼托公司 图像投影的方法和设备
US5668611A (en) * 1994-12-21 1997-09-16 Hughes Electronics Full color sequential image projection system incorporating pulse rate modulated illumination
US5707139A (en) * 1995-11-01 1998-01-13 Hewlett-Packard Company Vertical cavity surface emitting laser arrays for illumination
US5748161A (en) * 1996-03-04 1998-05-05 Motorola, Inc. Integrated electro-optical package with independent menu bar
US6235141B1 (en) * 1996-09-27 2001-05-22 Digital Optics Corporation Method of mass producing and packaging integrated optical subsystems
JP3585097B2 (ja) * 1998-06-04 2004-11-04 セイコーエプソン株式会社 光源装置,光学装置および液晶表示装置
US6084697A (en) * 1998-07-20 2000-07-04 Motorola, Inc. Integrated electro-optical package
US6639249B2 (en) * 2001-08-06 2003-10-28 Motorola, Inc. Structure and method for fabrication for a solid-state lighting device
KR100444986B1 (ko) * 2001-09-29 2004-08-21 삼성전자주식회사 조명계 및 이를 채용한 프로젝터
WO2003056876A2 (en) * 2001-12-14 2003-07-10 Digital Optics International Corporation Uniform illumination system
US6658041B2 (en) * 2002-03-20 2003-12-02 Agilent Technologies, Inc. Wafer bonded vertical cavity surface emitting laser systems
US6851831B2 (en) * 2002-04-16 2005-02-08 Gelcore Llc Close packing LED assembly with versatile interconnect architecture
KR20050044865A (ko) * 2002-05-08 2005-05-13 포세온 테크날러지 인코퍼레이티드 고효율 고체상태 광원과 이용 및 제조 방법
US6648475B1 (en) * 2002-05-20 2003-11-18 Eastman Kodak Company Method and apparatus for increasing color gamut of a display
US6903380B2 (en) * 2003-04-11 2005-06-07 Weldon Technologies, Inc. High power light emitting diode
US6846089B2 (en) * 2003-05-16 2005-01-25 3M Innovative Properties Company Method for stacking surface structured optical films
WO2004107018A1 (en) * 2003-06-02 2004-12-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Led illumination system
US7156522B2 (en) * 2003-07-16 2007-01-02 Plut William J Projection-type display devices with reduced weight and size
US7183587B2 (en) * 2003-09-09 2007-02-27 Cree, Inc. Solid metal block mounting substrates for semiconductor light emitting devices
US7212344B2 (en) * 2004-02-27 2007-05-01 Philips Lumileds Lighting Company, Llc Illumination system with aligned LEDs
EP1569276A1 (en) * 2004-02-27 2005-08-31 Heptagon OY Micro-optics on optoelectronics

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007060592A2 (en) 2007-05-31
WO2007060592A3 (en) 2007-10-18
TW200730023A (en) 2007-08-01
US20080298061A1 (en) 2008-12-04
KR20080074186A (ko) 2008-08-12
CN101313172A (zh) 2008-11-26
EP1954974A2 (en) 2008-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8633643B2 (en) LED package, LED package module having the same and manufacturing method thereof, and head lamp module having the same and control method thereof
JP4451859B2 (ja) 高出力ledパッケージ
US8096348B2 (en) Heat exchanger, method of manufacturing heat exchanger, liquid cooling system, light source device, projector, electronic device unit, and electronic equipment
JP4787783B2 (ja) アノダイジング絶縁層を有するledパッケージおよびその製造方法
US9142936B2 (en) Laser light source device and method for manufacturing laser light source device
US20090134409A1 (en) Composite led modules
JP2007513381A (ja) 複数のledを用いた光源および同光源の組み立て方法
US8212275B2 (en) Light-emitting device
US20060049475A1 (en) High power LED array
JP2009545107A (ja) エッジ放出要素を有する光源
JP5285435B2 (ja) 発光ダイオードモジュール
KR20100080782A (ko) 반도체 소자 및 반도체 소자의 제조 방법
JP2006319149A (ja) 光源装置およびその製造方法並びに光源装置を用いた表示装置
CN109976077B (zh) 光源模组
JP2007003914A (ja) 発光モジュールとこれを用いた投映型表示装置用光源ユニット
JP2017207732A (ja) 光源装置およびプロジェクター
JP7074872B2 (ja) インレイ基板及びそれを用いた発光装置
JP2009516913A (ja) 発光モジュール及びその製造方法
JP2010021261A (ja) 光半導体素子の製造方法、光半導体素子及び光半導体装置の製造方法
JP5499660B2 (ja) 照明器具
JP2009244693A (ja) 液晶表示装置
JP6870215B2 (ja) 光源装置及びプロジェクター
WO2021224963A1 (ja) レーザ光源装置およびレーザ光源装置の製造方法
KR20170107749A (ko) Led 구동 장치 및 발광 장치
JP2011096742A (ja) レーザー光源