JP2009512170A - 気体放電ランプの作動方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、気体放電ランプの少なくとも1つの電極の形状形成が変えられる気体放電ランプの作動方法において、予め設定可能な時間の間、ランプ電流を変えることによって、少なくとも1つの電流パルスを、少なくとも1つの電極で、成長する構造物が少なくとも部分的に除去されるように形成し、該形成時に、気体放電ランプに交流電圧又は交流電流が供給される場合に、交流電圧又は交流電流の全半波の少なくとも1つの時間の間電流パルスを形成し、又は、前記気体放電ランプに直流電圧又は直流電流が供給される場合に、約0.1〜約5sのパルス持続期間の前記電流パルスを形成する。

Description

本発明は、最適な作動条件を形成するために気体放電ランプの少なくとも1つの電極の形状形成が変えられ、その際、気体放電ランプが、交流電圧又は交流電流又は直流電圧又は直流電流によって給電される気体放電ランプの作動方法に関する。
従来技術
電気ランプ、例えば、ビデオプロジェクション用に使用される、殊に、HID(高輝度放電:High Intensity Discharge)ランプのような気体放電ランプの作動時に、作動期間の経過中、このランプの2つの電極上に構造物が成長するという一般的な問題がある。それにより、そのようなHIDランプの点灯電圧は、ランプ寿命の期間中変化する。各電極のバックバーニング(Zuruckbrennen)より、電極の間隔が増大し、従って、このHIDランプの点灯電圧も大きくなる。その際、点灯電圧の増大は、毎時約0.05V〜毎時約1Vとなることがある。そのような構造物の成長乃至そのようなピーク値の増大により、電極間隔が低減し、従って、HIDランプの点灯電圧も低減する。この際、典型的な値は、約15分〜数時間の時間内で、約1V〜約20Vである。 点灯電圧の典型的な経過特性は、一方では、この構造物の成長によって、他方では、各電極のバックバーニングによって生じる両効果の重畳によって生じる。
点灯電圧は、HIDランプの場合に通常のように、このHIDランプが新しくて作動時間が未だ経過していない場合には、約70Vとなることがある。各電極上にそのような構造物が上述のように成長することによって、点灯電圧が約40V〜約60Vに低下することがある。各電極のバックバーンによって、電気ランプの寿命期間中、点灯電圧が約130Vに上昇することがある。この例で分かるように、その際、例えば、点灯電圧は、最初の約300作動時間中、そのようなピーク値の増大によって、乃至、そのように成長する構造物によって、新品状態の電気ランプが有している値の下側に低下することがある。
HIDランプは、近似的に温度依存の電圧源であり、即ち、ランプの所謂バーナ内の温度分布は、所定の点灯電圧を決める。その際、ランプ電力は、所定のランプ電圧の場合に、ランプと接続された電子バラストによって、ランプ電力が所定の目標値に相応する程大きな電流が給電されるように調整される。ビデオプロジェクション用の光源の場合、ランプ電力は、非常に正確に調整され、数パーセント範囲内の許容偏差範囲しか有していない。これは、プロジェクションシステムの光出力をコントロールすることができるために行われる。
HIDランプ用の電子バラストは、一般的に最大可能出力電流を有している。出力電流IRMS_maxの最大可能RMS(root mean square)値は、特に、電子バラスト自体の構成部品の最大許容可能なオーミック加熱に依存し、電子バラストが設けられている環境に依存している。殊に、この最大許容オーミック加熱は、場合によっては、電子バラストの既存の冷却体に依存している。
出力電流IRMSの変化の際に、新たな熱平衡状態が各構成部品内に調整される迄、典型的には、数分の時間が経過する。新たな熱平衡状態の調整に至る迄の時間よりも短い時間に、出力電流が変わると、この時間内での各構成部品の加熱は、同じ値だけ電流が持続的に上昇する場合よりも短い。(熱平衡状態の調整に至る迄の時間よりも短い時間の間の)短時間の可能な最大電流は、一般的に可能な最大電流IRMS_maxよりも高い。短時間に可能な最大電流は、一般的に、持続的に可能な最大電流IRMS_maxとは別の各構成部品の特性に依存している。例えば、短時間に可能な最大電流は、インダクタンスが飽和せずに、インダクタンスの最大可能な制御に依存している。更に、この短時間に可能な最大電流は、各半導体スイッチ及び各ダイオードの許容最大ピーク電流に依存することができる。
所定のランプ電圧では、最大可能ランプ電力は、電子バラストの最大可能出力電流IRMS_maxに依存する。HIDランプと電子バラストから構成された所定のシステムでは、最大可能ランプ電力は、最初の約300作動時間内で、HIDランプの点灯電圧が各電極上での構造物の成長によって低下することによって低減することがある。電子バラストの所定の最大出力電流IRMS_maxによって、それにより、システムの最大可能ランプ電力が低下する。それにより、多くの場合、HIDランプが最早当該HIDランプの定格電力で作動することができない事態に至ることがある。殊に、HIDランプは、当該HIDランプの定格電力より下側の作動によって、当該HIDランプの定格作動温度に達しないようにすることができる。ランプ電圧も、温度に依存する。通常の温度領域内で、ランプ電圧は、上昇した点灯温度と共に高くなる。従って、各電極上の構造物の成長、及び、それにより強いられる、低すぎるランプ電力での作動の効果は、それにより調整される、ランプ内部空間内での低すぎる温度によっても強化されることがある。従って、総体的に、各電極上での構造物の成長により、HIDランプは、不所望な作動パラメータで、殊に、低すぎるランプ電圧で(バーナ温度及び各電極上に成長した各構造物の間隔に依存して)、それ故、電子バラストの制限された最大出力電流IRMS_maxに基づいて、低すぎるランプ電力で作動することがある。
電極の形状をコントロールするために、ドイツ公開特許第10021537号公報から、気体放電ランプの作動方法及び作動装置が公知であり、ここでは、気体放電ランプの各電極上での構造物の所望の成長が、所定の時間間隔内でランプの瞬時電力が上昇されるようにすることによって達成され、その際、時間経過につれて変化するランプの少なくとも1つの作動データの各値が連続的又は非連続的に測定され、測定された各値に依存して、交流電圧又は交流電流の周波数が選択される。気体放電ランプの作動時に生じる輸送プロセスは、公知の方法では、構造物が所期のように電極上に成長するようにするために使われている。これは、公知の方法では、ランプ周波数の変更によって行われる。作動周波数のコントロールされた変更によって、輸送現象が、各電極上に物質を付着させるために利用されている。本発明では、正に、そのような構造物の成長が阻止され、乃至、既に成長した構造物が除去されるという相違点の他に、公知の方法の別の欠点は、いくつかのプロジェクションアプリケーション(例えば、DLP)で、ランプ周波数を自由に選択可能でなく、そのような電極の形状を形成することができないという点にある。
更に、バーナの選択は、製造後、点灯電圧が所定の下側限界値よりも高いという基準に従って実行することが知られている。しかし、その際、下側限界値は、ここで問題となっている成長構造が生じない程度に高く選定されている。しかし、その際の主要な欠点は、バーナ製造時のかなり高い欠陥にある。 別の可能性は、ランプタイプの真ん中の点灯電圧を比較的高い充填気体圧によって上げることにある。しかし、その際、欠点は、バーナ容器が比較的高い圧力に耐えなければならず、従って、比較的良好な容器が必要であるか、又は、このランプタイプでだめになるバーナ容器の比較的高い欠陥率を受容しなければならない点にある。
更に、電子バラストの最大可能出力電流を別の構成部品を用いて高くすることもでき、且つ、既に公知である。例えば、その際、低いドレイン−ソース−抵抗のトランジスタ、又は、比較的大きな銅製断面のインダクタンス又は比較的高い制御可能性のインダクタンス又は比較的良好な熱排出部又は比較的大きな冷却体を持った構成部品が使用される。しかし、この際、主要な欠点は、著しく高いコストと、非常に大きな電子バラストにある。
更に、その際、バラストを比較的強く冷却する必要があり、それによって、比較的大きくて高価なクーリングファンが必要となり、それにより、比較的大きなクーリングファンノイズが生じる。
本発明の説明
従って、本発明の課題は、気体放電ランプの各電極の形状形成を、比較的確実且つ低コストで変えることができるようにした、気体放電ランプの作動方法を提供することにある。殊に、耐用年数の特性が改善された気体放電ランプの最適な作動を可能にする必要がある。
この課題は、請求項1記載の各要件を有する方法によって解決される。
本発明の、気体放電ランプの作動方法では、気体放電ランプの少なくとも1つの電極の形状形成が、気体放電ランプの作動期間中変えられる。気体放電ランプは、交流電圧又は交流電流で作動することができる。しかし、気体放電ランプは、直流電圧又は直流電流で作動してもよい。本発明の主要な技術思想は、所定の時間期間中ランプ電流を変えることによって、少なくとも1つの電流パルスが形成されるようにして、少なくとも1つの電極の形状形成を制御する点にある。その際、電流パルスは、気体放電ランプの少なくとも1つの電極上で成長した構造物が少なくとも部分的に除去されるように形成され、その際、気体放電ランプに交流電圧又は交流電流が給電される場合、電流パルスは、交流電圧又は交流電流の少なくとも1つの全半波の時間期間中形成される。電流の上昇と、従って、電流パルスの形成は、その際、全半波の時間期間に亘って、殊に、複数の半波の時間期間に亘って実行される。気体放電ランプに直流電圧又は直流電流が給電されると、電流パルスは、約0.1s〜約5sの時間の間形成される。電流の中間値は、その際、前述の時間期間中上昇される。 ランプ電流の変化によって、全半波の相応の時間期間に亘って、少なくとも1つの電流パルスが形成されることによって、少なくとも1つの電極上に成長した構造物の除去を、高い信頼度で定常的に行うことができる。気体放電ランプの作動条件、従って、気体放電ランプが設けられている全システムの作動条件が、それにより、明らかに改善され、寿命が長くなる。従って、本発明では、ランプ電流の上昇によって独自の電流パルスが形成され、ドイツ公開特許第10021537号公報の従来技術とは異なり、半波の時間終了時に、半波電流上に恰も被さったような短時間の電流上昇が実行される。
更に、本発明の方法によると、気体放電ランプを長時間に渡って均一に作動することができる。これは、殊に、プロジェクションシステム用のHIDランプでは、重要な利点である。と言うのは、構造物が過度に成長するのを連続的に阻止することができ、それによって、各電極間の間隔がほぼ変わらないままにすることができるからである。これは、点灯電圧の連続性に有利に作用し、従って、気体放電ランプの全作動に有利に作用する。
有利には、電流パルスの振幅及び/又は前記電流パルスの経過特性及び/又は電流パルスの時間及び/又は電流パルスの形成の時点を、気体放電ランプの少なくとも1つの作動パラメータに依存して形成するとよい。有利には、作動パラメータとして、気体放電ランプの検出されたランプ電圧及び/又は当該ランプ電圧の検出された経過特性を利用するとよい。 更に、電流パルスの振幅及び/又は電流パルスの経過特性及び/又は電流パルスの時間及び/又は電流パルスの形成の時点を、ランプ電圧限界値の超過又は下回りに依存して形成するとよい。
電流パルスの振幅及び/又は電流パルスの経過特性及び/又は電流パルスの時間及び/又は電流パルスの形成の時点を、有利には、少なくとも1つの電極上に成長された構造が除去され、且つ、それと同時に、気体放電ランプと接続された電子バラストの電流負荷を僅かに保持することができ、且つ、実質的に変わらないままであるように形成するとよい。従って、電流パルスは、有利には、成長された構造物が少なくとも部分的に除去され、乃至、成長されたピークが溶融され、且つ、電子バラスト又は当該電流バラストの構成部品の電流負荷又は熱負荷が僅かであるように形成される。更に、電流パルスの形成は、電流パルスが気体放電ランプの放射光又はプロジェクションユニットのイメージに及ぼす可視の作用が小さく、殊に、観測者によって知覚できないように行ってもよい。
有利には、電流パルスの時間期間は、約0.1s〜10sである。有利には、電流パルスの時間期間は、2秒よりも短く、殊に、1秒よりも短い。そのような、高い電流の短いパルスは、成長した構造物を溶融することができ、それにより、点灯電圧を約20Vに至る迄だけ上昇することができる。
電流パルスのピーク値を、少なくとも所定の時間の間、気体放電ランプと電気的に接続された電子バラストの最大許容電流値よりも大きくするとよい。殊に、電流パルスの振幅及び/又は電流パルスの時間及び/又は電流パルスの形状を、電子バラストがアプリケーションにとって許容されているよりも強く加熱されないように選択されているとよい。そうすることによって、電子バラストの構成部品が過負荷されたり、又は、電子バラストの機能が損なわれたり、又は、破壊されたりするのを阻止することがある。
有利には、気体放電ランプのランプ電圧の経過特性を、電流パルスの時間中検出し、電流パルスの振幅及び/又は電流パルスの経過特性及び/又は電流パルスの時間を、ランプ電圧の検出された経過特性に依存して形成するとよい。それにより、気体放電ランプと接続された電子バラストの負荷を最小にすることができ、気体放電ランプの放射光の可視の変化を最小にすることができる。
有利には、電流パルスの振幅及び/又は電流パルスの経過特性及び/又は電流パルスの時間及び/又は電流パルスの形成の時点を、ランプ電圧の上昇速度及び/又はランプ電圧の値が電流パルスの時間の経過後所定の値に相応するように形成するとよい。例えば、電流パルスの振幅は、ピークの溶融乃至成長された構造物の除去を達成することができるように高く調整しさえすればよい。それにより、電子バラスト及び気体放電ランプが傷まないようにすることができ、気体放電ランプの放射光が最小にしか変化しないようにすることができる。それにより、ランプ電圧を緩慢且つコントロール可能に変えることができる。これにより、ランプ電圧の所期の制御が可能となり、ランプ電圧を、電流パルスの遮断後乃至電流パルスの時間の終了後調整することができる。
有利には、電流パルスを、気体放電ランプの立ち上がり期間中形成するようにするとよい。これは、特に有利である。と言うのは、ここでの変化が、気体放電ランプの放射光内で、従って、ビデオプロジェクション装置のイメージ内で妨害として知覚されず、例えば、立ち上がり後本来の作動中得られるのと同様である。
電流パルスの振幅及び/又は電流パルスの経過特性及び/又は電流パルスの時間及び/又は電流パルスの形成の時点を、気体放電ランプと電気的に接続された電子バラストの熱負荷に依存して形成するとよい。電子バラストが、ランプ電圧を検出し、ランプ電圧の経過特性を有利に記憶するようにしてもよい。このランプ電圧の経過特性は、電子バラストの遮断を介してメモリ内に記憶してもよい。ランプ電圧の経過特性の記憶は、気体放電ランプの複数の作動サイクルを介して行ってもよい。ランプ電圧の時間経過特性として、一方では、立ち上がり期間中の経過特性を検出するとよい。立ち上がり期間後の点灯電圧の時間経過特性を検出してもよい。同様に、気体放電ランプ及び電子バラストが一時的に遮断された場合に、現在実行されている点灯期間前の点灯期間中のランプ電圧の経過特性を検出するようにしてもよい。
測定されたランプ電圧が設定された限界値よりも小さい場合に限って、電流パルスを形成してもよい。ランプ電圧の測定された経過特性が、ランプ電圧が成長された構造物によって今後所定の限界値より下側に低下することがある場合に限って、電流パルスを形成してもよい。その際、限界値は、ランプ電圧が、電子バラストが電流限界になる最小値より下側に低下する確率が、最小確率値以下であるように選定するとよい。
有利には、気体放電ランプと接続された電子バラストが、形成された電流パルスの間、電子バラストの換気用の目標値を形成し、それによって、場合によっては、同じ換気の場合に、比較的高いか又は比較的長い電流パルスを形成するようにしてもよい。従って、電流パルスは、電子バラストの換気に依存して形成することができる。電子バラスト又は個別構成部品の温度は、その際、例えば、1つ又は複数の温度センサを介して検出してもよい。
気体放電ランプに交流電圧又は交流電流が給電されると、電流パルスが形成され、気体放電ランプの各電極に給電される。その際、アノードの作動状態を有するような各々の電極は、電流パルスの作用を受け、当該の電極上に成長する構造物が、少なくとも部分的に除去され、乃至、溶融される。謂わば、電流パルスは、この時点で作動状態中アノードとして機能し乃至作動される電極に印加される。その際、電流パルスは、少なくとも半波の間、第1の電極がアノードとして作動される場合には、この第1の電極に常に印加され、第2の電極がアノードとして作動される場合には、少なくとも半波の間、気体放電ランプの第2の電極に常に印加される。それにより、電気ランプの光出力を、電流パルスが形成されていない時間中、電流パルスが形成されている時間に較べて、著しく一定に保持することができるようにすることができる。それによって、実質的に電力損失は生じず、それにより、光電流も、従って、気体放電ランプによって形成された光も変動せず、この光の変動が観測者の人間の眼によって知覚されることもない。更に、電子バラストの電流負荷を比較的僅かにすることもできる。電流パルスの時間は、約100ms〜約3sにするとよい。有利には、約10〜約500半波の電流パルスが1つの電極に印加され、その際、電気ランプの作動周波数は、約50Hz〜約200Hzにするとよい。
図面の簡単な説明
以下、本発明の実施例を、添付図面を参照して詳細に説明する。その際:
図1は、ランプ電圧及びランプ電流の、時間依存の経過特性を示す図、
図2は、ランプ電圧及びランプ電流の、時間依存の第2の経過特性を示す図、
図3は、ランプ電圧及びランプ電流の、時間依存の第3の経過特性を示す図である。
本発明の有利な実施形態
図1には、HIDランプのランプ電圧Uの、時間依存の経過特性が図示されている。同様に、図には、電流パルスIRMS_Lの経過特性が図示されている。図示の実施例では、HIDランプには、交流電圧又は交流電流が給電される。図から分かるように、ランプ電圧は、時点tに至る迄、約53Vのほぼ一定値を有している。ランプ電流IRMS_Lは、時点tに至る迄、同様にほぼ一定であり、実施例では、約3Aの値を有している。時点tで、ランプ電流IRMS_Lは上昇され、電流パルスが形成される。そのために図1から分かるように、電流パルスは、時間期間t−tを有している。
実施例では、これは、約600msの時間期間である。更に、図1から分かるように、電流パルスのRMS値は、全時間期間t−tに亘ってほぼ一定であり、実施例では、約4Aの値を有している。
時点tでの電流パルスの開始により、HIDランプの点灯電圧乃至ランプ電圧Uも上昇する。と言うのは、この電流パルスにより、HIDランプの各電極上に成長した構造物は溶融されるからである。
図から分かるように、ランプ電圧Uは、単に時点tで比較的強く上昇し、時点tで約66Vの所定値に達する。時点tとtとの間の時間期間内に、ランプ電圧Uは、最早上昇しないか、ほんの僅かしか上昇しない。時点tでの電流パルスの時間の経過により、従って、ランプ電流IRMS_が再び約3Aの値に低減することにより、ランプ電圧Uは、比較的短い時間内にもう一度上昇する。図1から分かるように、実施例では、その際、約70Vの最終値に達する。
図2には、ランプ電圧U及びランプ電流Iの別の経過特性が図示されている。図には、複数半波の図が例示されており、その際、ランプ電流Iは、時点0とtとの間の時間間隔内で、ランプ電流の値Iと−Iとの間の各々の半波に依存する。時点tで、ランプ電流Iは上昇され、電流パルスが形成される。図2から分かるように、電流パルスは、時間t2−t1の間、多数の半波に亘って形成される。ランプ電流の上昇は、電流パルスの電流振幅が半波I乃至−Iに依存しているようにして行われる。時点t2で、電流パルスは、再び終了し、ランプ電流は、再び最大振幅値I乃至−Iに低減される。
図3には、本発明の方法の別の実施例が図示されている。そこでは、少なくとも1つの半波の間、HIDランプの、当該時点で相応の時間の間、アノードとして作動される電極に印加される。そのために、図3から分かるように、ランプ電流は、時点0とt1との間の時間中、各々の半波に依存して、振幅が値i乃至−iを有するように再度調整される。時点tでは、ランプ電流は、ΔIだけ上昇される(電流パルス)。時点tとtとの間で、従って、電流パルスは、多数の半波に亘って形成され、この半波は、この時間内にアノードとして作動されるHIDランプの電極(第1の電極)に印加される。この時間内に、ランプ電流は、振幅値I+ΔI及び−(I−ΔI)を有している。時点t2及びt3の間の時間内に、ランプ電流は、多数の半波に亘って形成された電流パルスが、この時間内にアノードとして作動される第2の電極に印加されるように調整される。この時間t − t内に、ランプ電流は、振幅値I−ΔI及び−(I+ΔI)を有している。図から分かるように、ランプ電流(P=U*I)が、時間t−t及び時間t−tでほぼ同じ大きさであり、その際、前述の時間は、ほぼ同じ長さである。時点tでは、電流パルスは終了し、ランプ電流は、時間t−0により調整される。
しかし、本発明は、交流電圧又は交流電流が給電される気体放電ランプの用途に限定されるものではない。寧ろ、充分に長い電流パルスの形成方式は、直流電圧又は直流電流が給電される気体放電ランプに用いてもよい。その際、重要な点は、電流パルスは、0.1S〜5Sの時間の間形成され、乃至、直流電流は、殊に、平均値が、そのような時間の間上昇される。
ランプ電圧及びランプ電流の、時間依存の経過特性を示す図 ランプ電圧及びランプ電流の、時間依存の第2の経過特性を示す図 ランプ電圧及びランプ電流の、時間依存の第3の経過特性を示す図

Claims (12)

  1. 気体放電ランプの少なくとも1つの電極の形状形成が変えられる前記気体放電ランプの作動方法において、
    予め設定可能な時間の間、ランプ電流を変えることによって、少なくとも1つの電流パルスを、少なくとも1つの電極で、成長する構造物が少なくとも部分的に除去されるように形成し、該形成時に、気体放電ランプに交流電圧又は交流電流が供給される場合に、交流電圧又は交流電流の全半波の少なくとも1つの時間の間前記電流パルスを形成し、又は、前記気体放電ランプに直流電圧又は直流電流が供給される場合に、約0.1〜約5sのパルス持続期間の前記電流パルスを形成することを特徴とする気体放電ランプの作動方法。
  2. 電流パルスの振幅及び/又は前記電流パルスの経過特性及び/又は前記電流パルスの時間及び/又は前記電流パルスの形成の時点を、気体放電ランプの少なくとも1つの作動パラメータに依存して形成する請求項1記載の方法。
  3. 作動パラメータとして、気体放電ランプの検出されたランプ電圧及び/又は当該ランプ電圧の検出された経過特性を利用する請求項2記載の方法。
  4. 電流パルスの振幅及び/又は前記電流パルスの経過特性及び/又は前記電流パルスの時間及び/又は前記電流パルスの形成の時点を、ランプ電圧限界値の超過又は下回りに依存して形成する請求項3記載の方法。
  5. 電流パルスの振幅及び/又は前記電流パルスの経過特性及び/又は前記電流パルスの時間及び/又は前記電流パルスの形成の時点を、少なくとも1つの電極上に成長された構造物が除去され、且つ、気体放電ランプと接続された電子バラストの電流負荷が実質的に変わらないままであるように形成する請求項1から4迄の何れか1記載の方法。
  6. 電流パルスの時間を、2秒より短く、殊に、1秒より短くする請求項1から5迄の何れか1記載の方法。
  7. 電流パルスのピーク値を、少なくとも所定の時間の間、気体放電ランプと電気的に接続された電子バラストの最大許容電流値よりも大きくする請求項1から6迄の何れか1記載の方法。
  8. 気体放電ランプのランプ電圧の経過特性を、電流パルスの時間中検出し、前記電流パルスの振幅及び/又は前記電流パルスの経過特性及び/又は前記電流パルスの時間を、前記ランプ電圧の検出された経過特性に依存して形成する請求項1から7迄の何れか1記載の方法。
  9. 電流パルスの振幅及び/又は前記電流パルスの経過特性及び/又は前記電流パルスの時間及び/又は前記電流パルスの形成の時点を、ランプ電圧の上昇速度及び/又は前記ランプ電圧の値が前記電流パルスの時間の経過後所定の値に相応するように形成する請求項1から8迄の何れか1記載の方法。
  10. 電流パルスを気体放電ランプの立ち上がり期間中に形成する請求項1から9迄の何れか1記載の方法。
  11. 電流パルスの振幅及び/又は前記電流パルスの経過特性及び/又は前記電流パルスの時間及び/又は前記電流パルスの形成の時点を、気体放電ランプと電気的に接続された電子バラストの熱負荷に依存して形成する請求項1から10迄の何れか1記載の方法。
  12. 気体放電ランプに交流電圧又は交流電流を給電し、電流パルスにより、各々少なくとも半波の時間の間、アノードとして駆動される電極で成長された構造物を溶融する請求項1から11迄の何れか1記載の方法。
JP2008536023A 2005-10-17 2006-10-12 気体放電ランプの作動方法 Pending JP2009512170A (ja)

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