JP2009511104A - 薄型回路を使用するコンピュータトモグラフィ検出器 - Google Patents
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Abstract
X線検出器アレイ102は、複数の検出器素子又はディクセル100を含む。各々の検出器素子は、第1のシンチレータ1061、第2のシンチレータ1062、第1の光検出器1101及び第2の光検出器1102を有する。第1及び第2の光検出器1101、1102は、個々の第1及び第2のシンチレータ1061、1062の側面に配される。複数の検出器素子100の光検出器1101、1102は、例えば薄いフレキシブル回路のような回路基板103によって担持される。
Description
本発明は、コンピュータトモグラフィ(CT)システムにおいて使用されるX線検出器アレイに関する。本発明は更に、X線以外の放射線の検出にアプリケーションを見いだすとともに、放射線感受性をもつ検出器のアレイが必要とされる他の医学的及び非医学的アプリケーションにも関する。
CTスキャナは、一般に、X線管によって放出されるX線放射を受け取る検出器を有する。シングルスライスシステムは、従来より、X線管と向かい合う横方向の円弧に配される検出器素子の一次元アレイを有する。比較的最近になって、横方向及び縦方向の双方に延在する検出器素子の正確な2次元アレイを有するマルチスライス検出器が開発された。
マルチスライス又はエリアCTスキャナは、より従来のシステムと比べて多くの利点を有する。例えば、これらのスキャナは、一般に、縦方向又はz軸に沿って増加される空間分解能、増加される走査スピード、相対的により大きいボリュームを走査する能力、及びX線管パワーの改善された利用を提供する。これらの利益は、とりわけ、新たな臨床応用の展開を容易にするのを助けるとともに、それによって、患者ケアの重要な向上をもたらした。
マルチスライスCTスキャナが広く受け入れられることにより、なお増加する数の縦方向スライス及びそれゆえより大きい縦方向のカバレージ及び空間分解能を提供する傾向がでてきた。しかしながら、さらに一層大きい検出器アレイに向かう傾向は、検出器設計を複雑にしている。例えば、より多くの検出器素子は、処理されルーティングされなければならない電気信号の比較的一層大きい数を生じさせる。加えて、検出器素子間のスペース又はデッドスポットは、画像アーチファクトの導入、低減される線量利用及び低減される空間分解能のような、さまざまな有害な影響を有しうる。更に、相対的により多くの検出器は、相対的に高価になっており、効率的に検出器を製造し、組み立てるニーズが、ますます高まっている。
更に、多くのCTシステムは、従来、単一の相対的に広いエネルギーレンジにわたって、放射線減衰情報を得ていた。単一エネルギーシステムが、様々な臨床応用において極めて有用であり、有用であり続けることが分かっているが、それらは、検査下にあるオブジェクトの材料組成についての情報を提供する制限された能力を有する。他方、デュアル又は複数エネルギーシステムは、オブジェクトの材料組成及び他の情報を提供するためにスペクトルの情報を利用する。複数のエネルギー情報を得るための1つの技法は、2以上のエネルギー又はエネルギーレンジを有する放射線を示す複数出力を提供する複数検出器を使用することである。しかしながら、明らかであるように、このような検出器は、増加される物理的且つ電気的な複雑さをもたらし、なお付加の出力信号を提供する。より大きい検出器アレイに向かう傾向と結びついて、これらの問題は、ますます深刻になっている。
本発明の見地は、これらの問題及びその他に対処する。
本発明の第1の見地によれば、X線検出器アレイは、検出器素子の1次元アレイ及び第1の回路基板を有する。各々の検出器素子は、第1のシンチレータと、第1のシンチレータの側面に配され、第1のシンチレータに光学的に結合される第1の光検出器と、を有する。第1の光検出器は、第1のシンチレータによって放出された光を受け取り、それに応じて電気信号を生成する。複数の第1の光検出器が、回路基板によって担持される。第1の光検出器は、第1の回路基板と第1のシンチレータの側面との間に配置される。
本発明のより制限された見地によれば、第1の回路基板は、0.150mm又はそれ以下の厚みを有するフレキシブル回路を有する。
本発明の別の見地によれば、放射線検出器は、主表面を有する第1の回路基板と、放射線を受け取る前面、側面及び背面を有するシンチレータアレイと、を有する。放射線検出器は更に、回路基板に電気的に接続されるとともに、シンチレータアレイによって放出される光を受け取るためにシンチレータアレイと光学的に通信する、光検出器アレイを含む。光検出器アレイは、シンチレータアレイと回路基板の主表面との間に配置される。
本発明の別の見地によれば、X線検出器は、フレキシブル回路及び複数のX線検出器素子を有する。フレキシブル回路は、約0.150mmより薄い厚みを有する。各々の検出器素子は、第1のシンチレータと、第1のシンチレータの背面に配置され、第1のシンチレータを通過したX線放射を受け取る第2のシンチレータと、を有する。各々の検出器素子は更に、フレキシブル回路に電気的に接続され、第1のシンチレータと光学的に通信する第1のフォトダイオードと、回路基板に電気的に接続され、第2のシンチレータと光学的に通信する第2のフォトダイオードと、を有する。第1のフォトダイオードは、第1のシンチレータと、フレキシブル回路の主表面との間に配置される。第2のフォトダイオードは、第2のシンチレータとフレキシブル回路の主表面との間に配置される。
本発明の更に他の見地は、当業者によって、付加される記述を読み理解するとき理解されるであろう。
図1を参照して、CTスキャナは、検査領域14の周りを回転する回転ガントリ18を有する。ガントリ18は、例えばX線管のようなX線源12を支持する。ガントリ18は、更に、検査領域14の対向する側の円弧にあるX線感受性をもつ検出器20を支持する。X線源12によって発生されるX線は、検査領域14を横切り、検出器20によって検出される。従って、スキャナ10は、検査領域14に配置されたオブジェクトを通る複数の投影又は放射線に沿った放射線減衰を示す走査データを生成する。
寝台のような支持体16は、検査領域14における患者又は他のオブジェクトを支持する。患者支持体16は、好適には、縦方向又はz方向に移動可能である。ヘリカルスキャンにおいて、支持体16及びガントリ18の運動は、X線源12及び検出器20が患者に対して概して螺旋のパスを通るように調整される。
検出器20は、横方向及び縦方向に延在する弧状のアレイに配置される複数の検出器素子100を有する。スペクトルCTにおいて、検出器20は、2又はそれ以上のエネルギー又はエネルギーレンジにおいて検出される放射線を示す信号を提供する。シングルスライス検出器の場合、検出器素子100は、横方向に延在する弧状のアレイに配置される。
スキャナ10及び検出器20の構成に依存して、X線源12は、検出器20のカバレッジとほぼ同一の広がりをもつ概して扇形の、楔形の又は錐形の放射ビームを生成する。更に、フラットパネルアレイに配置される検出器のように、X線源12が回転する間、検出器20が、360度の円弧をスパンし、静止したままでいる、いわゆる第4世代のスキャナ構成が、実現されることができる。更に、多次元アレイの場合、さまざまな検出器素子100が、X線源12の焦点にフォーカスされることができ、それゆえ球のセクションを形成する。
好適には回転ガントリ18上に位置するデータ取得システム26は、さまざまな検出器素子100から生じる信号を受け取り、必要な多重化、インタフェース、データ通信及び同様の機能を提供する。再構成器26は、患者の内部の解剖学的構造を示すボリュメトリックデータを生成するためにデータを再構成する。更に、さまざまなエネルギーレンジからのデータは、検査下にあるオブジェクトの材料組成についての情報を提供するように(再構成の前、再構成の後又はその両方に)処理される。
コントローラ28は、X線源12のパラメータ、患者寝台16の運動、データ測定システム26の処理を含む所望の走査プロトコルを実行するために、必要に応じて、さまざまな走査パラメータを調整する。
汎用コンピュータが、オペレータコンソール44を助ける。コンソール44は、モニタ又はディスプレイのような人間可読の出力装置並びにキーボード及びマウスのような入力装置を有する。コンソールに常駐するソフトウェアは、オペレータが、所望の走査プロトコルを確立し、走査を開始し及び終了し、ボリュメトリック画像データを観察し及び他のやり方で扱い、並びに他のやり方でスキャナと対話することによって、スキャナの動作を制御することを可能にする。
図2a及び図2bを参照して、検出器アレイ102は、回路基板103に各々が接続される複数の検出器素子1001、1002、1003、...100nを有する。各々の検出器素子又はディクセル(dixel)100は、前面すなわち放射線を受け取るための放射線感受性を具える面104を有するとともに、1又は複数のシンチレータ106及び1又は複数の光検出器110を有する。
第1のシンチレータ1061及び第2のシンチレータ1062は、各検出器素子100の前面から背面に向かって順に配置される。
第1のシンチレータ1061及び第2のシンチレータ1062のジオメトリおよび材料は、第1のシンチレータ1061が、相対的により低いエネルギーを有するX線放射に優先的に応答し、第2のシンチレータ1062が、より高いエネルギーX線放射に相対的に応答するように、選択されることが好ましい。一実施例において、第1のシンチレータ1061は、例えばテルルをドープされたセレン化亜鉛(ZnSe:Te)、タングステン酸カドミウム(CdWO4又はCWO)又はイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)のような材料から製造され、第2のシンチレータ1062は、Prをドープされたガドリニウム酸硫化物(Gd2O2S:Pr又はGOS)から製造される。他の材料及び材料の組み合わせもまた企図される。
前面104から見たとき、シンチレータ106の各々は、約1mm×1mmのディメンションを有するが、他のディメンションが、特定のアプリケーションの必要に依存して実現されることもできる。
第1のシンチレータ1061の側面に隣接して配置され、第1のシンチレータ1061と光学的に通信するのは、第1のシンチレータ1061によって放出される波長の光に応答する第1の光検出器1101である。第2のシンチレータ1062の側面に隣接して配置され、第2のシンチレータ1062と光学的に通信するのは、第2のシンチレータ1062によって放出された波長の光に応答する第2の光検出器1102である。
一実施例において、光検出器110は、約0.030mmの厚みを有するシリコンフォトダイオードであり、厚みが薄いほど、シリコンは、光学的にトランスペアレントになる。フォトダイオードは更に、相対的により厚くてもよいが、フォトダイオードの厚みを増やすことは、多次元アレイに配置されるとき、検出器アレイ102同士の間のスペーシングを増加させる。ガリウムひ素(GaAs)又はリン化インジウム(InP)フォトダイオード、電荷結合検出器又はCMOS検出器のような他の光検出器が更に企図される。
3又はそれ以上のエネルギーレンジに関する情報を得るために特によく適する機構において、図4を参照して、各々の検出器素子100は、検出器素子100の前面104から背方に向かって配置される3又はそれ以上のシンチレータ1061、1062、1063...106n及び3又はそれ以上の光検出器1101、1102、1103..110nを有しうる。ここでも、検出器100の前面104に近いほうに配置されるシンチレータ106は、低いエネルギー放射線に優先的に応答し、検出器素子100の背面に近いほうに位置するものは、より高いエネルギー放射線に優先的に応答する。3シンチレータ検出器素子100において、適切な材料は、ZnSe:Te、GOS及びLySOをそれぞれ含むが、異なる材料及び材料の組み合わせが更に企図される。
更に、特に各々の検出器素子100が、スペクトル情報を提供することが要求されない場合には、各々の検出器素子100は、単一のシンチレータ1061及び光検出器1101のみを有しうる。
図2a及び図2bに戻って、タングステン、モリブデン又は鉛のような放射線減衰を示す材料から製造される放射線シールド111が、線源12から入射する放射線から光検出器106を遮蔽する。
適切な検出器実現は更に、「Improved Detector Array for Spectral CT」というタイトルの米国特許出願第60/674,905号(2005年4月26日年出願)明細書及び「Double Decker Detector for Spectral CT」というタイトルの米国特許出願第60/674,900号(2005年4月26日出願)明細書に記述されており、それらの内容は、参照によってここに盛り込まれるものとする。
図2a、図2b及び図4を引き続き参照して、複数の各検出器素子1001、1002、1003...100nの個々の光検出器110は、回路基板103にはんだ付けされ、導電性エポキシを介して接続され、又は他のやり方で電気的に接続される。
回路基板103は、好適には、ポリイミド(PI)、ポリエチレンテレフタレート(PET)又はポリエチレンナフタレート(PEN)のようなポリエステル、のような材料から構成されるポリマ基板を含むフレキシブル回路である。基板は、基板にラミネートされる銅層にエッチングされ、又は銀の導電性インクで印刷されうる導電トレース118を担持する。更に、他の適切な基板及び導電層が使用されることもできる。電気信号の数及び密度に依存して、フレキシブル回路103は、1、2又はそれ以上の回路層を含むことができる。
回路基板の厚みは、好適には約0.035mmより薄く、好適には最大約0.150mmより薄い。回路基板が約0.035mmの総厚みを有する実施例において、基板は、約0.025mmの厚みを有し、導電トレースは、約0.010mmの厚みを有する。回路基板が約0.070mmの総厚みを有する実施例において、基板は、約0.060mmの厚みを有する。回路基板が約0.150mmの厚みを有する実施例において、基板は、約0.140mmの厚みを有する。相対的により厚い回路基板103が使用されることもできるが、多次元検出器アレイに配置されるとき、厚みを増やすことは、検出器アレイ102同士の間のスペーシングを増やす。相対的により薄い回路基板103は、相対的により薄い基板及び/又は回路トレースを使用して、実現されることもできる。更に、基板を、商業的に入手可能な厚みから選択することが望ましいことがある。
例えばマルチプレクサ、増幅器及びアナログデジタル変換器のような信号処理回路114a,114bは、回路基板103に更に電気的に接続される1又は複数の特定用途向け集積回路に含まれる。信号処理回路114は、シンチレータ106の実質的に後ろの検出器アレイ100の背方に配置される。信号処理回路114の高さが、シンチレータ106の深さより小さい(例えば約1mmより小さい)とすると、回路は、検出器アレイ102の厚みを増やさない。
本発明のいくつかの実施例において、信号処理回路114a、114bは、Yamazaki他の「Real Chip Size Three-Dimensional Stacked Package」(IEEE Trans. On Advanced Packaging , Vol 28 No 3. Aug 2005. pp397 et seq.)及び「Real Chip Size 3-Dimensional Stacked Package」(NEC Research and Development, Vol. 44, No. 3, July 2003)に記述されるフレキシブルキャリアフォルデッドリアルチップサイズパッケージ(FFCSP)技術を使用してパッケージングされることができる。このような技術は、日本電気株式会社によりFFCSP(登録商標)下で市販されている。
図6を参照して、2又はそれ以上の集積回路604a、604b、604c、604dが、垂直方向にスタックされる。スタックされたパッケージ600は、2又はそれ以上のシングルチップパッケージ602a、602b、602c、602dを有する。各々のシングルチップパッケージ602は、集積回路604、及び銅回路トレース608を囲む熱可塑性樹脂からなるフレキシブル回路606を有する。シングルチップパッケージ602は、集積回路604の相互接続パッド上に金スタッドバンプ603を(ボールバンプ方法及び金線を使用して)形成することによって製造される。集積回路604は、フレキシブル回路606上のNi/Au電極にフリップチップボンディングされる。フレキシブル回路606は、集積回路604のエッジの周りに巻かれて、集積回路604の側面及び後面に固着される。複数のシングルチップパッケージ602が、ソルダーバンプ610を通して電気的に接続される。スタックされたパッケージは、ソルダーバンプ612を通してフレキシブル回路103に電気的に接続される。
電気コネクタ116a、116bは、データ管理システム26又は他の信号処理電子回路への電気接続を提供する。導電トレース118は、光検出器110、112、信号処理回路114及び電気コネクタ116の間の必要な電気接続を提供する。より具体的には、信号処理回路114は、検出器アレイ102におけるさまざまな検出器素子100に関連付けられる光検出器110から信号を受け取る。これらの信号を適切に多重化し、増幅し、デジタル形式に変換することによって、コネクタ116を通じて接続されることを必要とされる相互接続の数は、低減されることができ、結果として得られる信号は、更に、相対的にノイズに影響されなくなる。信号処理回路は、回路基板103によって担持されることができるが、当然ながら、他の場所にあってもよい。
支持体109は、機械的支持を提供し、検出器20に検出器アレイ102を取り付けるために使用されることができる。更にキー溝115が、検出器20への検出器アレイ102へのマウント及び/又は位置合せを容易にするために使用されることができる。検出器アレイ100は、エポキシ、シリコン又は他の適切なポッティングコンパウンドを使用して、ポッティングされることもできる。
上述したように、回路基板103は、複数の検出器素子100に接続される。図2aは、1×8アレイに配置された8検出器素子100を示しており、他の特に有利なアレイサイズは、1×16、1×32又は1×64のアレイを含む。他のより大きい又はより小さいアレイが、特定のアプリケーションの要求に依存して実現されることもできる。
上述の考察は、各々の検出器素子100の構成要素にフォーカスされているが、光検出器110がn×pフォトダイオードアレイとして製造される場合、検出器アレイ102の構造は簡略化される。ここで、nは、検出器アレイ102の検出器素子100の数であり、pは、各々の検出器素子又はディクセル100に関連付けられる光検出器110の数である。1又は複数のシンチレータアレイとして同様に製造されうるシンチレータ106が、検出器素子100の1×nアレイを形成するために、光学接着剤を使用して個々の光検出器110の放射線感受性を具える面に結合される。
特に検出器アレイ102の素子100の数nが大きい場合、光検出器110が、2又はそれ以上のサブアレイとして製造される場合、検出器アレイ102の構造は更に簡略化されることができる。複数のサブアレイ及び関連付けられるシンチレータは、所望の数の素子を有する検出器アレイ102を形成するために、回路基板103に接続される。
更に別の機構において、検出器アレイ102は、光検出器110のn×pアレイ及び複数の回路基板103を有する。各々の回路基板は、アレイのn個の検出器素子のサブセットに接続される。
更に別の機構によれば、図5を参照して、付加の回路基板502が、シンチレータ106の概して後ろに配置されることができる。(複数の)回路基板103は、付加の回路基板502に電気的に接続される。信号処理回路114及びコネクタ116が、回路基板502に電気的に接続される。
複数の検出器アレイ102は、好適には、所望の横方向及び縦方向の範囲を有する検出器素子100の2次元アレイを形成するために、適切な機械的取り付け機構を使用して検出器20に配置される。一実施例において、キー溝115は、検出器アレイ102の位置合わせを助ける。
上述したように、検出器20は、好適には、スキャナの横断面に延在する円弧セグメントにある。図3は、z軸に沿って見た、又は逆に述べるとスキャナの横断面に投影された、複数の検出器アレイ102a、102b、102cを示している。第3世代のスキャナの場合、各検出器素子100の放射線受信面104a,104b,104cは、それらから共通の距離のところにあるX線源12の焦点スポットと交差するライン302a、302b、302cに実質的に垂直であるように視覚化されることができる。検出器アレイ102a、102b、102cの間に位置するデッドスポットを最小限にするために、検出器アレイ間の横断方向のスペーシングは、最小限にされる。分かるように、個々の光検出器110及び回路基板103の厚みを最小限にすることは、検出器アレイ102が、相対的に互いにより近くに配置されることを可能にする。更に、図3に示される機構のジオメトリは、信号処理回路114が、検出器アレイ102a、102b、102cの横断方向のスペーシングに悪影響を及ぼすことなく、シンチレータ106を越えて延在することを可能にする。検出器アレイは、更に横断方向に配置されることもできる。
検出器20の所望の縦方向の範囲に依存して、各々の検出器アレイ100は、所望の縦方向の範囲をカバーするに十分な素子の数nを含むことができる。代替例として、複数の検出器アレイ102は、所望の縦方向の範囲を与えるために、縦方向においてスタックされ又はタイリングされることができる。更に、検出器アレイ102は、必要に応じて、各スライスにおいて検出器素子100が互いにオフセットされるように、縦方向にオフセットされてもよいことに留意すべきである。
当然ながら、当業者であれば、変更及び変形が、前述の記述を読み理解するとき思いつくであろう。本発明は、すべてのこのような変更及び変形が添付の特許請求の範囲又はそれと等価なものの範囲内にある限り、それらを含むものとして解釈されることが意図される。
Claims (30)
- 検出器素子の1次元アレイであって、各検出器素子が、
X線放射を受け取る前面、背面及び側面を有する第1のシンチレータと、
前記第1のシンチレータの前記側面に配され、前記第1のシンチレータに光学的に結合され、前記第1のシンチレータによって放出される光を受け取り、それに応じて電気信号を生成する、第1の光検出器と、
を有する、検出器素子の1次元アレイと、
複数の前記第1の光検出器が、第1の回路基板によって担持され、前記第1の光検出器が、前記第1の回路基板と前記第1のシンチレータの側面との間に配される、該第1の回路基板と、
を有するX線検出器アレイ。 - 前記第1の回路基板が、0.150mm又はそれより小さい厚みを有するフレキシブル回路を有する、請求項1に記載のX線検出器アレイ。
- 各検出器素子が更に、
前記第1のシンチレータの前記背面に配され、X線放射を受け取る前面、背面及び側面を有する、第2のシンチレータと、
前記第2のシンチレータの前記側面に配され、前記第2のシンチレータに光学的に結合され、前記第2のシンチレータによって放出される光を受け取り、それに応じて電気信号を生成する、第2の光検出器と、
を有し、複数の前記第2の光検出器が、前記フレキシブル回路に電気的に接続される、請求項2に記載のX線検出器アレイ。 - 各検出器素子が更に、
前記第1のシンチレータの前記背面に配され、X線放射を受け取る前面、背面及び側面を有する、第3のシンチレータと、
前記第3のシンチレータの側面に配され、前記第3のシンチレータと光学的に結合され、前記第3のシンチレータによって放出される光を受け取り、それに応じて電気信号を生成する、第3の光検出器と、
を有し、複数の前記第3の光検出器は、前記フレキシブル回路によって担持される、請求項2に記載のX線検出器アレイ。 - 前記第1の回路基板が、0.150mm又はそれより小さい厚みを有する、請求項1に記載のX線検出器アレイ。
- 前記第1の回路基板が、0.070mm又はそれより小さい厚みを有する、請求項5に記載のX線検出器アレイ。
- 前記光検出器が、約0.030mmの厚みを有するフォトダイオードを有する、請求項6に記載のX線検出器アレイ。
- 前記回路基板が、基板を有し、前記基板が、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート又はポリエステルを含む、請求項5に記載のX線検出器アレイ。
- 前記第1の光検出器が、フォトダイオードを含み、複数の前記フォトダイオードが、共通基板上に製造される、請求項1に記載のX線検出器アレイ。
- 第2の回路基板を更に有し、第1群の複数の前記第1の光検出器が、前記第1の回路基板によって担持され、第2群の複数の前記第1の光検出器が、前記第2の回路基板によって担持される、請求項1に記載のX線検出器アレイ。
- 多次元検出器アレイを形成するよう配される複数のX線検出器アレイを更に有する、請求項1に記載のX線検出器アレイ。
- 前記多次元アレイが、弧状である、請求項11に記載のX線検出器アレイ。
- 前記多次元アレイが、球の一部を形成する、請求項12に記載のX線検出器アレイ。
- 前記第1の回路基板によって担持され、複数の前記第1の光検出器と電気的に通信するマルチプレクサを更に有し、前記マルチプレクサが、前記第1のシンチレータの背方に配される、請求項1に記載のX線検出器アレイ。
- 前記第1の回路基板によって担持される複数の垂直にスタックされた集積回路を更に有する、請求項14に記載のX線検出器アレイ。
- 主表面を有する第1の回路基板と、
放射線を受け取る前面、側面及び背面を有するシンチレータアレイと、
前記シンチレータアレイと前記第1の回路基板の主表面との間に配され、前記回路基板に電気的に接続されるとともに、前記シンチレータアレイによって放出される光を受け取るために前記シンチレータアレイと光学的に通信する、光検出器アレイと、
を有する放射線検出器アレイ。 - 前記第1の回路基板が、0.150mm又はそれより小さい厚みを有する、請求項16に記載の検出器アレイ。
- 前記光検出器アレイが、約0.030mmの厚みを有する、請求項17に記載の検出器アレイ。
- 前記第1の回路基板の厚みが、0.070mm又はそれより小さい、請求項17に記載の検出器アレイ。
- 前記第1の回路基板の厚みが、0.035mm又はそれより小さい、請求項19に記載の検出器アレイ。
- 前記第1の回路基板が、ポリイミドを含む基板を有する、請求項20に記載の検出器アレイ。
- 前記光検出器アレイ及び前記シンチレータアレイが、2次元アレイであり、前記光検出器アレイは、前記シンチレータアレイの前記前面のより近くに配される第1の複数の光検出器と、前記シンチレータアレイの前記背面のより近くに配される第2の複数の光検出器と、を有する、請求項16に記載の検出器アレイ。
- 前記光検出器アレイにおける前記光検出器が、共通基板上に製造される、請求項16に記載の検出器アレイ。
- 前記光検出器アレイは、前記第1の複数の光検出器と前記第2の複数の光検出器との間に配される第3の複数の光検出器を有する、請求項22に記載の検出器アレイ。
- 前記シンチレータアレイが、複数のシンチレータ素子を含み、各シンチレータ素子の横断方向のディメンションが、約1mm×1mmである、請求項16に記載の検出器アレイ。
- 主表面を有する第2の回路基板を更に有し、前記光検出器アレイにおける第1の複数の光検出器が、前記第1の回路基板に電気的に接続され、第2の複数の光検出器が、前記第2の回路基板に電気的に接続される、請求項16に記載の検出器アレイ。
- 前記シンチレータアレイの背方に配される信号処理回路を有する、請求項16に記載の検出器アレイ。
- 前記信号処理回路が、垂直にスタックされる複数の集積回路を有する、請求項27に記載の検出器アレイ。
- 約0.150mmより小さい厚み及び第1の主表面を有するフレキシブル回路と、
複数のX線検出器素子と、
を有し、各検出器素子が、
X線放射を受け取る前面及び側面を有する第1のシンチレータと、
前記第1シンチレータの背面に配され、前記第1のシンチレータを通過したX線放射を受け取る第2のシンチレータと、
前記第1のシンチレータと前記フレキシブル回路の前記主表面との間に配され、前記フレキシブル回路に電気的に接続され、前記第1のシンチレータと光学的に通信する第1のフォトダイオードと、
前記第2のシンチレータと前記フレキシブル回路の前記主表面との間に配され、前記フレキシブル回路に電気的に接続され、前記第2のシンチレータと光学的に通信する第2のフォトダイオードと、
を有する、X線検出器。 - タイリングされた検出器アレイを形成するよう配される複数のX線検出器を有する、請求項29に記載のX線検出器。
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