JP2009505116A5 - - Google Patents
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Claims (21)
- レーザから射出されて入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器であって、
前記レーザから射出された光の帯域幅を示す第1のパラメータを表す第1の出力と、該レーザから射出された光の帯域幅を示す第2のパラメータを表す第2の出力とを提供する光帯域幅モニタと、
前記光帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を用いる多変数方程式の一部として前記第1の出力及び前記第2の出力を用いて実帯域幅パラメータを計算する実帯域幅計算装置と、
を含み、
前記多変数方程式は、対称性に敏感な項を含むことを特徴とする帯域幅計測器。 - 前記実帯域幅パラメータは、前記レーザから射出された光のスペクトルの全幅内の最大値のある百分率におけるスペクトル全幅(「FWXM」)を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記実帯域幅パラメータは、前記レーザから射出された光のスペクトルの全スペクトルのエネルギーのある百分率を含むスペクトルのコンテンツを定める前記スペクトル上の2点間の幅(「EX」)を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記帯域幅モニタは、エタロンを更に含み、前記第1の出力は、FWXMにおける前記エタロンの光出力の縞の幅、又は前記レーザから射出された光の全スペクトルのエネルギーのある百分率を含む前記スペクトル上の2点間の幅(「EX’」)のうちの少なくとも一方を表し、前記第2の出力は、X≠X’’及びX’≠X’’’であるときに、第2のFWX’’M又はEX’’’のうちの少なくとも一方を表すことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記帯域幅モニタは、エタロンを更に含み、前記第1の出力は、FWXMにおける前記エタロンの光出力の縞の幅、又は前記レーザから射出された光の全スペクトルのエネルギーのある百分率を含む前記スペクトル上の2点間の幅(「EX’」)のうちの少なくとも一方を表し、前記第2の出力は、X≠X’’及びX’≠X’’’であるときに、第2のFWX’’M又はEX’’’のうちの少なくとも一方を表すことを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記予め計算された較正変数は、更に、信頼できる基準を用いて、較正スペクトルに対する前記第1及び第2の出力の発生と相関のある、前記実帯域幅パラメータの値の測定から導出されることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記実帯域幅パラメータの値は、更に、次式、
推定実BWパラメータ=K*w1+L*w2+M
から計算され、ここで、w1=FWXM又はEX’を表す第1の測定出力、及びw2は、FWX’’M又はEX’’’を表す第2の測定出力であることを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記対称性に敏感な項は、更に、前記レーザから射出された光のスペクトルにおける非対称性に起因する前記実帯域幅パラメータの誤差に対する誤差修正を含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。
- 前記対称性に敏感な項は、更に、前記第1のパラメータ及び前記第2のパラメータの各々についての、波長空間における中点の位置間の差を含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。
- 前記第1のパラメータ及び前記第2のパラメータは、更に、該第1のパラメータ及び該第2のパラメータを測定するために用いられる縞パターンにおける小さな非対称性に十分敏感であるのに十分なだけ遠く離れるように選択されることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- レーザ光源のエネルギーの波長分布に従って前記レーザ光源の出力を含むエネルギーを空間的又は時間的領域内に分散させる光学的分散機器と、
エネルギーの波長分布の空間的又は時間的変動をそれぞれ記録し、前記記録された空間的又は時間的変動に基づいて出力信号を提供する検出器と、
それぞれ前記検出器によって記録されたエネルギーの波長分布の前記空間的又は時間的変動に基づいて、それぞれ空間又は時間領域において、エネルギーの波長分布の幅を計算し、前記分散機器の光学的特性に従って前記空間的又は時間的分布を波長領域にそれぞれ変換する第1の計算装置と、
前記光源、前記分散機器、前記検出器、及び引数とみなされる少なくとも1つの幅に固有の所定の較正変数を有する多変数方程式の引数として前記少なくとも1つの幅を適用することによって、前記第1の計算装置により計算された、前記波長領域におけるエネルギーの波長分布の該少なくとも1つの幅を用いる第2の計算装置と、
を含み、
前記多変数方程式は、対称項を含む
ことを特徴とする帯域幅計測器。 - 前記第1の計算装置及び前記第2の計算装置は、更に、同じ計算装置を含むことを特徴とする請求項11に記載の装置。
- X≠X’及びX’’≠X’’’であるときに、前記少なくとも1つの幅は、更に、前記光源から射出された光のスペクトルの全幅内の最大値のある百分率におけるスペクトル全幅(「FWXM」)及び(「FWX’M」)と、該光源から射出された光のスペクトルの全スペクトルのエネルギーのある百分率を含むスペクトルのコンテンツを定める前記スペクトル上の2点間の幅(「EX’’」)及び(「EX’’’」)とを含む群から選択される少なくとも2つの幅を含むことを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記多変数方程式の値を評価して、前記群FWX*M、EX**から選択された前記光源によるエネルギー出力のスペクトル分布を記述する実帯域幅パラメータを計算することを更に含むことを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記対称性に敏感な項は、更に、前記レーザから射出された光のスペクトルにおける非対称性に起因する前記実帯域幅パラメータの誤差に対する誤差修正を含むことを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 前記対称性に敏感な項は、更に、前記第1のパラメータ及び前記第2のパラメータの各々についての、波長空間における中点の位置間の差を含むことを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 前記第1のパラメータ及び前記第2のパラメータは、更に、該第1のパラメータ及び該第2のパラメータを測定するために用いられた縞パターンにおける小さな非対称性に十分敏感であるのに十分なだけ遠くに離れるように選択されることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- レーザから射出されて入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器であって、
前記レーザから射出された光の帯域幅を示す第1のパラメータを表す第1の出力と、該レーザから射出された光の帯域幅を示す第2のパラメータを表す第2の出力とを提供する光帯域幅モニタと、
前記光帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を用いる多変数方程式の一部として前記第1の出力及び前記第2の出力を用いて実帯域幅パラメータを計算する実帯域幅計算装置と、
を含み、
前記多変数方程式は、
E95〜=A(x,y)*FWx%+B(x,y)*FWy%+C(A,B,C;x,y)*(中点(x%)−中点(y%))+D
を含むことを特徴とする帯域幅計測器。 - 縞の検出のための線形フォトダイオード・アレイを用いた、高精度でパルス間の波長を測定するためのオンボードの高繰返し率ガス放電レーザ・システムに用いるための分光計であって、
縞パターンを前記線形フォトダイオード・アレイに提供するエタロンと、
測定される縞次数を前記フォトダイオード・アレイ上のより好ましい位置に移動させる縞次数位置決め機構と、
を含むことを特徴とする分光計。 - 前記線形アレイ上の局所的な線形分散(dλ/dR)が十分に小さい、より浅い角度に縞次数を位置決めする縞次数位置決め機構を更に含むことを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記縞次数位置決め機構は、更に、帯域幅測定コンピュータからの信号に応答して動作されることを特徴とする請求項19に記載の装置。
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