JP2009500618A - 最適化された容量性容積を有する素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態による容量性素子の第1例の概略上面図である。図2は、本発明の第1実施形態の第2例による容量性素子の概略上面図である。図3は、図2の実施形態の素子の変形例である。図4は、本発明の第1実施形態の第2例の第2変形例による容量性素子の概略上面図である。図5は、この発明による素子の第2実施形態の詳細部の斜視図である。図6は、図5の実施形態の素子の変形例である。図7は、図5の詳細部を含む素子の斜視図である。
hは、構造体の厚さであり、
ldは、フィンガーの長さであり、
Sは、フィンガーの側方の容量性表面積であり、
Δは、静止した状態における2つのインターデジタルなフィンガーを離隔するギャップの厚さであり、
Qは、フィンガーに蓄積される電荷であり、
Feは、X方向に従ってフィンガーによって働かされた静電力であり、
Crepos(Crest)は、静止した状態におけるフィンガーによって見られる静電容量の値(2つの隣接するフィンガーから等距離にあるフィンガー)、
αは、変位の方向Xとフィンガーの容量性の表面とによって形成される角度であり、“0”で示されるパラメータは、傾斜していない櫛状部の標準的な場合(α0=90°)に相当する。
−櫛状部402.1及び404の間に電位差が印加されると、静電力が方向413において櫛状部404に印加される。
−櫛状部402.2及び404の間に電位差が印加されると、静電力が方向412において櫛状部404に印加される。
4、104、204、304、404 第2の櫛状部
6、8、106、108、206、208 フィンガー
10、11 本体部
105、205 フレーム
126、207 メインアーム
128 第2アーム
Claims (23)
- それぞれインターデジタルなフィンガーを備える少なくとも第1の櫛状部(2、102、202、302、402.1、402.2)と第2の櫛状部(4、104、204、304、404)とを有する容量性素子であって、前記櫛状部が、前記フィンガーの軸から近接離隔して少なくとも1つの決定された第1方向(X)に従って互いに移動可能であり、前記第1の櫛状部(2、102、202、302、402.1、402.2)の少なくとも1つのフィンガーが、前記第2の櫛状部(4、104、204、304、404)のフィンガーの面に対向する面を有する素子において、
前記第1の櫛状部のフィンガーの軸と前記第2の櫛状部のフィンガーの軸とは、前記櫛状部の変位の前記第1方向(X)に対して直交する平面に対して傾斜しており、前記平面は、前記第1方向(X)に垂直な第2方向(Y)及び第3方向(Z)によって画定され、前記第2方向及び第3方向間でも垂直である、容量性素子。 - 前記フィンガー(6、8、108、106、208、206)の面は、前記第3方向(Z)を含む平面に平行な平面に従って延長する、請求項1に記載の素子。
- 前記フィンガーの面は、前記第2方向(Y)を含む平面に平行な平面に従って延長する、請求項1に記載の素子。
- 前記フィンガーの面は、前記第2及び第3方向(Y、Z)に対して傾斜している、請求項1に記載の素子。
- 前記フィンガーの対向する面は、互いに平行である、請求項1から4の何れか一項に記載の素子。
- 前記フィンガーは、第1(X)及び第2(Y)方向によって画定される平面に平行な平面に従って実質的に長方形の断面を有する、請求項1から5の何れか一項に記載の素子。
- 前記フィンガー(206、208)は、第1(X)及び第2(Y)方向によって画定される平面に平行な平面に従って実質的に台形の断面を有する、請求項1から5の何れか一項に記載の素子。
- 前記第1(2)及び第2(4)の櫛状部の各々は、前記第1(2)及び第2(4)の櫛状部のフィンガー(6、8)に一端でそれぞれ接続される本体部(10、11)を有する、請求項1から7の何れか一項に記載の素子。
- 前記本体部(10、11)は、変位の前記第1方向(X)に平行な軸に従って少なくとも部分的に実質的に延長している、請求項8に記載の素子。
- 前記第1の櫛状部(102、202)は、前記フレームの内部に向かってある角度で延長するフィンガー(106、206)を有する実質的に長方形のフレーム(105、205)を有し、前記第2の櫛状部(104、204)は、前記第1方向(X)に従って延長するメインアーム(126、207)を有し、前記第2の櫛状部(104、204)のフィンガー(108、208)は、前記メインアームからある角度で延長している、請求項1から9の何れか一項に記載の素子。
- 前記第2の櫛状部(104)は、メインアーム(126)に垂直で、前記第2方向(Y)に従って実質的に延長する第2アーム(128)をさらに有し、前記第2の櫛状部(104)のフィンガー(108)は、第2アーム(128)からある角度で延長している、請求項10に記載の素子。
- 前記第1方向(X)を含む対称平面と、前記第1方向(X)に垂直な第2方向(Y)を含む対称平面と、を有する、請求項11に記載の素子。
- 前記第2の櫛状部は、前記第1の櫛状部に対して静止した状態で偏心化されている、請求項1から12の何れか一項に記載の素子。
- 前記櫛状部(102、104)は、前記第2方向(Y)において相対的な変位を有する、請求項1から13の何れか一項に記載の素子。
- 前記第1方向(X)の変位に従って前記第1の櫛状部(102、202)に対する前記第2の櫛状部(104、204)の変位を可能にするガイド手段(138、206)を有する、請求項1から13の何れか一項に記載の素子。
- 前記ガイド手段(138、216)は、前記第1の櫛状部(102、202)の前記フレーム(105、205)に対する前記第2櫛状部(104、204)の前記メインアーム(126、207)の端部に接続される、請求項10、11または12を組み合わせた請求項15に記載の素子。
- 前記フレーム(105)は、前記大きな側部の中心位置に、三角形の形態を有するフィンガー(110’)を有し、前記第2の櫛状部(104)の前記第2アーム(128)は、対向する前記フレーム(105)の三角形の形態のフィンガー(110’)を受容する空間を画定するように、各々の端部に互いに傾斜した2つのフィンガーを有する、請求項10、11または12に記載の素子。
- フィンガー(306、308)は、V字形を形成するように2つの平面(R1、R2)に従って延長する、請求項1から17の何れか一項に記載の素子。
- 前記第2の櫛状部(404)は、前記本体部(410)の両側から延長するフィンガー(408)を有し、前記第2櫛状部の前記フィンガーは、前記本体部(410)の両側に配置される前記第1櫛状部(402.1、402.2)のフィンガー(406.1、406.2)とインターデジタルである、請求項1から18の何れか一項に記載の素子。
- ある方向(412)及びその反対方向(413)に従って前記第1の櫛状部に対する前記第2の櫛状部の変位を可能にするように、前記第1の櫛状部(402.1、402.2)のフィンガー(406.1、406.2)と前記第2の櫛状部(404)のフィンガーとの間に配置される静電ミラー(414)を有する、請求項19に記載の素子。
- 前記第1の櫛状部は固定され、前記第2の櫛状部は、前記第1の櫛状部に対して移動可能である、請求項1から20の何れか一項に記載の素子。
- 前記第1の櫛状部は、前記第2の櫛状部から電気的に絶縁されている、請求項1から21の何れか一項に記載の素子。
- 前記第1及び第2の櫛状部は、絶縁基板に組み立てられている、請求項22に記載の素子。
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