JP2009301821A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理対象管Z(処理対象体)を貫通させる貫通孔22aが形成された筐体11と、筐体11に立設されると共に高周波信号Sを入力して放射する放射器14とを備えて、高周波信号Sの放射によって放射器14の近傍にプラズマPを発生させるプラズマ処理装置1であって、貫通孔22aに貫通させた状態で筐体11に取り外し可能に取り付けられると共に、筐体11の内面に対する接離方向への処理対象管Zの移動を規制しつつ、貫通方向に沿っての処理対象管Zの移動を許容する位置決め部材15を備えている。
【選択図】図1
Description
2 プラズマ処理室
3 ガス供給部
4 高周波電源
11 筐体
13 カップリングループ
14,14a 放射器
15a〜15g 位置決め部材
21 筒体
21a〜23a 貫通孔
22 閉塞板
23 取付け板
23b 凹部
31 本体部
31a 中心孔
32 鍔部
32a テーパ部
G プラズマ放電用ガス
L1,L2,L5a〜L5c,L6 内径
L3,L4a,L4b 外径
L7a,L7b 距離
L8a,L8c,L9a,L9b 長さ
P プラズマ
S 高周波信号
Za〜Zc 処理対象管
Claims (5)
- 処理対象体を貫通させる貫通孔が形成された筐体と、前記筐体に立設されると共に高周波信号を入力して放射する放射器とを備えて、前記高周波信号の放射によって前記放射器の近傍にプラズマを発生させるプラズマ処理装置であって、
前記貫通孔に貫通させた状態で前記筐体に取り外し可能に取り付けられると共に、当該筐体の内面に対する接離方向への前記処理対象体の移動を規制しつつ、前記貫通方向に沿っての当該処理対象体の移動を許容する位置決め部材を備えているプラズマ処理装置。 - 前記位置決め部材は、前記処理対象体を前記貫通方向に沿って案内可能な筒状に形成されている請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記位置決め部材における中心孔の断面形状および当該中心孔の最小の内径の少なくとも一方が相違する複数種類の前記位置決め部材を備えて、当該複数種類の位置決め部材のうちから前記処理対象体の断面形状および当該処理対象体の最大の外径に応じた1つの当該位置決め部材を取り付け可能に構成されている請求項2記載のプラズマ処理装置。
- 前記位置決め部材は、前記貫通方向手前側の内径が当該貫通方向に向かうに従って徐々に小径となるテーパ部が形成されている請求項2または3記載のプラズマ処理装置。
- 前記位置決め部材は、前記貫通孔に貫通可能な本体部と、当該本体部の一端側に設けられた鍔部とを備え、
前記筐体は、前記貫通孔が形成された筐体本体と、前記貫通孔に対する前記本体部の貫通方向に沿って前記鍔部を前記筐体本体に押し付けて前記位置決め部材を当該筐体本体に取り外し可能に取り付ける取付け板とを備えている請求項1から4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPH06188094A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Kazuo Sugiyama | 同軸形のマイクロ波プラズマ発生器 |
JPH0857038A (ja) * | 1993-06-07 | 1996-03-05 | Agency Of Ind Science & Technol | プラスチックチュ−ブ、抗血栓性医用材料及び医療用具並びにこれらの製造方法、製造装置及びプラズマ処理装置 |
JPH0885160A (ja) * | 1994-05-06 | 1996-04-02 | Medtronic Inc | 高分子物質製の管内通路のプラズマ放電処理装置、同処理方法並びにこれらにより製造したシリコンゴム管 |
-
2008
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