JP2009297976A - ヘッド検査装置及びヘッド検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドの振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行う。
【解決手段】ヘッド検査装置１００であって、インクジェットヘッドＳのノズルから吐出させたインク滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１撮像部３１と、ノズルから吐出させたインク滴を第１撮像部と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２撮像部３２と、第１撮像部及び第２撮像部による撮像結果に基づいて、インク滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成して、生成された第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を判定する画像処理部５と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、ヘッドのノズルからの液滴吐出を検査するヘッド検査装置及びヘッド検査方法に関する。

従来、インクジェットプリンタなどに搭載され、インクジェット方式でノズルから液滴を吐出するヘッドを検査する方法が知られている。具体的には、検査装置のヘッド取付部に対して取り付けられたヘッドのノズルからの液滴を吐出して、その吐出速度、吐出量、吐出角度等を検査する（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−１５１９２号公報

しかしながら、ヘッドの検査を行う時に、ヘッド取付部に対するヘッドの取付け方が悪いと、ヘッドの移動時に取り付け部が振動して同一ノズルから吐出される液滴の吐出角度にバラツキが発生し、結果的に正確な検査をできないという問題があった。
特に、ノズル数が多い長尺のヘッドの場合、検査に時間がかかるため、検査時間の短縮を図る上でヘッドの移動速度を速くすると、振動が発生し易くなって検査結果への取付けの影響が大きくなるという問題があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ヘッドの振動の影響、特に、異常振動の方向依存性を考慮してヘッド検査を適正に行うことができるヘッド検査装置及びヘッド検査方法の提供を課題とする。

以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明のヘッド検査装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段と、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像手段と、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像手段と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像手段と、
前記第１の撮像手段及び前記第２の撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のヘッド検査装置において、
前記状態情報生成手段は、前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきに係る第１のばらつき情報及び第２のばらつき情報を生成し、
前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記第１のばらつき情報及び前記第２のばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴としている。

請求項３に記載の発明のヘッド検査装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段と、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像手段と、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像手段と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像手段と、
前記第１の撮像手段及び前記第２の撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る第１の基準状態情報及び第２の基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記第１の基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第１の吐出状態情報、及び前記基準記憶手段に記憶されている前記第２の基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のヘッド検査装置において、
前記状態情報生成手段は、前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきに係る第１のばらつき情報及び第２のばらつき情報を生成し、
前記基準記憶手段は、前記第１の基準状態情報及び第２の基準状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきの許容範囲に係る第１のばらつき基準情報及び第２のばらつき基準情報を記憶し、
前記状態判定手段は、前記基準記憶手段に記憶されている前記第１のばらつき基準情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第１のばらつき情報、及び前記基準記憶手段に記憶されている前記第２のばらつき基準情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第２のばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴としている。

請求項５に記載の発明のヘッド検査装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像手段と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像手段と、
前記第１の撮像手段及び前記第２の撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のヘッド検査装置において、
前記状態情報生成手段は、前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報として、前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきに係る第１のばらつき情報及び第２のばらつき情報を生成し、
前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記第１のばらつき情報及び前記第２のばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴としている。

請求項７に記載の発明のヘッド検査方法は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像処理と、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像処理と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像処理と、
前記第１の撮像処理及び前記第２の撮像処理による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成処理と、
前記状態情報生成処理により生成された前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定処理と、
を行うことを特徴としている。

請求項８に記載の発明のヘッド検査方法は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段と、液滴の吐出状態の判定に係る第１の基準状態情報及び第２の基準状態情報を記憶する基準記憶手段とを備えるヘッド検査装置を用いて、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像処理と、
前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像処理と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像処理と、
前記第１の撮像処理及び前記第２の撮像処理による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成処理と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記第１の基準状態情報と前記状態情報生成処理により生成された前記第１の吐出状態情報、及び前記基準記憶手段に記憶されている前記第２の基準状態情報と前記状態情報生成処理により生成された前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定処理と、
を行うことを特徴としている。

請求項９に記載の発明のヘッド検査方法は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像処理と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像処理と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像処理と、
前記第１の撮像処理及び前記第２の撮像処理による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成処理と、
前記状態情報生成処理により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定処理と、
を行うことを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、異なる２方向からの撮像結果に基づいて生成された液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することができるので、ヘッド検査装置に取り付けられた状態のヘッドの振動の影響、特に、異常振動の方向依存性を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。

請求項３に記載の発明によれば、第１の撮像手段による所定方向からの撮像結果に基づいて生成された液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報と液滴の吐出状態の判定に係る第１の基準状態情報、及び第２の撮像手段による第１の撮像手段と異なる方向からの撮像結果に基づいて生成された液滴の吐出状態に係る第２の吐出状態情報と液滴の吐出状態の判定に係る第２の基準状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することができるので、ヘッド検査装置に取り付けられた状態のヘッドの振動の影響、特に、異常振動の方向依存性を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。

請求項５に記載の発明によれば、ヘッドの移動前後各々における、異なる２方向からの撮像結果に基づいて生成された液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することができるので、ヘッドの移動により生じるヘッドの振動の影響、特に、異常振動の方向依存性を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。

以下、本発明の実施形態について、図１〜図１３を参照して説明する。

［実施形態１］
図１は、本発明を適用した実施形態１のヘッド検査装置１００の概略構成を示すブロック図であり、図２（ａ）及び図２（ｂ）は、ヘッド検査装置１００に備わる第１撮像部３１及び第２撮像部３２と第１発光部４１及び第２発光部４２の配置を模式的に示す図である。また、図３は、ヘッド検査装置１００の制御部７の構成を示す図である。
また、以下の説明では、インクジェットヘッドＳのノズル（図示略）の並び方向を左右方向とし、左右方向に直交する一方向を前後方向とし、前後方向及び左右方向の双方に直交する方向を上下方向とする。

実施形態１のヘッド検査装置１００は、検査対象となるインクジェットヘッドＳが取り付けられる搬送ステージ１と、インクジェットヘッドＳを駆動するヘッド駆動部２と、インクジェットヘッドＳのノズルから吐出されたインク滴（液滴）を撮像する第１撮像部３１及び第２撮像部３２と、第１撮像部３１及び第２撮像部３２によるインク滴の撮像の際に発光する第１発光部４１及び第２発光部４２と、第１撮像部３１及び第２撮像部３２により撮像されたインク滴の画像を処理する画像処理部５と、検査結果を表示するモニタ６と、各部を制御する制御部７とを備えている。

インクジェットヘッドＳは、特に限定されるものではなく、例えば、図示は省略するが、チャネルに対して圧電素子の収縮により圧力を付与して、チャネルの出口に連通するノズルからインク滴（液滴）を吐出させるヘッドチップを具備している。
ヘッドチップには、ノズルが所定方向に並んで複数形成されている。

搬送ステージ（取付手段）１は、インクジェットヘッドＳをそのノズル列方向が左右方向となるように取り付けるものである。また、搬送ステージ１は、ヘッド移動手段として、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを案内部材（図示略）により左右方向に移動させる。
即ち、搬送ステージ１は、ヘッド検査の際に、複数のノズルのうち、検査対象となるノズルから吐出されたインク滴が第１撮像部３１の画角内に入るようにインクジェットヘッドＳを左右方向に移動させる。これにより、複数のノズル全ての検査を行うことができる。

ヘッド駆動部（駆動手段）２は、ヘッド検査の際に、制御部７の制御下にて、所定の駆動条件に基づいてインクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させる。
即ち、ヘッド駆動部２は、ヘッドチップのチャネルに並設された駆動壁を駆動させるための駆動電極に所定の駆動信号を出力して、当該駆動信号に従って駆動壁を膨張・収縮させることにより、ノズルからインク滴を吐出させる。

第１撮像部３１及び第１発光部４１は、第１の方向からインク滴を撮像するように配置され、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、搬送ステージ１に取り付けられたインクジェットヘッドＳの下側にて、前後方向に沿って対向するように配置されている。
また、第２撮像部３２及び第２発光部４２は、第１の方向と異なる第２の方向（例えば、略９０°異なる方向）からインク滴を撮像するように配置され、具体的には、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、インクジェットヘッドＳの下側にて、左右方向に沿って対向するように配置されている。

第１発光部４１は、第１撮像部３１によるインク滴の撮像の際に光を照射し、第２発光部４２は、第２撮像部３２によるインク滴の撮像の際に光を照射する。
第１発光部４１及び第２発光部４２としては、撮像時にインク滴に光を照射することができるものであれば如何なるものであっても良く、例えば、ストロボ、ＬＥＤ等を適用することができる。

第１撮像部３１及び第２撮像部３２（撮像手段）は、制御部７の制御下にて、画角内を連続的に撮像して画像データを生成する。具体的には、第１撮像部３１及び第２撮像部３２は、図示は省略するが、撮像レンズと、撮像レンズを通過した被写体像を二次元の画像信号に変換するＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal-oxide Semiconductor）等の電子撮像部と、電子撮像部に所定の露出時間で被写体を撮像させ、当該電子撮像部の撮像領域から画像信号（画像フレーム）を所定のフレームレートで読み出す処理の実行を制御する撮影制御部等を備えている。

また、第１撮像部３１及び第２撮像部３２は、ノズルから吐出させたインク滴を第１発光部４１及び第２発光部４２が発光する第１のタイミングで撮像した後（撮像１；図４参照）、所定時間経過後に第１発光部４１及び第２発光部４２が再度発光する第２のタイミングで撮像して（撮像２；図４参照）、それぞれの画像データを生成する。
即ち、第１撮像部３１及び第２撮像部３２は、ノズルから吐出させたインク滴を所定時間を空けて複数回撮像する。

画像処理部５は、制御部７の制御下にて、第１撮像部３１及び第２撮像部３２による撮像により生成された画像データに基づいて、液滴の重心位置を算出したり、液滴の吐出角度のばらつきを算出したり、ばらつきが許容値よりも小さいか否かの判定を行う（詳細後述）。

制御部７は、ヘッド検査装置１００の各部を制御するものであり、例えば、図３に示すように、ＣＰＵ７１と、ＲＡＭ７２と、記憶部７３等を備えている。

ＣＰＵ７１は、当該ヘッド検査装置１００の各部を統括的に制御するものであり、記憶部７３に記憶された各種処理プログラムに従って各種の制御動作を行う。その際に、ＣＰＵ７１は、ＲＡＭ７２内の格納領域内に各種処理結果を格納させ、必要に応じてその処理結果をモニタ６に表示させるようになっている。

ＲＡＭ７２は、例えば、ＣＰＵ７１により実行される処理プログラム等を展開するためのプログラム格納領域や、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等を格納するデータ格納領域などを備える。

記憶部７３は、例えば、ハードディスクドライブ等により構成され、ヘッド検査装置１００で実行可能なシステムプログラム、当該システムプログラムで実行可能な各種処理プログラム、これら各種処理プログラムを実行する際に使用されるデータ等を記憶する。
具体的には、記憶部７３は、撮像制御プログラム７３ａ、重心算出制御プログラム７３ｂ、第１状態情報生成制御プログラム７３ｃ、第１状態判定制御プログラム７３ｄ等を記憶している。

撮像制御プログラム７３ａは、インクジェットヘッドＳのノズルから吐出されたインク滴を第１撮像部３１及び第２撮像部３２に所定時間を空けて複数回撮像させる処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が撮像制御プログラム７３ａを実行することで、第１撮像部３１及び第２撮像部３２にノズルから吐出したインク滴を第１発光部４１及び第２発光部４２が発光する第１のタイミングで撮像させた後（撮像１；図４（ａ）及び図４（ｂ）参照）、所定時間経過後に第１発光部４１及び第２発光部４２が再度発光する第２のタイミングで撮像させる（撮像２；図４（ａ）及び図４（ｂ）参照）。

重心算出制御プログラム７３ｂは、第１撮像部３１及び第２撮像部３２に撮像され生成されたインク滴の重心位置を画像処理部５に算出させる重心算出処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が重心算出制御プログラム７３ｂを実行することで、画像処理部５は、第１のタイミングで第１撮像部３１及び第２撮像部３２により撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）、（Xb1，Yb1）、及び第２のタイミングで第１撮像部３１及び第２撮像部３２により撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）、（Xb2，Yb2）を算出する（図４（ａ）及び図４（ｂ）参照）。
なお、インク滴の重心位置の算出手法は、特に限定されるものではなく、例えば、撮像したインク滴の画像イメージを、所定のサンプル形状と重心位置が対応付けられた参照テーブルを参照して、類似の形状を選択して重心を決定する方法が挙げられる。
また、インク滴の重心は、撮像画像内の所定位置（例えば、中央）を基準（原点）として算出される。

第１状態情報生成制御プログラム７３ｃは、第１撮像部３１及び第２撮像部３２によるインク滴の撮像結果に基づいて、所定のノズルからのインク滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を画像処理部（状態情報生成手段）５に生成させる状態情報生成処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第１状態情報生成制御プログラム７３ｃを実行することで、画像処理部５は、重心算出処理の算出結果に係る第１の方向から撮像されたインク滴の重心に基づいて算出された当該インク滴の吐出角度θＡのばらつきに基づいて、第１の吐出状態情報（第１のばらつき情報）として標準偏差σＡ(1)を生成するとともに、重心算出処理の算出結果に係る第２の方向から撮像されたインク滴の重心に基づいて算出された当該インク滴の吐出角度θＢのばらつきに基づいて、第２の吐出状態情報（第２のばらつき情報）として標準偏差σＢ(1)を生成する。
なお、インク滴の吐出角度（θＡ）は、ノズルから略直下に延在する線分に対してインク滴が左右方向にずれた角度であり、θＡ＝tan-1｛（Xa2-Xa1）/（Ya2-Ya1）｝の式に従って算出される。また、インク滴の吐出角度（θＢ）は、ノズルから略直下に延在する線分に対してインク滴が前後方向にずれた角度であり、θＢ＝tan-1｛（Xb2-Xb1）/（Yb2-Yb1）｝の式に従って算出される。

第１状態判定制御プログラム７３ｄは、状態情報生成処理にて生成された第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を画像処理部（状態判定手段）５に判定させる状態判定処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第１状態判定制御プログラム７３ｄを実行することで、画像処理部５は、第１撮像部３１の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)から、第２撮像部３２の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が比較用の許容値α1よりも小さいか否かに応じてインク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。

例えば、許容値α1を０．０２と設定した場合に、第１の方向から撮像した際の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)が０．０３１であり（図５（ａ）参照）、第２の方向から撮像した際の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)が０．０３２であったとすると（図５（ｂ）参照）、σＡ(1)−σＢ(1)が−０．００１となり、その絶対値が許容値α1（＝０．０２）よりも小さくなって、画像処理部５は、インク滴の吐出状態は正常であると判定する。
これに対して、第１の撮像方向から撮像した際の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)が０．０８１であり（図６（ａ）参照）、第２の方向から撮像した際の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)が０．０４５であったとすると（図６（ｂ）参照）、σＡ(1)−σＢ(1)が０．０３６となり、その絶対値が許容値α1（＝０．０２）以上となって、画像処理部５は、インク滴の吐出状態は異常であると判定する。

次に、ヘッド検査処理について、図７及び図８を参照して説明する。
図７は、ヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
なお、以下のヘッド検査処理にあっては、状態判定処理における比較用の許容値α1がユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力されて設定されているものとする。

図７に示すように、先ず、搬送ステージ１の所定の取付部にインクジェットヘッドＳを取り付けた後（ステップＳ１）、吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ２）。

以下に、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理について図８を参照して説明する。
図８は、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。

図８に示すように、先ず、ユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて、制御部７は、各ノズルからのインク滴の吐出角度の測定回数を設定するとともに、インク滴の吐出から第１発光部４１及び第２発光部４２の発光タイミングに係るストロボディレイ時間をそれぞれ設定する（ステップＳ２１）。
ストロボディレイ時間とは、インクジェットヘッドＳのノズルからインク滴を吐出するタイミングから第１発光部４１及び第２発光部４２を発光させて第１撮像部３１及び第２撮像部３２により撮像するまでの遅延時間である。このストロボディレイ時間として、具体的には、インク滴を第１のタイミングで撮像するためのストロボディレイ時間１と、インク滴を第２のタイミングで撮像するために、ストロボディレイ時間１から設定された遅延時間経過後に撮像を行うストロボディレイ時間２を設定する。

次に、ヘッド駆動部２は、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させる（ステップＳ２２）。
続けて、制御部７のＣＰＵ７１は、記憶部７３の撮像制御プログラム７３ａを実行して、設定されたストロボディレイ時間に従って第１のタイミングで第１発光部４１及び第２発光部４２を発光させて、ノズルから吐出したインク滴を第１撮像部３１及び第２撮像部３２に撮像させた後、第２のタイミングで第１発光部４１及び第２発光部４２を再度発光させて、同じインク滴を第１撮像部３１及び第２撮像部３２に再度撮像させる（ステップＳ２３）。

次に、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の重心算出制御プログラム７３ｂを実行して、画像処理部５は、第１のタイミングで第１撮像部３１及び第２撮像部３２により撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）、（Xb1，Yb1）、及び第２のタイミングで第１撮像部３１及び第２撮像部３２により撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）、（Xb2，Yb2）を算出する（ステップＳ２４：重心算出処理）。続けて、制御部７のＣＰＵ７１は、重心算出処理にて算出された第１の方向及び第２の方向から撮像されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから吐出されたインク滴の吐出角度θＡ、θＢを画像処理部５に算出させる（ステップＳ２５）。

そして、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したか否かを判定する（ステップＳ２６）。
ここで、測定回数に達していないと判定されると（ステップＳ２６；ＮＯ）、ステップＳ２２に移行して、それ以降の処理を、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達するまで（ステップＳ２６；ＹＥＳ）繰り返す。

ステップＳ２６にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したと判定されると（ステップＳ２６；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第１状態情報生成制御プログラム７３ｃを実行して、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度θＡに基づいて当該インク滴の吐出角度θＡのばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて標準偏差σＡ(1)を算出するとともに、所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度θＢに基づいて当該インク滴の吐出角度θＢのばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて標準偏差σＢ(1)を算出する（ステップＳ２７：状態情報生成処理）。
これにより、吐出角度ばらつき測定処理を終了する。

その後、図７に示すように、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第１状態判定制御プログラム７３ｄを実行して、画像処理部５は、第１撮像部３１の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)から、第２撮像部３２の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α1よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ３：状態判定処理）。
ここで、|σＡ(1)−σＢ(1)|が許容値α1よりも小さいと判定されると（ステップＳ３；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が正常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に正常である旨を表示させる（ステップＳ４）。
一方、|σＡ(1)−σＢ(1)|が許容値α1以上であると判定されると（ステップＳ３；ＮＯ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が異常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に異常である旨を表示させる（ステップＳ５）。

そして、上記の検査を全てのノズルについて行った後、搬送ステージ１からインクジェットヘッドＳを取り外して、当該ヘッド検査処理を終了する（ステップＳ６）。

以上のように、実施形態１のヘッド検査装置１００によれば、異なる２方向からの撮像結果に基づいて生成されたインク滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を判定することができる。
具体的には、第１撮像部３１の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)から、第２撮像部３２の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が許容値α1よりも小さいか否かに応じて、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定することができる。
従って、インクジェットヘッドＳの取付けの向きに応じた振動の影響、即ち、長尺なインクジェットヘッドＳの場合には、長手方向に略直交する短手方向に揺動するように振動し易くなることから、当該インクジェットヘッドＳの振動の影響、特に、異常振動の方向依存性を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。

［実施形態２］
以下に、実施形態２のヘッド検査装置について、図９及び図１０を参照して説明する。
図９は、本発明を適用した実施形態２のヘッド検査装置の制御部７の構成を示す図である。

実施形態２のヘッド検査装置は、図９及び図１０に示すように、状態判定処理にて、第１の基準値σＡ(0)から所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値と許容値α2を比較するとともに、第２の基準値σＢ(0)から所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値と許容値α3を比較して、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。
なお、実施形態２のヘッド検査装置は、制御部７の構成以外の点で上記実施形態１のヘッド検査装置１００と略同様の構成をなし、その説明は省略する。

制御部７の記憶部７３には、撮像制御プログラム７３ａ、重心算出制御プログラム７３ｂ、第１状態情報生成制御プログラム７３ｃに加えて、第２状態判定制御プログラム７３ｅ、第１の基準データｄ１及び第２の基準データｄ２を記憶している。

第１の基準データｄ１は、インク滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報として、ユーザによる設定入力部の所定操作に基づいて入力された基準値σＡ(0)である。基準値σＡ(0)は、ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきの許容範囲を規定するための情報（第１のばらつき基準情報）である。
第２の基準データｄ２は、インク滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報として、ユーザによる設定入力部の所定操作に基づいて入力された基準値σＢ(0)である。基準値σＢ(0)は、ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきの許容範囲を規定するための情報（第２のばらつき基準情報）である。
ここで、記憶部７３は、第１の基準状態情報及び第２の基準状態情報を記憶する基準記憶手段を構成している。

第２状態判定制御プログラム７３ｅは、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの第１の吐出状態情報と記憶部７３に記憶されている第１の基準データｄ１、及び状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの第２の吐出状態情報と記憶部７３に記憶されている第２の基準データｄ２に基づいて、インク滴の吐出状態を画像処理部５（状態判定手段）に判定させる状態判定処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第２状態判定制御プログラム７３ｅを実行することで、画像処理部５は、基準値σＡ(0)から第１撮像部３１の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値が比較用の許容値α2よりも小さいか否か、且つ、基準値σＢ(0)から第２撮像部３２の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が比較用の許容値α3よりも小さいか否かに応じてインク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。

次に、ヘッド検査処理について、図１０を参照して説明する。
図１０は、ヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
なお、以下のヘッド検査処理にあっては、状態判定処理における比較用の許容値α2、α3がユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力されて設定されているものとする。

図１０に示すように、先ず、搬送ステージ１の所定の取付部にインクジェットヘッドＳを取り付けた後（ステップＳ１）、制御部７は、ユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力された基準値σＡ(0)、σＢ(0)を設定する（ステップＳ１０２）。なお、設定された基準値σＡ(0)、σＢ(0)は、記憶部７３の所定の記憶領域に記憶される。

次に、吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ２）。
吐出角度ばらつき測定処理は、実施形態１のヘッド検査装置１００における処理（図８参照）と略同様であり、その説明は省略する。

その後、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第２状態判定制御プログラム７３ｅを実行して、画像処理部５は、基準値σＡ(0)から第１撮像部３１の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値が許容値α2よりも小さいか否か、且つ、基準値σＢ(0)から第２撮像部３２の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が許容値α3よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ１０４：状態判定処理）。
ここで、|σＡ(0)−σＡ(1)|が許容値α2よりも小さく、且つ、|σＢ(0)−σＢ(1)|が許容値α3よりも小さいと判定されると（ステップＳ１０４；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が正常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に正常である旨を表示させる（ステップＳ４）。
一方、|σＡ(0)−σＡ(1)|が許容値α2以上であると判定されるか、及び／又は、|σＢ(0)−σＢ(1)|が許容値α3以上であると判定されると（ステップＳ１０４；ＮＯ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が異常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に異常である旨を表示させる（ステップＳ５）。

そして、上記の検査を全てのノズルについて行った後、搬送ステージ１からインクジェットヘッドＳを取り外して、当該ヘッド検査処理を終了する（ステップＳ６）。

以上のように、実施形態２のヘッド検査装置によれば、第１撮像部３１による第１の方向からの撮像結果に基づいて生成されたインク滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報とインク滴の吐出状態の判定に係る第１の基準データｄ１、及び第２撮像部３２による第２の方向からの撮像結果に基づいて生成されたインク滴の吐出状態に係る第２の吐出状態情報とインク滴の吐出状態の判定に係る第２の基準データｄ２に基づいて、インク滴の吐出状態を判定することができる。
具体的には、基準値σＡ(0)から第１撮像部３１の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値が許容値α2よりも小さいか否か、且つ、基準値σＢ(0)から第２撮像部３２の撮像結果に基づいて状態情報生成処理にて生成された所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が許容値α3よりも小さいか否かに応じて、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定することができる。
従って、インクジェットヘッドＳの取付けの向きに応じた振動の影響、即ち、長尺なインクジェットヘッドＳの場合には、長手方向に直交する短手方向に揺動するように振動し易くなることから、当該インクジェットヘッドＳの振動の影響、特に、異常振動の方向依存性を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。

［実施形態３］
以下に、実施形態３のヘッド検査装置について、図１１〜図１３を参照して説明する。
図１１は、本発明を適用した実施形態３のヘッド検査装置の制御部７の構成を示す図である。

実施形態３のヘッド検査装置は、図１１〜図１３に示すように、状態判定処理にて、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値と許容値α4を比較するとともに、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値と許容値α5を比較して、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。
なお、実施形態３のヘッド検査装置は、制御部７の構成以外の点で上記実施形態１のヘッド検査装置１００と略同様の構成をなし、その説明は省略する。

制御部７の記憶部７３には、撮像制御プログラム７３ａ、重心算出制御プログラム７３ｂに加えて、第２状態情報生成制御プログラム７３ｆ、第３状態判定制御プログラム７３ｇを記憶している。

第２状態情報生成制御プログラム７３ｆは、第１撮像部３１及び第２撮像部３２によるインク滴の撮像結果に基づいて、インクジェットヘッドＳの移動前後各々の所定のノズルのインク滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を画像処理部（状態情報生成手段）５に生成させる状態情報生成処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第２状態情報生成制御プログラム７３ｆを実行することで、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの移動前後各々における、第１の方向から撮像されたインク滴の重心に基づいて算出された当該インク滴の吐出角度θＡのばらつきに基づいて、第１の吐出状態情報（第１のばらつき情報）として標準偏差σＡ(1)、σＡ(2)を生成するとともに、第２の方向から撮像されたインク滴の重心に基づいて算出された当該インク滴の吐出角度θＢのばらつきに基づいて、第２の吐出状態情報（第２のばらつき情報）として標準偏差σＢ(1)、σＢ(2)を生成する。

第３状態判定制御プログラム７３ｇは、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前後各々の第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を画像処理部（状態判定手段）５に判定させる状態判定処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第３状態判定制御プログラム７３ｇを実行することで、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値が比較用の許容値α4よりも小さいか否か、且つ、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が比較用の許容値α5よりも小さいか否かに応じてインク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。

次に、ヘッド検査処理について、図１２及び図１３を参照して説明する。
図１２は、ヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
なお、以下のヘッド検査処理にあっては、状態判定処理における比較用の許容値α4、α5がユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力されて設定されているものとする。

図１１に示すように、先ず、搬送ステージ１の所定の取付部にインクジェットヘッドＳを取り付けた後（ステップＳ１）、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ２）。
ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理は、実施形態１のヘッド検査装置１００における処理（図８参照）と略同様であり、その説明は省略する。

その後、図１２に示すように、制御部７は搬送ステージ１によりインクジェットヘッドＳを左右方向に沿って移動させた後（ステップＳ２０３）、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ２０４）。

以下に、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理について図１３を参照して説明する。
図１３は、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。

以下に説明するヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理は、インクジェットヘッドＳの移動後に行って標準偏差σＡ(2)、σＢ(2)を算出する以外の点ではヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理（ステップＳ２）と略同様である。
即ち、図１３に示すように、インク滴の吐出角度の測定回数及びストロボディレイ時間を設定する（ステップＳ４１）。
次に、ヘッド駆動部２は、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させた後（ステップＳ４２）、第１撮像部３１及び第２撮像部３２は、制御部７の制御下にて、第１のタイミングでノズルから吐出したインク滴を撮像した後、第２のタイミングで同じインク滴を再度撮像する（ステップＳ４３）。

次に、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、第１のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）、（Xb1，Yb1）、及び第２のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）、（Xb2，Yb2）を算出した後（ステップＳ４４：重心算出処理）、算出された第１の方向及び第２の方向から撮像されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから吐出されたインク滴の吐出角度θＡ、θＢを算出する（ステップＳ４５）。

そして、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達していないと判定すると（ステップＳ４６；ＮＯ）、ステップＳ４２に移行して、それ以降の処理を、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達するまで（ステップＳ４６；ＹＥＳ）繰り返す。

ステップＳ４６にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したと判定されると（ステップＳ４６；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１が、第２状態情報生成制御プログラム７３ｆを実行して、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度θＡに基づいて当該インク滴の吐出角度θＡのばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて標準偏差σＡ(2)を算出するとともに、所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度θＢに基づいて当該インク滴の吐出角度θＢのばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて標準偏差σＢ(2)を算出する（ステップＳ４７：状態情報生成処理）。
これにより、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を終了する。

その後、図１２に示すように、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第３状態判定制御プログラム７３ｇを実行して、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値が許容値α4よりも小さいか否か、且つ、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が許容値α5よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ２０５：状態判定処理）。
ここで、|σＡ(2)−σＡ(1)|が許容値α4よりも小さく、且つ、|σＢ(2)−σＢ(1)|が許容値α5よりも小さいと判定されると（ステップＳ２０５；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が正常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に正常である旨を表示させる（ステップＳ４）。
一方、|σＡ(2)−σＡ(1)|が許容値α4以上であると判定されるか、及び／又は、|σＢ(2)−σＢ(1)|が許容値α5以上であると判定されると（ステップＳ２０５；ＮＯ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が異常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に異常である旨を表示させる（ステップＳ５）。

そして、上記の検査を全てのノズルについて行った後、搬送ステージ１からインクジェットヘッドＳを取り外して、当該ヘッド検査処理を終了する（ステップＳ６）。

以上のように、実施形態３のヘッド検査装置によれば、インクジェットヘッドＳの移動前後各々における、異なる２方向からの撮像結果に基づいて生成されたインク滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を判定することができる。
具体的には、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＡ(1)を減算した値の絶対値が許容値α4よりも小さいか否か、且つ、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(2)からインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σＢ(1)を減算した値の絶対値が許容値α5よりも小さいか否かに応じて、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定することができる。
従って、インクジェットヘッドＳの移動により生じる振動の影響、特に、異常振動の方向依存性を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
例えば、吐出状態情報として、液滴の吐出角度のばらつきにかかるばらつき情報（標準偏差）を例示したが、これに限られるものではなく、液滴の吐出状態に係るものであって、インクジェットヘッドＳの振動に影響されて変動する情報であれば如何なるものであっても良い。

さらに、上記実施形態１〜３にあっては、ヘッド検査対象として、インク滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドＳを例示したが、これに限られるものではなく、液滴を吐出するヘッドであれば如何なるものであっても良い。

また、第１撮像部３１及び第２撮像部３２を、略９０°異なる方向からインク滴を撮像するように配置したが、第１撮像部３１及び第２撮像部３２の配置はこれに限られるものではなく、撮像する方向を異ならせる限り適宜任意に変更することができる。

さらに、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。

加えて、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

本発明を適用した実施形態１のヘッド検査装置の概略構成を示すブロック図である。 図１のヘッド検査装置の第１撮像部及び第２撮像部と第１発光部及び第２発光部の配置を模式的に示す図である。 図１のヘッド検査装置の制御部の構成を示す図である。 図１のヘッド検査装置のインクジェットヘッドから吐出された液滴の撮像タイミングを説明するための図である。 ヘッド移動前後の吐出角度ばらつき測定処理の結果の一例を示す図である。 ヘッド移動前後の吐出角度ばらつき測定処理の結果の一例を示す図である。 図１のヘッド検査装置によるヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。 図７のヘッド検査処理における吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。 本発明を適用した実施形態２のヘッド検査装置の制御部の構成を示す図である。 図９のヘッド検査装置によるヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。 本発明を適用した実施形態３のヘッド検査装置の制御部の構成を示す図である。 図１１のヘッド検査装置によるヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。 図１２のヘッド検査処理におけるヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。

符号の説明

１００ ヘッド検査装置
１ 搬送ステージ（ヘッド移動手段）
３１ 第１撮像部（第１の撮像手段）
３２ 第２撮像部（第２の撮像手段）
４１ 第１発光部
４２ 第２発光部
５ 画像処理部（状態情報生成手段、状態判定手段）
７ 制御部
７３ 記憶部（基準記憶手段）
Ｓ インクジェットヘッド

Claims (9)

1. ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段と、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像手段と、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像手段と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像手段と、
   前記第１の撮像手段及び前記第２の撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
   前記状態情報生成手段により生成された前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
   を備えることを特徴とするヘッド検査装置。
2. 前記状態情報生成手段は、前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきに係る第１のばらつき情報及び第２のばらつき情報を生成し、
   前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記第１のばらつき情報及び前記第２のばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴とする請求項１に記載のヘッド検査装置。
3. ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段と、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像手段と、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像手段と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像手段と、
   前記第１の撮像手段及び前記第２の撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
   液滴の吐出状態の判定に係る第１の基準状態情報及び第２の基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
   前記基準記憶手段に記憶されている前記第１の基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第１の吐出状態情報、及び前記基準記憶手段に記憶されている前記第２の基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
   を備えることを特徴とするヘッド検査装置。
4. 前記状態情報生成手段は、前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきに係る第１のばらつき情報及び第２のばらつき情報を生成し、
   前記基準記憶手段は、前記第１の基準状態情報及び第２の基準状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきの許容範囲に係る第１のばらつき基準情報及び第２のばらつき基準情報を記憶し、
   前記状態判定手段は、前記基準記憶手段に記憶されている前記第１のばらつき基準情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第１のばらつき情報、及び前記基準記憶手段に記憶されている前記第２のばらつき基準情報と前記状態情報生成手段により生成された前記第２のばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴とする請求項３に記載のヘッド検査装置。
5. ノズルから液滴を吐出するヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
   前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像手段と、
   前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像手段と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像手段と、
   前記第１の撮像手段及び前記第２の撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
   前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
   を備えることを特徴とするヘッド検査装置。
6. 前記状態情報生成手段は、前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報として、前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきに係る第１のばらつき情報及び第２のばらつき情報を生成し、
   前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記第１のばらつき情報及び前記第２のばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴とする請求項５に記載のヘッド検査装置。
7. ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像処理と、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像処理と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像処理と、
   前記第１の撮像処理及び前記第２の撮像処理による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成処理と、
   前記状態情報生成処理により生成された前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定処理と、
   を行うことを特徴とするヘッド検査方法。
8. ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられる取付手段と、液滴の吐出状態の判定に係る第１の基準状態情報及び第２の基準状態情報を記憶する基準記憶手段とを備えるヘッド検査装置を用いて、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像処理と、
   前記取付手段に取り付けられた前記ヘッドの前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像処理と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像処理と、
   前記第１の撮像処理及び前記第２の撮像処理による撮像結果に基づいて、液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成処理と、
   前記基準記憶手段に記憶されている前記第１の基準状態情報と前記状態情報生成処理により生成された前記第１の吐出状態情報、及び前記基準記憶手段に記憶されている前記第２の基準状態情報と前記状態情報生成処理により生成された前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定処理と、
   を行うことを特徴とするヘッド検査方法。
9. ノズルから液滴を吐出するヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
   前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する第１の撮像処理と、
   前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を前記第１の撮像処理と異なる方向から所定時間を空けて複数回撮像する第２の撮像処理と、
   前記第１の撮像処理及び前記第２の撮像処理による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の吐出状態に係る第１の吐出状態情報及び第２の吐出状態情報を生成する状態情報生成処理と、
   前記状態情報生成処理により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記第１の吐出状態情報及び前記第２の吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定処理と、
   を行うことを特徴とするヘッド検査方法。

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