JP2009295795A - 薬液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】適宜切り替えることによりシャワー方式とパドル方式との両方を実質的に行なえる薬液処理装置を提供する。
【解決手段】薬液処理装置は、平坦な上面を有する処理対象物としての基板51を載置して側方に送るための搬送機50と、この搬送機50の上方から下方に向けて薬液53を吐出するためのシャワーノズル52と、このシャワーノズル52と搬送機50との間に着脱自在なように配置された整流部材6とを備える。整流部材6は、シャワーノズル52から吐出される薬液53を受けるための斜面と、上記処理対象物に近接した位置で上記薬液を上記処理対象物に向けて落下させるために上記斜面と連続して上記斜面の下側に配置された液落下部とを有する。
【選択図】図3
【解決手段】薬液処理装置は、平坦な上面を有する処理対象物としての基板51を載置して側方に送るための搬送機50と、この搬送機50の上方から下方に向けて薬液53を吐出するためのシャワーノズル52と、このシャワーノズル52と搬送機50との間に着脱自在なように配置された整流部材6とを備える。整流部材6は、シャワーノズル52から吐出される薬液53を受けるための斜面と、上記処理対象物に近接した位置で上記薬液を上記処理対象物に向けて落下させるために上記斜面と連続して上記斜面の下側に配置された液落下部とを有する。
【選択図】図3
Description
本発明は、薬液処理装置に関するものである。
現像、エッチングなどのように何らかの対象物の表面に対して薬液を作用させたい場合には、従来、大きく分けて以下の3つの方式が一般的である。以下、対象物が基板であるものとして説明する。
第一に挙げられるのは「シャワー方式」である。これは図12に示すようにシャワーノズル52から基板51の表面に向かって薬液53を吹き付けるものである。基板51は搬送機50によって矢印の向きに送られている。シャワー方式においては、処理速度は、薬液を被処理材質との反応速度によって定まるので、一般に処理速度が速いという利点がある。一方、吹き付けが均一でないと、処理後の基板にムラが発生するという欠点がある。エッチングの場合、吹き付けが均一でないとパターンに欠けなどが発生する場合がある。
第二に挙げられるのは、「ディップ方式」である。これは、溜められた薬液の中に基板を浸けるものである。ディップ方式においては、大量の基板を一斉に処理、生産性が高いという利点がある。一方、薬液中での薬液そのものの拡散が遅いため、処理ムラが発生しやすいという欠点がある。また、薬液の中に異物が滞留しやすいという欠点もある。
第三に挙げられるのは、「パドル方式」である。これは、図13に示すように2枚の板54a,54bが狭い間隙を介して互いに対向するようにほぼ平行に配置したものであるパドル54の板同士の間の間隙55を通じて薬液56を供給するものである。薬液は、間隙55から垂らされ、基板51の表面に載る。この方式では、基板51の表面に薄い薬液層が形成されるので、均一な処理ができるという利点がある。一方、薬液の拡散ができないので、処理速度が遅いという欠点がある。
なお、基板に対して行なう薬液処理に関する技術としては、たとえば特開平10−97078号公報(特許文献1)、特開平10−289858号公報(特許文献2)に開示されたものがある。
特開平10−97078号公報
特開平10−289858号公報
1台の処理装置では、上述の3つの方式のうちのいずれかを行なうために設計されたものであればその1通りの方式しか行なうことができなかった。その処理装置が対応している方式よりも他の方式で行なった方がより適しているような対象物に対しても、処理装置によって定まる方式で無理やり適当な条件を設定して薬液処理を行なうのが通常であった。
特に、シャワー方式とパドル方式との間でいずれか一方に方式が固定されてしまうと不便であった。シャワー方式の処理装置をパドル方式に改造することも行なわれているが、改造することに多大な費用がかかってしまう。また、改造している期間中は装置を使用することができず、生産性が著しく落ちてしまう。しかも、一旦そのような改造をするともはや再改造しない限りシャワー方式での処理を行なうことができず、不便であった。パドル方式の処理装置をシャワー方式に改造する場合についても同様である。
そこで、本発明は、適宜切り替えることによりシャワー方式とパドル方式との両方を実質的に行なえる薬液処理装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に基づく薬液処理装置は、平坦な上面を有する処理対象物を載置して側方に送るための搬送機と、上記搬送機の上方から下方に向けて薬液を吐出するためのシャワーノズルと、上記シャワーノズルと上記搬送機との間に着脱自在なように配置された整流部材とを備える。上記整流部材は、上記シャワーノズルから吐出される上記薬液を受けるための斜面と、上記処理対象物に近接した位置で上記薬液を上記処理対象物に向けて落下させるために上記斜面と連続して上記斜面の下側に配置された液落下部とを有する。
本発明によれば、整流部材が着脱自在な薬液処理装置となるので、整流部材を外した状態ではシャワー方式として使用することができ、整流部材を付けた状態では実質的にパドル方式として使用することができる。したがって、適宜切り替えることによりシャワー方式とパドル方式との両方式を適宜選択して行なえる、便利な薬液処理装置とすることができる。
(実施の形態1)
(構成)
図1〜図9を参照して、本発明に基づく実施の形態1における薬液処理装置について説明する。この薬液処理装置は、平坦な上面を有する処理対象物としての基板51を載置して側方に送るための搬送機50と、搬送機50の上方から下方に向けて薬液53を吐出するためのシャワーノズル52と、シャワーノズル52と搬送機50との間に着脱自在なように配置された整流部材6とを備える。整流部材6は、シャワーノズル52から吐出される薬液53を受けるための斜面6aと、処理対象物に近接した位置で薬液を処理対象物に向けて落下させるために斜面6aと連続して斜面6aの下側に配置された液落下部6bとを有する。
(構成)
図1〜図9を参照して、本発明に基づく実施の形態1における薬液処理装置について説明する。この薬液処理装置は、平坦な上面を有する処理対象物としての基板51を載置して側方に送るための搬送機50と、搬送機50の上方から下方に向けて薬液53を吐出するためのシャワーノズル52と、シャワーノズル52と搬送機50との間に着脱自在なように配置された整流部材6とを備える。整流部材6は、シャワーノズル52から吐出される薬液53を受けるための斜面6aと、処理対象物に近接した位置で薬液を処理対象物に向けて落下させるために斜面6aと連続して斜面6aの下側に配置された液落下部6bとを有する。
図1では、この薬液処理装置において整流部材6を外した状態での使用例を示している。基板51は搬送機50によって矢印の向きに送られている。ここでは搬送機50は複数のローラを並べたものであるが、基板51を移送することができるものであれば他の機構であってもよい。図1ではシャワーノズル52は3つ示されているが、他の数であってもよい。シャワーノズル52は配管2に接続されており、配管2のより上流の位置にはハンドバルブ3およびレギュレータ4が配置されている。この薬液処理装置を上から見たところの概略が図2に示されている。配管2は上から見て斜めに張り渡されており、この配管に沿って複数のシャワーノズル52が配置されている。
整流部材6を設置した状態での薬液処理装置の使用例を図3に示す。図3では突起部5は図示省略している。シャワーノズル52から吐出された薬液53は整流部材6の斜面6aに当たって、斜面6aに沿って斜め下方に流れ落ちていく。図3に示した薬液処理装置を上から見たところの概略が図4に示されている。図4では一例として3枚の整流部材6が基板51の進行方向に沿って配置されている。
突起部5に整流部材6が載せられている様子をより詳しく示すために、1対の突起部5に1枚の整流部材6が載せられている状態を抜き出して図5に示す。突起部5は基板51の左右(図中では上下)で前後方向にずれた位置に配置されている。整流部材6は上から見て平行四辺形となるように左端と右端とが前後方向にずれた形状をしている。
この例では、整流部材6は一例としてこのような形状としているが、整流部材は上から見て左端と右端とが前後方向にずれていない形状、すなわち上から見て長方形に見える形状であってもよい。
この薬液処理装置の斜視図に相当するものが図6に示されている。ただし、図6では説明の便宜のためシャワーノズル52や配管2は図示省略されている。図6に示されているように基板51の左右両側に側壁1が縦に平行に配置されている。側壁1の内側の面には突起部5が設けられている。突起部5は長い斜めの辺の下端に短い水平な辺が組み合わさった折れ線状となっている。すなわち、この薬液処理装置においては、処理対象物の進行方向の左右両側から整流部材6を係止するための突起部5を有する側壁1が搬送機50の左右両側に配置されている。このようになっていれば、整流部材の着脱が容易であり、整流部材を設置している状態においては整流部材を安定して支持することができる。
突起部5に整流部材6を設置する際の係止の様子を拡大した断面図を図7に示す。折れ線状の突起部5の上側に、断面で折れ線状に見える整流部材6が載っている。整流部材6の上側の面は斜面6aとなっている。整流部材6の下部には液落下部6bが設けられている。整流部材6の材質は特に限定しないが、安価であること、耐薬品性に優れていること、耐熱性に優れていること、加工容易であることなどが注目されて選定される。たとえばPVC(ポリ塩化ビニル(polyvinyl chloride))が使用可能である。整流部材6は透明なものであればさらに扱いやすくて好都合である。すなわち透明なPVCで形成することとすれば好ましい。
好ましいことに、液落下部6bは水平な上面6cを有し、上面6cは薬液を落下させるための縁6dを有する。このように水平な上面を有することとすれば斜面を流れ落ちてきた薬液の勢いを緩和することができ、処理対象物に対して勢いよく薬液が衝突することを防止することができる。
好ましいことに、斜面6aは前記処理対象物が送られていく下流側が低くなるように傾斜している。この傾斜の向きは逆であっても一応の使用はすることができるが、処理対象物が送られていく下流側が低くなっている方が円滑に薬液を塗布することができるからである。
突起部5は図7に示されたような一体的なものに限らず、図8に示されるようにいくつかの部分5h1,5h2,5h3に分かれて形成されたものであってもよい。
側方から見た場合、図9に示すように整流部材6の下端と基板51との間の間隙Gは、1mm程度であってよい。
(作用・効果)
本実施の形態における薬液処理装置においては、シャワーノズル52から吐出されて斜面6aに降り注いだ薬液56は、図10に示すように、斜面6aに沿って下方に流れ、さらに液落下部6bの上面6cを流れて縁6dから基板51の表面に垂れ落ちる。
本実施の形態における薬液処理装置においては、シャワーノズル52から吐出されて斜面6aに降り注いだ薬液56は、図10に示すように、斜面6aに沿って下方に流れ、さらに液落下部6bの上面6cを流れて縁6dから基板51の表面に垂れ落ちる。
ここまで本実施の形態では、液落下部に水平な上面がある整流部材を前提に説明してきたが、図11に示すように、水平な上面がなく斜面のまま下端に至っているような形状の整流部材であってもよい。
本実施の形態における薬液処理装置によれば、整流部材が着脱自在であるので、整流部材を外した状態ではシャワー方式として使用することができ、整流部材を付けた状態ではパドル方式として使用することができる。整流部材によって実現されるパドル方式は、図13に示したような2枚の板の間のスリットから薬液を供給する状態とは構造が異なるが、処理対象物に対する薬液の落下具合に注目すれば同視することができるので、これを雄パドル方式とみなすことができ、パドル方式の利点を享受することができる。すなわち、適宜切り替えることによりシャワー方式とパドル方式との両方を実質的に行なえる薬液処理装置であるということができる。
整流部材の着脱は簡単に行なうことができるので、方式の変更の際にも長期間装置を止める必要もなく、多額の費用をかけて改造する必要もなく、好都合である。可逆的な構造変更であるので、方式の変更は何度でもすることができるという点でも従来に比べて格段に好都合である。
なお、整流部材の着脱のための構造として、本実施の形態では、突起部5を有する側壁1を例示したが、本発明としてはこのような構造を備えるものに限らない。他の構造によって整流部材の着脱可能な支持を実現するものであってもよい。
本実施の形態では、シャワーノズルについても、整流部材についても複数あるものとして説明してきたが、理論上は1つであってもよい。ただ、複数あった方が効率良く処理が進められるので好ましい。
本実施の形態では、処理対象物の搬送前後方向(図1における左右方向)に並ぶシャワーノズルの数と整流部材の数とが同じである例のみを示してきたが、これらの数は一致するものに限られない。搬送前後方向に並ぶシャワーノズルの数と整流部材の数とが一致していなくても、本発明は適用可能である。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
1 側壁、2 配管、3 ハンドバルブ、4 レギュレータ、5 突起部、5h1,5h2,5h3 部分、6,6i 整流部材、6a 斜面、6b 液落下部、6c 上面、6d 縁、50 搬送機、51 基板、52 シャワーノズル、53 (シャワー状の)薬液、54 パドル、54a,54b 板、55 間隙、56 (垂れ流された)薬液。
Claims (4)
- 平坦な上面を有する処理対象物を載置して側方に送るための搬送機と、
前記搬送機の上方から下方に向けて薬液を吐出するためのシャワーノズルと、
前記シャワーノズルと前記搬送機との間に着脱自在なように配置された整流部材とを備え、
前記整流部材は、前記シャワーノズルから吐出される前記薬液を受けるための斜面と、前記処理対象物に近接した位置で前記薬液を前記処理対象物に向けて落下させるために前記斜面と連続して前記斜面の下側に配置された液落下部とを有する、薬液処理装置。 - 前記処理対象物の進行方向の左右両側から前記整流部材を係止するための突起部を有する側壁が前記搬送機の左右両側に配置されている、請求項1に記載の薬液処理装置。
- 前記液落下部は水平な上面を有し、前記上面は前記薬液を落下させるための縁を有する、請求項1または2に記載の薬液処理装置。
- 前記斜面は前記処理対象物が送られていく下流側が低くなるように傾斜している、請求項1から3のいずれかに記載の薬液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008148067A JP2009295795A (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 薬液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP2009295795A true JP2009295795A (ja) | 2009-12-17 |
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JP2008148067A Withdrawn JP2009295795A (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 薬液処理装置 |
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2008
- 2008-06-05 JP JP2008148067A patent/JP2009295795A/ja not_active Withdrawn
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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