JP2009288095A - 熱式流量センサ - Google Patents

Abstract

【課題】発熱抵抗体および測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、環境温度に対する依存性を排除した上で、定温度差制御を行えるようにする。
【解決手段】発熱抵抗体２２を被検流体の温度よりも所定温度だけ高い温度に加熱する定温度差制御においては、被検流体の流量（すなわちセンサ出力）と発熱抵抗体２２に供給される電力との間に一定の関係があることに鑑み、発熱抵抗体２２に供給される電力を一定にするための定電力制御を、定温度差制御と並行して行う構成とする。これにより、従来のように基準抵抗体を用いることを必要とせずに定温度差制御を行えるようにし、これにより環境温度に対する依存性を排除する。
【選択図】図３

Description

本願発明は、発熱抵抗体および測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサに関するものである。

従来より、被検流体の流量を検出する流量センサの一形式として、熱式流量センサが知られている。

例えば「特許文献１」には、被検流体の流路に配置された発熱抵抗体（としてのヒータ３）と、その上流側近傍および下流側近傍において流路に配置された１対の測温抵抗体（としての１対の温度センサ４ａ、４ｂ）とを備えた熱式流量センサが記載されている。

この熱式流量センサにおいては、発熱抵抗体に通電することにより、流路を流れる被検流体を加熱した状態で、１対の測温抵抗体相互間に生じる抵抗差を検出し、この抵抗差に応じた電圧をセンサ出力として得るように構成されている。

その際、この「特許文献１」に記載された熱式流量センサにおいては、流路に配置された基準抵抗体（としての測温抵抗体５）により、流路を流れる被検流体の温度を検出し、発熱抵抗体をこの検出温度よりも所定温度だけ高い温度に加熱するように構成されている。

特開２００２−３１０７６２号公報

上記「特許文献１」に記載された熱式流量センサのように、発熱抵抗体を被検流体の温度よりも所定温度だけ高い温度に加熱する制御（以下「定温度差制御」ともいう）を行う構成とすることにより、被検流体の流量変化に伴って被検流体の温度が変化したような場合においても、常に一定の感度でセンサ出力を得ることが可能となる。

ただし、これを実現するためには、発熱抵抗体および基準抵抗体として、同一の抵抗温度係数を有するものを用いることが必要となる。しかしながら、これら発熱抵抗体および基準抵抗体の抵抗温度係数を揃えることは容易でない。

そして、発熱抵抗体の抵抗温度係数と基準抵抗体の抵抗温度係数とが異なっていると、環境温度の変化（具体的には、流路を流れる被検流体の温度の変化と熱式流量センサの外部からの熱影響による温度の変化との和）に伴って、発熱抵抗体を上記所定温度と同じ温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力も変化してしまい、上記所定温度からのズレが生じてしまうので、正確なセンサ出力を得ることができなくなってしまう、という問題がある。

本願発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、発熱抵抗体および測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、環境温度に対する依存性を排除した上で、定温度差制御を行うことができる熱式流量センサを提供することを目的とするものである。

本願発明は、定温度差制御においては、被検流体の流量（すなわちセンサ出力）と発熱抵抗体に供給される電力との間に一定の関係があることに鑑み、発熱抵抗体に供給される電力を一定にするための制御（以下「定電力制御」ともいう）を、定温度差制御と並行して行う構成とすることにより、上記目的達成を図るようにしたものである。

すなわち、本願発明に係る熱式流量センサは、
被検流体の流路に配置された発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の近傍において上記流路に配置された測温抵抗体と、上記発熱抵抗体に通電して、この発熱抵抗体を、上記流路を流れる被検流体の温度よりも所定温度だけ高い温度に加熱した状態で、上記測温抵抗体の抵抗値を検出し、この抵抗値に応じた電圧をセンサ出力として得るように構成された検出制御手段と、を備えてなる熱式流量センサにおいて、
上記検出制御手段が、
上記流路に上記被検流体の流量が発生していない初期状態において、上記発熱抵抗体の温度を上記所定温度と同じ温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力を、第１の電力値として取得する取得手段と、
上記流路に上記被検流体の流量が発生している駆動状態において、上記発熱抵抗体に供給されている電力の値から、上記被検流体の流量がゼロであるとした場合に上記発熱抵抗体の温度を上記温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力を、第２の電力値として算出する算出手段と、
上記第１の電力値と上記第２の電力値との差に応じて、上記発熱抵抗体に供給される電力が一定となるように上記温度差の値を補正する補正手段とを備えている、ことを特徴とするものである。

上記「被検流体」は、流体であればその種類は特に限定されるものではなく、例えばメタノールや水等の液体あるいは空気や水素等の気体が採用可能である。

上記「所定温度」の具体的な値は、特に限定されるものではなく、例えば２〜１０℃程度の範囲内の値に設定することが可能である。

上記「初期状態」とは、熱式流量センサの起動時の状態を意味するものである。

上記構成に示すように、本願発明に係る熱式流量センサは、その検出制御手段により、発熱抵抗体を被検流体の温度よりも所定温度だけ高い温度に加熱する定温度差制御を行う構成となっているので、被検流体の流量変化に伴って被検流体の温度が変化したような場合においても、常に一定の感度でセンサ出力を得ることが可能となる。

その際、上記検出制御手段は、その取得手段により、流路に被検流体の流量が発生していない初期状態において、発熱抵抗体の温度を定温度差制御の際の上記所定温度と同じ温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力を、第１の電力値として取得するとともに、その算出手段により、流路に被検流体の流量が発生している駆動状態において、発熱抵抗体に供給されている電力の値から、被検流体の流量がゼロであるとした場合に発熱抵抗体の温度を上記温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力を、第２の電力値として算出し、そして、その補正手段により、これら第１の電力値と第２の電力値との差に応じて、発熱抵抗体に供給される電力が一定となるように上記温度差の値を補正する、という定電力制御を行う構成となっているので、次のような作用効果を得ることができる。

すなわち、本願発明においては、上記定電力制御を併用することにより、従来のように基準抵抗体を用いることを必要とせずに定温度差制御を行うことができる。このため、従来のように、発熱抵抗体の抵抗温度係数と基準抵抗体の抵抗温度係数とが異なっていることにより、環境温度の変化に伴って、発熱抵抗体を上記所定温度と同じ温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力も変化してしまう、という環境温度に対する依存性を排除することができる。

このように本願発明によれば、発熱抵抗体および測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、環境温度に対する依存性を排除した上で、定温度差制御を行うことができる。そしてこれにより、正確なセンサ出力を得ることが可能となる。

しかも本願発明においては、基準抵抗体が不要となるので、熱式流量センサの小型化および低コスト化を図ることができる。

上記構成において、上記検出制御手段として、流路を流れる被検流体の流量と、発熱抵抗体の温度を上記温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力との関係が、関数式として記憶された記憶手段を備えた構成とすれば、定電力制御における上記温度差の値の補正を容易に行うことができる。

上記構成において、定温度差制御の帯域幅に対して、定電力制御の帯域幅を、１／１０以下の値に設定するようにすれば、両制御が互いに干渉してしまうのを未然に防止することができ、これにより両制御を安定的に行うことができる。その際、定温度差制御の帯域幅に対して、定電力制御の帯域幅を、１／３０以下の値に設定することがより好ましく、１／１００以下の値に設定することがさらに好ましい。

以下、図面を用いて、本願発明の実施の形態について説明する。

図１は、本願発明の一実施形態に係る熱式流量センサ１０の構成を示すブロック図である。

同図に示すように、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、センサ本体１０Ａと、このセンサ本体１０Ａに接続された制御ユニット１０Ｂとからなっている。

図２は、この熱式流量センサ１０のセンサ本体１０Ａを示す斜視図である。

同図に示すように、このセンサ本体１０Ａは、２枚の基板１０２、１０４と共に積層基板ユニット１００を構成しており、両基板１０２、１０４間に形成される被検流体の流路２に配置された状態で用いられるようになっている。

この積層基板ユニット１００は、例えばノート型パソコン等のような小型電子機器用の燃料電池システム（図示せず）の一部として組み込まれるようになっている。その際、この燃料電池システムにおいては、メタノール、空気、水素の各流路と、これら各流路の流量を制御するための電子回路とが、多層基板に組み込まれるようにして形成されている。そして、この多層基板内に形成される流路の一部分が、積層基板ユニット１００の流路２により構成されるようになっている。

この積層基板ユニット１００の流路２は、上記燃料電池システムにおいて燃料カートリッジ（図示せず）からメタノールを供給するための流路であって、幅２ｍｍ、高さ１ｍｍの矩形状断面で、所定長にわたって直線状に延びるように形成されている。なお、同図においては、流路２を２点鎖線で示しており、メタノールの流れる向きを２点鎖線の矢印で示している。この流路２内を流れるメタノールは、分速０．５〜１ミリリットル程度の流速で送液されるようになっている。

本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、この流路２を流れるメタノールを被検流体として、その流量検出を行うようになっている。

この熱式流量センサ１０のセンサ本体１０Ａは、流路２に配置された発熱抵抗体２２と、この発熱抵抗体２２の上流側近傍および下流側近傍において流路２に配置された１対の測温抵抗体２４、２６とを備えてなっている。

このセンサ本体１０Ａは、矩形状の樹脂フィルム片１２と、この樹脂フィルム片１２の片面１２ａに所定の配線パターンで形成された導電膜１４と、この導電膜１４を部分的に被覆する保護膜１６とからなるカード状センサとして構成されている。そして、このセンサ本体１０Ａにおける導電膜１４の一部として、発熱抵抗体２２および１対の測温抵抗体２４、２６が構成されている。その際、これら発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６は、いずれも同じ抵抗値となるように形成されている。

図１に示すように、本実施形態に係る熱式流量センサ１０の制御ユニット１０Ｂは、マイクロプロセッサ５２と、発熱抵抗体駆動回路５４と、差動増幅器５８と、Ａ／Ｄ変換器６０とを備えてなっている。

マイクロプロセッサ５２は、駆動制御部６２と検出処理部６４とを備えている。

駆動制御部６２は、発熱抵抗体駆動回路５４を介して発熱抵抗体２２に接続されている。検出処理部６４は、この駆動制御部６２に接続されるとともに、Ａ／Ｄ変換器６０および差動増幅器５８を介して１対の測温抵抗体２４、２６の各々に接続されている。その際、これら１対の測温抵抗体２４、２６は、ブリッジ回路の一部を構成しており、両者間に生じる抵抗差に応じた電圧が、このブリッジ回路から差動増幅器５８に入力されるようになっている。

本実施形態に係る熱式流量センサ１０による流量検出は、次のような手順で行われるようになっている。

すなわち、駆動制御部６２により発熱抵抗体駆動回路５４を介して発熱抵抗体２２に通電し、この発熱抵抗体２２を、流路２を流れるメタノールの液温よりも所定温度（具体的には５℃程度）だけ高い温度に加熱する。この発熱抵抗体２２の加熱によって、流路２を流れるメタノールの液温が局所的に上昇するが、その際、１対の測温抵抗体２４、２６は、メタノールに流れがあるため、上流側の測温抵抗体２４よりも下流側の測温抵抗体２６の方が温度が高くなり、その抵抗値も相対的に高くなる。これら１対の測温抵抗体２４、２６相互間に生じる抵抗差は、メタノールの流量に応じて変化する。この抵抗差により生じるブリッジ回路の出力電圧は、差動増幅器５８で増幅された後、Ａ／Ｄ変換器６０を介して検出処理部６４に入力される。そして、この検出処理部６４に入力された電圧が、メタノールの流量検出結果を示すセンサ出力として、検出処理部６４から外部へ出力される。

上記流量検出の際、発熱抵抗体２２をメタノールの液温よりも所定温度だけ高い温度に加熱するための定温度差制御が行われるが、本実施形態においては、この定温度差制御と並行して、発熱抵抗体２２に供給される電力を一定にするための定電力制御が行われるようになっている。

図３は、本実施形態において行われる定温度差制御および定電力制御の様子を示す、制御系のブロック線図である。

同図に示すように、定温度差制御においては、発熱抵抗体２２にこれを加熱するための電力を供給するにあたり、発熱抵抗体２２の抵抗値を検出し、この抵抗値から算出した温度差と、温度差の目標値との偏差に応じた電力を、発熱抵抗体２２に供給するようになっている。そしてこれにより、発熱抵抗体２２を、メタノールの液温よりも所定温度だけ高い温度に加熱するようになっている。

この定温度差制御においては、発熱抵抗体２２の温度に対して、環境温度の変化が外乱として作用するが、この環境温度が変化すると、これによる発熱抵抗体２２の抵抗値の変化が、温度差の算出値に反映されてしまうこととなる。このため、発熱抵抗体２２に供給される電力の値が所期の値からずれてしまい、これにより定温度差制御を正確に行うことができなくなってしまうこととなる。

そこで、このような定温度差制御の環境温度に対する依存性を排除するため、この定温度差制御と並行して定電力制御が行われるようになっている。

同図に示すように、この定電力制御においては、発熱抵抗体２２に供給される電力の値を検出し、この値に対して所定の演算処理を施すことにより、温度差の補正値を算出し、この補正値を入力側へ戻して、温度差の目標値を補正するようになっている。そしてこれにより、環境温度が変化した場合においても、発熱抵抗体２２に供給される電力を一定に維持するようになっている。

この定電力制御を行うため、制御ユニット１０Ｂの駆動制御部６２は、図４に示すように、取得手段７２と、算出手段７４と、補正手段７６と、記憶手段７８とを備えた構成となっている。

取得手段７２は、流路２にメタノールの流量が発生していない初期状態（すなわち熱式流量センサ１０の起動時）において、発熱抵抗体２２の温度を定温度差制御の際の上記所定温度と同じ温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐを、第１の電力値Ｐ０ｓとして取得するようになっている。

算出手段７４は、流路２にメタノールの流量が発生している駆動状態において、発熱抵抗体２２に供給されている電力の値から、メタノールの流量がゼロであるとした場合に発熱抵抗体２２の温度を温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐを、第２の電力値Ｐ１ｓとして算出するようになっている。

補正手段７６は、これら第１の電力値Ｐ０ｓと第２の電力値Ｐ１ｓとの差ΔＰｓに応じて、発熱抵抗体２２に供給される電力が一定となるように上記温度差ΔＴに対する補正値を算出して、この補正値を入力側へ戻すようになっている。

流路２を流れるメタノールの流量Ｑと、発熱抵抗体２２の温度を温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐとの間には、図５に示すグラフのような関係がある。

記憶手段７８は、この流量Ｑと必要な電力Ｐとの関係を、環境温度Ｔをパラメータとして、高次の関数式Ｐ＝ｆ（Ｑ）に近似させて記憶している。

次に、上記定電力制御の具体例について説明する。

図５において実線で示すグラフＰ０は、環境温度ＴがＴ＝Ｔ０のときの流量Ｑと電力Ｐとの関係を示すグラフである。

同図において、流路２にメタノールの流量Ｑが発生していない初期状態において、環境温度ＴがＴ０であったとする。このとき、発熱抵抗体２２の温度を温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐは、第１の電力値Ｐ０ｓとなる。この状態から、流路２にメタノールの流量Ｑが発生している駆動状態に移行すると、仮に環境温度ＴがＴ０のままであったとすれば、必要な電力Ｐの値はグラフＰ０に沿って変化することとなる。

しかしながら、実際には、環境温度Ｔは一定ではなく変化するので、必要な電力Ｐの値は、実線で示すグラフＰ０上から外れてしまうこととなる。

その際、環境温度Ｔが、初期状態のＴ０よりも高いＴ１になっていたとすると、その温度差に対応する電力分だけ発熱抵抗体２２への電力供給が不要となるので、実際に発熱抵抗体２２に供給されている電力の値は、グラフＰ０上の値よりも小さくなる。このとき、メタノールの流量Ｑの値がＱ１で、実際に供給されている電力の値がＰ１ｆであったとする。

仮に、このときの環境温度Ｔ１のまま、流量Ｑが変化したとすると、必要な電力Ｐの値は、電力値Ｐ１ｆから２点鎖線で示すグラフＰ１に沿って変化することとなる。その際、この２点鎖線で示すグラフＰ１は、実線で示すグラフＰ０と同様、発熱抵抗体２２の温度を温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐを示すグラフであって、実際に供給されている電力値Ｐ１ｆを含むように、グラフＰ０に対して一定の係数を乗じたものである。なお、この係数は、環境温度Ｔ１がＴ０よりも高ければ１よりも小さい正の値となり、低ければ１よりも大きい値となる。

そして、このときの環境温度Ｔ１のまま、流量Ｑがゼロになるまで減少したと仮定すると、このときの必要な電力Ｐの値が、第２の電力値Ｐ１ｓとなる。

補正手段７６は、第１の電力値Ｐ０ｓと第２の電力値Ｐ１ｓとの差ΔＰｓ（ただし、ΔＰｓ＝Ｐ１ｓ−Ｐ０ｓ）の値を蓄積して、その移動平均の値を用いて温度差ΔＴの補正値を算出するようになっている。

この定電力制御の帯域幅は、定温度差制御の帯域幅に対して、１／１０以下の値に設定されている。具体的には、定温度差制御が１ｋＨｚ程度の高速で行われるのに対し、定電力制御は１Ｈｚ程度の低速で行われるようになっている。

図６は、環境温度Ｔと発熱抵抗体２２の温度との関係をグラフで示す図であって、温度差ΔＴの補正値を算出する過程を説明するための図である。

同図に示すように、初期状態の環境温度Ｔ０では、発熱抵抗体２２の温度は、環境温度Ｔ０と同じＯ点の温度よりも温度差ΔＴだけ高いＡ点の温度に制御される。このとき発熱抵抗体２２の温度を温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐである第１の電力値Ｐ０ｓは、Ｐ０ｓ＝ΔＴ・Ｋとなる（ただし、Ｋは定数）。

定温度差制御だけの場合、環境温度Ｔが変化しても、温度差ΔＴの基準となる温度は、Ｏ点の温度のままである。したがって、環境温度Ｔが初期状態の環境温度Ｔ０から駆動状態の環境温度Ｔ１に上昇しても、発熱抵抗体２２の温度は、Ａ点と同じ温度であるＢ点の温度に制御されることとなる。

このときの温度上昇量は、温度差ΔＴよりもＴｃだけ小さい温度差ΔＴｂとなり、その差ＴｃはＴ１−Ｔ０の値に等しくなる。このため、発熱抵抗体２２に供給される電力が第１の電力値Ｐ０ｓのままでは、発熱抵抗体２２の温度を所期の温度（すなわち、駆動状態の環境温度Ｔ１よりも温度差ΔＴだけ高いＣ点の温度Ｔ１＋ΔＴ）に制御されなくなってしまう。

これに対し、定電力制御が加わると、初期状態の環境温度Ｔ０における第１の電力値Ｐ０ｓと、駆動状態の環境温度Ｔ１における第２の電力値Ｐ１ｓ（すなわち、流量がゼロであるとした場合における必要な電力Ｐの値）との差ΔＰｓに基づいて、発熱抵抗体２２に供給される電力が一定となるように、温度差ΔＴの補正が行われる。

その際、第２の電力値Ｐ１ｓは、第１の電力値Ｐ０ｓよりも小さく、その差ΔＰｓ（＝Ｐ１ｓ−Ｐ０ｓ）は負の値となるので、温度差ΔＴの補正は、発熱抵抗体２２に供給される電力を増大させる方向に働く。すなわち、この補正は、ΔＴ・Ｋ＝ΔＴｂ・Ｋ＋ΔＴｃ・Ｋとなるまで行われる。そしてこれにより、発熱抵抗体２２の温度は、環境温度Ｔ１よりも温度差ΔＴの分だけ高いＣ点の温度Ｔ１＋ΔＴに制御される。

その後、環境温度Ｔが変化しても、発熱抵抗体２２に供給される電力が、常にΔＴ・Ｋに制御されることにより、発熱抵抗体２２の温度は、環境温度Ｔよりも温度差ΔＴだけ高い所期の温度に保持されることとなる。

以上詳述したように、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その検出制御手段としてのマイクロプロセッサ５２により、発熱抵抗体２２をメタノールの液温よりも所定温度だけ高い温度に加熱する定温度差制御を行う構成となっているので、メタノールの流量変化に伴ってメタノールの液温が変化したような場合においても、常に一定の感度でセンサ出力を得ることが可能となる。

その際、上記マイクロプロセッサ５２においては、その取得手段７２により、流路２にメタノールの流量Ｑが発生していない初期状態において、発熱抵抗体２２の温度を定温度差制御の際の上記所定温度と同じ温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐを、第１の電力値Ｐ０ｓとして取得するとともに、その算出手段７４により、流路２にメタノールの流量Ｑが発生している駆動状態において、発熱抵抗体２２に供給されている電力の値Ｐ１ｆから、メタノールの流量Ｑがゼロであるとした場合に発熱抵抗体２２の温度を上記温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐを、第２の電力値Ｐ１ｓとして算出し、そして、その補正手段７６により、これら第１の電力値Ｐ０ｓと第２の電力値Ｐ１ｓとの差ΔＰｓに応じて、発熱抵抗体２２に供給される電力が一定となるように上記温度差ΔＴの値を補正する、という定電力制御を行う構成となっているので、次のような作用効果を得ることができる。

すなわち、本実施形態においては、上記定電力制御を併用することにより、従来のように基準抵抗体を用いることを必要とせずに定温度差制御を行うことができる。このため、従来のように、発熱抵抗体２２の抵抗温度係数と基準抵抗体の抵抗温度係数とが異なっていることにより、環境温度Ｔの変化に伴って、発熱抵抗体２２を上記所定温度と同じ温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力も変化してしまう、という環境温度Ｔに対する依存性を排除することができる。

このように本実施形態によれば、発熱抵抗体２２および１対の測温抵抗体２４、２６を用いてメタノールの流量検出を行うように構成された熱式流量センサ１０において、環境温度Ｔに対する依存性を排除した上で、定温度差制御を行うことができる。そしてこれにより、正確なセンサ出力を得ることが可能となる。

しかも、本実施形態においては、基準抵抗体が不要となるので、熱式流量センサ１０の小型化および低コスト化を図ることができる。すなわち、本実施形態に係る熱式流量センサ１０において、そのセンサ本体１０Ａとして、仮に基準抵抗体を備えた構成とすると、例えば、図２に２点鎖線で示すような基準抵抗体２８が設けられることとなるが、本実施形態においては、この基準抵抗体２８が不要となるので、その分だけセンサ本体１０Ａ小型化および低コスト化を図ることができる。

また、本実施形態に係る熱式流量センサ１０においては、そのマイクロプロセッサ５２が、流路２を流れるメタノールの流量Ｑと、発熱抵抗体２２の温度を温度差ΔＴの分だけ上昇させるのに必要な電力Ｐとの関係が、関数式Ｐ＝ｆ（Ｑ）として記憶された記憶手段７８を備えているので、定電力制御における温度差ΔＴの値の補正を容易に行うことができる。

その際、本実施形態においては、定温度差制御の帯域幅に対して、定電力制御の帯域幅が、１／１０以下の値に設定されているので、両制御が互いに干渉してしまうのを未然に防止することができ、これにより両制御を安定的に行うことができる。

上記実施形態においては、定温度差制御の際、発熱抵抗体２２を、流路２を流れるメタノールの液温よりも５℃程度だけ高い温度に加熱するものとして説明したが、これ以外の温度に加熱するものとしてよいことはもちろんである。

上記実施形態においては、熱式流量センサ１０が、燃料電池システムにおける多層基板の一部として組み込まれるように構成された積層基板ユニット１００の内部に形成されるメタノールの流路２に配置された状態で、メタノールの流量検出を行うものとして説明したが、この熱式流量センサ１０を、上記多層基板の他の部分に配置された積層基板ユニット１００において、その流路２を流れる空気あるいは水素の流量検出を行うものとすることも可能である。あるいは、この熱式流量センサ１０を、メタノール以外の水等の液体の流量検出を行うために用いるようにすることも可能である。

上記実施形態においては、熱式流量センサ１０が、積層基板ユニット１００の一部として組み込まれた状態で用いられるものとして説明したが、この熱式流量センサ１０を、これ以外の態様で用いることももちろん可能である。

上記実施形態においては、熱式流量センサ１０が、発熱抵抗体２２の上流側近傍および下流側近傍において流路２に配置された１対の測温抵抗体２４、２６を備えているものとして説明したが、これら１対の測温抵抗体２４、２６のうちの一方のみを用いて流量検出を行う構成とすることも可能である。このようにした場合には、発熱抵抗体２２の温度（所定温度）と測温抵抗体で検出される温度（測定温度）との差から流量検出を行うこととなる。

なお、上記実施形態において諸元として示した数値は一例にすぎず、これらを適宜異なる値に設定してもよいことはもちろんである。

本願発明の一実施形態に係る熱式流量センサの構成を示すブロック図 上記熱式流量センサのセンサ本体を示す斜視図 上記実施形態において行われる定温度差制御および定電力制御の様子を示す、制御系のブロック線図 上記定電力制御を行うための、上記熱式流量センサの制御ユニットにおける駆動制御部の構成を示すブロック図 上記熱式流量センサにおいて、流路を流れるメタノールの流量と、発熱抵抗体の温度を温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力との間の関係を、グラフで示す図 上記熱式流量センサにおいて、環境温度と発熱抵抗体の温度との関係をグラフで示す図であって、温度差の補正値を算出する過程を説明するための図

符号の説明

２ 流路
１０ 熱式流量センサ
１０Ａ センサ本体
１０Ｂ 制御ユニット
１２ 樹脂フィルム片
１２ａ 片面
１４ 導電膜
１６ 保護膜
２２ 発熱抵抗体
２４、２６ 測温抵抗体
５２ マイクロプロセッサ（検出制御手段）
５４ 発熱抵抗体駆動回路
５８ 差動増幅器
６０ Ａ／Ｄ変換器
６２ 駆動制御部
６４ 検出処理部
７２ 取得手段
７４ 算出手段
７６ 補正手段
７８ 記憶手段
１００ 積層基板ユニット
１０２、１０４ 基板

Claims (3)

1. 被検流体の流路に配置された発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の近傍において上記流路に配置された測温抵抗体と、上記発熱抵抗体に通電して、この発熱抵抗体を、上記流路を流れる被検流体の温度よりも所定温度だけ高い温度に加熱した状態で、上記測温抵抗体の抵抗値を検出し、この抵抗値に応じた電圧をセンサ出力として得るように構成された検出制御手段と、を備えてなる熱式流量センサにおいて、
   上記検出制御手段が、
   上記流路に上記被検流体の流量が発生していない初期状態において、上記発熱抵抗体の温度を上記所定温度と同じ温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力を、第１の電力値として取得する取得手段と、
   上記流路に上記被検流体の流量が発生している駆動状態において、上記発熱抵抗体に供給されている電力の値から、上記被検流体の流量がゼロであるとした場合に上記発熱抵抗体の温度を上記温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力を、第２の電力値として算出する算出手段と、
   上記第１の電力値と上記第２の電力値との差に応じて、上記発熱抵抗体に供給される電力が一定となるように上記温度差の値を補正する補正手段とを備えている、ことを特徴とする熱式流量センサ。
2. 上記検出制御手段が、
   上記流路を流れる上記被検流体の流量と、上記発熱抵抗体の温度を上記温度差の分だけ上昇させるのに必要な電力との関係が、関数式として記憶された記憶手段を備えている、ことを特徴とする請求項１記載の熱式流量センサ。
3. 上記発熱抵抗体を上記被検流体の温度よりも上記所定温度だけ高い温度に加熱する制御の帯域幅に対して、上記発熱抵抗体に供給される電力が一定となるように上記温度差の値を補正する制御の帯域幅が、１／１０以下の値に設定されている、ことを特徴とする請求項１または２記載の熱式流量センサ。

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