JP2009285819A - 薬液受け部材、薬液回収装置及び薬液回収方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薬液が流入する薬液流入口と、薬液流入口から流入した薬液の所定量を貯留することができる薬液貯留部と、薬液貯留部の所定量を超えた薬液を排出する薬液排出口と、を有する薬液受け部材1と、薬液貯留部に貯留した回収薬液を吸引する薬液回収ポンプ23と、薬液回収ポンプで吸引した回収薬液を収容する回収タンク24と、薬液排出口から排出される廃棄薬液を収容する廃棄タンク25と、を有する薬液回収装置21。
【選択図】図3
Description
本発明の薬液受け部材は、上記説明したとおり、薬液を流入する薬液流入口と、薬液流入口から流入した薬液を所定量貯留することができる薬液貯留部と、薬液貯留部の所定量を超えた薬液を排出する薬液排出口と、を有するものである。
比重 1.03
pH 2.0〜2.2
平均粒子径[μm] 0.14〜0.15
W濃度[ppm] <10
Fe濃度[ppm] 60
Ti濃度[ppm] <0.1
B濃度[ppm] <0.2
Na濃度[ppm] <0.1
Mg濃度[ppm] 0.6
Al濃度[ppm] 0.1
K 濃度[ppm] <0.1
Ca濃度[ppm] 0.1
Mn濃度[ppm] 0.1
Cr濃度[ppm] 0.1
Mn濃度[ppm] 0.1
Ni濃度[ppm] <0.1
Cu濃度[ppm] <0.5
Zn濃度[ppm] <0.1
Pb濃度[ppm] <1
Co濃度[ppm] <0.1
Zr濃度[ppm] <0.1
Cr濃度[ppm] <10
TOC濃度[ppm] 160〜230
そして、本発明の薬液回収方法及び薬液回収装置によれば、このような特定の構造を有する薬液受け部材により、使用済みの再生等に有用な薬液と洗浄液の多量に混入した薬液とを、容易な操作で効率良く、かつ、簡易な装置構成で、分別して回収することができる。
(第1の実施形態)
図1は本発明の一実施形態である薬液受け部材の平面図、図2は図1の薬液受け部材のA−A断面図であり、図3は、図1の薬液受け部材を適用した薬液回収装置の概略構成を示した図である。
次に、図4を参照しながら、本発明の第2の実施形態について説明する。図4は、図1の薬液受け部材を適用した他の薬液回収装置の概略構成を示した図である。
次に、図5を参照しながら、第3の実施形態について説明する。図5は、図1の薬液受け部材を適用したさらに他の薬液回収装置の概略構成を示した図である。
次に、図6〜9を参照しながら、第4の実施形態について説明する。ここでは、第1の実施形態で用いた薬液受け部材のバリエーションについて説明する。
次に、本発明の回収方法において、回収した回収薬液を再生操作に付す場合について説明する。図10は、本発明の薬液回収装置により回収した研磨用スラリーを、再度研磨の際に使用することができるように再生装置を用いた再生サイクルを示した図である。
(実施例1)
本実施例では、半導体用のシリコンウェーハを平坦化する工程で使用した研磨用スラリーの回収を、図4に示した薬液回収装置により以下のように行い、研磨用スラリーの回収性能を評価した。
次に比較例として、図11の従来の薬液回収装置を用いて、実施例と同様に研磨用スラリーを用いたシリコンウェーハの研磨を行い、回転テーブル上を超純水で洗浄した。なお、図11は、研磨工程で飛び散った使用済みの研磨用スラリーを回収する回収容器72により、やはり一点に研磨用スラリーが集められ、この集められた研磨用スラリーは、そのまま配管を流れ、回収薬液の場合にはポンプ73により吸引して回収タンク74に収容させ、廃棄薬液の場合にはポンプ75により吸引して廃棄タンク76に収容するようにしている。
図9に示した薬液受け部材を用いた以外は実施例1と同様の操作を行い、薬液受け部材に流入する濁度を濁度計により測定しながら薬液の回収操作を行った。このとき回収と廃棄とは、濁度が400NTUであるときに薬液回収ポンプと廃棄ポンプとを切り替えるようにした。このとき用いた濁度計としては実施例1と同一のものを用いた。
この操作を5回繰り返して行い、そのときの研磨用スラリー及び純水の回収量を表2、図12及び図13に示した。
図11の薬液回収装置において、研磨スラリーの回収容器72から配管に流れ込む部分に実施例2と同様に濁度計を設けて比較例1と同様の操作により薬液の回収操作を行った。このとき回収と廃棄との基準は実施例2と同一とし、薬液回収ポンプと廃棄ポンプとを切り替えるようにした。
この操作を5回繰り返して行い、そのときの研磨用スラリー及び純水の回収量を表2、図12及び図13に示した。
Claims (11)
- 薬液が流入する薬液流入口と、
前記薬液流入口から流入した薬液の所定量を貯留することができる薬液貯留部と、
前記薬液貯留部の所定量を超えた薬液を排出する薬液排出口と、
を有することを特徴とする薬液受け部材。 - 薬液が流入する薬液流入口と、前記薬液流入口から流入した薬液の所定量を貯留することができる薬液貯留部と、前記薬液貯留部の所定量を超えた薬液を排出する薬液排出口と、を有する薬液受け部材と、
前記薬液貯留部に貯留した回収薬液を吸引する薬液回収ポンプと、
前記薬液回収ポンプで吸引した回収薬液を収容する回収タンクと、
前記薬液排出口から排出される廃棄薬液を収容する廃棄タンクと、
を有することを特徴とする薬液回収装置。 - 前記薬液貯留部に貯留した廃棄薬液を吸引する廃棄ポンプを有することを特徴とする請求項2記載の薬液回収装置。
- 前記薬液が2種類以上用いられる場合において、前記薬液回収ポンプ及び前記薬液回収タンクを薬液の種類ごとに設けることを特徴とする請求項2又は3記載の薬液回収装置。
- 前記薬液回収ポンプ及び/又は前記廃棄ポンプが、自給式ポンプであることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項記載の薬液回収装置。
- 前記薬液受け部材に流入する薬液の性状を測定する測定手段と、
該測定手段によって得られた測定結果に基づいて前記薬液回収ポンプを動作させるか否かを判断する制御手段と、
を有することを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項記載の薬液回収装置。 - 前記薬液が半導体研磨用スラリーであり、前記測定手段がpH計、導電率計、粘度計、屈折率計又は濁度計であることを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項記載の薬液回収装置。
- 薬液が流入する薬液流入口と、前記薬液流入口から流入した薬液の所定量を貯留することができる薬液貯留部と、前記薬液貯留部の所定量を超えた薬液を排出する薬液排出口と、を有する薬液受け部材に、使用済みの薬液を流入させ、
前記薬液受け部材に、洗浄液を含有しない回収薬液が流入している場合には、前記薬液貯留部に貯留した回収薬液を薬液回収ポンプで吸引して回収し、
前記薬液受け部材に、洗浄液を含有する廃棄薬液が流入している場合には、前記薬液回収ポンプの吸引動作を停止して、前記薬液排出口から廃棄薬液を回収することを特徴とする薬液回収方法。 - 前記回収薬液と前記廃棄薬液とが、前記薬液受け部材に交互に流入する場合において、前記薬液貯留部に、前記廃棄薬液の流入が停止した後、前記回収薬液が流入するまでの間に、前記薬液貯留部に貯留した廃棄薬液を廃棄ポンプで吸引することを特徴とする請求項8記載の薬液回収方法。
- 前記薬液が半導体研磨用スラリーであって、前記洗浄液が超純水であることを特徴とする請求項8又は9記載の薬液回収方法。
- 前記薬液受け部材に流入する薬液のpH、導電率、粘度、屈折率又は濁度を測定し、その測定結果に基づいて前記回収薬液と前記廃棄薬液とを判別することを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項記載の薬液回収方法。
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