JP2009285743A - ワイヤソーによる切断方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被切断物が傾斜面を有し、ワイヤソーがこの傾斜面と交差する場合であっても、切断面の精度を従来よりも向上させることができるワイヤソーによる切断方法を提供する。
【解決手段】傾斜面に接着剤を塗布する。
【選択図】図1
【解決手段】傾斜面に接着剤を塗布する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワイヤソーによる切断方法に関する。
特許文献1に、被切断物をワイヤソーを用いて切断する方法、すなわちワイヤソーによる切断方法が記載されている。
特開2003−159642号公報
しかしながら、被切断物が、ワイヤソーの相対的な進行方向に対して直角以外の角度で交差する傾斜面を有し、ワイヤソーがこの傾斜面と交差する場合、ワイヤソーの逃げにより切断面の精度が悪くなるという問題があった。なお、被切断物の長さ方向の端部が被切断物の長さ方向に凸形状となっている場合、この凸部の周面が傾斜面となる。また、ワイヤソーが傾斜面と交差する場合としては、ワイヤソーが凸部に進入する場合と、ワイヤソーが凸部から抜ける場合とが考えられる。この問題を図5〜図7に基づいて説明する。
図5は、被切断物100が台座107に接着されている様子を示す側断面図である。図5は、被切断物100及び台座107を被切断物100の長さ方向に沿って切断した側断面の一部を示す。被切断物100は、本体部102と、凸部103とを有する。本体部102は、円柱形状となっており、その側面が台座107に接着されている。凸部103は、被切断物100の長さ方向の端部を構成しており、被切断物100の長さ方向に突出している。凸部103の周面104は曲面となっている。矢印109は、ワイヤソー110(図6参照)の相対的な進行方向を示す。すなわち、被切断物100及び台座107が一体となって矢印109と反対方向に動くことで、ワイヤソー110は、被切断物100に対し、相対的に、矢印109の方向に動く。したがって、凸部103の周面104は、ワイヤソー110の相対的な進行方向に対して直角以外の角度で交差する。なお、台座107の下方には、台座107が接着され、台座107と一体となって動く主台座が存在するが、ここでは主台座の図示及び説明を省略する。
図6は、図5の領域Cの拡大図であり、ワイヤソー110が凸部103に進入するときの様子を示す。ワイヤソー110は、軌道111に沿って矢印109の方向に相対的に進む。なお、軌道111は、ワイヤソー110と凸部103との相対位置の理想的な軌道であり、ワイヤソー110が軌道111から外れずに相対的に進行した場合には、ゆがみのない切断面が形成される。ワイヤソー110は、軌道111に沿って下方に相対的に移動し、周面104に接触する。周面104は、被切断物の先端に向かって下方に傾斜しているので、ワイヤソー110は、軌道111から矢印109aの方向に逃げた後、凸部103に進入する。ワイヤソー110は、下方に相対的に移動するにしたがって、徐々に軌道111に戻り、軌道111に戻った後は、軌道111に沿って下方に相対的に移動する。ワイヤソー103がこのように移動することにより、切断面のうち、ワイヤソー103が被切断物に進入する部分にゆがみが生じる。
図7は、図5の領域Dの拡大図であり、ワイヤソー110が凸部103から抜けるときの様子を示す。ワイヤソー110は、軌道111に沿って矢印109の方向に相対的に進む。ワイヤソー110は、軌道111に沿って下方に相対的に移動し、凸部103から抜ける直前に矢印109bの方向に逃げる。その後、ワイヤソー110は、凸部3から抜け、軌道111に戻る。ワイヤソー10は、軌道111に戻った後は、軌道111に沿って下方に相対的に移動する。ワイヤソー103がこのように移動することにより、切断面のうち、ワイヤソー103が被切断物から抜ける部分にゆがみが生じる。なお、ワイヤソー110がこのように逃げるのは、ワイヤソー110が抜ける直前に、ワイヤソー110の左側の被切断物100の厚みが非常に小さくなるので、この部分がワイヤソー110から作用する力に耐えきれず、ワイヤソー10により切断されてしまうためであると思われる。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、被切断物が傾斜面を有し、ワイヤソーがこの傾斜面と交差する場合であっても、切断面の精度を従来よりも向上させることができるワイヤソーによる切断方法を提供することにある。
本発明に係るワイヤソーによる切断方法は、ワイヤソーの相対的な進行方向に対して直角以外の角度で交差する傾斜面を有する被切断物の当該傾斜面に接着剤を塗布する工程と、ワイヤソーが傾斜面と交差するように、ワイヤソーにより被切断物を切断する工程とを有することを特徴とする。
本発明に係るワイヤソーによる切断方法によれば、傾斜面に接着剤を塗布するので、ワイヤソーが傾斜面から被切断物に進入する場合には、ワイヤソーが接着剤の表面で逃げ、接着剤の内部で理想的な軌道に近づいた後に、傾斜面に進入する。一方、ワイヤソーが傾斜面から被切断物の外部に抜ける場合には、接着剤により被切断物が補強される。したがって、いずれの場合にも、ワイヤソーが被切断物の内部で理想的な軌道から逃げる量が低減される(すなわち、被切断物の内部でワイヤソーと理想的な軌道とが近づく)ので、切断面の精度が従来よりも向上する。
次に、本発明の実施の形態を説明する。図1は、被切断物1が台座7に接着されている様子を示す側断面図である。図1は、被切断物1及び台座7を被切断物1の長さ方向に沿って切断した側断面の一部を示す。
まず、被切断物1について説明する。被切断物1は、炭化珪素単結晶であり、本体部2と、凸部3とを有する。本体部2は、円柱形状となっている。凸部3は、被切断物1の長さ方向の端部を構成しており、被切断物1の長さ方向に突出している。凸部3の周面4は曲面となっている。
次に、切断方法について説明する。まず、図1に示すように、水平に設置された台座7に、本体部2の側面を接着する。次いで、凸部3の全体に接着剤8を塗布し、凸部3の周面4のうち、下端面6(台座7に対向する面)と台座7との間に、接着剤8を充填する。凸部5の上端面5(周面4のうち、下端面6以外の面)に塗布される接着剤8の厚さは、ワイヤソー10が接着剤8の内部で逃げから復帰し、軌道11に戻ることができる厚さ(以下、「基準厚さ」と称する)以上となるように決定される。ワイヤソー10及び軌道11については後述する。本体部2と台座7とを接着する接着剤、及び接着剤8は、WボンドKN−75R主剤(日化精工製)とWボンドKN−75H硬化剤(日化精工製)とを2:1の割合で混合することで得られ、ショア硬度は75となり、体積収縮率が6%以下となる。本実施の形態で用いられる接着剤は、これに限られず、ショア硬度が40以上であればどのようなものであっても良い。矢印9は、後述するワイヤソー10の相対的な進行方向を示す。すなわち、被切断物1及び台座7が一体となって矢印9と反対方向に動くことで、ワイヤソー10は、被切断物1に対し、相対的に、矢印9の方向に動く。したがって、凸部3の周面4は、ワイヤソー10の相対的な進行方向に対して直角以外の角度で交差する。もちろん、ワイヤソー10が実際に矢印9の方向に動いても良い。この場合も、ワイヤソー10は、被切断物1に対し、相対的に、矢印9の方向に動くことになる。なお、台座7の下方には、台座7が接着され、台座7と一体となって動く主台座が存在するが、ここでは主台座の図示及び説明を省略する。
次いで、ワイヤソー10により凸部3を切断する。図2は、図1の領域Aの拡大図であり、ワイヤソー10が凸部3に進入するときの様子を示す。ワイヤソー10は、軌道11に沿って矢印9の方向に相対的に進む。なお、軌道11は、ワイヤソー10と凸部3との相対位置の理想的な軌道であり、ワイヤソー10が軌道11から外れずに相対的に進行した場合には、ゆがみのない切断面が形成される。ワイヤソー10は、軌道11に沿って下方に相対的に移動し、接着剤8に接触する。接着剤8の表面は、被切断物1の先端に向かって下方に傾斜しているので、ワイヤソー10は、接着剤8の表面において、軌道11から矢印9aの方向に逃げた後、接着剤8に進入する。ワイヤソー10は、下方に相対的に移動するにしたがって、徐々に軌道11に戻り、軌道11に戻った後は、軌道11に沿って下方に相対的に移動する。ここで、接着剤8の厚さは、基準厚さ以上となっているので、ワイヤソー10は、接着剤8の内部で軌道11に戻る。さらに、ワイヤソー10の周囲は、接着剤8で囲まれている。したがって、ワイヤソー10は、軌道11に沿って凸部3に進入するので、切断面のうち、ワイヤソー10が被切断物1に進入する部分のゆがみは従来より大幅に減少する。なお、接着剤8の厚みが基準厚さ未満の場合であっても、ワイヤソー10は、接着剤8の表面において軌道11から逃げた後、接着剤8の内部で軌道11に近づいた後、凸部3に進入する。したがって、この場合であっても、ワイヤソー10が凸部3内部で軌道11から逃げる量は低減されるので、切断面のうち、ワイヤソー10が被切断物1に進入する部分に生じるゆがみは、従来の切断方法よりも低減される。なお、ワイヤソー10が軌道11から逃げる量は、ワイヤソー10と軌道11との距離を意味する。
図3は、図1の領域Bの拡大図であり、ワイヤソー10が凸部3から抜けるときの様子を示す。ワイヤソー10は、軌道11に沿って矢印9の方向に相対的に進む。ワイヤソー10は、軌道11に沿って下方に相対的に移動し、凸部3から抜けた後も軌道11からほとんど外れずに相対的に進む。これは、接着剤8が下端面6と台座7との間に充填されているので、この接着剤8がワイヤソー10の左側の被切断物1、すなわちウェハ3aを補強しているためであると考えられる。したがって、切断面のうち、ワイヤソー10が被切断物1から抜ける部分のゆがみは従来より大幅に減少する。なお、接着剤8を下端面6に塗布しただけの場合であっても、この接着剤8の厚さを、ワイヤソー10が凸部3内部で逃げない厚さ以上にすれば、ワイヤソー10の逃げを抑制することができる。したがって、切断面のうち、ワイヤソー10が被切断物1から抜ける部分のゆがみは従来より大幅に減少する。また、この接着剤8の厚さを、ワイヤソー10が凸部3内部で逃げる厚さとした場合であっても、接着剤8がウェハ3aを補強することができることには変わりないので、ワイヤソー10が軌道11から逃げる量を従来よりも低減することができる。すなわち、切断面のうち、ワイヤソー10が被切断物1から抜ける部分に生じるゆがみは、従来の切断方法よりも低減される。
さらに、下端面6と台座7との間に接着剤8が充填されているので、この接着剤8により、ウェハ3aが保持される。したがって、ウェハ3aが落下する可能性を従来より大幅に低減することができる。なお、従来の切断方法は、図5に示すように、周面104と台座107との間が空間となっているので、凸部103を切断することで生成されたウェハ(ワイヤソー110の左側の被切断物100)が落下し、このウェハが割れたり、このウェハによりワイヤソー110が切断されてしまうという問題があった。したがって、本実施の形態に係る切断方法では、このような問題が生じる可能性を従来より大幅に低減することができる。
以上により、本実施の形態に係る切断方法は、上端面5に接着剤8を塗布し、この接着剤8の厚さを基準厚さ以上とするので、切断面のうち、ワイヤソー10が被切断物1に進入する部分のゆがみを従来より大幅に減少させることができる。
さらに、本実施の形態に係る切断方法は、下端面6と台座7との間に接着剤8を充填するので、切断面のうち、ワイヤソー10が被切断物1から抜ける部分のゆがみを従来より大幅に減少させることができ、かつ、ウェハ3aが落下する可能性を従来より大幅に低減することができる。
さらに、被切断物1は炭化珪素単結晶であるので、本実施の形態に係る切断方法は、炭化珪素単結晶のウェハを精度良く生成することができる。
さらに、接着剤8のショア硬度は40以上なので、接着剤8のショア硬度をこれ未満とした場合よりも、凸部3をより強固に補強することができる。これにより、ワイヤソー10が軌道11から逃げる量をより小さくすることができ、ウェハ3aをより強固に保持することができる。
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
たとえば、上記の実施の形態では、接着剤8を凸部3の上端面5の全体に塗布したが、図4に示すように、軌道11と上端面5とが交差する部分及び当該部分からワイヤソー10が逃げる範囲に塗布されていれば、上端面5の全体に塗布しなくても良い。
1:被切断物
2:本体部
3:凸部
4:周面
5:上端面
6:下端面
7:台座
8:接着剤
10:ワイヤソー
11:軌道
2:本体部
3:凸部
4:周面
5:上端面
6:下端面
7:台座
8:接着剤
10:ワイヤソー
11:軌道
Claims (6)
- ワイヤソーの相対的な進行方向に対して直角以外の角度で交差する傾斜面を有する被切断物の当該傾斜面に接着剤を塗布する工程と、
前記ワイヤソーが前記傾斜面と交差するように、前記ワイヤソーにより前記被切断物を切断する工程とを有することを特徴とするワイヤソーによる切断方法。 - 前記傾斜面は、前記ワイヤソーが前記被切断物に進入する際に交差する面を含むことを特徴とする請求項1記載のワイヤソーによる切断方法。
- 前記傾斜面は前記ワイヤソーが前記被切断物の内部から外部に抜ける際に交差する面を含むことを特徴とする請求項1または2記載のワイヤソーによる切断方法。
- 前記被切断物は、台座に接着され、前記傾斜面のうち、前記台座に対向する面と台座との間の空間に接着剤が充填され、
前記ワイヤソーは、前記被切断物に対し、前記台座の反対側から進入することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のワイヤソーによる切断方法。 - 前記被切断物は、炭化珪素単結晶であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のワイヤソーによる切断方法。
- 前記接着剤のショア硬度が40以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のワイヤソーによる切断方法。
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JP2008138129A JP2009285743A (ja) | 2008-05-27 | 2008-05-27 | ワイヤソーによる切断方法 |
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-
2008
- 2008-05-27 JP JP2008138129A patent/JP2009285743A/ja active Pending
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