JP2009279721A - インゴットの円筒研削方法及びその方法で用いられる固定アダプタ - Google Patents
インゴットの円筒研削方法及びその方法で用いられる固定アダプタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009279721A JP2009279721A JP2008135754A JP2008135754A JP2009279721A JP 2009279721 A JP2009279721 A JP 2009279721A JP 2008135754 A JP2008135754 A JP 2008135754A JP 2008135754 A JP2008135754 A JP 2008135754A JP 2009279721 A JP2009279721 A JP 2009279721A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ingot
- flat surface
- adapter
- pseudo
- end portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
【解決手段】インゴットの平坦面に、コーン状の疑似端部を接合し、インゴットのコーン状の端部と疑似端部を把持して前記直胴部を研削する円筒研削方法であって、前記疑似端部と前記インゴットの平坦面を接合するための固定アダプタを、前記インゴットの平坦面に吸着させ、前記固定アダプタの疑似端部装着手段により前記固定アダプタに前記疑似端部を装着させることで、前記インゴットの平坦面に前記コーン状の疑似端部を接合し、前記コーン状の端部と疑似端部を保持して前記インゴットの直胴部を研削することを特徴とするインゴットの円筒研削方法。
【選択図】 図1
Description
図6に一般的な円筒研削装置の一例の概略図を示す。
この円筒研削装置10は、インゴット7を保持するためのクランプ9、9’、インゴット7を研削する研削ホイール8等を具備している。クランプ9、9’はその軸周りに回転可能となっている。
また、接着面近傍でインゴットを切断することにより、インゴットの一部でロスが発生し、製品歩留まりが大幅に低下するという問題もあった。
このように、前記疑似端部装着手段として、ネジを用いることでインゴットの研削時には固定アダプタと疑似端部の接合強度を十分保ちつつ、疑似端部をより容易に装脱着させることができる。
従来、円筒状の直胴部と該直胴部の一端がコーン状の端部であり、他端が平坦面であるインゴットの直胴部を円筒研削する場合、そのインゴットの平坦面にコーン状の疑似端部を接着剤等により接着して固定し、クランプでインゴットの疑似端部と他方のヘッド部を保持して直胴部の円筒研削が行われいた。
また、インゴットと疑似端部の接着面近傍で切断することにより、インゴットの一部でロスが発生し、製品歩留まりが低下するという問題もあった。
図2に示すように、円筒研削装置10は、研削する円筒状のインゴット7を保持するための一対のクランプ9、9’と、インゴット7の直胴部7aを研削する砥石を有する研削ホイール8が設けられている。
図1に示すように、固定アダプタ1は、少なくとも、インゴットの平坦面7cと吸着する端面を有するアダプタ本体2と、インゴット7とアダプタ本体2とを吸着させる吸着手段3と、疑似端部5をアダプタ本体2に装着させる装着手段4を有している。
このような構成であれば、簡単に疑似端部5をインゴット7の平坦面7cに接合できるし、例えば、疑似端部5の接合をミスした場合でも容易に疑似端部を外して接合工程をやり直しすることができる。
このように、疑似端部5をアダプタ本体2に装着させる装着手段として、アダプタ本体2と疑似端部5とを螺合するネジ4、4’を設け、該ネジ4、4’により疑似端部5をアダプタ本体2に装着すれば、インゴット7の研削時には固定アダプタ2と疑似端部5の接合強度を十分保ちつつ、疑似端部5を容易に装脱着させることができる。
図5は、インゴット7の平坦面7cに、図1に示すような、本発明の固定アダプタ1を介して、図4に示すような、疑似端部5を接合する工程を説明するフロー図である。
図5に示すように、本発明の円筒研削方法の被研削対象であるインゴット7は、前述した通り、円筒状の直胴部7aと該直胴部7aの一端がコーン状の端部7bと、他端が平坦面7cを有している。まず、インゴット7の平坦面7cに固定アダプタを吸着させる際の位置決めに使用するためのセンターマーキングを行う(図5(a))。
次に、アダプタ本体2の疑似端部装着手段のネジ4と疑似端部5のネジ4’を螺合させ、固定アダプタ1に疑似端部を装着させる(図5(c))。
その後、インゴット7をクランプ9、9’により軸周りに回転させながら、研磨ホイール8をトラバース動させインゴット7の直胴部7aを円筒状に研削する。
このように、インゴット7の平坦面7cに吸着する固定アダプタ1の吸着面の中央部に空間を設けることで密閉空間11を形成し、該空間11を広げて減圧することによって、固定アダプタ1とインゴット7の平坦面7cとを吸着させることで、インゴット7の研削時には固定アダプタ1とインゴット7の接合強度を十分保ちつつ、固定アダプタ1及び疑似端部5を低コストでより容易に装脱着させることができる。
このように、疑似端部装着手段4として、ネジを用いることで、インゴット7の研削時には固定アダプタ1と疑似端部5の接合強度を十分保ちつつ、疑似端部5を容易に装脱着させることができる。
図1に示すような固定アダプタを用い、図4に示すような疑似端部を、図3(A)に示すような直胴部が直径200mmのシリコンインゴットの平坦面に接合させ、図2に示すような円筒研削装置を用い、20本のシリコンインゴットの直胴部の円筒研削を行った。まず、インゴットにセンターマーキングを行い、次に、そのマーキングを位置決め基準にしてインゴットの平坦面に疑似端部を接合させた。その後、インゴットの直胴部の円筒研削を行い、疑似端部及び固定アダプタをインゴットの平坦面から取り外した。
その結果、工程時間は円筒研削時間を除くとインゴット1本当たり平均5分であり、後述する比較例とくらべ、1本あたり約25分短縮することができた。
また、同一の固定アダプタ及び疑似端部を使用して全てのインゴットを円筒研削することができた。
また、固定アダプタ及び疑似端部を再利用できるので、製造コストを低減することができ、また、切断によるインゴットのロスもないため、製品の歩留りの低下を抑制することができることが確認できた。
疑似端部を瞬間接着剤で接着した以外、実施例と同様な条件でインゴットを円筒研削し、同様な評価を行った。
その結果、円筒研削時間を除いた工程時間はインゴット1本当たり平均30分であった。
また、疑似端部とインゴットは接着剤により強固に接着されたいたため、疑似端部の取り外し時に接着面近傍を切断する必要があった。そのためインゴット1本当たり平均12mmの切断ロスが発生した。この切断にかかる時間も入れるとさらに時間のロスが生じていることが判った。
4…装着手段、5、5’…疑似端部、6…Oリング、
7…インゴット、7a…胴体部、7b…コーン状端部、
7c…平坦面、8…研削ホイール、9、9’…クランプ、10…円筒研削装置、
11…空間、12…移動板、13…ネジ、14…吸着面。
Claims (6)
- 円筒状の直胴部と該直胴部の一端がコーン状の端部であり、他端が平坦面であるインゴットの前記直胴部を研削する円筒研削方法において、前記インゴットの平坦面に、コーン状の疑似端部を接合し、前記インゴットのコーン状の端部と疑似端部を把持して前記直胴部を研削する円筒研削方法であって、前記疑似端部と前記インゴットの平坦面を接合するための固定アダプタを、前記インゴットの平坦面に吸着させ、前記固定アダプタの疑似端部装着手段により前記固定アダプタに前記疑似端部を装着させることで、前記インゴットの平坦面に前記コーン状の疑似端部を接合し、前記コーン状の端部と疑似端部を保持して前記インゴットの直胴部を研削することを特徴とするインゴットの円筒研削方法。
- 前記インゴットの平坦面に吸着する前記固定アダプタの吸着面の中央部に空間を設けることで密閉空間を形成し、該空間を広げて減圧することによって、前記固定アダプタと前記インゴットの平坦面とを吸着させることを特徴とする請求項1に記載のインゴットの円筒研削方法。
- 前記疑似端部装着手段として、ネジを用いることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインゴットの円筒研削方法。
- 円筒状の直胴部と該直胴部の一端がコーン状の端部であり、他端が平坦面であるインゴットの前記平坦面にコーン状の疑似端部を接合し、前記コーン状の端部と疑似端部を把持して前記インゴットの直胴部を研削する円筒研削方法において用いられる、前記インゴットの平坦面と、前記コーン状の疑似端部とを接合するための固定アダプタであって、少なくとも、前記インゴットの平坦面と吸着する端面を有するアダプタ本体と、前記インゴットの平坦面と前記アダプタ本体とを吸着させる吸着手段と、前記疑似端部を前記アダプタ本体に装着させる装着手段とを具備し、前記吸着手段により前記インゴットの平坦面に前記アダプタ本体を吸着し、前記装着手段により前記アダプタ本体に前記疑似端部を装着させることで前記インゴットの平坦面に前記疑似端部を接合するものであることを特徴とする固定アダプタ。
- 前記アダプタ本体の吸着面は中央部に空間を有し、前記吸着面の外周にOリングが配設され、前記吸着手段は前記吸着するインゴットの平坦面に対して前後動自在な移動板を有し、前記吸着面、前記Oリング及び前記移動板で形成される密閉された前記空間を、前記移動板を前記インゴットの平坦面に対し後方に移動させることによって広げて該密閉空間内を減圧し、前記アダプタ本体を前記インゴットの平坦面に吸着させるものであることを特徴とする請求項4に記載の固定アダプタ。
- 前記疑似端部を前記アダプタ本体に装着させる装着手段として、前記アダプタ本体と疑似端部とを螺合するネジを設け、該ネジにより前記疑似端部を前記アダプタ本体に装着するものであることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の固定アダプタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008135754A JP5353058B2 (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | インゴットの円筒研削方法で用いられる固定アダプタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008135754A JP5353058B2 (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | インゴットの円筒研削方法で用いられる固定アダプタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009279721A true JP2009279721A (ja) | 2009-12-03 |
JP5353058B2 JP5353058B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=41450725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008135754A Active JP5353058B2 (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | インゴットの円筒研削方法で用いられる固定アダプタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5353058B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023228591A1 (ja) * | 2022-05-25 | 2023-11-30 | 信越半導体株式会社 | 円筒研削機 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04343635A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-11-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶棒クランプ位置決め治具及びこれを用いた単結晶棒クランプ位置決め方法 |
JPH0584682A (ja) * | 1991-03-29 | 1993-04-06 | Hitachi Ltd | 真空チヤツク装置 |
JP2001259975A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-25 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | 単結晶加工方法 |
JP2007083354A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Seiwa Seiki:Kk | ワーク吸着保持装置 |
-
2008
- 2008-05-23 JP JP2008135754A patent/JP5353058B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04343635A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-11-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶棒クランプ位置決め治具及びこれを用いた単結晶棒クランプ位置決め方法 |
JPH0584682A (ja) * | 1991-03-29 | 1993-04-06 | Hitachi Ltd | 真空チヤツク装置 |
JP2001259975A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-25 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | 単結晶加工方法 |
JP2007083354A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Seiwa Seiki:Kk | ワーク吸着保持装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023228591A1 (ja) * | 2022-05-25 | 2023-11-30 | 信越半導体株式会社 | 円筒研削機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5353058B2 (ja) | 2013-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5007682B2 (ja) | 円筒研削装置および研削方法 | |
JP6421658B2 (ja) | ブレード自動交換装置及びブレード自動交換方法 | |
CN104290030A (zh) | 切削装置 | |
TWI605911B (zh) | 用於晶圓邊緣修整之硏磨輪及晶圓邊緣修整之方法 | |
WO2011027505A1 (ja) | インゴットの研削装置 | |
JP5353058B2 (ja) | インゴットの円筒研削方法で用いられる固定アダプタ | |
JP6167984B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
TWI571447B (zh) | An easy to remove dust knife | |
CN109822431B (zh) | 一种机器人用模具侧壁抛光装置 | |
TW201402294A (zh) | 用於單晶塊硏磨之系統及方法 | |
TWM510326U (zh) | 一種易于拆卸的防塵刀輪 | |
JP2020053610A (ja) | ウエハの製造方法、及び、ウエハの押さえ治具 | |
JP2012009550A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP6489963B2 (ja) | ブレード挟持治具 | |
JP2003048164A (ja) | 研磨ホイール | |
JP2012019126A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
US8944892B2 (en) | Method of dressing an abrasive wheel using a polycrystalline CVD synthetic diamond dresser and method of fabricating the same | |
JP2003224090A (ja) | 単結晶インゴットの切断方法及び切断用治具 | |
JP2017087332A (ja) | テンプレートアセンブリの製造方法及びこのテンプレートアセンブリを用いた研磨方法並びにテンプレートアセンブリ | |
CN212635323U (zh) | 一种液压阀块表面除毛刺装置 | |
KR20150069683A (ko) | 패드 컨디셔닝 전용 장치 및 방법 | |
CN215319734U (zh) | 陶瓷切割打磨装置 | |
JP2013136122A (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
CN116787160B (zh) | 一种汽车零部件冲裁修边设备 | |
JP2003025205A (ja) | 研削、研磨加工用の光学素子保持部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100726 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120815 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130516 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130730 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130812 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5353058 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |