JP2020053610A - ウエハの製造方法、及び、ウエハの押さえ治具 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、本発明はこのような従来の問題を解決しようとするもので、単結晶の切断後のウエハの接触、倒れ、落下等を防止することが可能なウエハの押さえ治具及びウエハの製造方法を提供するものである。
図1は、本実施形態に係るウエハWの製造方法の一例を示すフローチャートである。本実施形態のウエハWの製造方法は、図1に示すように、単結晶を台座に接着する接着工程(ステップS1)と、台座に接着した単結晶を切断する切断工程(ステップS2)と、単結晶を切断して形成した複数のウエハ間の相対位置を固定する固定工程(ステップS3)と、台座に接着されたウエハを台座から剥離する剥離工程(ステップS4)を含む。なお、本実施形態において、「ウエハ」とは、円柱状の単結晶を切断して形成された円盤状の板を意味する。
タンタル酸リチウム(以下LT)の大きさφ150mm長さ100mmの単結晶Cを用意した。厚さ20mmの台座8にスライス台を、エポキシ系の接着剤9により固定した。その台座8の上に単結晶Cのオリフラ部を、台座8の面に合わせてエポキシ系の接着剤9で固定した。
LTの大きさφ100mm長さ250mmの単結晶Cと、ウエハW厚みを0.28mm、ウエハW間のピッチを0.42mmとした以外、実施例1と同様の試験を実施した。
単結晶Cをガラス円柱とし、その大きさφ250mm、長さ50mmとした以外、実施例2と同様に試験を実施した。
W…ウエハ
Z…押さえ治具
M…ワイヤソー装置
Sc…円周面(単結晶C、ウエハW)
AX1…中心軸(単結晶、ウエハ)
AX2…回転軸(上側アーム)
AX3…回転軸(下側アーム)
AX4…回転軸(押さえ部)
PL1…水平面
PL2…垂直面
3…ワイヤ
4…ワイヤ列
6…スライス台ホルダ
7…スライス台
8…台座
9…接着剤
R1〜R3…回転ローラ
12…押さえ部
12a…上側押さえ部
12b…下側押さえ部
14…取り付け部材(アタッチメント)
15…支柱
15L…下側部材
15U…上部部材
17…アーム
17a…上側アーム
17b…下側アーム
19…接触部
20…ガイド部材
22…可動機構
23…第1調整部
24…第2調整部
26…支柱ベース
27…端面押さえ部
G1…ガイド(アーム)
G2…ガイド(第1調整部)
G3…ガイド(第2調整部)
T1…固定部材(取り付け部材)
T2…固定部材(アーム)
T3…固定部材(第1調整部)
T4…固定部材(支柱)
T5…固定部材(第2調整部)
T…剥離槽
LQ…剥離液
Claims (7)
- 台座に固定された円柱状の単結晶を切断して形成された、間隔をおいて並ぶ複数のウエハのそれぞれの円周面の一部を押さえ、前記複数のウエハ間の相対位置を固定可能な押さえ部を備える押さえ治具であって、
前記押さえ部は、前記台座に固定された前記単結晶の中心軸を通る水平面に対して上下対称になるように配置され、かつ、前記台座に固定された前記単結晶の中心軸を通る垂直面に対して左右対称になるように配置され、前記ウエハの円周面の一部を押さえる、押さえ治具。 - 前記押さえ部は、前記台座に固定された前記単結晶の中心軸と平行な軸周りに円弧状に可動し、
前記押さえ部の長さは、前記単結晶の中心軸方向において、前記台座の長さ以上である、請求項1の押さえ治具。 - 前記押さえ部は、前記台座に固定された前記単結晶の中心軸を通る水平面に対し上下対称になるように配置され、かつ、前記台座に固定された前記単結晶の中心軸を通る垂直面に左右対称になるように配置されるように、前記押さえ部の位置が可動する、請求項1又は請求項2に記載の押さえ治具。
- 前記押さえ部の前記台座に対する上下方向の相対位置を変更する第1調整部と、前記押さえ部の前記台座に対する左右方向の相対位置を変更する第2調整部と、を備える、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の押さえ治具。
- 前記押さえ部は、前記ウエハの円周面に接触する部分が弾性体である、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の押さえ治具。
- 前記押さえ部は、前記ウエハの円周面に接触する部分が、前記台座に固定された前記単結晶の中心軸と平行な軸周りに回転可能な回転体である、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の押さえ治具。
- 円柱状の単結晶を切断してウエハを製造する方法であって、
前記単結晶の円周面の一部を接着剤により台座に接着することと、
前記台座に接着された前記単結晶を切断装置により切断して、前記台座に接着され且つ間隔をおいて並ぶ複数の前記ウエハを形成することと、
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の押さえ治具により、前記複数のウエハ間の相対位置を固定することと、
前記台座に接着された前記複数のウエハを、前記台座から剥離することと、を含む、ウエハの製造方法。
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JP7104909B1 (ja) * | 2022-04-18 | 2022-07-22 | 有限会社サクセス | 半導体結晶ウェハの製造方法および製造装置 |
WO2023119703A1 (ja) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | 有限会社サクセス | 半導体結晶ウェハの製造方法および製造装置 |
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JPH11111652A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Arakawa Chem Ind Co Ltd | ウェハー状ワーク洗浄方法並びに当該洗浄方法に用いる洗浄バスケット及び洗浄ハウジング |
WO2011148559A1 (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | イーティーシステムエンジニアリング株式会社 | 半導体ウェーハの分離装置 |
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2018
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