JP2009276131A - 超音波式流量計 - Google Patents

Abstract

【課題】 送受信振動子による高能率かつ高精度での流量計測を可能とするとともに、送受信振動子前方の助走区間を短縮して簡素に構成することのできる超音波式流量計を提供する。
【解決手段】 直線状中間流路２１ａ内には２枚の板状の仕切壁４０が流れ方向に沿って配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して３層の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。各仕切壁４０には、超音波ビームの測線に対応させて１個の円形状の連通孔４１が幅方向に貫通形成され、各連通孔４１には、網目状素材で構成された薄板状又はシート状の調整網４２が重ね合わせてある。
【選択図】 図７

Description

本発明は、ＬＰガス、都市ガス、空気、水などの流体の流量を計測する超音波式流量計に関する。

従来、ＬＰガス、都市ガス、空気、水などの流体の流量を計測する流量計測装置として、超音波を利用して流速を測定する超音波式流量計が知られている。このような超音波式流量計では、例えば、流体を通過させるための計測流路（計測用直線流路）の壁部（取付壁面）に、流体の流れ方向上手側又は下手側に向けて超音波を発振した後、流れ方向上手側又は下手側から到来する超音波を受信する一対の送受信振動子（超音波センサ）が取り付けられて、流量測定部を構成している。また、導入側流路と計測流路との間には、流れ方向上手側に位置する導入側流路を外周側及び内周側で湾曲させて流体の流れを方向転換するとともに、流れ方向下手側に向かうにつれて流路断面積を縮小し、流れ方向下手側に位置する計測流路へ連通するための方向転換部が配置されている。このような流路構成によって圧力損失を抑制し、流量測定部での測定精度の向上や測定範囲の拡大が図られている。

ところが、計測流路の幅方向を長辺とし高さ方向を短辺とする矩形状に開口し、方向転換部の出口側末端部において外周側及び内周側で計測流路の長辺壁部に接続する場合、計測流路の幅方向及び高さ方向において、流路を流れる流体の流速分布が不均等になったり非対称になったりする傾向がある。もちろん助走区間（流量測定部の前方区間）を長く取れば、計測流路における幅方向及び高さ方向の流速分布を十分に均等化及び対称化することは可能である。

具体的には、小流量時（低速時；層流域）には、計測流路の幅方向及び高さ方向において、中央位置付近に最大流速（ピーク値）が現れる扇状（又は弧状あるいは放物線状）の流速分布を呈し、大流量時（高速時；乱流域）には、計測流路の幅方向及び高さ方向において、平均流速が最大流速（ピーク値）とほぼ一致するバスタブ状（又はコの字状）の流速分布を呈する。そして、流速分布を均等化及び対称化するに必要な助走区間の長さは、一般には、開口幅Ｗ、開口高さＨとしたとき、１０×（Ｗ×Ｈ）^１／２以上必要とされている。そこで、送受信振動子前方の助走区間を短縮して超音波式流量計を簡素に構成することが望まれている。また、小流量時においても大流量時のようなバスタブ状となるように、流速分布を平滑化することが望まれている。

そこで、このように流路の幅方向を長辺とし高さ方向を短辺とする矩形状に開口する計測流路において、短辺壁部の取付壁面に送受信振動子を取り付けるとともに、短辺となる開口高さを高さ方向に分割して複数の層状流路（分割流路）を形成する仕切板（仕切部）を流れ方向に沿って配置することが開示されている（特許文献１参照）。また、計測流路の壁面に送受信振動子を取り付けるとともに、複数の層状流路（分割流路）を形成するビーム絞り孔付き仕切板（仕切部）を計測流路内に流れ方向に沿って配置することが開示されている（特許文献２参照）。

特許第３５２８３４７号公報 特開２００４−２５１６５３号公報

このうち、特許文献１によれば、仕切板で分割された層状流路毎に主として高さ方向での流速分布を均等化及び対称化できる。しかし、仕切板が送受信振動子を横断する（遮る）形で配置されるので、超音波ビームが仕切板で分断されパワーが分散・減衰されて、超音波式流量計の能率や精度が低下する。また、仕切板によって計測流路は高さ方向に狭い（薄い）層状に分割されるために、むしろ層状流路間での流体の流通が阻害され、また特に大流量時には渦を発生しやすくなって、各層状流路の幅方向及び高さ方向での流速分布が不均等になったり非対称になったりするおそれがある。

一方、特許文献２によれば、仕切板のビーム絞り孔で超音波ビームを絞りつつ、分割された流路毎に流速分布を均等化及び対称化できる。しかし、特許文献２において仮に、計測流路が幅方向を長辺とし高さ方向を短辺とする矩形状に開口し、短辺壁部の取付壁面に送受信振動子が取り付けられ、仕切板によって長辺となる開口幅を幅方向に分割する場合であっても、特に大流量時において、ビーム絞り孔を介して層状流路間での流体の流通が活発になり、各層状流路の幅方向及び高さ方向での流速分布が不均等になったり非対称になったりするおそれがある。

本発明の課題は、送受信振動子による高能率かつ高精度での流量計測を可能とするとともに、送受信振動子前方の助走区間を短縮して簡素に構成することのできる超音波式流量計を提供することにある。具体的には、計測用直線流路を仕切部により幅方向に分割して複数の分割流路を形成するとともに、仕切部の一部又は全体に網目状素材を用いることによって、超音波ビームが仕切部で分断されずパワーが分散・減衰されることなく、送受信振動子による高能率かつ高精度での流量計測を可能とする超音波式流量計を提供することにある。また、隣接する分割流路間での流体の流通を限定的に許容し、主として幅方向での流速分布を均等化及び／又は対称化しかつ平滑化することにより、送受信振動子前方の助走区間を短縮して簡素に構成することのできる超音波式流量計を提供することにある。

課題を解決するための手段及び発明の効果

上記課題を解決するために、本発明に係る超音波式流量計は、
流体を通過させるために所定の流路断面積を有する導入側流路と、その導入側流路に交差して直線状に連通形成され、流体の流量を測定するために流路の幅方向を長辺とし高さ方向を短辺とする矩形状に開口して前記導入側流路よりも小さい流路断面積を有し、その短辺壁部の取付壁面に流体の流れ方向上手側若しくは下手側に向けて超音波ビームを発振し、及び／又は流れ方向上手側若しくは下手側から到来する超音波ビームを受信する送受信振動子が取り付けられた計測用直線流路と、を含む超音波式流量計であって、
前記導入側流路の出口側末端部と前記計測用直線流路の入口側先端部との間に配置され、その計測用直線流路の長辺壁部に連なる外周側と内周側とのうち少なくとも外周側が湾曲形態に形成されて流体の流れを方向転換させるとともに、流路の開口高さが流れ方向下手側に向かうにつれて減少する方向転換部と、
前記計測用直線流路内に流れ方向に沿って配置され、その計測用直線流路の長辺となる開口幅を幅方向に分割して複数の分割流路を形成するとともに、前記超音波ビームの測線に対応させて幅方向に貫通形成された連通孔と、前記超音波ビームの通過を許容しつつ前記連通孔に重ね合わせてその連通孔の開孔面積を縮小するために網目状素材で構成された調整部とを有する１又は複数の仕切部と、を備え、
前記計測用直線流路が前記仕切部で複数の分割流路に分割形成されるとともに、前記調整部を構成する網目状素材を介して互いに隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容されることによって、各分割流路における主として幅方向の流速分布が均等化及び／又は対称化されることを特徴とする。

上記超音波式流量計では、計測用直線流路（例えば直線状中間流路）を仕切部（例えば仕切壁）により幅方向に分割して複数の分割流路を形成するとともに、仕切部の連通孔に網目状素材（例えばメッシュ生地）を重ね合わせることによって、隣接する分割流路間での流体の流通（移動）が限定的に許容される。このように、超音波ビームが仕切部で分断されないため、パワーが分散・減衰されなくなり、送受信振動子による流量計測が高能率・高精度で行える。また、隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容されるため、主として幅方向での流速分布を均等化及び／又は対称化しかつ平滑化することにより、送受信振動子前方の助走区間を短縮して、超音波式流量計を簡素に構成することができる。

具体的には、小流量時（低速時；層流域）には、各分割流路の幅方向において、中央位置付近に最大流速（ピーク値）が現れる扇状（又は弧状あるいは放物線状）の流速分布を呈し、大流量時（高速時；乱流域）には、各分割流路の幅方向において、平均流速が最大流速（ピーク値）とほぼ一致するバスタブ状（又はコの字状）の流速分布を呈する。また、連通孔に重ね合わせた網目状素材を介して、隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容される結果、小流量時において各分割流路の幅方向の流速分布が平滑化され、大流量時と同様のバスタブ状の流速分布が現れやすくなる。さらに、連通孔に重ね合わせた網目状素材を介して、隣接する分割流路間での流体の流通が可能となる（限定的に許容される）ことによって、計測用直線流路において高さ方向での流速分布を均等化及び／又は対称化することもできる。したがって、仕切部の連通孔に網目状素材を重ね合わせる簡素な構成によって、送受信振動子前方の助走区間の短縮を図ることができる。これらによって、流体の種別や温度変化に伴って粘性が変化し、動粘性係数の変化につれて流速分布が変動しても、層流域から乱流域にわたって広範囲に高精度で流量を計測できるようになる。

このような超音波式流量計において、連通孔の開孔面積は、その連通孔を通過する超音波ビームが連通孔に平行な平面に投影されたビーム投影断面積と同等又はそれ以下とすることができる。

これによって、送信側の振動子で発振後に拡径する超音波ビームの周辺部は連通孔の周縁部で排除され、受信側の振動子では位相の異なる成分が到達しにくく同位相のビームのみを受信しやすくなるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。なお、連通孔が円形であり、超音波ビームが円形の送受信振動子から発振される場合には、連通孔の円形状開孔面積は超音波ビーム（又は送受信振動子）の楕円状投影断面積と同等又はそれ以下となる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る超音波式流量計は、
流体を通過させるために所定の流路断面積を有する導入側流路と、その導入側流路に交差して直線状に連通形成され、流体の流量を測定するために流路の幅方向を長辺とし高さ方向を短辺とする矩形状に開口して前記導入側流路よりも小さい流路断面積を有し、その短辺壁部の取付壁面に流体の流れ方向上手側若しくは下手側に向けて超音波ビームを発振し、及び／又は流れ方向上手側若しくは下手側から到来する超音波ビームを受信する送受信振動子が取り付けられた計測用直線流路と、を含む超音波式流量計であって、
前記導入側流路の出口側末端部と前記計測用直線流路の入口側先端部との間に配置され、その計測用直線流路の長辺壁部に連なる外周側と内周側とのうち少なくとも外周側が湾曲形態に形成されて流体の流れを方向転換させるとともに、流路の開口高さが流れ方向下手側に向かうにつれて減少する方向転換部と、
前記計測用直線流路内に流れ方向に沿って配置され、その計測用直線流路の長辺となる開口幅を幅方向に分割して複数の分割流路を形成するとともに、前記超音波ビームの通過を許容する網目状素材で構成された１又は複数の仕切部と、を備え、
前記計測用直線流路が前記仕切部で複数の分割流路に分割形成されるとともに、前記仕切部を構成する網目状素材を介して互いに隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容されることによって、各分割流路における主として幅方向の流速分布が均等化及び／又は対称化されることを特徴とする。

上記超音波式流量計では、計測用直線流路（例えば直線状中間流路）を仕切部（例えば仕切網）により幅方向に分割して複数の分割流路を形成するとともに、仕切部全体を網目状素材（例えばメッシュ生地）で構成することによって、隣接する分割流路間での流体の流通（移動）が限定的に許容される。このように、超音波ビームが仕切部で分断されないため、パワーが分散・減衰されなくなり、送受信振動子による流量計測が高能率・高精度で行える。また、隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容されるため、主として幅方向での流速分布を均等化及び／又は対称化しかつ平滑化することにより、送受信振動子前方の助走区間を短縮して、超音波式流量計を簡素に構成することができる。

具体的には、小流量時（低速時；層流域）には、各分割流路の幅方向において、中央位置付近に最大流速（ピーク値）が現れる扇状（又は弧状あるいは放物線状）の流速分布を呈し、大流量時（高速時；乱流域）には、各分割流路の幅方向において、平均流速が最大流速（ピーク値）とほぼ一致するバスタブ状（又はコの字状）の流速分布を呈する。また、仕切部を構成する網目状素材を介して、隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容される結果、小流量時において各分割流路の幅方向の流速分布が平滑化され、大流量時と同様のバスタブ状の流速分布が現れやすくなる。さらに、仕切部を構成する網目状素材を介して、隣接する分割流路間での流体の流通が可能となる（限定的に許容される）ことによって、計測用直線流路において高さ方向での流速分布を均等化及び／又は対称化することもできる。したがって、仕切部を網目状素材で構成する簡素な構成によって、送受信振動子前方の助走区間の短縮を図ることができる。これらによって、流体の種別や温度変化に伴って粘性が変化し、動粘性係数の変化につれて流速分布が変動しても、層流域から乱流域にわたって広範囲に高精度で流量を計測できるようになる。

このような超音波式流量計の仕切部を構成する網目状素材において、超音波ビームの測線に対応する部位の開孔率を他の部位の開孔率よりも大に形成することができる。

これにより、隣接する分割流路間での仕切部（網目状素材）を介しての流体の流通量（移動量）が、超音波ビームの測線に対応する部位では周辺の部位よりも多くなる。したがって、小流量時の各分割流路において幅方向の流速分布の平滑化が促進され、また、高さ方向での流速分布の均等化や対称化も促進されるので、送受信振動子前方の助走区間の一層の短縮を図ることができる。なお、「開孔率」は、網目状素材の全体表面積に占める開孔部の合計表面積の割合を表す。

これらの超音波式流量計では、仕切部は、分割された各分割流路の開口幅が互いに等しくなるように配置されていることが望ましい。

等間隔の仕切部によって計測用直線流路が幅方向に分割されるので、各分割流路での幅方向の流速分布を迅速に均等化・対称化することができる。なお、各分割流路の開口幅が等しくない場合には、例えば、仕切部を幅方向において互いに平行状に複数配置するとともに、幅方向中央位置に近い分割流路ほど開口幅を大に形成するとよい。分割流路を流れる流体の流量は、幅方向中央寄りほど多く壁際（短辺壁部側）ほど少なくなる傾向（特に小流量時で顕著）になるので、周辺部よりも中央部で分割流路の開口幅（容量）を大きくすることにより、計測用直線流路の幅方向の流速分布を平滑化することができる。

また、仕切部が幅方向において互いに平行状に複数配置される場合、網目状素材を、幅方向中央位置の近くに位置するものほど開孔率が小さくなるように形成することができる。

分割流路を流れる流体の流量は、幅方向中央寄りほど多く壁際（短辺壁部側）ほど少なくなる傾向（特に小流量時で顕著）になる。そこで、中央部よりも周辺部で網目状素材の開孔率を大きくすることにより、周辺部の網目状素材での流通量（移動量）を相対的に増加させ、各分割流路を流れる流体の流量をバランスさせて、計測用直線流路の幅方向の流速分布を平滑化することができる。なお、この場合の網目状素材は、仕切部の連通孔に重ね合わせる網目状素材と、仕切部全体を構成する網目状素材との両者を含む。

一方、仕切部が幅方向において互いに平行状に複数配置される場合、網目状素材を、幅方向中央位置の近くに位置するものほど開孔率が大きくなるように形成することもできる。

幅方向中央寄りの分割流路に最大流速（ピーク値）が現れる（特に小流量時で顕著）ので、周辺部よりも中央部で網目状素材の開孔率を大きくすることにより、平均流速が最大流速（ピーク値）と一致するように平滑化して幅方向中央寄りの分割流路における流速分布をバスタブ状とし、送受信振動子による流量計測を安定させることができる。なお、この場合の網目状素材も、仕切部の連通孔に重ね合わせる網目状素材と、仕切部全体を構成する網目状素材との両者を含む。

さらに、仕切部は幅方向に所定の厚みを有する板状に形成されるとともに、計測用直線流路の長辺壁部には仕切部の厚みに相当する溝幅を有する凹部が流れ方向に沿って互いに平行状に複数形成され、
仕切部を、長辺壁部に形成された凹部への挿入・抜き出しにより、計測用直線流路に対し幅方向の装着位置を変えて着脱可能に取り付けることができる。

このように、凹部への挿入・抜き出しによって仕切部を交換したり、幅方向の配置位置・取付個数等を変更したりすることが容易に行えるので、超音波式流量計の汎用性が向上する。また、分割流路個数（仕切部個数）や開口幅を変更することによって、計測用直線流路における幅方向及び高さ方向での流速分布を調節することもできる。なお、この場合の仕切部は、連通孔と調整部とを有する仕切部と、全体を網目状素材で構成する仕切部との両者を含む。

導入側流路と計測用直線流路（流量計測区間）とが直交状に配置され、計測用直線流路（流量計測区間）の開口高さ及び開口幅が流れ方向に対して一定に形成されていれば、超音波式流量計をコンパクトな箱型形状に形成できる。また、送受信振動子前方の助走区間を短縮できる。

ところで、上記「網目状素材」には、次のものを含む。
（１）ガーゼのような高分子材料（例えばポリプロピレン（ＰＰ）等の合成樹脂）製の織布；
（２）パンチングメタルのような金属（例えばステンレス）製の孔あき板；
（３）篩い布、篩い網のような高分子材料製又は金属製のメッシュ生地；
例えば、高分子材料製の織布やメッシュ生地の場合、網目状素材の骨組みをなす網部は、複数の高分子材料（例えば合成樹脂）製の単糸を束ねたりより合わせたりした糸（フィラメント又はファイバー）を横糸及び縦糸として編むことによって作られ、開孔率３０〜８０％程度（例えば５５％）に形成される。このような柔軟性・弾力性を有する網目状素材を用いることによって、超音波ビームのうち位相の異なる成分が網目状素材で吸収され、受信側の振動子では同位相のビームのみを受信しやすくなるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。

（全体構成）
次に、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図１は、一般住宅用ガスメータ等として用いられる超音波式流量計の一実施例の全体斜視図を示す。この超音波式流量計１００（流量計）は、本体ユニット１０と中間流路形成ユニット２０と遮断弁３０とから構成され、本体ユニット１０は本体部１１と蓋部１７とからなる。

図２は超音波流量計１００の正面断面図を示し、図２のＡ−Ａ断面図が図３に表わされている。図２に示すように、本体部１１は全体として直方体形状を有し、その上面には、上流側のガス配管に接続される流入口１２及び下流側のガス配管に接続される流出口１３がそれぞれ開口している。また、その内部には、流入口１２と流出口１３との間にガス（流体）を通過させるための本体流路１４が形成されている。本体部１１の下部には、図２の背面側から手前側（嵌合方向）に向けて本体流路切除部１５が形成され、この本体流路切除部１５は、パッキン１７ａ（シール材）を介し蓋部１７によって外部から覆われている（図３参照）。本体部１１の嵌合方向前方側（図２の手前側）の外面には、本体流路切除部１５と連通する一対の窓孔１６，１６（図１参照）が開口している。

図３に示すように、中間流路形成ユニット２０の内部には、本体部１１の本体流路切除部１５にガスの流れ方向と直交する方向（嵌合方向）から嵌合したときに本体流路１４と接続される中間流路２１が貫通形成されている。この中間流路２１は、本体流路１４と滑らかに連続する上下方向の入口側連結流路２１ｂ（導入側流路），出口側連結流路２１ｃ（導出側流路）と、両端で両連結流路２１ｂ，２１ｃと連なるとともに、本体流路１４とほぼ直交する形態で本体部１１の下面に沿って配設される水平方向の直線状中間流路２１ａ（計測用直線流路）とから構成されている（図２参照）。また、中間流路形成ユニット２０には、本体部１１に開口する一対の窓孔１６，１６に対応して嵌合方向の前方側に一対の突出部２２，２２がそれぞれ一体形成されている。

さらに、中間流路形成ユニット２０の一対の突出部２２，２２には、直線状中間流路２１ａにおける超音波計測区間２１ａ１（流量計測区間）を通過するガスの流量を測定するために、超音波センサ２３の一対の送受信振動子２３ａ，２３ｂがそれぞれ着脱可能に取り付けられている。この直線状中間流路２１ａにおいて、超音波計測区間２１ａ１の上流側（流れ方向上手側）には、送受信振動子２３ａ，２３ｂにて流量測定するガスの流れを整えるための助走区間２１ａ２（図２参照）が設けられている。直線状中間流路２１ａの軸直交断面積（流路断面積）を本体流路１４や入口側連結流路２１ｂの軸直交断面積（流路断面積）よりも小とし（絞り）、流れ方向に対して一定の大きさに形成する。これによって、直線状中間流路２１ａを流れるガスの流速を速くして一定に保持し、超音波センサ２３による流量（流速）の測定精度が高くなるようにしている。なお、流入口１２と中間流路２１との間の本体流路１４には、本体流路１４のガスの流れを遮断する遮断弁３０が設けられている（図２参照）。

したがって、図３において、中間流路２１が本体流路１４と連通するように中間流路形成ユニット２０を本体部１１の本体流路切除部１５に嵌合すると、各突出部２２，２２が本体部１１の各窓孔１６，１６からそれぞれ外部に突出する。そして、各突出部２２，２２はパッキン１６ａ（シール材）を介し各窓孔１６，１６をそれぞれ密閉する。さらに、超音波センサ２３の各送受信振動子２３ａ，２３ｂは、各突出部２２，２２の収容孔２２ａ，２２ｂにそれぞれ外部から挿入され、取付ねじ（取付部材；図示せず）や押圧板（押圧部材；図示せず）によって着脱可能に固定されている。

図２及び図３に示すように、直線状中間流路２１ａ（超音波計測区間２１ａ１及び助走区間２１ａ２）は、流路の幅方向（本体流路切除部１５への嵌合方向；奥行方向）を長辺Ｌ、流路の高さ方向（上下方向）を短辺Ｓとする矩形状に形成されている。そして、超音波センサ２３は次のような反射型Ｖ字配列に構成されている。すなわち、超音波計測区間２１ａ１（直線状中間流路２１ａ）の流れ方向直交断面において、嵌合方向前方側の短辺Ｓを形成する短辺壁部２１ｄの取付壁面に、送受信振動子２３ａ，２３ｂが流れ方向に所定距離Ｗを隔てて取り付けられ、嵌合方向後方側の短辺Ｓを形成する短辺壁部の壁面を反射面２１ｅとする。

図１に戻り、超音波センサ２３の送受信振動子２３ａ，２３ｂ（センサ素子）で得られた出力信号は、リード線２５，２５を介して流量演算処理回路２４に送信されてガス流量が算出され、流量表示部（図示せず）等を用いて報知される。これらの送受信振動子２３ａ，２３ｂ、流量演算処理回路２４、リード線２５，２５、流量表示部等は流量測定部Ｍを構成している。リード線２５，２５は、窓孔１６，１６から外部に突出して設けられる超音波センサ２３（送受信振動子２３ａ，２３ｂ）から引き出されるので、その芯線部を通じて測定ガスが外部に漏れ出して、気密性が不十分となったり、測定精度が低下したりすることがない。このように、本体部１１・蓋部１７・中間流路形成ユニット２０の三者の気密性が確保され、リード線２５，２５が流路外に位置するので、漏れ出したガスに電気部品の火花が引火して火災が発生することもない。なお、入口側連結流路２１ｂと直線状中間流路２１ａとの間には、流路内での測定ガス流の乱れを抑え速度分布を均一化するための整流素子（整流部材）は設けられていない（図２，図３参照）。

（超音波センサの配置変形例）
以上の全体構成においては、超音波センサ（送受信部）の配置と超音波ビームの通る径路（測線という）として反射型Ｖ字配列を採用した場合について説明した。反射型Ｖ字配列では、一対の送受信部を流れ方向に沿って同じ側に集中配置できるので、送受信部の着脱を同じ方向から行える利点がある。超音波流量計における超音波センサ（送受信部）の測線方式には、反射型Ｖ字配列の他にも多くの種類が知られている。他の測線方式に対する本発明の適用例について以下に説明する。

（１）透過型Ｚ配列（図４（ａ））
一方の送受信部１２３ａから発せられた超音波を流れ方向に沿って所定距離離間して配置された他方の送受信部１２３ｂで受信する方式である。この方式では、一方の送受信部１２３ａと他方の送受信部１２３ｂとは流れ方向の両側に分離して配置される。

（２）透過型Ｖ字配列（図４（ｂ））
１個の送信部２２３ａから発せられた超音波を流れ方向に沿って所定距離離間して配置された一対の受信部２２３ｂ，２２３ｂで受信する方式である。この方式では、送信部２２３ａと受信部２２３ｂ，２２３ｂとは流れ方向の両側に分離して配置される。

（３）交差型Ｘ配列（図４（ｃ））
流れ方向に沿って所定距離離間して配置された一対の送信部３２３ａ，３２３ａから発せられた超音波を流れ方向に沿って所定距離離間して配置された一対の受信部３２３ｂ，３２３ｂで受信する方式である。この方式は上記した図４（ｂ）の方式において、送信部を１個から一対に増設したものに相当する。

本発明の流量計では、いずれの超音波センサの配置方式（測線方式）を採用しても等価であるから、以下の実施例においては、透過型Ｚ配列を用いて説明する。

なお、以上の全体構成及び超音波センサの配置変形例においては、本体ユニット１０が、本体流路１４を内部に有する本体部１１と、本体部１１を外部から覆う蓋部１７とから構成される場合についてのみ説明したが、本体ユニット１０は次のような構成であってもよい。すなわち、本体ユニットは半割り状の本体流路を各々有する第一本体部と第二本体部とを合掌構成してもよい。ただし、この場合には窓孔は第一本体部と第二本体部とのうち少なくともいずれか一方に設けられ、蓋部は設けても設けなくてもよい。

（実施例１）
次に、図５は図２における中間流路の流路構成を示す斜視図及び正面図である。図５に示す中間流路２１において、ほぼ直交状に配置される入口側連結流路２１ｂ（本体流路１４）と直線状中間流路２１ａとの間には、方向転換部２１ｇが接続形成されている。方向転換部２１ｇは、ほぼ下向きに配置された入口側連結流路２１ｂの出口側末端部に続いて、ガスの流れを約９０°方向転換させるように、外周側と内周側とがともに湾曲形態に形成されている。この方向転換部２１ｇは、流路の開口高さが流れ方向下手側に向かうにつれて徐々に減少し、流路の外周側及び内周側で直線状中間流路２１ａ（助走区間２１ａ２）の長辺Ｌを形成する長辺壁部２１ｆに連なっている。なお、直線状中間流路２１ａでの高さ方向の中央位置Ｏ１は、超音波センサ２３の送受信振動子１２３ａ，１２３ｂの測線位置と一致している。

図６は直線状中間流路の第１実施例を一部破断して示す斜視図、図７はその平面断面図及び側面断面図である。図６及び図７に示すように、直線状中間流路２１ａ内には複数（例えば２枚）の板状の仕切壁４０（仕切部）が流れ方向に沿って配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して複数（例えば３層）の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。各仕切壁４０には、超音波ビームの測線に対応させて１個の連通孔４１（例えば円形状）が幅方向に貫通形成され、各連通孔４１には、網目状素材で構成された薄板状又はシート状の調整網４２（調整部）が重ね合わせてある。

連通孔４１の円形状の開孔面積Ａ１は、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂの円形状の送受信面から送信され連通孔４１を通過する超音波ビームが連通孔４１に平行な平面に投影された楕円状のビーム投影断面積Ａ２よりもやや小に設定されている。これによって、例えば送受信振動子１２３ａで送信された超音波ビームが発振後に拡径しても、超音波ビームの周辺部は連通孔４１の周縁部で排除される。したがって、送受信振動子１２３ｂに到達する超音波ビームには位相の異なる成分が混入しにくくなり、同位相のビームのみを受信しやすくなるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。

調整網４２は、超音波ビームの通過を許容し、また隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通を限定的に許容しつつ連通孔４１の開孔面積を縮小するために、柔軟性・弾力性を有する高分子材料製のメッシュ生地Ｍ（網目状素材）で構成されている。

具体的には、図８に示すように、細い（例えば数十μｍ）高分子材料（例えばポリプロピレン（ＰＰ）等の合成樹脂）製の単糸を複数本（例えば３本）束ねた長繊維糸ｙ（フィラメント）を横糸及び縦糸として編むことによって、多数の開孔部ｈ（空間）を含むメッシュ生地Ｍの網部ｍ（骨組み）が形成される。メッシュ生地Ｍの全体表面積に占める開孔部ｈの合計表面積の割合で表わされる開孔率は、３０〜８０％程度（例えば５５％）のものが使用される。このように、柔軟性・弾力性を有するメッシュ生地Ｍを調整網４２に用いることによって、超音波ビームのうち位相の異なる成分がメッシュ生地Ｍの網部ｍで吸収され、受信側となる送受信振動子１２３ａ，１２３ｂでは同位相のビームのみを受信しやすくなるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。また、メッシュ生地Ｍの開孔率を選択することにより、連通孔４１を介して隣接する分割流路２１ａ’間で流通（移動）するガスの量を調整網４２で制限（限定的に許容）することができる。

このように、直線状中間流路２１ａが２枚の仕切壁４０で３層の分割流路２１ａ’に分割形成され、調整網４２を構成するメッシュ生地Ｍを介して互いに隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が限定的に許容される。これによって、各分割流路２１ａ’における主として幅方向の流速分布（副次的に高さ方向の流速分布）が均等化及び対称化される。

具体的には、小流量時（低速時；層流域）には、図９（ａ）に示すように、助走区間２１ａ２では、各分割流路２１ａ’の幅方向において、中央位置付近に最大流速（ピーク値）が現れる扇状（又は弧状あるいは放物線状）の流速分布を呈する。ただし、超音波計測区間２１ａ１では、連通孔４１に重ね合わせた調整網４２（メッシュ生地Ｍ）を介して、隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が限定的に許容される結果、各分割流路２１ａ’の幅方向の流速分布が平滑化され、大流量時と同様のバスタブ状の流速分布（図９（ｂ）参照）が現れやすくなる。

一方、大流量時（高速時；乱流域）には、図９（ｂ）に示すように、助走区間２１ａ２では、各分割流路２１ａ’の幅方向において、平均流速が最大流速（ピーク値）とほぼ一致するバスタブ状（又はコの字状）の流速分布を呈する。そして、超音波計測区間２１ａ１では、連通孔４１に重ね合わせた調整網４２（メッシュ生地Ｍ）を介して、隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が限定的に許容される結果、各分割流路２１ａ’の平均流速（≒最大流速）が平均化される。

なお、連通孔４１に重ね合わせた調整網４２（メッシュ生地Ｍ）を介して、隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が可能となる（限定的に許容される）ことによって、直線状中間流路２１ａにおいて高さ方向での流速分布も副次的に均等化及び対称化される。したがって、仕切壁４０の連通孔４１に調整網４２（メッシュ生地Ｍ）を重ね合わせる簡素な構成によって、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂ前方の助走区間２１ａ２の短縮を図ることができる。

このように、超音波ビームが仕切壁４０で分断されないため、パワーが分散・減衰されなくなり、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂによる流量計測が高能率・高精度で行える。また、隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が限定的に許容されるため、主として幅方向での流速分布を均等化及び対称化しかつ平滑化することにより、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂ前方の助走区間２１ａ２を短縮して、超音波式流量計１００を簡素に構成することができる。さらに、ガスの種別や温度変化に伴って粘性が変化し、動粘性係数の変化につれて流速分布が変動しても、層流域から乱流域にわたって広範囲に高精度で流量を計測できるようになる。

（実施例２）
図１０は直線状中間流路の第２実施例を示す平面断面図及び側面断面図である。図１０に示すように、直線状中間流路２１ａ（計測用直線流路）内には複数（例えば３枚）の板状の仕切壁４０（仕切部）が流れ方向に沿って配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して複数（例えば４層）の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。各仕切壁４０には、超音波ビームの測線に対応させて１個の連通孔４１（例えば円形状）が幅方向に貫通形成され、各連通孔４１には、メッシュ生地Ｍ（網目状素材；図８参照）で構成された薄板状又はシート状の調整網４２Ｃ，４２Ｓ（調整部）が重ね合わせてある。

これらの調整網４２Ｃ，４２Ｓにおいて、幅方向中央側に位置する第一調整網４２Ｃを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（例えば４０％）は、幅方向周辺側に位置する第二調整網４２Ｓを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（例えば６０％）よりも小さくなるように形成されている。このように、第一調整網４２Ｃよりも第二調整網４２Ｓの開孔率を大きくすることにより、第二調整網４２Ｓでの流通量（移動量）を相対的に増加させ、各分割流路２１ａ’を流れるガスの流量をバランスさせて、直線状中間流路２１ａの幅方向の流速分布を平滑化することができる。

（実施例３）
図１１は直線状中間流路の第３実施例を一部破断して示す斜視図、図１２はその平面断面図及び側面断面図である。図１１及び図１２に示すように、直線状中間流路２１ａ（計測用直線流路）内には複数（例えば２枚）の板状の仕切網１４０（仕切部）が流れ方向に沿って配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して複数（例えば３層）の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。各仕切網１４０は、超音波ビームの通過を許容し、また隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通を限定的に許容するメッシュ生地Ｍ（網目状素材；図８参照）で構成されている。

このように、直線状中間流路２１ａが２枚の仕切網１４０で３層の分割流路２１ａ’に分割形成され、仕切網１４０を構成するメッシュ生地Ｍを介して互いに隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が限定的に許容される。これによって、各分割流路２１ａ’における主として幅方向の流速分布（副次的に高さ方向の流速分布）が均等化及び対称化される（図９（ａ），（ｂ）参照）。

なお、仕切網１４０を構成するメッシュ生地Ｍを介して、隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が可能となる（限定的に許容される）ことによって、直線状中間流路２１ａにおいて高さ方向での流速分布も副次的に均等化及び対称化される。したがって、仕切網１４０をメッシュ生地Ｍで構成する簡素な構成によって、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂ前方の助走区間２１ａ２の短縮を図ることができる。

このように、超音波ビームが仕切網１４０で分断されないため、パワーが分散・減衰されなくなり、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂによる流量計測が高能率・高精度で行える。また、隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通が限定的に許容されるため、主として幅方向での流速分布を均等化及び対称化しかつ平滑化することにより、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂ前方の助走区間２１ａ２を短縮して、超音波式流量計１００を簡素に構成することができる。さらに、ガスの種別や温度変化に伴って粘性が変化し、動粘性係数の変化につれて流速分布が変動しても、層流域から乱流域にわたって広範囲に高精度で流量を計測できるようになる。

（実施例４）
図１３は直線状中間流路の第４実施例を一部破断して示す斜視図、図１４はその平面断面図及び側面断面図である。図１３及び図１４に示すように、直線状中間流路２１ａ（計測用直線流路）内には複数（例えば４枚）の板状の仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓ（仕切部）が流れ方向に沿って配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して複数（例えば５層）の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。各仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓは、超音波ビームの通過を許容し、また隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通を限定的に許容するメッシュ生地Ｍ（網目状素材；図８参照）で構成されている。

これらの仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓにおいて、幅方向中央側に位置する第一仕切網１４０Ｃを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（例えば４０％）は、幅方向周辺側に位置する第二仕切網１４０Ｓを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（例えば６０％）よりも小さくなるように形成されている。このように、第一仕切網１４０Ｃよりも第二仕切網１４０Ｓの開孔率を大きくすることにより、第二仕切網１４０Ｓでの流通量（移動量）を相対的に増加させ、各分割流路２１ａ’を流れるガスの流量をバランスさせて、直線状中間流路２１ａの幅方向の流速分布を平滑化することができる。

（実施例５）
図１５は直線状中間流路の第５実施例を一部破断して示す斜視図、図１６はその平面断面図及び側面断面図である。図１５及び図１６に示すように、直線状中間流路２１ａ（計測用直線流路）内には複数（例えば４枚）の板状の仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓ（仕切部）が流れ方向に沿って配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して複数（例えば５層）の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。各仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓは、超音波ビームの通過を許容し、また隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通を限定的に許容するメッシュ生地Ｍ（網目状素材；図８参照）で構成されている。

これらの仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓにおいて、幅方向中央側に位置する第一仕切網１４０Ｃを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（例えば６０％）は、幅方向周辺側に位置する第二仕切網１４０Ｓを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（例えば４０％）よりも大きくなるように形成されている。このように、第二仕切網１４０Ｓよりも第一仕切網１４０Ｃの開孔率を大きくすることにより、平均流速が最大流速（ピーク値）と一致するように平滑化して幅方向中央寄りの分割流路２１ａ’における流速分布をバスタブ状（図９参照）とし、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂによる流量計測を安定させることができる。

（実施例６）
図１７は直線状中間流路の第６実施例を示す平面断面図及び側面断面図である。図１７に示すように、直線状中間流路２１ａ（計測用直線流路）内には複数（例えば４枚）の板状の仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓ（仕切部）が流れ方向に沿って配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して複数（例えば５層）の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。各仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓは、超音波ビームの通過を許容し、また隣接する分割流路２１ａ’間でのガスの流通を限定的に許容するメッシュ生地Ｍ（網目状素材）で構成されている。

具体的には図１８に示すように、第一仕切網１４０Ｃのうち、超音波ビームの測線に対応する第一ビーム通過部１４０Ｃ’の開孔率（例えば５０％）は、他の部位の開孔率（例えば４０％）よりも大きく形成されている。同様に、第二仕切網１４０Ｓのうち、超音波ビームの測線に対応する第二ビーム通過部１４０Ｓ’の開孔率（例えば７０％）は、他の部位の開孔率（例えば６０％）よりも大きく形成されている。また、これらの仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓにおいて、幅方向中央側に位置する第一仕切網１４０Ｃを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（ここでは４０％）は、幅方向周辺側に位置する第二仕切網１４０Ｓを構成するメッシュ生地Ｍの開孔率（ここでは６０％）よりも小さくなるように形成されている。すなわち、第一仕切網１４０Ｃの開孔率（４０％）＜第一ビーム通過部１４０Ｃ’の開孔率（５０％）＜第二仕切網１４０Ｓの開孔率（６０％）＜第二ビーム通過部１４０Ｓ’の開孔率（７０％）の関係を有する。

これにより、ビーム通過部１４０Ｃ’，１４０Ｓ’でのガスの流通量（移動量）は、仕切網１４０Ｃ，１４０Ｓの他の部位よりも多くなる。したがって、小流量時の各分割流路２１ａ’において幅方向の流速分布の平滑化が促進され、また、高さ方向での流速分布の均等化や対称化も促進されるので、送受信振動子１２３ａ，１２３ｂ前方の助走区間２１ａ２の一層の短縮を図ることができる。さらに、第一仕切網１４０Ｃよりも第二仕切網１４０Ｓの開孔率を大きくすることにより、第二仕切網１４０Ｓでの流通量（移動量）を相対的に増加させ、各分割流路２１ａ’を流れるガスの流量をバランスさせて、直線状中間流路２１ａの幅方向の流速分布を平滑化することができる。

（実施例７）
図１９は直線状中間流路の第７実施例を示す平面断面図及び側面断面図である。図１９に示すように、直線状中間流路２１ａ（計測用直線流路）の両長辺壁部２１ｆ，２１ｆの内面（壁面）には、板状の仕切壁４０（仕切部）の厚みに相当する溝幅を有する複数（例えば５段）の凹状のレール２１ｆ’（凹部）が、流れ方向に沿って互いに平行状に並設されている。そして、計５段のうち幅方向両端部から各々２段目のレール２１ｆ’には、仕切壁４０がそれぞれ流れ方向に沿って挿入・配置され、直線状中間流路２１ａの長辺Ｌとなる開口幅Ｗを幅方向に分割して複数（例えば３層）の等しい開口幅Ｗ’の分割流路２１ａ’を形成している。なお、仕切壁４０は各々のレール２１ｆ’に対して着脱可能に取り付けられているので、仕切壁４０を残り３段のレール２１ｆ’にも装着したり、幅方向の装着位置を変えて装着したり、異なる仕様のものと交換したりすることができる。

このように、レール２１ｆ’への挿入・抜き出しによって仕切壁４０を交換したり、幅方向の配置位置・取付個数等を変更したりすることが容易に行えるので、超音波式流量計１００の汎用性が向上する。また、分割流路２１ａ’の個数（仕切壁４０の個数）や開口幅Ｗ’を変更することによって、直線状中間流路２１ａにおける幅方向及び高さ方向での流速分布を調節することもできる。なお、レール２１ｆ’には、仕切壁４０の代わりに仕切網１４０，１４０Ｃ，１４０Ｓ（実施例３〜６参照）を装着してもよい。

なお、実施例２〜実施例７において、実施例１（図６〜図９）と機能が共通する部分には同一符号を付すことによって説明を省略したものがある。また、各実施例に記載した各々の構成は、実施例３と実施例４の組み合わせを除き、相互に組み合わせて実施することができる。

本発明に係る超音波式流量計の一実施例の全体斜視図。 図１の正面断面図。 図２のＡ−Ａ断面図。 超音波センサの配置変形例を示す説明図。 図２における中間流路の流路構成を示す斜視図及び正面図。 直線状中間流路の第１実施例を一部破断して示す斜視図。 図６の平面断面図及び側面断面図。 調整網に用いられるメッシュ生地の説明図。 小流量時及び大流量時の流速分布を示す説明図。 直線状中間流路の第２実施例を示す平面断面図及び側面断面図。 直線状中間流路の第３実施例を一部破断して示す斜視図。 図１１の平面断面図及び側面断面図。 直線状中間流路の第４実施例を一部破断して示す斜視図。 図１３の平面断面図及び側面断面図。 直線状中間流路の第５実施例を一部破断して示す斜視図。 図１５の平面断面図及び側面断面図。 直線状中間流路の第６実施例を示す平面断面図及び側面断面図。 図１７の仕切網に用いられるメッシュ生地の説明図。 直線状中間流路の第７実施例を示す平面断面図及び側面断面図。

符号の説明

２１ 中間流路
２１ａ 直線状中間流路（計測用直線流路）
２１ａ’ 分割流路
２１ａ１ 超音波計測区間（流量計測区間）
２１ａ２ 助走区間
２１ｂ 入口側連結流路（導入側流路）
２１ｃ 出口側連結流路（導出側流路）
２１ｄ 短辺壁部
２１ｆ 長辺壁部
２１ｆ’ レール（凹部）
２１ｇ 方向転換部
２３ 超音波センサ
４０ 仕切壁（仕切部）
４１ 連通孔
４２ 調整網（調整部）
４２Ｃ 第一調整網（調整部）
４２Ｓ 第二調整網（調整部）
１００ 超音波式流量計（流量計）
１２３ａ，１２３ｂ 送受信振動子（センサ素子）
１４０ 仕切網（仕切部）
１４０Ｃ 第一仕切網（仕切部）
１４０Ｃ’ 第一ビーム通過部
１４０Ｓ 第二仕切網（仕切部）
１４０Ｓ’ 第二ビーム通過部
Ｍ メッシュ生地（網目状素材）
ｍ 網部
ｈ 開孔部
ｙ 長繊維糸（フィラメント）
Ｌ 長辺
Ｓ 短辺
Ｈ 開口高さ
Ｗ 開口幅
Ｗ’ 分割流路の開口幅
Ｏ１ 直線状中間流路での高さ方向の中央位置

Claims (9)

1. 流体を通過させるために所定の流路断面積を有する導入側流路と、その導入側流路に交差して直線状に連通形成され、流体の流量を測定するために流路の幅方向を長辺とし高さ方向を短辺とする矩形状に開口して前記導入側流路よりも小さい流路断面積を有し、その短辺壁部の取付壁面に流体の流れ方向上手側若しくは下手側に向けて超音波ビームを発振し、及び／又は流れ方向上手側若しくは下手側から到来する超音波ビームを受信する送受信振動子が取り付けられた計測用直線流路と、を含む超音波式流量計であって、
   前記導入側流路の出口側末端部と前記計測用直線流路の入口側先端部との間に配置され、その計測用直線流路の長辺壁部に連なる外周側と内周側とのうち少なくとも外周側が湾曲形態に形成されて流体の流れを方向転換させるとともに、流路の開口高さが流れ方向下手側に向かうにつれて減少する方向転換部と、
   前記計測用直線流路内に流れ方向に沿って配置され、その計測用直線流路の長辺となる開口幅を幅方向に分割して複数の分割流路を形成するとともに、前記超音波ビームの測線に対応させて幅方向に貫通形成された連通孔と、前記超音波ビームの通過を許容しつつ前記連通孔に重ね合わせてその連通孔の開孔面積を縮小するために網目状素材で構成された調整部とを有する１又は複数の仕切部と、を備え、
   前記計測用直線流路が前記仕切部で複数の分割流路に分割形成されるとともに、前記調整部を構成する網目状素材を介して互いに隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容されることによって、各分割流路における主として幅方向の流速分布が均等化及び／又は対称化されることを特徴とする超音波式流量計。
2. 前記連通孔の開孔面積は、その連通孔を通過する前記超音波ビームが当該連通孔に平行な平面に投影されたビーム投影断面積と同等又はそれ以下である請求項１に記載の超音波式流量計。
3. 流体を通過させるために所定の流路断面積を有する導入側流路と、その導入側流路に交差して直線状に連通形成され、流体の流量を測定するために流路の幅方向を長辺とし高さ方向を短辺とする矩形状に開口して前記導入側流路よりも小さい流路断面積を有し、その短辺壁部の取付壁面に流体の流れ方向上手側若しくは下手側に向けて超音波ビームを発振し、及び／又は流れ方向上手側若しくは下手側から到来する超音波ビームを受信する送受信振動子が取り付けられた計測用直線流路と、を含む超音波式流量計であって、
   前記導入側流路の出口側末端部と前記計測用直線流路の入口側先端部との間に配置され、その計測用直線流路の長辺壁部に連なる外周側と内周側とのうち少なくとも外周側が湾曲形態に形成されて流体の流れを方向転換させるとともに、流路の開口高さが流れ方向下手側に向かうにつれて減少する方向転換部と、
   前記計測用直線流路内に流れ方向に沿って配置され、その計測用直線流路の長辺となる開口幅を幅方向に分割して複数の分割流路を形成するとともに、前記超音波ビームの通過を許容する網目状素材で構成された１又は複数の仕切部と、を備え、
   前記計測用直線流路が前記仕切部で複数の分割流路に分割形成されるとともに、前記仕切部を構成する網目状素材を介して互いに隣接する分割流路間での流体の流通が限定的に許容されることによって、各分割流路における主として幅方向の流速分布が均等化及び／又は対称化されることを特徴とする超音波式流量計。
4. 前記仕切部を構成する網目状素材は、前記超音波ビームの測線に対応する部位の開孔率が他の部位の開孔率よりも大に形成されている請求項３に記載の超音波式流量計。
5. 前記仕切部は、分割された各分割流路の開口幅が互いに等しくなるように配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の超音波式流量計。
6. 前記仕切部は幅方向において互いに平行状に複数配置されるとともに、
   前記網目状素材は、幅方向中央位置の近くに位置するものほど開孔率が小さくなるように形成されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の超音波式流量計。
7. 前記仕切部は幅方向において互いに平行状に複数配置されるとともに、
   前記網目状素材は、幅方向中央位置の近くに位置するものほど開孔率が大きくなるように形成されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の超音波式流量計。
8. 前記仕切部は幅方向に所定の厚みを有する板状に形成されるとともに、前記計測用直線流路の長辺壁部には前記仕切部の厚みに相当する溝幅を有する凹部が流れ方向に沿って互いに平行状に複数形成され、
   前記仕切部は、前記長辺壁部に形成された凹部への挿入・抜き出しにより、前記計測用直線流路に対し幅方向の装着位置を変えて着脱可能に取り付けられている請求項６又は７に記載の超音波式流量計。
9. 前記導入側流路と計測用直線流路とが直交状に配置され、
   前記計測用直線流路の開口高さ及び開口幅が流れ方向に対して一定に形成されている請求項１ないし８のいずれか１項に記載の超音波式流量計。