JP2009274155A - 心取り加工装置および心取り加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被加工物の固定時の心ずれや被加工物の形状等の影響を受けることなく、短い所要時間で、高精度な心取り加工を行う。
【解決手段】レンズヤトイ６を介して被加工レンズ７を真空吸着して回転駆動するレンズ保持軸１に対して、当該レンズ保持軸１に平行なＸ方向および直交するＹ方向に相対的に移動可能な移動テーブル１９の上に、回転軸がレンズ保持軸１に平行なレンズ固定軸８およびレンズ固定ヤトイ１０と、光軸がレンズ保持軸１およびレンズ固定軸８に平行な光学方式の偏心検出装置１１を搭載し、偏心検出装置１１の光軸をレンズ保持軸１に正対させて被加工レンズ７のレンズ保持軸１に対する偏心を検出して補正した後、移動テーブル１９を移動させてレンズ固定軸８をレンズ保持軸１に正対させ、レンズ保持軸１との間で被加工レンズ７を挟持して回転させつつ、外周部に研削砥石３３を接触させて心取り加工を行う。
【選択図】 図１

Description

本発明は、心取り加工技術に関し、たとえば、被加工レンズの光学中心軸に合わせて被加工レンズの外周部を所定寸法に研削加工するレンズ心取加工等に適用して有効な技術に関する。

たとえば、レンズを用いて光学系を構成する場合、レンズの外周部を鏡筒等の部材に固定して組立が行われる。このため、レンズの光軸と外周部の中心とが正確に一致していないと、光学系の正確な組立が困難となる。

このため、レンズの製造分野では、レンズの光軸に外周部の中心を正確に一致させるようにレンズの外周部を研削する心取り工程が行われる。
このようなレンズ加工における心取り工程で使用される心取機は、心取り加工に先だって行われる心出し方法によって、光学的心出し方式とベルクランプ方式とに大別される。

光学的心出し方式は、レンズの一方側から照射された検査光を透過あるいは反射させてレンズで結像し、この結像を接眼部で観察することによりレンズの偏心状態を検知して心出しを行うものである。一方、ベルクランプ方式は、同一軸上に対向するようにして配置された２つのスピンドルの間にレンズを挟み込み、これら両スピンドルを互いに押し付けることによってレンズを所定の位置に滑動させて心出しを行うものである。

高精度に心出しを行い、高品質の心取りレンズを得る場合には、光学的心出し方式を採用した心取機を利用する場合が多いが、この方式では心出し機と心取り研削機の２台の機械を必要とする。

そこで、光学的心出し方式においても１台の機械で心出しと心取り加工を行うことが可能な装置が特許文献１に開示されている。
この特許文献１では、心出しされる加工レンズをレンズホルダーの先端に真空吸着した後、光源から出射しチャートを通過した照明光を加工レンズに照射して反射させ、この反射光束を、前記照明光の光路上に設けたハーフミラーで直角に分岐させて観察する。

そして、レンズホルダーを回転させながら加工レンズの反射光束の像を観察すると、加工レンズの回転中心と光軸とが合致していない場合には、観察される像は回転して円を描くことから、像が光軸に一致するように加工レンズの位置を調整することによって加工レンズの心出しを行う。

次に、加熱装置によってレンズホルダーが加熱され、レンズホルダーと加工レンズの接触部位に接着材としてのヤニを供給し、その後、レンズホルダーの加熱を停止して冷却することで、加工レンズはヤニによってレンズホルダーに固着される。

この固定状態で、同一の機械に設けられた高速回転する砥石がレンズホルダーの軸方向に前後運動しながら加工レンズの外周面に接触し、これにより加工レンズの外径研削を行うものである。

一方、ベルクランプ方式は、同一軸上に対向して配置された２つのスピンドル先端に装着されたレンズホルダーの間にレンズを挟み込み、両スピンドルをお互いに押し付けることによってレンズを所定の位置に滑動させて心出しを行なう。

ベルクランプ方式の心出しにおいて、心出しの可否を決定する指標として心出し係数又はＺ値（以下「Ｚ値」という）が利用される。Ｚ値とは、一般に次式で表される数値をいう。

Ｚ＝｜（ｒ１／Ｒ１±ｒ２／Ｒ２）／２｜・・・・・・・・・・（１）
（１）式において、Ｒ１、Ｒ２はレンズの各面における曲率半径、ｒ１、ｒ２はホルダーの半径を意味する。また（１）式の符号（±）については、レンズが両凸又は両凹レンズである場合には＋符号を使用し、メニスカスレンズの場合には−符号を使用する。

（１）式においてＺ値が０．１以上であれば、一般にレンズの心出し及び心取りが可能であると言われている。このため、ベルクランプ方式の心出しを用いて心取りを行うためには、曲率半径（Ｒ１、Ｒ２）の小さなレンズを対象とするか、できるだけレンズホルダーの半径（ｒ１、ｒ２）を大きくとり、レンズホルダーとレンズとの接触角を大きくして、摩擦力に打ち勝つ、挟圧力の分力を大きくする必要がある。

しかしながら、上述のような従来の技術によれば、以下のような技術的課題がある。
すなわち、光学的心出し方式ではレンズ心出し後に、レンズホルダーの加熱／冷却を伴うヤニを用いる方法でレンズをレンズホルダーへ固定するため、接着時にレンズの心ずれが起こる懸念がある、という技術的課題がある。また、レンズをレンズホルダーに固定するためにレンズホルダーの加熱および冷却が必要であるため、一般的に作業時間が長くなる、という技術的課題もある。

一方、ベルクランプ方式ではＺ値が低いレンズの場合、レンズホルダーとレンズの接触角が小さいため高精度に心出しすることができないという技術的課題がある。
実開昭５９−１６７６４７号公報

本発明の目的は、被加工物の固定時の心ずれや被加工物の形状等の影響を受けることなく、かつ短い所要時間で、高精度な心取り加工を行うことが可能な心取り加工技術を提供することにある。

本発明の第１の観点は、軸心の回りに回転可能な第１保持手段と、
前記第１保持手段に対して相対的に移動可能な移動テーブルに載置され、前記第１保持手段に保持された被加工物の中心軸と当該第１保持手段の前記軸心との偏心を検出する偏心検出装置と、
前記移動テーブルに載置され、前記第１保持手段との間で前記被加工物を挟持して回転する第２保持手段と、
前記被加工物の外周部を研削する研削手段と、
を含む心取り加工装置を提供する。

本発明の第２の観点は、軸心の回りに回転可能な第１保持手段に対して相対移動可能な移動テーブルの上に第２保持手段および前記第１保持手段と被加工物との偏心を計測する偏心検出装置を共通に載置した構成の心取り加工装置を準備する工程と、
前記第１保持手段に仮固定された前記被加工物の前記偏心を前記偏心検出装置で検出して補正する工程と、
前記第２保持手段を相対的に平行移動して、前記第１保持手段との間で前記被加工物を挟持する工程と、
前記第１保持手段および第２保持手段によって前記被加工物を回転させながら心取り加工を行う工程と、
を含む心取り加工方法を提供する。

本発明によれば、被加工物の固定時の心ずれや被加工物の形状等の影響を受けることなく、短い所要時間で、高精度な心取り加工を行うことが可能な心取り加工技術を提供することができる。

本実施の形態の一態様であるレンズ心取り機は、軸心の回りに回転可能なレンズ保持軸と、前記レンズ保持軸の先端でレンズを保持するレンズヤトイと、レンズヤトイにレンズを保持可能な吸引装置と、保持されたレンズの光軸とレンズ保持軸の回転軸との偏心を検出する検出装置と、軸方向に移動可能なレンズ固定軸と、前記レンズ固定軸の先端でレンズを保持するレンズ固定ヤトイと、検出装置およびレンズ固定軸をレンズ保持軸と同軸上に配置可能となるように軸方向に対して垂直方向に移動可能な駆動手段とから構成される。

また、本実施の形態の一態様であるレンズ心取り方法は、軸回りに回転可能なレンズ保持軸先端部に装着されたレンズヤトイに吸引装置でレンズを吸引保持し、レンズ保持軸と同軸上に配置された偏心検出装置により光学的心出しを行なった後、レンズ固定軸をレンズ保持軸と同軸上に配置し、軸方向に移動させ、レンズ固定ヤトイにて挟持したレンズを心取り加工する。

なお、上記レンズヤトイおよびレンズ固定ヤトイはあらかじめそれぞれレンズ保持軸およびレンズ固定軸に装着された状態でスピンドルの回転中心軸とレンズヤトイの回転中心軸とが一致するように同軸加工されている。

［作用］
上述の態様のレンズ心取り機によれば、レンズヤトイに吸引固定したレンズの偏心量を偏心検出装置により検出し心出し調整した後、レンズ固定ヤトイにて挟持することにより、Ｚ値に関わりなく、高精度に心出したレンズを心ズレが生じることなくレンズホルダーとレンズ固定ホルダーの間に挟持することが可能となる。

また、上述の態様のレンズ心取り方法では、レンズヤトイに吸引固定したレンズの偏心量を偏心検出装置により検出し心出し調整した後、レンズ固定ヤトイにて挟持したレンズを心取り加工することにより、Ｚ値に関わりなく高精度に心出ししたレンズの心取り加工が可能となる。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
［実施の形態１］
図１および図２は、本発明の一実施の形態である心取り加工方法を実施する心取り加工装置の構成および作用例を示す平面図である。なお、図１は、位置合わせ状態を示し、図２は、研削加工時の状態を示している。

図１に例示されるように、本実施の形態１の心取り装置Ｍ１では、レンズ保持軸１と、レンズ固定軸８および偏心検出装置１１が共通に搭載された移動テーブル１９と、を有している。

被加工レンズ７は軸心の回りに回転可能なレンズ保持軸１の先端部に同軸に蝶合（すなわち、交換可能に螺着）されたレンズヤトイ６に吸引装置５によって吸引保持可能となっている。

レンズ保持軸１の後端部には伝達ギア２が接続され、この伝達ギア２はレンズ保持軸駆動モータ４と連結された伝達ギア３と噛み合っており、レンズ保持軸駆動モータ４の回転が伝達されて回転する。

一方、レンズ固定軸８は移動テーブル１９上に回転自在かつレンズ保持軸１の軸線と平行に、かつ同一高さ（図１の紙面に垂直な方向で同一位置）に配置され、支持されている。レンズ固定軸８の先端部にはレンズ固定ヤトイ１０が蝶合され、後端部にはレンズ固定軸駆動モータ９が接続されており、このレンズ固定軸駆動モータ９によってレンズ固定軸８は回転可能となっている。

上述のレンズ保持軸１のレンズ保持軸駆動モータ４およびレンズ固定軸８のレンズ固定軸駆動モータ９は図示しないレンズ軸制御装置により両者が同期回転するように制御可能となっている。

また、レンズヤトイ６およびレンズ固定ヤトイ１０はそれぞれレンズ保持軸１およびレンズ固定軸８に蝶合した後、保持軸の回転中心軸とヤトイ先端部の外周部との偏心がなく、被加工レンズ７にキズを入れないように表面が滑らかになるように旋盤を用いて精密に研削されている。

移動テーブル１９上に設けられた偏心検出装置１１は、光源１８、コリメートレンズ１７、ビームスプリッタ１６、集光レンズ１２、集光レンズ１３、ＣＣＤカメラ１４、モニタ１５から構成されている。

この偏心検出装置１１における光源１８、コリメートレンズ１７、集光レンズ１２の光軸、すなわち、被加工レンズ７に入射する出射光１８ａの光路は、同じ移動テーブル１９上に載置されたレンズ保持軸１の軸線と平行かつ同一高さとなるように調整されている。

この偏心検出装置１１では、光源１８からの出射光１８ａは、被加工レンズ７と光源１８との間に設置したコリメートレンズ１７、ビームスプリッタ１６および集光レンズ１２を介して被加工レンズ７に入射する。

また、被加工レンズ７で反射された反射光１８ｂは、集光レンズ１２、ビームスプリッタ１６および集光レンズ１３を介してＣＣＤカメラ１４に入射され、ＣＣＤカメラ１４で得られた像をモニタ１５で観察することができる。

この心取り装置Ｍ１では、レンズヤトイ６を回転させながら観察すると、被加工レンズ７の光軸がレンズ保持軸１の回転中心（軸心）に合っていない場合は、モニタ１５に表示される像が回転して円を描くため、モニタ１５に表示される像が静止するように被加工レンズ７の位置を調整することによって心出しが行われる。

移動テーブル１９はレンズ保持軸１の軸方向（以下、Ｘ方向）と垂直方向（以下、Ｙ方向）に延びるガイド２０と、ガイド２０と平行に設けられた送りネジ２１と送りネジ２１に連結された第１のテーブル駆動モータ２２とを具備している。そして、移動テーブル１９は第１のテーブル駆動モータ２２によってレンズ保持軸１の軸心に対して垂直方向（Ｙ方向）に駆動および位置決めが自在となっている。

移動テーブル１９のガイド２０、すなわち移動テーブル１９の全体は、その下部に設けられた、ガイド２０の方向と直交するＸ方向に延びるガイド２３に搭載されている。移動テーブル１９（ガイド２０）は、このガイド２３と平行に設けられた送りネジ２４と、送りネジ２４に連結された第２のテーブル駆動モータ２５に接続され、Ｘ方向に駆動される構造となっている。

従って、移動テーブル１９はレンズ保持軸１に対して水平方向（Ｘ方向）にも駆動および位置決めが自在となっている。
すなわち、本実施の形態の心取り装置Ｍ１では、移動テーブル１９をＹ方向に移動させることで、偏心検出装置１１とレンズ固定軸８のいずれをレンズ保持軸１に正対させるかを切り換えできる。

また、移動テーブル１９をＸ方向に移動させることで、レンズ固定軸８または偏心検出装置１１とレンズ保持軸１との軸方向の間隔を調整できる。
レンズ保持軸１の近傍には、研削モータ３１の研削駆動軸３２に固定されて回転する研削砥石３３が設けられている。研削モータ３１は図示しない移動テーブルに載置され、研削砥石３３をレンズ保持軸１に保持された被加工レンズ７の外周部に接近させることが可能になっている。

以下、本実施の形態１の心取り装置Ｍ１の作用を説明する。
この実施の形態１の心取り装置Ｍ１では、まず、心取りしようとする被加工レンズ７をレンズヤトイ６の先端に吸引装置５により吸引し、Ｙ方向に動き得るように仮保持する。

次に、第１のテーブル駆動モータ２２を駆動して移動テーブル１９をレンズ保持軸１の軸方向と垂直のＹ方向に移動させ、図１のように、偏心検出装置１１を、出射光１８ａの光路がレンズ保持軸１と同軸上になるように配置する。

次いで、出射光１８ａの被加工レンズ７への照射および反射光１８ｂの検出により、偏心検出装置１１のモニタ１５によって、レンズ保持軸１に仮固定した被加工レンズ７の偏心を観察しながら、レンズ保持軸１の軸心と、被加工レンズ７の光軸を一致させる心出しを行なう。

次に、第１のテーブル駆動モータ２２を駆動して移動テーブル１９をレンズ保持軸１の軸方向と垂直のＹ方向に移動させ、レンズ固定軸８をレンズ保持軸１と同軸上に配置する。

次いで第２のテーブル駆動モータ２５を駆動して移動テーブル１９をレンズ保持軸の軸方向と平行なＸ方向に被加工レンズ７に向かって接近するように移動する。そして、図２のように、レンズ固定ヤトイ１０の先端が被加工レンズ７に接触し、所望の挟持圧力になるまで移動テーブル１９を被加工レンズ７に向かって移動させ停止する。

その後、レンズ保持軸１とレンズ固定軸８を同期回転させることで被加工レンズ７を回転させながら、上述の研削砥石３３を、回転する被加工レンズ７の外周部に接触させて被加工レンズ７の外径の研削加工を行なう。

このような実施の形態１の心取り装置Ｍ１では、被加工レンズ７の心出しを行なう際、吸引装置５でレンズ保持軸１に仮固定した状態で偏心検出装置１１を用いた光学式の心出しを行なうため、ヤニ等でレンズを固定するための加熱や冷却工程を経ることなく短時間で、かつＺ値に関わらず高精度に心出しすることが可能となる。

さらに、偏心検出装置１１と共通の移動テーブル１９に載置されたレンズ固定軸８のレンズ固定ヤトイ１０をレンズ保持軸１に同軸上に配置した状態で、心出しされた被加工レンズ７を挟持するため、仮心出しされた被加工レンズ７は心ずれを起こすことなく高精度にレンズ保持軸１と同軸上に配置することができる。

これにより、被加工レンズ７のＺ値に関わらず高精度の心取りレンズを製作するができる。
被加工物である被加工レンズ７の固定時の心ずれや被加工レンズ７の形状等の影響を受けることなく、かつ従来の心出し方法に比べて短い所要時間で、高精度な心取り加工を行うことが可能となる。
［実施の形態２］
図３および図４は、本発明の他の実施の形態である心取り加工方法を実施する心取り加工装置の構成および作用例を示す平面図である。なお、図３は、位置合わせ状態を示し、図４は、研削加工時の状態を示している。

なお、図３および図４において、前述の実施の形態１と同じ構成要素に関しては同じ符号を付して重複した説明は省略する。
本実施の形態２の心取り装置Ｍ２ではレンズ固定軸２６の先端に接続されるレンズ固定部２７を弾性部材からなる材料で構成した点が、上述の実施の形態１と異なっている。また、レンズ固定軸２６はレンズ固定部２７を空転可能に保持する構成とした。

本実施の形態２の心取り装置Ｍ２では、図３の状態で、偏心検出装置１１を用いてレンズ保持軸１に対する被加工レンズ７の心出しを行った後に、移動テーブル１９を移動させ、図３に例示されるように、レンズ固定軸２６のレンズ固定部２７とレンズ保持軸１のレンズヤトイ６との間で被加工レンズ７を挟持する。

このとき、レンズ固定部２７は、被加工レンズ７の任意の形状に倣って変形し、適度な弾発力を発生して、所望の挟持圧力で被加工レンズ７を保持する。
また、レンズ固定部２７はレンズ固定軸２６に空転可能に支持されているため、レンズ保持軸１の回転に従動してレンズ固定部２７は被加工レンズ７とともに回転する。

このような実施の形態２の心取り装置Ｍ２では、上述の心取り装置Ｍ１と同様の効果が得られるとともに、さらに、偏心検出装置１１で高精度に心出しされた被加工レンズ７を、共通の移動テーブル１９に載置され、弾性部材で構成されたレンズ固定部２７で挟持するため、レンズ保持軸１とレンズ固定軸２６の同軸度が高精度に構成されていなくても、軸ずれ誤差をレンズ固定部２７の弾性変形によって吸収可能であるため、同軸度の精度に関わりなく、心出しされた被加工レンズ７を、心ずれを起こすことなく安定に精度よく保持可能となる。

この結果、高精度に心出しされた被加工レンズ７に対して心取り加工できるため、高精度の心取りレンズを製作するができる。
以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば以下の効果を奏する。

すなわち、レンズの心出しを行なう際、仮固定した状態で偏心検出装置を用いた光学式の心出しを行なうため、ヤニ等でレンズを固定するための加熱および冷却工程を経ることなく短時間で、かつＺ値に関わらず高精度に心出しすることが可能となる。さらにレンズ固定軸に装着されたレンズ固定ヤトイをレンズ軸に同軸上に配置した状態で心出しされたレンズを挟持するため、仮心出しされたレンズは心ずれを起こすことなく高精度にレンズ保持軸と同軸上に配置することができる。これにより、Ｚ値に関わらず高精度の心取りレンズを製作するができる。

また、偏心検出装置で高精度に心出しされたレンズを弾性部材で構成されたレンズ固定部で挟持するため、レンズ保持軸とレンズ固定軸の同軸度が高精度に構成されていなくても、軸ずれ誤差を弾性体が吸収可能であるため、同軸度の精度に関わりなく、心出しされたレンズを、心ずれを起こすことなく保持可能となる。高精度に心出しされたレンズを心取り加工できるため、高精度の心取りレンズを製作するができる。

なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、被加工物としては、被加工レンズに限らず、中心軸と外周との高い同軸度が要求される物品の心取り加工に適用することもできる。
（付記１）
軸心の回りに回転可能なレンズ保持軸と、前記レンズ保持軸の先端でレンズを保持するレンズヤトイと、前記レンズヤトイにレンズを保持可能な吸引装置と、保持されたレンズの光軸とレンズ保持軸の回転軸との偏心を検出する検出装置と、軸心の回りに回転可能で軸方向に移動可能なレンズ固定軸と、前記レンズ固定軸の先端でレンズを保持するレンズ固定ヤトイと、検出装置とレンズ固定軸をレンズ保持軸と同軸上に配置可能となるように軸方向に対して垂直方向に移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とするレンズ心取り装置。
（付記２）
付記１記載のレンズ心取り装置にてレンズヤトイに吸引装置を用いてレンズを仮固定し、前記レンズをレンズ保持軸と同軸上に配置された偏心検出装置により心出しを行なった後、レンズ固定軸をレンズ保持軸と同軸上に配置し、軸方向に移動させ、レンズ固定ヤトイにて挟持したレンズを心取り加工することを特徴とするレンズ心取り方法。

本発明の一実施の形態である心取り加工方法を実施する心取り加工装置の位置合わせ状態の構成および作用例を示す平面図である。 本発明の一実施の形態である心取り加工方法を実施する心取り加工装置の研削加工時の状態の構成および作用例を示す平面図である。 本発明の他の実施の形態である心取り加工方法を実施する心取り加工装置の位置合わせ状態の構成および作用例を示す平面図である。 本発明の他の実施の形態である心取り加工方法を実施する心取り加工装置の研削加工時の状態の構成および作用例を示す平面図である。

符号の説明

１ レンズ保持軸
２ 伝達ギア
３ 伝達ギア
４ レンズ保持軸駆動モータ
５ 吸引装置
６ レンズヤトイ
７ 被加工レンズ
８ レンズ固定軸
９ レンズ固定軸駆動モータ
１０ レンズ固定ヤトイ
１１ 偏心検出装置
１２ 集光レンズ
１３ 集光レンズ
１４ ＣＣＤカメラ
１５ モニタ
１６ ビームスプリッタ
１７ コリメートレンズ
１８ 光源
１８ａ 出射光
１８ｂ 反射光
１９ 移動テーブル
１９ａ Ｘ方向搬送テーブル
２０ ガイド
２１ 送りネジ
２２ 第１のテーブル駆動モータ
２３ ガイド
２４ 送りネジ
２５ 第２のテーブル駆動モータ
２６ レンズ固定軸
２７ レンズ固定部
３１ 研削モータ
３２ 研削駆動軸
３３ 研削砥石
Ｍ１ 心取り装置
Ｍ２ 心取り装置

Claims (7)

1. 軸心の回りに回転可能な第１保持手段と、
   前記第１保持手段に対して相対的に移動可能な移動テーブルに載置され、前記第１保持手段に保持された被加工物の中心軸と当該第１保持手段の前記軸心との偏心を検出する偏心検出装置と、
   前記移動テーブルに載置され、前記第１保持手段との間で前記被加工物を挟持して回転する第２保持手段と、
   前記被加工物の外周部を研削する研削手段と、
   を含むことを特徴とする心取り加工装置。
2. 請求項１記載の心取り加工装置において、
   前記被加工物はレンズであり、
   前記第１保持手段は、単体で前記レンズを吸着保持するレンズヤトイからなり、
   前記第２保持手段は、前記レンズヤトイとともに回転しつつ当該レンズヤトイとの間で前記レンズを挟持するレンズ固定ヤトイからなることを特徴とする心取り加工装置。
3. 請求項１記載の心取り加工装置において、
   前記被加工物はレンズであり、
   前記第１保持手段は、単体で前記レンズを吸着保持するレンズヤトイからなり、
   前記第２保持手段は、前記レンズヤトイとの間で前記レンズを挟持して従動回転する弾性部材からなることを特徴とする心取り加工装置。
4. 請求項１記載の心取り加工装置において、
   前記偏心検出装置は、
   前記被加工物の表面を経由する検査光の光路を構成する観察光学系と、
   前記検査光を可視化する撮像部と、
   を含むことを特徴とする心取り加工装置。
5. 軸心の回りに回転可能な第１保持手段に対して相対移動可能な移動テーブルの上に第２保持手段および前記第１保持手段と被加工物との偏心を計測する偏心検出装置を共通に載置した構成の心取り加工装置を準備する工程と、
   前記第１保持手段に仮固定された前記被加工物の前記偏心を前記偏心検出装置で検出して補正する工程と、
   前記第２保持手段を相対的に平行移動して、前記第１保持手段との間で前記被加工物を挟持する工程と、
   前記第１保持手段および第２保持手段によって前記被加工物を回転させながら心取り加工を行う工程と、
   を含むことを特徴とする心取り加工方法。
6. 請求項５記載の心取り加工方法において、
   前記偏心検出装置は、光学的な方法で前記偏心を検出することを特徴とする心取り加工方法。
7. 請求項５記載の心取り加工方法において、
   前記第２保持手段を、前記第１保持手段に対して従動回転する弾性体で構成することを特徴とする心取り加工方法。