JP2009272389A - 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下部半導体DBRは、熱伝導率の大きい低屈折率層103aとそれよりも熱伝導率の小さい高屈折率層103bをペアとし、30.5ペアを含む第1の下部半導体DBR1031と、5ペアを含む第2の下部半導体DBR1032と、1ペアを含む第3の下部半導体DBR1033とを有している。第2の下部半導体DBR1032では、低屈折率層103aは3λ/4の光学厚さとなるように設定され、高屈折率層103bは、λ/4の光学厚さとなるように設定されている。第3の下部半導体DBR1033は、共振器構造体と第2の下部半導体DBR1032との間に設けられ、各屈折率層はいずれもλ/4の光学厚さとなるように設定されている。
【選択図】図4
Description
Claims (15)
- 基板に対して垂直方向に光を射出する面発光レーザ素子であって、
活性層を含む共振器構造体と;
前記共振器構造体を挟んで設けられ、屈折率が互いに異なる第1の層と第2の層をペアとする複数のペアからなる半導体多層膜反射鏡と;を備え、
前記第2の層は、前記第1の層よりも熱伝導率が大きく、
前記半導体多層膜反射鏡は、少なくとも1ペアからなり前記第1の層よりも前記第2の層のほうが光学厚さが厚い第1の部分反射鏡と、該第1の部分反射鏡と前記共振器構造体との間に設けられ、少なくとも1ペアからなり前記第1及び第2の層の光学厚さがいずれも前記第1の部分反射鏡の前記第2の層よりも薄い第2の部分反射鏡とを有することを特徴とする面発光レーザ素子。 - 前記第2の部分反射鏡における前記第1及び第2の層の光学厚さは、いずれも発振波長の1/4であることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ素子。
- 前記第2の部分反射鏡は、1ペア以上、かつ5ペア以下からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の面発光レーザ素子。
- 前記第1の部分反射鏡では、前記第1の層の光学厚さは発振波長の1/4であり、前記第2の層の光学厚さは発振波長λ、1以上の整数nを用いて、(2n+1)λ/4であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記第1の層は、AlAsからなる層であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記半導体多層膜反射鏡は、前記共振器構造体の一側に積層された第1の半導体多層膜反射鏡と、前記共振器構造体の他側に積層された第2の半導体多層膜反射鏡とを有し、
前記活性層で発生した熱は、主として前記第1の半導体多層膜反射鏡を介して放熱され、
前記第1及び第2の部分反射鏡は、前記第1の半導体多層膜反射鏡に含まれることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。 - 前記第1の半導体多層膜反射鏡における不純物のドーピング濃度は、前記共振器構造体側が相対的に低いことを特徴とする請求項6に記載の面発光レーザ素子。
- 前記共振器構造体は、インジウムを含む材料からなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子が集積された面発光レーザアレイ。
- 光によって被走査面上を走査する光走査装置であって、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子を有する光源と;
前記光源からの光を偏向する偏向器と;
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と;を備える光走査装置。 - 光によって被走査面上を走査する光走査装置であって、
請求項9に記載の面発光レーザアレイを有する光源と;
前記光源からの光を偏向する偏向器と;
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と;を備える光走査装置。 - 少なくとも1つの像担持体と;
前記少なくとも1つの像担持体に対して画像情報が含まれる光を走査する少なくとも1つの請求項10又は11に記載の光走査装置と;を備える画像形成装置。 - 前記画像情報は、多色のカラー画像情報であることを特徴とする請求項12に記載の画像形成装置。
- 入力される電気信号に応じた光信号を生成する光伝送モジュールであって、
請求項9に記載の面発光レーザアレイと;
前記面発光レーザアレイを、前記入力される電気信号に応じて駆動する駆動装置と;を備える光伝送モジュール。 - 請求項14に記載の光伝送モジュールと;
前記光伝送モジュールで生成された光信号を伝達する光伝達媒体と;
前記光伝達媒体を介した光信号を電気信号に変換する変換器と;を備える光伝送システム。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008120062A JP5187507B2 (ja) | 2008-05-02 | 2008-05-02 | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム |
CN201210493444.4A CN102983498B (zh) | 2008-05-02 | 2009-04-28 | 激光器件及具有激光器件的阵列、设备、模块和系统 |
KR1020127019776A KR101363690B1 (ko) | 2008-05-02 | 2009-04-28 | 수직 공진기형 면발광 레이저 소자, 수직 공진기형 면발광 레이저 어레이, 광 주사 장치, 화상 형성 장치, 광 전송 모듈 및 광 전송 시스템 |
PCT/JP2009/058733 WO2009133966A1 (en) | 2008-05-02 | 2009-04-28 | Vertical cavity surface emitting laser device, vertical cavity surface emitting laser array, optical scanning apparatus, image forming apparatus, optical transmission module and optical transmission system |
CN2009801254479A CN102077428B (zh) | 2008-05-02 | 2009-04-28 | 垂直腔表面发射激光器件 、垂直腔表面发射激光器阵列、光学扫描设备、成像设备、光学发射模块和光学发射系统 |
KR1020107024687A KR101292390B1 (ko) | 2008-05-02 | 2009-04-28 | 수직 공진기형 면발광 레이저 소자, 수직 공진기형 면발광 레이저 어레이, 광 주사 장치 및 화상 형성 장치 |
US12/989,538 US8891571B2 (en) | 2008-05-02 | 2009-04-28 | Vertical cavity surface emitting laser device, vertical cavity surface emitting laser array, optical scanning apparatus, image forming apparatus, optical transmission module and optical transmission system |
EP09738903.5A EP2277246B1 (en) | 2008-05-02 | 2009-04-28 | Vertical cavity surface emitting laser device, vertical cavity surface emitting laser array, optical scanning apparatus, image forming apparatus, optical transmission module and optical transmission system |
TW098114632A TWI396350B (zh) | 2008-05-02 | 2009-05-01 | 垂直空腔表面發光雷射裝置,垂直空腔表面發光雷射陣列,光學掃瞄設備,影像形成設備,光學傳輸模組及光學傳輸系統 |
US14/512,592 US9570887B2 (en) | 2008-05-02 | 2014-10-13 | Vertical cavity surface emitting laser device, vertical cavity surface emitting laser array, optical scanning apparatus, image forming apparatus, optical transmission module and optical transmission system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008120062A JP5187507B2 (ja) | 2008-05-02 | 2008-05-02 | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013010702A Division JP5610240B2 (ja) | 2013-01-24 | 2013-01-24 | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009272389A true JP2009272389A (ja) | 2009-11-19 |
JP5187507B2 JP5187507B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=41438704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008120062A Active JP5187507B2 (ja) | 2008-05-02 | 2008-05-02 | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5187507B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011114227A (ja) * | 2009-11-27 | 2011-06-09 | Ricoh Co Ltd | 面発光型レーザーの製造方法、面発光型レーザー、面発光型レーザーアレイ素子、光走査装置及び画像形成装置 |
JP2012190869A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
JP2013070109A (ja) * | 2013-01-24 | 2013-04-18 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム |
JP2013219323A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-10-24 | Ricoh Co Ltd | 半導体積層体及び面発光レーザ素子 |
JP2015026845A (ja) * | 2014-09-05 | 2015-02-05 | 株式会社リコー | 半導体発光素子、光走査装置及び画像形成装置 |
US10084286B2 (en) | 2014-03-14 | 2018-09-25 | Ricoh Company, Ltd. | Surface emitting laser, surface emitting laser element and atomic oscillator |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004342970A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Sony Corp | 面発光型半導体レーザ素子及びその製造方法 |
JP2005251860A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Nec Corp | 面発光レーザ装置 |
JP2006140446A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-06-01 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子および面発光レーザアレイおよび面発光レーザ素子の製造方法および面発光レーザモジュールおよび電子写真システムおよび光通信システムおよび光インターコネクションシステム |
JP2007266592A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-10-11 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、それを備えた面発光レーザアレイ、その面発光レーザアレイを備えた光走査装置、その光走査装置を備えた電子写真装置 |
JP2008060322A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置及び光通信システム |
-
2008
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004342970A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Sony Corp | 面発光型半導体レーザ素子及びその製造方法 |
JP2005251860A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Nec Corp | 面発光レーザ装置 |
JP2006140446A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-06-01 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子および面発光レーザアレイおよび面発光レーザ素子の製造方法および面発光レーザモジュールおよび電子写真システムおよび光通信システムおよび光インターコネクションシステム |
JP2007266592A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-10-11 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、それを備えた面発光レーザアレイ、その面発光レーザアレイを備えた光走査装置、その光走査装置を備えた電子写真装置 |
JP2008060322A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置及び光通信システム |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011114227A (ja) * | 2009-11-27 | 2011-06-09 | Ricoh Co Ltd | 面発光型レーザーの製造方法、面発光型レーザー、面発光型レーザーアレイ素子、光走査装置及び画像形成装置 |
JP2012190869A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
JP2013219323A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-10-24 | Ricoh Co Ltd | 半導体積層体及び面発光レーザ素子 |
JP2013070109A (ja) * | 2013-01-24 | 2013-04-18 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム |
US10084286B2 (en) | 2014-03-14 | 2018-09-25 | Ricoh Company, Ltd. | Surface emitting laser, surface emitting laser element and atomic oscillator |
JP2015026845A (ja) * | 2014-09-05 | 2015-02-05 | 株式会社リコー | 半導体発光素子、光走査装置及び画像形成装置 |
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JP5187507B2 (ja) | 2013-04-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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