JP2009272338A - 固体撮像素子及び撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】過大光をあてた場合でも壊れることのない、信頼性の高い固体撮像素子を提供する。
【解決手段】n型の半導体基板10と、半導体基板10内に形成されたpウェル層11aと、半導体基板10内に形成され且つpウェル層11aとは分離されたpウェル層11bとを備える固体撮像素子100であって、pウェル層11aとpウェル層11bには、それぞれ異なる電圧を印加するための端子41,42が接続され、半導体基板10のpウェル層11aとpウェル層11bの間の分離領域に入射してくる光を減少させる機能を有する機能膜31が、該分離領域を覆って設けられている。
【選択図】図3
【解決手段】n型の半導体基板10と、半導体基板10内に形成されたpウェル層11aと、半導体基板10内に形成され且つpウェル層11aとは分離されたpウェル層11bとを備える固体撮像素子100であって、pウェル層11aとpウェル層11bには、それぞれ異なる電圧を印加するための端子41,42が接続され、半導体基板10のpウェル層11aとpウェル層11bの間の分離領域に入射してくる光を減少させる機能を有する機能膜31が、該分離領域を覆って設けられている。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体基板と、前記半導体基板内に形成された前記半導体基板と反対導電型の第一の領域と、前記半導体基板内に形成され且つ前記第一の領域とは分離された前記半導体基板と反対導電型の第二の領域とを備える固体撮像素子に関する。
従来、光電変換素子と、光電変換素子で発生した電荷を直接読み出して垂直方向に転送するCCD(Charge Coupled Device)からなる垂直電荷転送部と、垂直電荷転送部を転送されてきた電荷を出力アンプまで転送するCCDからなる水平電荷転送部とを備えたCCD型の固体撮像素子において、CCDとそのCCDを駆動する入力部とをそれぞれ異なるpウェル層内に形成することで、静電保護回路を形成して素子の信頼性を向上させる技術が知られている(特許文献1参照)。
図5は、静電保護回路を有するCCD型の固体撮像素子の一般的な構成例を示す断面模式図である。
図5に示す固体撮像素子は、n型シリコン基板Nと、n型シリコン基板N内に形成されたpウェル層P1及びpウェル層P2とを備える。pウェル層P1とpウェル層P2は分離されている。
図5に示す固体撮像素子は、n型シリコン基板Nと、n型シリコン基板N内に形成されたpウェル層P1及びpウェル層P2とを備える。pウェル層P1とpウェル層P2は分離されている。
n型シリコン基板Nにはオーバーフロードレインパルスを印加するための端子OFDが接続されている。pウェル層P1には接地端子GNDが接続され、pウェル層P2には、垂直電荷転送部を駆動するパルスのうち最も低い電圧(例えば−8V)のパルスを印加するための端子PWが接続されている。
pウェル層P1内には、フォトダイオード(PD)と、PDに隣接して設けられた電荷転送チャネルCとが形成されている。PDと電荷転送チャネルCとの間は、PDから電荷転送チャネルCに電荷を読み出すための読み出しゲートとなっている。読み出しゲートと電荷転送チャネルCの上方には、図示しない絶縁膜を介して電荷転送電極Gが設けられている。電荷転送チャネルCと電荷転送電極Gとにより、垂直電荷転送部が構成されている。
電荷転送電極Gとpウェル層P2の各々には、電荷転送チャネルCでの電荷転送動作を制御するための駆動パルスを電荷転送電極Gに印加するための端子Vが接続されている。この駆動パルスには、電荷転送チャネルCに、電荷を蓄積するパケットを形成するためのローレベル(例えば−8V)のパルスと、パケットのバリアを形成するためのミドルレベル(例えば0V)のパルスと、PDから読み出しゲートを介して電荷転送チャネルCに電荷を読み出すためのハイレベル(例えば15V)のパルスとが含まれる。
このような構成の固体撮像素子では、例えばその検査工程において、デジタルカメラに用いられるフラッシュ等の強い光を固体撮像素子に当てたときの特性を検査するといったことが行われる。図5に示す従来の構成の固体撮像素子では、この検査を行った際に、何らかの原因で固体撮像素子が壊れてしまうことがあった。
本発明者は、上記原因を追究し、以下に示す新規の課題を発見した。
図5に示す固体撮像素子に過大光をあてると、この過大光により、pウェル層P1とpウェル層P2の分離領域には多数の電子正孔対が発生する。このうち、正孔は、隣接するpウェル層P1及びpウェル層P2を介して速やかに分離領域から排出される。一方、電子は、n型シリコン基板Nを介してOFD端子に排出される。この際、電子は、分離領域という狭い領域に集中するため、この分離領域の電位が低下する。その結果、pウェル層P1と、分離領域と、pウェル層P2とで形成される寄生のPNPトランジスタがオンし、pウェル層P1の電位がマイナス方向に変動する。
このときに、電荷転送電極Gにハイレベルのパルスが印加されると、読み出しゲートに通常以上の電位差(最大、例えば15V+8V=23Vの電位差)がかかってしまう。この電位差が、pウェル層P1と電荷転送電極Gの間の絶縁膜の耐圧を超えた場合には、この絶縁膜が破壊されてしまう。近年では、画素サイズの微細化に伴い、この絶縁膜が薄膜化され、絶縁膜の耐圧が低下する傾向にある。このため、上記のようなpウェル層P1の電位変動による絶縁破壊が発生しやすい状況となっており、この電位変動を防ぐことが、固体撮像素子の信頼性を高めるためで重要である。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、過大光をあてた場合でも壊れることのない、信頼性の高い固体撮像素子及び撮像装置を提供することを目的とする。
本発明の固体撮像素子は、半導体基板と、前記半導体基板内に形成された前記半導体基板と反対導電型の第一の領域と、前記半導体基板内に形成され且つ前記第一の領域とは分離された前記半導体基板と反対導電型の第二の領域とを備える固体撮像素子であって、前記第一の領域と前記第二の領域には、それぞれ異なる電圧を印加するための端子が接続され、前記半導体基板の前記第一の領域と前記第二の領域の間の分離領域に入射してくる光を減少させるための光減少手段を備える。
本発明によれば、固体撮像素子に強い光を当てた場合でも、分離領域に入射される光が光減少手段によって減少されるため、第一の領域と分離領域と第二の領域とで構成されるトランジスタがオンされるのを防ぐことができ、第一の領域と第二の領域の電位を安定させることができる。この結果、絶縁破壊等を防ぐことができ、素子の信頼性を向上させることができる。
本発明の固体撮像素子は、前記第一の領域内に形成された光電変換素子で発生した電荷を転送する電荷転送部であって、前記第一の領域内に形成された電荷転送チャネルと前記電荷転送チャネルでの電荷転送動作を制御するための電荷転送電極とを含む電荷転送部と、前記第二の領域と前記電荷転送電極とに接続され、前記電荷転送動作を制御するための転送パルスを前記電荷転送電極に印加するための入力端子とを備える。
本発明によれば、固体撮像素子に強い光を当てた場合でも、第一の領域と電荷転送電極との間の絶縁膜にかかる電圧を、その絶縁膜の耐圧以下に抑えることが可能となり、その結果、素子の信頼性を向上させることができる。
本発明の固体撮像素子は、前記電荷転送部が、前記光電変換素子から電荷が直接読み出されるものである。
本発明によれば、第一の領域と電荷転送電極との間の絶縁膜にかかる電圧が、光電変換素子から電荷転送部に電荷を読み出すときに特に大きくなるため、第一の領域と第二の領域の電位を安定させることのできる光減少手段を設けることが特に有効となる。
本発明の固体撮像素子は、前記電荷転送部を遮光する遮光膜を備え、前記光減少手段が、前記分離領域上方に設けられた、前記遮光膜と同じ材料の膜である。
本発明によれば、例えば、電荷転送電極と入力端子とを接続する配線層が分離領域上方にある場合でも、その配線層の下に光減少手段を形成することができる。このため、分離領域を完全に覆う膜を構成することが可能となり、分離領域に入射してくる光を確実に減少させることができる。又、光減少手段を遮光膜の形成と同時に形成することができるため、製造コストの増大を防ぐことができる。
本発明の固体撮像素子は、前記電荷転送電極と前記入力端子とを接続するための配線層を備え、前記光減少手段が、前記分離領域上方に設けられた、前記配線層と同じ材料の膜である。
本発明によれば、光減少手段を配線層の形成と同時に形成することができるため、製造コストの増大を防ぐことができる。
本発明の固体撮像素子は、前記第一の領域上方に設けられたカラーフィルタを備え、前記光減少手段が、前記分離領域上方に設けられた、前記カラーフィルタと同じ材料の膜である。
本発明によれば、光減少手段をカラーフィルタの形成と同時に形成することができるため、製造コストの増大を防ぐことができる。
本発明の撮像装置は前記固体撮像素子を備える。
本発明によれば、非常に明るい被写体を撮影した場合でも壊れることのない、撮像装置を提供することができる。
本発明によれば、過大光をあてた場合でも壊れることのない、信頼性の高い固体撮像素子及び撮像装置を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態である固体撮像素子の概略構成を示す平面模式図である。図2は、図1に示す固体撮像素子のpウェル層11aに形成される構成要素を詳細に示した平面模式図である。図3は、図1に示す固体撮像素子のA−A線断面模式図である。
図1に示す固体撮像素子100は、シリコン基板等の半導体基板10(以下では、その導電型をn型とするがp型であっても良い)と、半導体基板10内に形成された半導体基板10と反対導電型(p型)の第一の領域であるpウェル層11aと、半導体基板10内に形成され且つpウェル層11aとは分離された半導体基板10と反対導電型(p型)の第二の領域であるpウェル層11bとを備える。
図3に示すように、半導体基板10には、オーバーフロードレインパルスを印加するための端子40が接続されている。pウェル層11aには固定の電圧(例えば0V)を印加するための端子41と、端子33とが接続されている。pウェル層11bには、端子41に印加される電圧とは異なる固定の電圧(例えば−8V)を印加するための端子42と、端子32とが接続されている。
端子32,33には、固体撮像素子100を搭載する撮像装置の駆動部から、固体撮像素子100を駆動するための各種信号が入力されるようになっている。
図2に示すように、pウェル層11a内には、その表面に二次元アレイ状(図示の例では正方格子状)に配列形成された多数の光電変換素子(フォトダイオード(PD))12と、各フォトダイオード列に対応してその側部に形成され、対応するフォトダイオード列の各フォトダイオード12に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するn型半導体層からなる垂直電荷転送路13と、各フォトダイオード12と垂直電荷転送路13との間に設けられた読出ゲート14とが形成されている。
垂直電荷転送路13の上には、絶縁膜35を介して、垂直電荷転送路13での電荷転送動作を制御するための垂直転送電極13aが設けられている。垂直転送電極13aは、1フォトダイオード当たり4つ設けられ、4枚の各垂直転送電極13aには配線層34を介して端子32が接続され、この端子32に、垂直電荷転送路13による電荷の垂直転送を行うための垂直転送パルスφV1,φV2,φV3,φV4が印加される構成(4相駆動の場合)になっている。垂直電荷転送路13と、垂直転送電極13aとによって垂直電荷転送部(VCCD)が構成される。垂直転送パルスには、垂直電荷転送路13に、電荷を蓄積するパケットを形成するためのローレベル(例えば−8V)のパルスと、パケットのバリアを形成するためのミドルレベル(例えば0V)のパルスと、PD12から読み出しゲート14を介して垂直電荷転送路13に電荷を読み出すためのハイレベル(例えば15V)のパルスとが含まれる。
pウェル層11bには、端子42から、垂直転送パルスのうちの最も低い電圧(−8V)が印加されているため、pウェル層11bと半導体基板10とによるpn接合を、端子32と半導体基板10との間に形成することができる。このpn接合が静電保護回路として機能する。
pウェル層11aには、垂直電荷転送路13の電荷転送方向下流側の端部に設けられた水平電荷転送路15と、水平電荷転送路15の出力部に設けられたフローティングディフュージョン部(FD部)16及び出力アンプ17とが形成されている。
水平電荷転送路15上には、絶縁膜35を介して、1垂直電荷転送路当たり2枚の水平転送電極が設けられている。各水平転送電極には端子33が接続され、この端子33から、2枚の各電極に、水平電荷転送路15による電荷の水平転送を行うための水平転送パルスφH1,φH2が夫々印加される構成(2相駆動の場合)になっている。水平電荷転送路15と、水平転送電極とによって水平電荷転送部(HCCD)が構成される。
pウェル層11a内には、各垂直電荷転送路13と水平電荷転送路15との境界部分に、各垂直電荷転送路13によって転送されてきた電荷を受け取って一時蓄積し、垂直電荷転送路13の駆動とは独立に駆動されるバッファ用のラインメモリ18を備える。このラインメモリ18は省略しても良い。
尚、ここでは「垂直」「水平」という用語を用いて説明したが、これは、固体撮像素子100の受光面に沿う「1方向」「この1方向に略直交する方向」という意味に過ぎない。又、フォトダイオード12の配列は正方格子状としたが、これに限らず、公知の様々な配列を適用可能である。又、垂直電荷転送路や水平電荷転送路の駆動方法(駆動相数)についても公知の様々な方法を適用可能である。
ここまでの構成は、従来とほぼ同様であるが、本実施形態の固体撮像素子100では、半導体基板10のうちのpウェル層11aとpウェル層11bの間の領域(以下、分離領域という)上方に、この分離領域を覆う機能膜31を設けたことを特徴としている。
この機能膜31は、分離領域に入射してくる光を減少させることができる機能を持つ膜であれば良い。例えば、タングステンやアルミニウム等の光を吸収又は反射する材料によって構成された膜や、NDフィルタやカラーフィルタ等の光を減衰可能な材料によって構成された膜等を用いることができる。
一般的に、CCD型の固体撮像素子には、水平電荷転送部や垂直電荷転送部に光が入らないようにするためのタングステン等からなる遮光膜(例えば、特開2006−310826号公報の図4の符号7、以下、第一の遮光膜という)が設けられるが、この第一の遮光膜を形成する際に、分離領域上方にもこの第一の遮光膜の材料を残すプロセスを採用することで、機能膜31を形成することができる。
配線層34は、特開2006−310826号公報にも記載されているように、固体撮像素子100の第一の遮光膜よりも上の位置に形成されるのが一般的である。つまり、分離領域上方の第一の遮光膜と同じ高さの位置には、配線層34等の障害物があまり存在しない。このため、第一の遮光膜と同時に機能膜31を形成する方法を採用すれば、障害物を避けながら機能膜31を作らなくてすむようになり、分離領域を機能膜31によって完全に覆うことが可能となる。この結果、分離領域への光の入射量を極力減らすことができる。
又、例えばアルミニウム等の導電性材料によって配線層34を形成する際に、分離領域上方にもこの導電性材料を残すプロセスを採用することで、機能膜31を形成することもできる。尚、図1に示すように、配線層34が分離領域を跨って形成されている場合、配線層34同士の導通を避ける必要があるため、図4に示すように、配線層34を避けて機能膜31を形成する必要がある。図4の構成の場合、配線層34と機能膜31との間には若干の隙間を設け、この隙間を絶縁材料で埋めるプロセスを採用すれば良い。この場合、絶縁材料を光を反射又は吸収するものにすれば、分離領域への光の入射量を極力減らすことができる。
又、一般的に、固体撮像素子には、光電変換素子の上方にカラーフィルタ(例えば、特開2006−310826号公報の図4の符号50)が設けられるが、このカラーフィルタを形成する際に、分離領域上方にもこのカラーフィルタの材料を残すプロセスを採用することで、機能膜31を形成することができる。固体撮像素子に用いられるカラーフィルタとしては、原色系や補色系があるが、いずれのカラーフィルタも、入射光の一部しか透過しないため、機能膜31として利用することができる。又、分離領域上方のカラーフィルタと同じ高さの位置には、障害物がほとんど存在しないため、分離領域を機能膜31によって完全に覆うことが可能となる。この結果、分離領域への光の入射量を極力減らすことができる。
このように構成された固体撮像素子100に過大光をあてると、機能膜31により、分離領域には少量の光しか入射されないか、又は、全く光が入射されない。少量の光が入射した場合、分離領域では、入射した光によって電子正孔対が発生するが、その発生量は微量であるため、正孔と電子は分離領域から速やかに排出される。したがって、少量の光が入射してしまった場合も、そうでない場合も、pウェル層11aと、分離領域と、pウェル層11bとで形成される寄生のPNPトランジスタはオンとはならず、pウェル層11aの電位は接地電位のまま安定する。
以上のように、本実施形態の固体撮像素子100によれば、強い光を当てた場合でも、分離領域に入射してくる光が機能膜31によって減少されるため、pウェル層11aと、分離領域と、pウェル層11bとで構成されるトランジスタがオンされるのを防ぐことができ、pウェル層11a及びpウェル層11bの電位を安定させることができる。この結果、絶縁膜35の破壊を防ぐことができ、素子の信頼性を向上させることができる。
尚、機能膜31は、固体撮像素子100の構成要素(第一の遮光膜、配線層34、カラーフィルタ等)と兼用ではなく、専用の材料を使って形成しても良い。固体撮像素子100の構成要素と兼用で形成することで、機能膜31を形成するためだけの製造工程を追加する必要がなく、製造コストを抑えることができる。
又、図3に示す半導体基板10内に別のpウェル層を設け、このpウェル層に端子41や端子42に印加する電圧とは異なる電圧を印加する構成を採用した場合でも、この別のpウェル層とpウェル層11aの間の領域上方や、この別のpウェル層とpウェル層11bの間の領域上方に機能膜31を設けることで、それぞれのpウェル層の電位を安定させることができ、固体撮像素子100の部分的な破壊等を防ぐことができる。
又、以上の説明では、固体撮像素子100をCCD型としているが、これはMOS型であっても良い。MOS型の場合、pウェル層11aに形成されたMOS回路を駆動するための端子をpウェル層11bに接続しておくことで静電保護回路を形成しつつ、過大光による絶縁破壊を防止することができる。
又、以上の説明では、水平転送電極に接続する端子33を、水平電荷転送路15が形成されるpウェル層11aとは別のpウェル層11に接続し、pウェル層11aとこの別のpウェル層の分離領域上方に機能膜31を設ける構成としても良い。この場合も、水平電荷転送路15とその上方の水平転送電極との間の絶縁膜の破壊を防ぐことができる。
10 半導体基板
11a,11b pウェル層
31 機能膜
41,42 端子
100 固体撮像素子
11a,11b pウェル層
31 機能膜
41,42 端子
100 固体撮像素子
Claims (7)
- 半導体基板と、前記半導体基板内に形成された前記半導体基板と反対導電型の第一の領域と、前記半導体基板内に形成され且つ前記第一の領域とは分離された前記半導体基板と反対導電型の第二の領域とを備える固体撮像素子であって、
前記第一の領域と前記第二の領域には、それぞれ異なる電圧を印加するための端子が接続され、
前記半導体基板の前記第一の領域と前記第二の領域の間の分離領域に入射してくる光を減少させるための光減少手段を備える固体撮像素子。 - 請求項1記載の固体撮像素子であって、
前記第一の領域内に形成された光電変換素子で発生した電荷を転送する電荷転送部であって、前記第一の領域内に形成された電荷転送チャネルと前記電荷転送チャネルでの電荷転送動作を制御するための電荷転送電極とを含む電荷転送部と、
前記第二の領域と前記電荷転送電極とに接続され、前記電荷転送動作を制御するための転送パルスを前記電荷転送電極に印加するための入力端子とを備える固体撮像素子。 - 請求項2記載の固体撮像素子であって、
前記電荷転送部が、前記光電変換素子から電荷が直接読み出されるものである固体撮像素子。 - 請求項2又は3記載の固体撮像素子であって、
前記電荷転送部を遮光する遮光膜を備え、
前記光減少手段が、前記分離領域上方に設けられた、前記遮光膜と同じ材料の膜である固体撮像素子。 - 請求項2又は3記載の固体撮像素子であって、
前記電荷転送電極と前記入力端子とを接続するための配線層を備え、
前記光減少手段が、前記分離領域上方に設けられた、前記配線層と同じ材料の膜である固体撮像素子。 - 請求項1〜3のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記第一の領域上方に設けられたカラーフィルタを備え、
前記光減少手段が、前記分離領域上方に設けられた、前記カラーフィルタと同じ材料の膜である固体撮像素子。 - 請求項1〜6のいずれか1項記載の固体撮像素子を備える撮像装置。
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JP2008119098A JP2009272338A (ja) | 2008-04-30 | 2008-04-30 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
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JP2016162927A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 画像読取装置および半導体装置 |
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2008
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