JP2009272318A - 放電装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘電体が被覆された誘電体バリアの電極2をチャンバー1内に備え、チャンバー1内で放電させる。具体的には、誘電体バリアの電極2は、金属電極23や誘電体バリア24などを備え、金属電極23を誘電体バリア24が被覆して、誘電体バリア24から放電させる。このような誘電体バリアの電極2をチャンバー1内に備え、チャンバー1内で放電させるので、投入電力(電極への印加電力)の放電効率がよく、省電力化を図ることができる。その結果、低コストで効力が強い放電装置(実施例ではプラズマ処理装置)を提供することができる。
【選択図】図1
Description
すなわち、請求項1に記載の発明は、チャンバーを備え、チャンバー内で放電させる放電装置であって、誘電体が被覆された誘電体バリアの電極をチャンバー内に備え、その誘電体バリアの電極を用いて放電させることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係るプラズマ処理装置の概略図であり、図2は、パルス波の出力に関する概略図であり、図3は、図1とは別態様のプラズマ処理装置の概略図である。なお、本実施例では、放電を利用した所定の処理として、プラズマ放電によって発生したプラズマを利用したプラズマ処理を例に採って説明するとともに、放電装置として、そのプラズマ処理を行うプラズマ処理装置を例に採って説明する。
2 … 誘電体バリアの電極
3 … 金属電極
5 … パルス電源
24 … 誘電体バリア
PM … プラズマ
Claims (11)
- チャンバーを備え、チャンバー内で放電させる放電装置であって、誘電体が被覆された誘電体バリアの電極をチャンバー内に備え、その誘電体バリアの電極を用いて放電させることを特徴とする放電装置。
- 請求項1に記載の放電装置において、パルス電源を備え、そのパルス電源からのパルス波を電極に印加することにより前記チャンバー内で放電させることを特徴とする放電装置。
- 請求項1または請求項2に記載の放電装置において、前記チャンバー内にチャンバーとは独立して2つの電極を備え、それら電極のうち少なくとも一方が前記誘電体バリアの電極であることを特徴とする放電装置。
- 請求項3に記載の放電装置において、前記2つの電極がともに前記誘電体バリアの電極であることを特徴とする放電装置。
- 請求項3に記載の放電装置において、前記2つの電極のうち一方が前記誘電体バリアの電極であるとともに、他方が、誘電体が被覆されていない金属電極であることを特徴とする放電装置。
- 請求項1または請求項2に記載の放電装置において、前記チャンバー内にチャンバーとは独立して1つの電極を備え、前記チャンバーを接地させて接地電極を兼用し、それら電極のうち少なくとも一方が前記誘電体バリアの電極であることを特徴とする放電装置。
- 請求項6に記載の放電装置において、前記チャンバー内にチャンバーとは独立して備えられた前記電極が前記誘電体バリアの電極であり、前記接地電極を兼用したチャンバーが、誘電体が被覆されていない金属電極であることを特徴とする放電装置。
- 請求項6に記載の放電装置において、前記チャンバー内にチャンバーとは独立して備えられた前記電極が、誘電体が被覆されていない金属電極であり、前記接地電極を兼用したチャンバーが前記誘電体バリアの電極であることを特徴とする放電装置。
- 請求項6に記載の放電装置において、前記チャンバー内にチャンバーとは独立して備えられた前記電極、および前記接地電極を兼用したチャンバーがともに前記誘電体バリアの電極であることを特徴とする放電装置。
- 請求項1から請求項9のいずれかに記載の放電装置において、放電はプラズマ放電であって、プラズマ放電によってプラズマを発生させることを特徴とする放電装置。
- 請求項1から請求項10のいずれかに記載の放電装置において、前記チャンバー内を大気圧よりも低い減圧下にして放電させることを特徴とする放電装置。
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