JP4640939B2 - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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- 真空排気装置が接続され内部を減圧可能な処理室と、該処理室内へのガス供給装置と、処理室内部にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、被処理材に高周波電圧を印加する高周波電圧印加手段とを具備するプラズマ処理装置において、
前記高周波電圧印加手段は、パルス波形の電圧を出力する手段と、前記パルス波形の電圧を正弦波波形の電圧に変換して出力する手段と、パルス波形または正弦波波形の高周波電圧のいずれかを選択して前記被処理材に印加する手段とを備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
上記高周波電圧印加手段が、パルス波形または矩形波波形の高周波電圧を出力する高周波パルス電源と、フィルター回路と、波形切替器とを有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2記載のプラズマ処理装置において、
上記高周波パルス電源が、デューティー比可変のパルス波形の高周波電圧を出力する高周波パルス電源であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2記載のプラズマ処理装置において、
上記フィルター回路が、高周波パルス電源の高周波電圧出力に含まれる周波数成分から被処理材に印加する所望の正弦波の周波数に変換するためローパスフィルター、バンドパスフィルター、あるいはハイパスフィルターを有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2記載のプラズマ処理装置において、
上記フィルター回路が、高周波パルス電源の高周波電圧出力を変換するトランスを含むフィルター回路であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2記載のプラズマ処理装置において、
上記波形切替器が、リレースイッチにて構成されることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 処理室内部を減圧し、該処理室内部にプラズマを発生させ、被処理材に高周波電圧を印加して該被処理材にプラズマ処理を行うプラズマ処理方法において、
前記被処理材に高周波電圧を印加する工程を有し、
前記被処理材に高周波電圧を印加する工程は、
パルス波形の電圧を出力する工程と、該工程により出力された前記パルス波形の電圧を正弦波波形の電圧に変換して出力する工程とを有し、
パルス波形または正弦波波形の高周波電圧のいずれかを、処理条件または処理ステップに応じて選択して印加することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項7記載のプラズマ処理方法において、
前記被処理材に高周波電圧を印加する工程は、前記パルス波形または正弦波波形の高周波電圧のいずれかを、被処理材のプラズマ処理条件に応じて選択し、前記被処理材に印加することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項7記載のプラズマ処理方法において、
前記被処理材に高周波電圧を印加する工程は、前記パルス波形または正弦波波形の高周波電圧のいずれかを、被処理材のプラズマ処理条件を構成する各プラズマ処理ステップに応じて選択し、前記被処理材に印加することを特徴とするプラズマ処理方法。
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