JP2009265455A - 導電パターン形成装置 - Google Patents
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Abstract
所望の厚さの配線パターンを、安定に形成できる配線膜厚制御手段と、それを用いた導電パターン形成装置構成の提供。
【解決手段】
形成されたパターンの厚さを検知するための厚さ検知手段を少なくとも一つ有し、それにより得られた情報に基づいて、パターンの厚さに寄与する現像バイアスや現像剤濃度などのパラメータのうち、少なくとも一つを調整できる構成とすることで、所望の厚さのパターンを安定に形成できる導電パターン形成装置。
【選択図】図4
Description
2 静電潜像
3 露光装置
4 潜像パターン
5 現像装置
6 導電性粒子分散溶液
7 導電パターン前駆体
8 洗浄装置
9 洗浄液
10 誘電性薄膜体
11 感光体
12 溶媒除去装置
13 転写液塗布装置
14 転写液
15 静電転写装置
16 対象基板
17 導電パターン
18 クリーニング手段
19 残留潜像消去手段
20 残存転写液乾燥手段
21 焼成手段
22 無極性溶媒
23 イオン性有機分子
24 導電性粒子
25 無機イオン
26 有機物イオン
27 厚さ検知手段
28 厚さ情報制御手段
29 無極性溶媒貯蔵タンク
30 高濃度導電性粒子分散溶液または導電性粒子貯蔵タンク
31 濃度調整手段
32 濃度センサ
Claims (10)
- 誘電性薄膜体上に形成した静電潜像のパターンを、帯電粒子の静電吸着によりパターンとして形成する装置において、形成されたパターンの厚さをリアルタイムで検知するパターン厚さ検知手段、および形成パターンの厚さを増減することができるパターン厚さ調整手段を複数有し、該パターン厚さ検知手段で検知された情報に基づいて、複数の該パターン厚さ調整手段のうち少なくとも一つを調整して、所望の厚さを有するパターンを、安定に形成することを特徴とするパターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記パターン厚さ検知手段による検知対象となるパターンが、現像手段と転写手段間の誘電性薄膜体上に存在する現像パターン、転写手段と焼成手段間の対象基板上に存在する転写パターン、あるいは焼成手段後の目的基板上に存在する導体パターンであり、これらのうち少なくとも一つであることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1又は2記載のパターン形成装置において、前記パターン厚さ検知手段で検知された情報に基づいた形成パターンの厚さ調整手段は、帯電装置による初期帯電量による調整,感光体回転速度制御による調整,現像装置−感光体間距離制御による調整,導電性粒子分散溶液濃度制御による調整,導電性分散剤温度変化による調整,現像バイアスの調整,転写バイアスによる調整の中の、少なくとも一つを用いることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記導電性粒子分散溶液は、加熱または加圧により導体化する導電性粒子を液中に分散させた溶液であることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記導電性粒子分散溶液は、分散させる導電性粒子の粒径が100nm以下であることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記導電性粒子は、表面にイオン性有機分子を有しており、無極性溶媒中に分散させていることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記パターン厚さ検知手段は、レーザや超音波により非接触で膜厚を測定する手段であることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記パターン厚さ検知手段は、パターンの面積を測定する手段であり、パターニングにより減少した導電性粒子の重量から、膜厚を算出する構成であることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記パターン厚さ検知手段は、あらかじめ、パターンの膜厚による発色状態の違いをデータベース化し、形成されたパターンの発色状態を、非接触な色濃度センサにより検知した結果を、該データベースを参照に間接的に膜厚を決めることを特徴とする導電パターン形成装置。
- 請求項1記載のパターン形成装置において、前記パターン厚さ検知手段は、パターン中に色素成分を添加し、発色感度を向上することで、膜厚検知感度も向上することを特徴とする導電パターン形成装置。
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