JP2009251338A - Method for manufacturing liquid crystal display unit - Google Patents

Method for manufacturing liquid crystal display unit Download PDF

Info

Publication number
JP2009251338A
JP2009251338A JP2008100089A JP2008100089A JP2009251338A JP 2009251338 A JP2009251338 A JP 2009251338A JP 2008100089 A JP2008100089 A JP 2008100089A JP 2008100089 A JP2008100089 A JP 2008100089A JP 2009251338 A JP2009251338 A JP 2009251338A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal display
display substrate
ultraviolet
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008100089A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5066770B2 (en
Inventor
Koichi Kajiyama
康一 梶山
Michinobu Mizumura
通伸 水村
Kazue Hashimoto
和重 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
V Technology Co Ltd
Original Assignee
V Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2008100089A priority Critical patent/JP5066770B2/en
Application filed by V Technology Co Ltd filed Critical V Technology Co Ltd
Priority to KR1020107022488A priority patent/KR101626036B1/en
Priority to CN200980112848.0A priority patent/CN101990651B/en
Priority to PCT/JP2009/056891 priority patent/WO2009125718A1/en
Priority to CN201410070500.2A priority patent/CN103885247B/en
Priority to TW098111591A priority patent/TWI457668B/en
Publication of JP2009251338A publication Critical patent/JP2009251338A/en
Priority to US12/899,652 priority patent/US8488097B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5066770B2 publication Critical patent/JP5066770B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To stabilize alignment of liquid crystal molecules by suppressing liquid crystal to absorb ultraviolet light to cause heat generation to high temperature, and to enhance production efficiency of a substrate for liquid crystal display. <P>SOLUTION: In a state wherein a plurality of pixels are formed in a matrix pattern between a pair of substrates and the liquid crystal display substrate in which liquid crystal is encapsulated and an ultraviolet lamp are opposed to each other, the liquid crystal display substrate and lamp are impregnated with a limpid liquid having a resistivity above a given value and a sufficiently high transmittance for the ultraviolet light, and the liquid crystal display substrate is irradiated with a given amount of the ultraviolet light by lighting the lamp with a given amount of the electric field applied to each of the pixels, thereby aligning molecules of the liquid crystal in a predetermined direction. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶を封止した液晶表示用基板に電界を印加した状態で紫外線を照射して液晶分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造方法に関し、詳しくは、液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えて液晶分子の配向の安定化を図ると共に、液晶表示用基板の製造効率の向上を図ろうとする液晶表示装置の製造方法に係るものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device in which liquid crystal molecules are aligned in a predetermined direction by irradiating ultraviolet rays in a state where an electric field is applied to a liquid crystal display substrate in which liquid crystals are sealed. Specifically, the liquid crystal absorbs ultraviolet rays. The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device which attempts to stabilize the alignment of liquid crystal molecules by suppressing heat generation to a high temperature and to improve the manufacturing efficiency of a liquid crystal display substrate.

従来のこの種の液晶表示装置の製造方法は、液晶にモノマーを混合した液晶材料を一対の基板間に封止し、該基板間に電圧を印加して液晶分子を傾斜させた状態で紫外線を照射し、上記モノマーを重合してポリマー化し、液晶分子の配向方向を規定するものとなっていた(例えば、特許文献1参照)。   In a conventional method for manufacturing a liquid crystal display device of this type, a liquid crystal material in which a liquid crystal is mixed with a monomer is sealed between a pair of substrates, and a voltage is applied between the substrates so that the liquid crystal molecules are tilted to emit ultraviolet rays. Irradiation was performed to polymerize the above monomers to polymerize the liquid crystal molecules, thereby defining the alignment direction of the liquid crystal molecules (see, for example, Patent Document 1).

このような液晶表示装置の製造方法は、配向膜をラビング処理することにより液晶分子を所定方向に配向させるものに比べて、非接触で液晶分子を配向させることができるため、欠陥の発生を抑制することができるという特徴を有している。
特開2003−228050号公報
Such a method of manufacturing a liquid crystal display device suppresses the occurrence of defects because liquid crystal molecules can be aligned in a non-contact manner compared to a method in which liquid crystal molecules are aligned in a predetermined direction by rubbing the alignment film. It has the feature that it can do.
JP 2003-228050 A

しかし、このような従来の液晶表示装置の製造方法においては、液晶が紫外線を吸収して80℃以上に発熱する場合があり、液晶が光の透過及び遮断のスイッチング機能を消失して適切な画像表示ができなくなるという不具合が発生するおそれがあった。   However, in such a conventional method of manufacturing a liquid crystal display device, the liquid crystal may absorb ultraviolet rays and generate heat at 80 ° C. or higher, and the liquid crystal loses the switching function of transmission and blocking of light and an appropriate image can be obtained. There was a risk of a problem that the display could not be performed.

液晶の発熱の問題に対しては、紫外線の照射を時分割して一定の時間間隔で行うことにより対処することができるが、この場合、液晶表示用基板の製造効率が悪くなるという問題がある。   The problem of heat generation of the liquid crystal can be dealt with by performing time-divided UV irradiation at regular intervals, but in this case, there is a problem that the manufacturing efficiency of the liquid crystal display substrate deteriorates. .

そこで、本発明は、このような問題点に対処し、液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えて液晶分子の配向の安定化を図ると共に、液晶表示用基板の製造効率の向上を図ろうとする液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention addresses such problems and suppresses the liquid crystal from absorbing ultraviolet rays and generating heat to a high temperature, thereby stabilizing the alignment of liquid crystal molecules and improving the production efficiency of a liquid crystal display substrate. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device which intends to achieve the above.

上記目的を達成するために、本発明による液晶表示装置の製造方法は、一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成し、液晶を封止した液晶表示用基板の前記各画素に電界を印加した状態で前記液晶表示用基板に紫外線を照射して、前記液晶の分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造方法であって、前記液晶表示用基板と紫外線ランプとを対向させた状態で、所定以上の抵抗率を有し紫外線に対して十分に高い透過率を有する透明な液体中に浸漬させる第1ステップと、前記各画素に所定量の電界を印加した状態で前記紫外線ランプを点灯して前記液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射する第2ステップと、を行うものである。   In order to achieve the above object, a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention includes forming a plurality of pixels in a matrix between a pair of substrates, and applying an electric field to each pixel of the liquid crystal display substrate in which the liquid crystal is sealed. A method for manufacturing a liquid crystal display device in which the liquid crystal display substrate is irradiated with ultraviolet rays in an applied state to align the liquid crystal molecules in a predetermined direction, wherein the liquid crystal display substrate and the ultraviolet lamp are opposed to each other. A first step of immersing the substrate in a transparent liquid having a resistivity equal to or higher than a predetermined value and a sufficiently high transmittance for ultraviolet rays, and applying the predetermined amount of electric field to each of the pixels. A second step of turning on and irradiating the liquid crystal display substrate with a predetermined amount of ultraviolet rays.

このような構成により、一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成し、液晶を封止した液晶表示用基板と紫外線ランプとを対向させた状態で、所定以上の抵抗率を有し紫外線に対して十分に高い透過率を有する透明な液体中に浸漬させ、上記各画素に所定量の電界を印加した状態で紫外線ランプを点灯して液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射し、液晶の分子を所定方向に配向させる。   With such a configuration, a plurality of pixels are formed in a matrix between a pair of substrates, and a liquid crystal display substrate sealed with liquid crystal and an ultraviolet lamp are opposed to each other and have an ultraviolet resistance higher than a predetermined value. The substrate is immersed in a transparent liquid having a sufficiently high transmittance, and the liquid crystal display substrate is irradiated with a predetermined amount of ultraviolet light by turning on an ultraviolet lamp in a state where a predetermined amount of electric field is applied to each pixel. The liquid crystal molecules are aligned in a predetermined direction.

また、前記第2ステップを行った後に、前記各画素への電界の印加を取り去った状態で前記紫外線ランプを点灯して前記液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射する第3ステップを行うものである。これにより、各画素に所定量の電界を印加した状態で紫外線ランプを点灯して液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射した後に、上記各画素への電界の印加を取り去った状態で紫外線ランプを点灯して液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射する。   In addition, after performing the second step, the third step of irradiating the liquid crystal display substrate with a predetermined amount of ultraviolet light by turning on the ultraviolet lamp with the application of the electric field to each pixel removed. It is. As a result, after the ultraviolet lamp is turned on with a predetermined amount of electric field applied to each pixel to irradiate the liquid crystal display substrate with a predetermined amount of ultraviolet light, the ultraviolet lamp is removed with the electric field applied to each pixel. Is turned on to irradiate the liquid crystal display substrate with a predetermined amount of ultraviolet rays.

さらに、前記液体は、純水である。これにより、純水中で液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射する。   Furthermore, the liquid is pure water. Thereby, the liquid crystal display substrate is irradiated with a predetermined amount of ultraviolet rays in pure water.

さらにまた、前記紫外線ランプは、前記液晶表示用基板面に平行な面内に複数個並べて配置したものである。これにより、液晶表示用基板面に平行な面内に複数個並べて配置した紫外線ランプで液晶表示用基板に紫外線を照射する。   Furthermore, a plurality of the ultraviolet lamps are arranged in a plane parallel to the surface of the liquid crystal display substrate. Accordingly, the liquid crystal display substrate is irradiated with ultraviolet rays by a plurality of ultraviolet lamps arranged in a plane parallel to the liquid crystal display substrate surface.

そして、前記紫外線ランプは、水冷式のフラッシュランプである。これにより、水冷式のフラッシュランプを液体中に浸漬して液体により冷却しながら紫外線を照射する。   The ultraviolet lamp is a water-cooled flash lamp. Accordingly, the water-cooled flash lamp is immersed in the liquid and irradiated with ultraviolet rays while being cooled by the liquid.

請求項1に係る発明によれば、液体で紫外線ランプを冷却すると同時に液晶表示用基板を冷却することができ、液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑制することができる。したがって、液晶分子の配向の安定化を図ることができ、表示品質の高い液晶表示装置を安定して製造することができる。また、紫外線の照射を時分割して行う必要が無いため、液晶表示用基板の製造効率を向上することができる。   According to the first aspect of the present invention, the liquid crystal display substrate can be cooled simultaneously with the cooling of the ultraviolet lamp with the liquid, and the liquid crystal can be prevented from absorbing ultraviolet rays and generating heat to a high temperature. Accordingly, the alignment of the liquid crystal molecules can be stabilized, and a liquid crystal display device with high display quality can be stably manufactured. In addition, since it is not necessary to irradiate ultraviolet rays in a time-sharing manner, the manufacturing efficiency of the liquid crystal display substrate can be improved.

また、請求項2に係る発明によれば、所定方向に配向した液晶分子を定着させることができ、画素に印加された電界を取り去った後にも液晶分子が初期状態に戻るのを防止することができる。したがって、液晶分子の配向をより安定化することができる。   According to the second aspect of the invention, the liquid crystal molecules aligned in a predetermined direction can be fixed, and the liquid crystal molecules can be prevented from returning to the initial state even after the electric field applied to the pixels is removed. it can. Therefore, the alignment of the liquid crystal molecules can be further stabilized.

さらに、請求項3に係る発明によれば、所定以上の抵抗率を有し紫外線に対して十分に高い透過率を有する透明な液体を容易に得ることができる。   Furthermore, according to the invention which concerns on Claim 3, the transparent liquid which has a resistivity more than predetermined and has a sufficiently high transmittance | permeability with respect to an ultraviolet-ray can be obtained easily.

さらにまた、請求項4に係る発明によれば、広い液晶表示用基板面に対して均一に紫外線を照射することができる。したがって、液晶分子の配向の均一性を確保することができる。   Furthermore, according to the invention which concerns on Claim 4, a ultraviolet-ray can be uniformly irradiated with respect to the wide liquid crystal display substrate surface. Therefore, the uniformity of the alignment of the liquid crystal molecules can be ensured.

そして、請求項5に係る発明によれば、汎用のランプを使用することができ、装置の製造コストを安価にすることができる。   And according to the invention which concerns on Claim 5, a general purpose lamp can be used and the manufacturing cost of an apparatus can be made cheap.

以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明による液晶表示装置の製造方法に使用する液晶配向処理装置の実施形態を示す平面図である。この液晶配向処理装置は、液晶を封止した液晶表示用基板に電界を印加した状態で紫外線を照射して、液晶分子を所定方向に配向させるもので、点灯検査装置1と、水槽2と、第1の紫外線ランプ3と、第2の紫外線ランプ4と、を備えて成る。   Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a liquid crystal alignment processing apparatus used in a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention. This liquid crystal alignment processing apparatus irradiates ultraviolet rays in a state where an electric field is applied to a liquid crystal display substrate in which liquid crystal is sealed, and aligns liquid crystal molecules in a predetermined direction. A lighting inspection apparatus 1, a water tank 2, The first ultraviolet lamp 3 and the second ultraviolet lamp 4 are provided.

上記点灯検査装置1は、液晶を封止した液晶表示用基板5の点灯検査を行うものであり、装置本体6内に、可動部7と、ステージ8と、プローブユニット9と、アライメント用カメラ10と、バックライト11と、点灯検査用カメラ12とを備えて構成されている。なお、ここで使用する液晶表示用基板5は、カラーフィルタがTFTの上部に連続形成されるCOA(Color filter On Array)構成を有するもので、図2に示すように、中央部に複数の画素13をマトリクス状に備えて表示領域14と成し、三つの縁部5a,5b,5c近傍に上記複数の画素13に駆動信号を供給するための複数の電極15を並べて有する複数の電極群16を備えたものである。   The lighting inspection apparatus 1 performs a lighting inspection of the liquid crystal display substrate 5 in which liquid crystal is sealed. In the apparatus main body 6, a movable part 7, a stage 8, a probe unit 9, and an alignment camera 10 are provided. And a backlight 11 and a lighting inspection camera 12. Note that the liquid crystal display substrate 5 used here has a COA (Color filter On Array) configuration in which color filters are continuously formed on top of the TFT, and as shown in FIG. A plurality of electrode groups 16 having a plurality of electrodes 15 arranged side by side in the form of a display area 14 in the form of a matrix and arranged with a plurality of electrodes 15 for supplying drive signals to the plurality of pixels 13 in the vicinity of the three edges 5a, 5b, 5c. It is equipped with.

上記可動部7は、後述のステージ8及びプローブユニット9を支持するものであり、図示省略の移動機構により図1においてXY平面内をX軸方向に移動すると共に、後述の水槽2上では、同図において奥行き方向(Z軸方向)に移動するようになっている。   The movable portion 7 supports a stage 8 and a probe unit 9 which will be described later, and moves in the X-axis direction in the XY plane in FIG. 1 by a moving mechanism (not shown). In the figure, it moves in the depth direction (Z-axis direction).

また、上記可動部7の内側には、ステージ8が設けられている。このステージ8は、図1において例えばローダにより矢印A方向に搬送されて来た液晶表示用基板5を上面に載置して吸着保持するものであり、載置された液晶表示用基板5の表示領域14に対応して中央部に矩形状の開口部17を設けて後述のバックライト11の光が通過できるようになっている。また、上記開口部17の矢印Aに直交する二辺のうち奥側の辺及び矢印Aに平行な二辺のうち一方の辺(図1においては、右側の辺)の夫々側方にてステージ8の上面には、図示省略の複数の位置決めピンが固定して設けられており、該位置決めピンによりステージ8上に載置された液晶表示用基板5の直交する二つの縁部5b,5cを規制して液晶表示用基板5を所定位置に位置決めすることができるようになっている。さらに、ステージ8の対角線方向には、上記位置決めピンに対応して図示省略の可動ピンが設けられ、載置された液晶表示用基板5の上記二つの縁部5b,5cとは反対側の縁部5a,5dを押して液晶表示用基板5を位置決めピンに押し付けて位置決めできるようになっている。そして、ステージ8は、図示省略の昇降機構により、可動部7内部を昇降するように構成されている。   A stage 8 is provided inside the movable portion 7. The stage 8 is configured to place and hold the liquid crystal display substrate 5 conveyed in the direction of arrow A by a loader in FIG. 1 on the upper surface, and display the liquid crystal display substrate 5 placed thereon. A rectangular opening 17 is provided at the center corresponding to the region 14 so that light from the backlight 11 described later can pass therethrough. Further, the stage is located on each side of one side (the right side in FIG. 1) of the two sides parallel to the arrow A and the two sides parallel to the arrow A among the two sides orthogonal to the arrow A of the opening 17. A plurality of positioning pins (not shown) are fixedly provided on the upper surface of 8, and two orthogonal edges 5 b and 5 c of the liquid crystal display substrate 5 placed on the stage 8 are fixed by the positioning pins. The liquid crystal display substrate 5 can be positioned at a predetermined position by regulation. Further, in the diagonal direction of the stage 8, a movable pin (not shown) is provided corresponding to the positioning pin, and the edge opposite to the two edges 5 b and 5 c of the liquid crystal display substrate 5 placed thereon. The liquid crystal display substrate 5 can be pressed against the positioning pins by pressing the portions 5a and 5d to be positioned. And the stage 8 is comprised so that the inside of the movable part 7 may be raised / lowered by the raising / lowering mechanism not shown.

さらに、上記開口部17の図1において矢印Aと直交する二辺のうち奥側の一辺及び矢印Aに平行な二辺の夫々側方にて上記可動部7上には、複数のプローブユニット9が設けられている。このプローブユニット9は、外部に備えた図示省略の電源から液晶表示用基板5の複数の画素13にバイアス電圧を供給するためのものであり、液晶表示用基板5の三つの縁部5a〜5c近傍に形成された複数の電極15に接触する複数のプローブを備えており、この各プローブを昇降させてプローブ先端部を液晶表示用基板5の電極15に離接させるようになっている。また、上記複数のプローブユニット9は、一体的にZ軸に平行な軸回りに回動するように構成され、液晶表示用基板5の複数の電極15に対する上記各プローブ先端部のアライメントを可能にしている。   Further, a plurality of probe units 9 are provided on the movable portion 7 on one side of the back side and two sides parallel to the arrow A among the two sides orthogonal to the arrow A in FIG. Is provided. The probe unit 9 is for supplying a bias voltage to a plurality of pixels 13 of the liquid crystal display substrate 5 from a power supply (not shown) provided outside, and has three edges 5 a to 5 c of the liquid crystal display substrate 5. A plurality of probes that are in contact with a plurality of electrodes 15 formed in the vicinity are provided, and the probes are moved up and down to bring the probe tip portion into contact with the electrode 15 of the liquid crystal display substrate 5. The plurality of probe units 9 are configured to rotate integrally around an axis parallel to the Z-axis, thereby enabling alignment of the probe tip portions with respect to the plurality of electrodes 15 of the liquid crystal display substrate 5. ing.

また、上記ステージ8の四つの隅角部近傍には、支持部材18によって装置本体6に保持されてアライメント用カメラ10が設けられている。このアライメント用カメラ10は、液晶表示用基板5の電極15及びプローブユニット9のプローブ先端部の両方を撮影して、全てのプローブ先端部を対応する電極15上に正しく位置付けるようにするためのもので、CCDカメラ等であり、パターンマッチングによるアライメントの自動調整を可能にしている。なお、上記支持部材18は、例えばその長手軸方向にスライドして、液晶表示用基板5の点灯検査時には、後述の点灯検査用カメラ12の視野外に退避させるように構成されている。   Further, in the vicinity of the four corners of the stage 8, an alignment camera 10 that is held by the apparatus main body 6 by a support member 18 is provided. This alignment camera 10 photographs both the electrode 15 of the liquid crystal display substrate 5 and the probe tip of the probe unit 9 so that all the probe tips are correctly positioned on the corresponding electrode 15. Thus, a CCD camera or the like enables automatic adjustment of alignment by pattern matching. The support member 18 is configured to slide, for example, in the longitudinal axis direction thereof and retract out of the field of view of the lighting inspection camera 12 described later when the liquid crystal display substrate 5 is inspected for lighting.

さらに、上記開口部17に対応してステージ8の下方には、バックライト11が設けられている。このバックライト11は、ステージ8上に載置された液晶表示用基板5にその裏面側から白色光を照射して液晶表示用基板5の点灯検査を可能にするものであり、例えば冷陰極放電管等である。   Further, a backlight 11 is provided below the stage 8 corresponding to the opening 17. The backlight 11 is for illuminating the liquid crystal display substrate 5 placed on the stage 8 with white light from the back side thereof to enable lighting inspection of the liquid crystal display substrate 5, for example, cold cathode discharge. Such as a tube.

そして、上記開口部17に対応してステージ8の上方には、点灯検査用カメラ12が設けられている。この点灯検査用カメラ12は、液晶表示用基板5面を撮影して液晶表示用基板5に不点灯部分が存在するか否かを検査するためのものであり、CCDカメラ等である。   A lighting inspection camera 12 is provided above the stage 8 corresponding to the opening 17. This lighting inspection camera 12 is for inspecting whether or not there is a non-lighting portion on the liquid crystal display substrate 5 by photographing the surface of the liquid crystal display substrate 5, and is a CCD camera or the like.

上記点灯検査装置1の側方には、水槽2が設けられている。この水槽2は、所定以上の抵抗率を有し紫外線に対して十分に高い透過率を有する透明な液体19を貯留するものであり、上部を開放して上方から液晶表示用基板5を液体19中に浸漬できるようにしている。また、水槽2の側面には図示省略の液体19の循環パイプが接続されており、外部に設けたポンプにより水槽2内の液体19を循環させ、途中に設けたチラーにより液体19の温度を一定に保つようになっている。なお、液体19の一部が紫外線の照射によりイオン化して液体19の抵抗率が低下するおそれがある場合には、上記循環パイプにイオン交換器を接続してイオン交換し、所定以上の抵抗率が維持されるようにするとよい。   A water tank 2 is provided on the side of the lighting inspection device 1. The water tank 2 stores a transparent liquid 19 having a resistivity equal to or higher than a predetermined value and having a sufficiently high transmittance with respect to ultraviolet rays. The upper part is opened and the liquid crystal display substrate 5 is liquid 19 from above. So that it can be immersed inside. Further, a circulation pipe of a liquid 19 (not shown) is connected to the side surface of the water tank 2, and the liquid 19 in the water tank 2 is circulated by a pump provided outside, and the temperature of the liquid 19 is kept constant by a chiller provided in the middle. To keep on. If there is a possibility that a part of the liquid 19 is ionized by irradiation with ultraviolet rays and the resistivity of the liquid 19 is lowered, an ion exchanger is connected to the circulation pipe to perform ion exchange, and a resistivity higher than a predetermined value is obtained. Should be maintained.

この場合、上記液体19としては、抵抗率(比抵抗)が約1×10Ωcm以上、好ましくは約1×10Ωcm以上の蒸留水及びイオン交換水を含む純水が適している。又は、不凍液であってもよい。 In this case, as the liquid 19, a pure water containing distilled water and ion-exchanged water having a resistivity (specific resistance) of about 1 × 10 5 Ωcm or more, preferably about 1 × 10 6 Ωcm or more is suitable. Or antifreeze may be sufficient.

上記水槽2の上方には、搬送されてきた液晶表示用基板5に対向するように、第1の紫外線(UV)ランプ3が設けられている。この第1の紫外線ランプ3は、各画素13へ電界が印加された液晶表示用基板5に340nm〜390nmの紫外線を照射して液晶分子を所定方向に配向させるためのものであり、例えば細長状の水冷式キセノンフラッシュランプである。そして、液晶表示用基板5面に平行に複数本が並べて設けられ、液晶表示用基板5面に紫外線を均一に照射することができるようになっている。また、第1の紫外線ランプ3は、図示省略のランプ移動機構により、下方に位置付けられた可動部7と共にZ軸方向に移動するようにされ、ステージ8上に載置された液晶表示用基板5と共に水槽2に満たされた液体19中に浸漬されるようになっている。   A first ultraviolet (UV) lamp 3 is provided above the water tank 2 so as to face the liquid crystal display substrate 5 that has been conveyed. The first ultraviolet lamp 3 is for irradiating a liquid crystal display substrate 5 to which an electric field is applied to each pixel 13 with ultraviolet rays of 340 nm to 390 nm to align liquid crystal molecules in a predetermined direction. This is a water-cooled xenon flash lamp. A plurality of lines are arranged in parallel to the surface of the liquid crystal display substrate 5 so that the surface of the liquid crystal display substrate 5 can be uniformly irradiated with ultraviolet rays. The first ultraviolet lamp 3 is moved in the Z-axis direction together with the movable part 7 positioned below by a lamp movement mechanism (not shown), and is placed on the stage 8 for the liquid crystal display substrate 5. At the same time, it is immersed in the liquid 19 filled in the water tank 2.

上記水槽2の上方にて、第1の紫外線ランプ3の側方には、第2の紫外線(UV)ランプ4が設けられている。この第2の紫外線ランプ4は、第1の紫外線ランプ3により紫外線が照射されて所定方向に配向された液晶分子のこの配向状態を定着させるためのもので、各画素13への電界の印加が取り去られた液晶表示用基板5に所定光量の紫外線(例えば、340nm〜390nm)を照射するようになっている。そして、この第2の紫外線ランプ4も第1の紫外線ランプ3と同様に、例えば細長状の水冷式キセノンフラッシュランプからなり、水槽2内に設けられた搬送機構によってステージ8から移送されて下方に位置付けられた液晶表示用基板5の面に平行に複数本が並べて設けられ、液晶表示用基板5面に紫外線を均一に照射することができるようになっている。また、第2の紫外線ランプ4は、図示省略の別の移動機構により、下方に設けられた昇降台20と共にZ軸方向に昇降するようにされ、昇降台20上に載置された液晶表示用基板5と共に液体19中から浮上して液晶表示用基板5をアンローダにより搬出可能にしている。なお、上記第1及び第2の紫外線ランプ3,4は、水冷式キセノンフラッシュランプに限られず、連続発光する水冷式のランプであってもよい。   Above the water tank 2, a second ultraviolet (UV) lamp 4 is provided on the side of the first ultraviolet lamp 3. The second ultraviolet lamp 4 is for fixing the alignment state of the liquid crystal molecules aligned in a predetermined direction by being irradiated with ultraviolet rays from the first ultraviolet lamp 3, and an electric field is applied to each pixel 13. The removed liquid crystal display substrate 5 is irradiated with a predetermined amount of ultraviolet rays (for example, 340 nm to 390 nm). Similarly to the first ultraviolet lamp 3, the second ultraviolet lamp 4 is formed of, for example, an elongated water-cooled xenon flash lamp, which is transferred from the stage 8 by the transport mechanism provided in the water tank 2 and is moved downward. A plurality of lines are arranged in parallel to the surface of the positioned liquid crystal display substrate 5 so that the surface of the liquid crystal display substrate 5 can be uniformly irradiated with ultraviolet rays. Further, the second ultraviolet lamp 4 is moved up and down in the Z-axis direction together with the lifting platform 20 provided below by another moving mechanism (not shown), and is used for a liquid crystal display mounted on the lifting platform 20. The liquid crystal display substrate 5 is levitated from the liquid 19 together with the substrate 5 and can be taken out by the unloader. The first and second ultraviolet lamps 3 and 4 are not limited to water-cooled xenon flash lamps, and may be water-cooled lamps that emit light continuously.

次に、このように構成された液晶配向処理装置の動作及びこの装置を使用して行う液晶表示装置の製造方法について説明する。
先ず、ステップS1においては、液晶表示用基板5がガラス基板側を上にして図示省略のローダによって図1に示す矢印A方向に搬送され、点灯検査装置1のステージ8上に載置される。このとき、液晶表示用基板5は、可動ピンによって二つの縁部5a,5dが対角線方向に押され、反対側の二つの縁部5b,5cがステージ8に設けられた位置決めピンに対して均等に当接して位置決めされ、その後ステージ8に吸着されて保持される。これにより、液晶表示用基板5の縁部近傍に設けられた複数の電極15とプローブユニット9のプローブの先端部との位置が粗調整される。
Next, the operation of the thus-configured liquid crystal alignment processing apparatus and a method for manufacturing a liquid crystal display device using this apparatus will be described.
First, in step S1, the liquid crystal display substrate 5 is transported in the direction of arrow A shown in FIG. 1 by a loader (not shown) with the glass substrate side up, and is placed on the stage 8 of the lighting inspection apparatus 1. At this time, in the liquid crystal display substrate 5, the two edges 5 a and 5 d are pushed diagonally by the movable pins, and the opposite two edges 5 b and 5 c are equal to the positioning pins provided on the stage 8. Is abutted on and positioned, and is then attracted and held on the stage 8. Thereby, the positions of the plurality of electrodes 15 provided in the vicinity of the edge of the liquid crystal display substrate 5 and the tip of the probe of the probe unit 9 are roughly adjusted.

ステップS2においては、アライメント用カメラ10が起動する。同時に、アライメント用カメラ10により液晶表示用基板5の電極15及びプローブユニット9のプローブ先端部の両方を撮影することができる位置までステージ8が上昇する。このとき、この撮影画像に基づくパターンマッチングにより、上記電極15とプローブ先端部とが一致するように複数のプローブユニット9全体が一体となって回動され、電極15とプローブ先端部との正確な位置合わせがなされる。このようにして、両者の位置合わせが終了すると、プローブユニット9は、プローブを下降させてプローブ先端部を上記電極15に接触させる。   In step S2, the alignment camera 10 is activated. At the same time, the stage 8 moves up to a position where both the electrode 15 of the liquid crystal display substrate 5 and the probe tip of the probe unit 9 can be imaged by the alignment camera 10. At this time, by the pattern matching based on the photographed image, the plurality of probe units 9 are rotated together so that the electrode 15 and the probe tip end coincide with each other. Alignment is made. In this way, when the alignment between the two ends, the probe unit 9 lowers the probe to bring the probe tip into contact with the electrode 15.

ステップS3においては、液晶表示用基板5の点灯検査が行われる。具体的には、点灯検査用カメラ12が起動され、外部に設けた電源からバイアス電圧が上記電極15に供給されて液晶表示用基板5の各画素13に所定の電界が印加される。さらに、バックライト11が点灯されて白色光が液晶表示用基板5の裏面に照射される。また、アライメント用カメラ10は、支持部材18をその長手軸方向にスライドさせて点灯検査用カメラ12の視野外に退避させられる。この状態で、点灯検査用カメラ12により液晶表示用基板5の透過光が撮影され、点灯検査が実施される。   In step S3, a lighting inspection of the liquid crystal display substrate 5 is performed. Specifically, the lighting inspection camera 12 is activated, a bias voltage is supplied to the electrode 15 from an external power supply, and a predetermined electric field is applied to each pixel 13 of the liquid crystal display substrate 5. Further, the backlight 11 is turned on and white light is irradiated on the back surface of the liquid crystal display substrate 5. The alignment camera 10 is retracted out of the field of view of the lighting inspection camera 12 by sliding the support member 18 in the longitudinal axis direction. In this state, the light transmitted through the liquid crystal display substrate 5 is photographed by the lighting inspection camera 12, and the lighting inspection is performed.

ステップS4においては、点灯検査用カメラ12の撮影画像に基づいて点灯不良の有無が判定される。ここで、点灯不良が検出されて“YES”判定となると、ステップS5に進んで液晶表示用基板5は、不良品と判断されて搬出される。   In step S4, the presence / absence of a lighting failure is determined based on a photographed image of the lighting inspection camera 12. Here, if a lighting failure is detected and a “YES” determination is made, the process proceeds to step S5, where the liquid crystal display substrate 5 is determined to be a defective product and is carried out.

一方、ステップS4において、点灯不良が検出されず、“NO”判定となると、ステップS6に進む。
ステップS6においては、バックライト11は消灯され、アライメント用カメラ10及び点灯検査用カメラ12はオフ駆動される。また、液晶表示用基板5は、可動部7の移動機構により可動部7と共に図1に示すX軸方向に水平に搬送され、水槽2上にて第1の紫外線ランプ3の下方に位置付けられ、水槽2内の液体19中への浸漬待機とされる。
On the other hand, if no lighting failure is detected in step S4 and the determination is “NO”, the process proceeds to step S6.
In step S6, the backlight 11 is turned off, and the alignment camera 10 and the lighting inspection camera 12 are turned off. Further, the liquid crystal display substrate 5 is transported horizontally in the X-axis direction shown in FIG. 1 together with the movable portion 7 by the moving mechanism of the movable portion 7, and is positioned below the first ultraviolet lamp 3 on the water tank 2. It is set as a standby for immersion in the liquid 19 in the water tank 2.

ステップS7(第1ステップ)においては、液晶表示用基板5と第1の紫外線ランプ3とは、各移動機構により一緒に下降し、所定以上の抵抗率を有し紫外線に対して十分に高い透過率を有する透明な液体19(例えば、純水)中に浸漬される。このとき、液体19の抵抗率を液体用抵抗率測定器により測定し、抵抗率が所定以上であることを確認する。もし、抵抗率が所定値よりも下がっている場合には、イオン交換器を通して抵抗率の回復を待つ。また、液体19の循環が開始され、基板面に対する流速が約1m/secとされ、液体19の温度が約24℃となるように冷却される。なお、液晶表示用基板5と第1の紫外線ランプ3とがZ方向に下降する際に、第2の紫外線ランプ4及び該ランプに対向して設けられた昇降台20も一緒に下降する。   In step S7 (first step), the liquid crystal display substrate 5 and the first ultraviolet lamp 3 are lowered together by each moving mechanism, have a predetermined resistivity or more, and have a sufficiently high transmission with respect to ultraviolet rays. It is immersed in a transparent liquid 19 having a rate (for example, pure water). At this time, the resistivity of the liquid 19 is measured by a liquid resistivity meter, and it is confirmed that the resistivity is not less than a predetermined value. If the resistivity is lower than a predetermined value, it waits for the resistivity to recover through the ion exchanger. In addition, the circulation of the liquid 19 is started, the flow rate with respect to the substrate surface is set to about 1 m / sec, and the liquid 19 is cooled to a temperature of about 24 ° C. Note that when the liquid crystal display substrate 5 and the first ultraviolet lamp 3 are lowered in the Z direction, the second ultraviolet lamp 4 and the lifting platform 20 provided facing the lamp are also lowered together.

ステップS8(第2ステップ)においては、液晶表示用基板5の各画素13に所定量の電界を印加した状態で第1の紫外線ランプ3を点灯して液晶表示用基板5に所定光量の紫外線を照射する。これにより、液晶分子が所定方向に配向される。この場合、通常、液晶は紫外線を吸収して発熱するが、本発明においては、液晶表示用基板5が液体19によって冷却されているため、液晶の温度は、略24℃程度に維持されることになる。なお、上記電界及び紫外線の照射量は、予め実験により適正値に設定される。   In step S8 (second step), the first ultraviolet lamp 3 is turned on with a predetermined amount of electric field applied to each pixel 13 of the liquid crystal display substrate 5, and a predetermined amount of ultraviolet light is applied to the liquid crystal display substrate 5. Irradiate. Thereby, the liquid crystal molecules are aligned in a predetermined direction. In this case, the liquid crystal normally absorbs ultraviolet rays and generates heat. However, in the present invention, since the liquid crystal display substrate 5 is cooled by the liquid 19, the temperature of the liquid crystal is maintained at about 24 ° C. become. Note that the electric field and ultraviolet irradiation amount are set to appropriate values in advance by experiments.

ステップS9(第3ステップ)においては、液晶表示用基板5の各画素13への電界の印加を取り去った状態で第2の紫外線ランプ4を点灯して液晶表示用基板5に所定光量の紫外線を照射し、ステップS8において、所定方向に配向された液晶分子のこの配向状態を定着させる。具体的には、ステップS8における配向処理が終了すると、プローブが上昇してプローブ先端部が液晶表示用基板5の電極15から離れる。次に、液晶表示用基板5は、搬送機構によって昇降台20上に移送され、第2の紫外線ランプ4に対向配置される。この状態で、第2の紫外線ランプ4が点灯し、液晶表示用基板5にステップS8における場合よりも多い光量の紫外線が照射されて、液晶分子の配向状態が定着される。この場合も、液晶表示用基板5は液体19によって冷却されているため、液晶の温度を略24℃程度に抑えることができる。なお、液晶表示用基板5が昇降台20に移送されると、第1の紫外線ランプ3と可動部7とは一緒に上昇し、第1の紫外線ランプ3は、そのまま上昇位置に停止し、可動部7は、さらに移動機構によってX軸方向に移動され、点灯検査装置1の所定位置に戻される。   In step S9 (third step), the second ultraviolet lamp 4 is turned on with the electric field applied to each pixel 13 of the liquid crystal display substrate 5 removed, and a predetermined amount of ultraviolet light is applied to the liquid crystal display substrate 5. In step S8, the alignment state of the liquid crystal molecules aligned in a predetermined direction is fixed. Specifically, when the alignment process in step S8 is completed, the probe rises and the tip of the probe is separated from the electrode 15 of the liquid crystal display substrate 5. Next, the liquid crystal display substrate 5 is transferred onto the lifting platform 20 by the transport mechanism, and is disposed opposite to the second ultraviolet lamp 4. In this state, the second ultraviolet lamp 4 is turned on, and the liquid crystal display substrate 5 is irradiated with more ultraviolet light than in the case of step S8, and the alignment state of the liquid crystal molecules is fixed. Also in this case, since the liquid crystal display substrate 5 is cooled by the liquid 19, the temperature of the liquid crystal can be suppressed to about 24 ° C. When the liquid crystal display substrate 5 is transferred to the lift 20, the first ultraviolet lamp 3 and the movable part 7 are raised together, and the first ultraviolet lamp 3 is stopped at the raised position and moved. The unit 7 is further moved in the X-axis direction by the moving mechanism and returned to the predetermined position of the lighting inspection apparatus 1.

ステップS10においては、液晶の配向処理が全て終了すると、液体19の循環が停止される。同時に、第2の紫外線ランプ4と昇降台20とは、一緒に上昇して液晶表示用基板5が液体19中から取り出される。そして、液晶表示用基板5は、アンローダによって搬出されて本発明による液晶表示装置の製造方法の全工程が終了する。   In step S10, when the liquid crystal alignment process is completed, the circulation of the liquid 19 is stopped. At the same time, the second ultraviolet lamp 4 and the lifting platform 20 are raised together, and the liquid crystal display substrate 5 is taken out of the liquid 19. Then, the liquid crystal display substrate 5 is unloaded by the unloader, and all the steps of the liquid crystal display device manufacturing method according to the present invention are completed.

なお、ステップS8における第1の紫外線ランプ3による紫外線照射で液晶分子の安定した配向が得られる場合には、ステップS9の実行は省略してもよい。   If stable alignment of the liquid crystal molecules is obtained by the ultraviolet irradiation by the first ultraviolet lamp 3 in step S8, the execution of step S9 may be omitted.

また、ステップS8及びステップS9の紫外線照射を第1の紫外線ランプ3のみで行ってもよい。この場合には、ステップS8の紫外線照射を行った後、液晶表示用基板5の各画素13への電界の印加を取り去った状態で第1の紫外線ランプ3を使用してステップS9の紫外線照射を行うとよい。   Further, the ultraviolet irradiation of step S8 and step S9 may be performed only by the first ultraviolet lamp 3. In this case, after performing the ultraviolet irradiation of step S8, the ultraviolet irradiation of step S9 is performed using the first ultraviolet lamp 3 in a state where the application of the electric field to each pixel 13 of the liquid crystal display substrate 5 is removed. It is good to do.

以上の説明においては、第1及び第2の紫外線ランプ4が昇降するように構成され、紫外線照射時には下降して液体19中に設置される場合について述べたが、本発明はこれに限られず、各紫外線ランプは、水槽2の液体19中に沈めて固定配置されてもよい。この場合、液晶表示用基板5は、ガラス基板側を下にして搬送し、下側から紫外線を照射するようにするとよい。   In the above description, the first and second ultraviolet lamps 4 are configured to move up and down, and the case where the first and second ultraviolet lamps 4 are lowered and installed in the liquid 19 at the time of ultraviolet irradiation is described, but the present invention is not limited to this. Each ultraviolet lamp may be fixedly disposed by being submerged in the liquid 19 of the water tank 2. In this case, the liquid crystal display substrate 5 is preferably transported with the glass substrate side down and irradiated with ultraviolet rays from below.

本発明による液晶表示装置の製造方法に使用する液晶配向処理装置の実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows embodiment of the liquid crystal aligning apparatus used for the manufacturing method of the liquid crystal display device by this invention. 上記製造方法において使用する液体表示用基板の一構成例を示す平面図である。It is a top view which shows one structural example of the board | substrate for liquid display used in the said manufacturing method. 本発明による液晶表示装置の製造方法を説明するフローチャートである。3 is a flowchart illustrating a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention. 上記製造方法における主たる工程を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the main processes in the said manufacturing method.

符号の説明Explanation of symbols

1…点灯検査装置
2…水槽
3…第1の紫外線ランプ
4…第2の紫外線ランプ
5…液晶表示用基板
8…ステージ
9…プローブユニット
10…アライメント用カメラ
11…バックライト
12…点灯検査用カメラ
13…画素
15…電極
19…液体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Lighting inspection apparatus 2 ... Water tank 3 ... 1st ultraviolet lamp 4 ... 2nd ultraviolet lamp 5 ... Substrate for liquid crystal display 8 ... Stage 9 ... Probe unit 10 ... Camera for alignment 11 ... Backlight 12 ... Camera for lighting inspection 13 ... Pixel 15 ... Electrode 19 ... Liquid

Claims (5)

一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成し、液晶を封止した液晶表示用基板の前記各画素に電界を印加した状態で前記液晶表示用基板に紫外線を照射して、前記液晶の分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造方法であって、
前記液晶表示用基板と紫外線ランプとを対向させた状態で、所定以上の抵抗率を有し紫外線に対して十分に高い透過率を有する透明な液体中に浸漬させる第1ステップと、
前記各画素に所定量の電界を印加した状態で前記紫外線ランプを点灯して前記液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射する第2ステップと、
を行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
A plurality of pixels are formed in a matrix between a pair of substrates, and the liquid crystal display substrate is irradiated with ultraviolet rays while an electric field is applied to each pixel of the liquid crystal display substrate in which liquid crystal is sealed. A method of manufacturing a liquid crystal display device in which molecules are aligned in a predetermined direction,
A first step of immersing the substrate in a transparent liquid having a resistivity equal to or higher than a predetermined value and a sufficiently high transmittance with respect to ultraviolet rays in a state where the liquid crystal display substrate and the ultraviolet lamp are opposed to each other;
A second step of illuminating the liquid crystal display substrate with a predetermined amount of ultraviolet light by turning on the ultraviolet lamp in a state where a predetermined amount of electric field is applied to each pixel;
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記第2ステップを行った後に、前記各画素への電界の印加を取り去った状態で前記紫外線ランプを点灯して前記液晶表示用基板に所定光量の紫外線を照射する第3ステップを行うことを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。   After performing the second step, the third step of illuminating the liquid crystal display substrate with a predetermined amount of ultraviolet light by turning on the ultraviolet lamp in a state where the application of the electric field to each pixel is removed is performed. A method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1. 前記液体は、純水であることを特徴とする請求項1又は2記載の液晶表示装置の製造方法。   The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid is pure water. 前記紫外線ランプは、前記液晶表示用基板面に平行な面内に複数個並べて配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。   The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a plurality of the ultraviolet lamps are arranged side by side in a plane parallel to the surface of the liquid crystal display substrate. 前記紫外線ランプは、水冷式のフラッシュランプであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。   The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the ultraviolet lamp is a water-cooled flash lamp.
JP2008100089A 2008-04-08 2008-04-08 Manufacturing method of liquid crystal display device Expired - Fee Related JP5066770B2 (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008100089A JP5066770B2 (en) 2008-04-08 2008-04-08 Manufacturing method of liquid crystal display device
CN200980112848.0A CN101990651B (en) 2008-04-08 2009-04-02 Method of and apparatus for producing liquid crystal display device
PCT/JP2009/056891 WO2009125718A1 (en) 2008-04-08 2009-04-02 Manufacturing method for liquid crystal display unit, and manufacturing equipment for the same
CN201410070500.2A CN103885247B (en) 2008-04-08 2009-04-02 The manufacture method of liquid crystal indicator
KR1020107022488A KR101626036B1 (en) 2008-04-08 2009-04-02 Manufacturing method for liquid crystal display unit, and manufacturing equipment for the same
TW098111591A TWI457668B (en) 2008-04-08 2009-04-07 Manufacturing method of liquid crystal display device and manufacturing apparatus used for the same method
US12/899,652 US8488097B2 (en) 2008-04-08 2010-10-07 Method of and apparatus for producing liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008100089A JP5066770B2 (en) 2008-04-08 2008-04-08 Manufacturing method of liquid crystal display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009251338A true JP2009251338A (en) 2009-10-29
JP5066770B2 JP5066770B2 (en) 2012-11-07

Family

ID=41312107

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008100089A Expired - Fee Related JP5066770B2 (en) 2008-04-08 2008-04-08 Manufacturing method of liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5066770B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012103674A (en) * 2010-11-11 2012-05-31 Samsung Electronics Co Ltd Liquid crystal display device and manufacturing method for the same
JP2013109074A (en) * 2011-11-18 2013-06-06 Ushio Inc Device and method for manufacturing blue phase type liquid crystal panel

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000241785A (en) * 1999-02-18 2000-09-08 Nec Eng Ltd Production of liquid crystal display element cell and apparatus for production
JP2003177408A (en) * 2001-10-02 2003-06-27 Fujitsu Display Technologies Corp Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000241785A (en) * 1999-02-18 2000-09-08 Nec Eng Ltd Production of liquid crystal display element cell and apparatus for production
JP2003177408A (en) * 2001-10-02 2003-06-27 Fujitsu Display Technologies Corp Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012103674A (en) * 2010-11-11 2012-05-31 Samsung Electronics Co Ltd Liquid crystal display device and manufacturing method for the same
US9423654B2 (en) 2010-11-11 2016-08-23 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display and manufacturing method thereof
KR101779510B1 (en) * 2010-11-11 2017-09-19 삼성디스플레이 주식회사 Liquid crystal display and manufacturing method thereof
JP2013109074A (en) * 2011-11-18 2013-06-06 Ushio Inc Device and method for manufacturing blue phase type liquid crystal panel

Also Published As

Publication number Publication date
JP5066770B2 (en) 2012-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI457668B (en) Manufacturing method of liquid crystal display device and manufacturing apparatus used for the same method
KR100948734B1 (en) Process for manufacturing display panel, display panel manufacturing apparatus and display panel
TWI361297B (en)
KR102222005B1 (en) Exposure apparatus and exposure method using the same
JP2002229044A (en) Apparatus for manufacturing bonded substrate
JP2011137795A (en) Apparatus for testing array
JP4354948B2 (en) Method for forming alignment film of liquid crystal display device
US20180046037A1 (en) Manufacturing method of alignment flim and device for manufacturing alignment film
JP5066770B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
CN105629679B (en) Edge exposure machine and edge exposure region code printing method
CN103207529B (en) Exposure method and exposure apparatus
CN105045048A (en) Exposure base platform and exposure device
JP5119516B2 (en) Method for manufacturing liquid crystal display device and apparatus for manufacturing the same
JP2008116674A (en) Equipment and method for manufacturing liquid crystal panel
JP2018180256A (en) Exposure apparatus, substrate treatment apparatus, exposure method of substrate, and substrate treatment method
JP5119517B2 (en) Manufacturing method and apparatus for liquid crystal display device
KR20120064020A (en) Light exposure device and light exposure method
JP2016218389A (en) Light irradiation device and light irradiation method
JP5066771B2 (en) Liquid crystal display manufacturing equipment
JP5066772B2 (en) Liquid crystal display manufacturing equipment
KR20080029097A (en) Apparatus for inspecting pattern
JP4031491B2 (en) Panel inspection device
JP2011203291A (en) Ultraviolet-ray irradiation device
KR101108345B1 (en) Appartus And Method for Fabricating Liquid Crystal Display Panel
KR101222930B1 (en) Vacuum chuck used in manufacturing substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110119

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120703

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120727

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150824

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5066770

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees