JP2000241785A - Production of liquid crystal display element cell and apparatus for production - Google Patents

Production of liquid crystal display element cell and apparatus for production

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JP2000241785A
JP2000241785A JP3995199A JP3995199A JP2000241785A JP 2000241785 A JP2000241785 A JP 2000241785A JP 3995199 A JP3995199 A JP 3995199A JP 3995199 A JP3995199 A JP 3995199A JP 2000241785 A JP2000241785 A JP 2000241785A
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JP
Japan
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liquid crystal
crystal display
display element
element cell
cell
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JP3995199A
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Japanese (ja)
Inventor
Haruhiko Ono
晴彦 大野
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NEC Engineering Ltd
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NEC Engineering Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the industrial production of multidomain system liquid crystal display cells by adopting the constitution to automatically and continuously execute respective stages for mounting liquid crystal display element cells of unoriented liquid crystal molecules to voltage impressing means, recovering of the liquid crystal display cells with which the orientation is completed from the voltage impressing means, etc. SOLUTION: At the time of the orientation of the liquid crystal molecules of the multidomain system display element cells, the respective stages of mounting of the liquid crystal display element cell of the unoriented liquid crystal molecules to the voltage impressing means, heating of the liquid crystal display element cells, impressing of voltage to the liquid crystal display element cells, cooling of the liquid crystal display element cells, irradiating of the liquid crystal display element cells with UV rays, releasing of the voltage impressed to the liquid crystal display element cells and recovering of the liquid crystal display element cells with which the orientation is completed from the voltage impressing means are automatically and continuously executed. The apparatus for production consists of a cell loading station 1, voltage impressing jigs 7, a heating and cooling station 2, a UV irradiation station 3, etc. The cell loading station consists of a transfer device 8, cassette rotating mechanism, etc.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子セル
の製造方法及び製造装置に関し、特に、一つの画素を、
液晶分子の立ち上がり方向の異なる複数の領域に分割し
て、視角特性を改善するマルチドメイン方式液晶表示素
子セルの液晶表示素子セルの製造方法及び製造装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell, and more particularly, to a method for manufacturing one pixel,
The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of a multi-domain type liquid crystal display element cell which is divided into a plurality of regions having different rising directions of liquid crystal molecules to improve viewing angle characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、図14、図15及び図16に示す
ように、TN(twisted nematic=ねじれネマティッ
ク)型の液晶表示装置では、第1電極基板63と、第2
電極基板64とが、所定の間隙で貼り合わせられ、この
両電極基板63、64には、互いに対向するように、I
TO(indium tin oxide=酸化インジウム錫)を材料と
する透明電極が蒸着形成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIGS. 14, 15 and 16, in a TN (twisted nematic) type liquid crystal display device, a first electrode substrate 63 and a second
An electrode substrate 64 is attached at a predetermined gap, and the two electrode substrates 63 and 64 are attached to each other so as to face each other.
A transparent electrode made of TO (indium tin oxide) is formed by vapor deposition.

【0003】ドットマトリクス表示が可能な液晶表示装
置において、アクティブマトリクス方式の液晶表示素子
セルの透明電極は、一般に、第1電極基板63では、表
示画素に対応するドットマトリクス状の画素電極70、
第2電極基板64では表示面全域が連続した共通電極7
1として構成される。
In a liquid crystal display device capable of dot matrix display, a transparent electrode of an active matrix type liquid crystal display element cell generally has a pixel electrode 70 in a dot matrix shape corresponding to a display pixel on a first electrode substrate 63.
In the second electrode substrate 64, the common electrode 7 is continuous over the entire display surface.
It is configured as 1.

【0004】また、第1電極基板63には、画素電極7
0を駆動するアクティブ素子77として、薄膜トランジ
スタ、または薄膜ダイオード、コンデンサ、画素電極7
0やアクティブ素子77に通電するゲート配線、ゲート
電極、ドレン配線、ドレン電極、共通電極71と通電す
るトランスファー電極、表示画素部分以外の入射光を遮
断するブラックマトリクス(符号のないものは図示せ
ず)等が透明電極とともに蒸着形成されている。
The first electrode substrate 63 has a pixel electrode 7
0, the thin film transistor or the thin film diode, the capacitor, the pixel electrode 7
0 or a gate electrode, a gate electrode, a drain line, a drain electrode, a transfer electrode for supplying a current to the common electrode 71, and a black matrix for blocking incident light other than the display pixel portion. ) Are formed together with the transparent electrode by vapor deposition.

【0005】そして、透明電極上には、ポリイミド樹脂
や高分子有機フィルムからなる配向層73が形成されて
いる。配向層73の表面は、レーヨンやコットン、ポリ
エステル等のベルベット織布ローラー(図示せず)で、
一方向に摩擦するラビング処理が施されている。このラ
ビング処理された配向層73が対向するように、両電極
基板63、64を貼り合わせる。このとき、配向層73
同士の間隔が、例えば、3乃至6μmの間隙を形成する
ように両電極基板63、64を貼り合わせる。
[0005] An alignment layer 73 made of a polyimide resin or a polymer organic film is formed on the transparent electrode. The surface of the orientation layer 73 is a velvet woven roller (not shown) of rayon, cotton, polyester, or the like.
A rubbing treatment that rubs in one direction is applied. The two electrode substrates 63 and 64 are bonded so that the rubbed alignment layer 73 faces each other. At this time, the orientation layer 73
The two electrode substrates 63 and 64 are bonded together so that a gap between them forms, for example, a gap of 3 to 6 μm.

【0006】さらに、貼り合わせられた両電極基板6
3、64の間隙にネマティック型の液晶物質74を封入
する。液晶分子75は、配向層73との境界で、ラビン
グ処理のベクトル方向に沿って整列することが知られて
いる。例えば、第1電極基板63のラビング方向を45
゜、第2電極基板64のラビング方向を−45゜という
ように、対向する配向層73のラビング方向を直交させ
ると、ネマティック型液晶物質の性質で、液晶分子75
は、第1電極基板63と第2電極基板64との間で90
゜ねじれた螺旋状の配列となる。尚、STN(super tw
isted nematic=超ねじれネマティック)型の液晶表示
装置は、液晶物質74の成分を変えることにより、ねじ
れ角を180゜乃至270゜としたものである。
Further, the two electrode substrates 6 bonded together
A nematic liquid crystal material 74 is sealed in the gap between 3 and 64. It is known that the liquid crystal molecules 75 are aligned at the boundary with the alignment layer 73 along the vector direction of the rubbing process. For example, the rubbing direction of the first electrode substrate 63 is set to 45
If the rubbing directions of the opposing alignment layers 73 are perpendicular to each other such that the rubbing direction of the second electrode substrate 64 is −45 °, the liquid crystal molecules 75 will be formed due to the properties of the nematic liquid crystal material.
Is 90 between the first electrode substrate 63 and the second electrode substrate 64.
゜ It becomes a twisted spiral arrangement. In addition, STN (super tw
The isted nematic (super twisted nematic) type liquid crystal display device has a twist angle of 180 ° to 270 ° by changing the components of the liquid crystal material 74.

【0007】両電極基板63、64の外側には、偏光板
72が貼り付けられている。この偏光板72は、偏光軸
が配向層73のラビング方向と平行になるように取り付
けられる。すなわち、ラビング方向と同様に、対向する
偏光板72の偏光軸が、互いに直交するように構成す
る。例えば上記例の場合には、第1電極基板63の偏光
軸を45゜、第2電極基板64の偏光軸を−45゜とす
る。バックライト76から照射された入射光は、第1電
極基板63の偏光板72によって偏光される。偏光され
た入射光は、液晶物質74の螺旋状の分子配列により、
偏光成分が旋回しながら第2電極基板64に達する。第
2電極基板64に貼り付けられた偏光板72の偏光軸
は、第1電極基板63の偏光板72の偏光軸と直交して
いるため、偏光成分が90゜旋回した入射光は、第2電
極基板に設けられた偏光板72を通過することができ、
白色表示として認識される。
[0007] A polarizing plate 72 is attached to the outside of both electrode substrates 63 and 64. The polarizing plate 72 is attached such that the polarization axis is parallel to the rubbing direction of the alignment layer 73. That is, similarly to the rubbing direction, the polarizing axes of the opposing polarizing plates 72 are configured to be orthogonal to each other. For example, in the case of the above example, the polarization axis of the first electrode substrate 63 is set to 45 °, and the polarization axis of the second electrode substrate 64 is set to −45 °. The incident light emitted from the backlight 76 is polarized by the polarizing plate 72 of the first electrode substrate 63. The polarized incident light is formed by the helical molecular arrangement of the liquid crystal material 74.
The polarized light component reaches the second electrode substrate 64 while rotating. Since the polarization axis of the polarizing plate 72 attached to the second electrode substrate 64 is orthogonal to the polarization axis of the polarizing plate 72 of the first electrode substrate 63, the incident light whose polarization component has turned by 90 ° is It can pass through the polarizing plate 72 provided on the electrode substrate,
Recognized as white display.

【0008】一方、図16(c)に示すように、第1電
極基板63の画素電極70と、第2電極基板64の共通
電極71との間に電圧を印加すると、電界方向に液晶分
子75が整列し、立ち上がった状態となる。液晶分子7
5が垂直に立ち上がったとき、バックライト76からの
入射光は、その偏光成分が旋回せず、直進して第2電極
基板64に達する。第2電極基板64の偏光板72の偏
光軸と、入射光の偏光軸が直交しているため、入射光は
この偏光板72を通過することができず、黒色表示とし
て認識される。
On the other hand, when a voltage is applied between the pixel electrode 70 of the first electrode substrate 63 and the common electrode 71 of the second electrode substrate 64, as shown in FIG. Are aligned and stand up. Liquid crystal molecules 7
When 5 rises vertically, the incident light from the backlight 76 does not rotate its polarization component, but proceeds straight and reaches the second electrode substrate 64. Since the polarization axis of the polarizing plate 72 of the second electrode substrate 64 is orthogonal to the polarization axis of the incident light, the incident light cannot pass through the polarizing plate 72 and is recognized as a black display.

【0009】このように、無電圧状態で白色表示となる
ものをノーマリホワイトモードといい、表示デバイスと
して用いられる液晶表示装置ではこのモードが多用され
る。尚、無電圧で黒色表示となるものを、ノーマリブラ
ックモードといい、このモードを利用した液晶表示装置
も利用されている。白色表示(無電圧)乃至黒色表示と
なる電圧の範囲内で印加する電圧を変化させると、電圧
に応じて液晶分子75の傾斜角度が変化する。このと
き、液晶分子75の傾斜角度に応じて、入射光の透過率
が変化し、白色表示と黒色表示との中間の階調表現が可
能となる。尚、カラー表示とする際は、少なくともどち
らかの電極基板63または、64にRGB(red、gree
n、blue=赤、緑、青=光の3原色)の着色を施せばよ
い。一般には、第2電極基板64に着色し、これをカラ
ーフィルタ基板と呼ぶ。
[0009] As described above, a device that provides white display in a no-voltage state is called a normally white mode, and this mode is frequently used in a liquid crystal display device used as a display device. A black display without voltage is called a normally black mode, and a liquid crystal display device using this mode is also used. When the applied voltage is changed within the range of white display (no voltage) to black display, the tilt angle of the liquid crystal molecules 75 changes according to the voltage. At this time, the transmittance of the incident light changes according to the inclination angle of the liquid crystal molecules 75, and a gray scale expression between a white display and a black display can be realized. When color display is performed, at least one of the electrode substrates 63 or 64 is provided with RGB (red, gree).
n, blue = red, green, and blue = three primary colors of light). Generally, the second electrode substrate 64 is colored, and this is called a color filter substrate.

【0010】図16(b)に示すように、ある画素が中
間の階調表示の時、液晶分子75は、両電極基板63、
64に対して傾斜している。従って、法線方向から視認
する場合と、右斜方向から視認する場合と、左斜方向か
ら視認する場合とでは、視線に対する、液晶分子75の
傾斜角度が異なってしまう。前述の通り、液晶分子75
の傾斜角度が異なると、入射光の透過率が変化するた
め、視認方向によって異なった階調に認識される。例え
ば、法線方向からの視認を基準とすると、右斜方向から
はより暗く、左斜方向からはより明るく認識される。ま
た、視認方向が、法線方向から、より傾斜するほど、階
調変化の度合いが大きくなり、コントラストの著しい低
下、さらにはコントラストの反転を生じる。
As shown in FIG. 16B, when a certain pixel displays an intermediate gradation, the liquid crystal molecules 75 are applied to both electrode substrates 63,
64. Accordingly, the angle of inclination of the liquid crystal molecules 75 with respect to the line of sight differs between when viewing from the normal direction, when viewing from the right diagonal direction, and when viewing from the left diagonal direction. As described above, the liquid crystal molecules 75
Is different, the transmittance of the incident light changes, so that different gradations are recognized depending on the viewing direction. For example, on the basis of the visual recognition from the normal direction, the image is recognized as being darker in the diagonal right direction and brighter in the diagonal left direction. Further, as the viewing direction is more inclined from the normal direction, the degree of gradation change becomes larger, causing a significant decrease in contrast and further inversion of contrast.

【0011】このように、従来の液晶表示装置は、視認
方向によっては表示品質が著しく低下するという問題が
あった。また、正常な階調表現が得られる視角範囲がき
わめて狭いという問題もあり、視角特性の優れているC
RT(cathode ray tube=陰極線管=ブラウン管)表示
装置等に対して、優位性が著しく損なわれていた。この
ような問題を解決する手段として、一つの画素を、液晶
分子の立ち上がり方向の異なる複数の領域に分割するこ
とで、視覚特性を改善する、マルチドメイン技術が提案
されている。
As described above, the conventional liquid crystal display device has a problem that the display quality is significantly reduced depending on the viewing direction. Also, there is a problem that the viewing angle range in which a normal gradation expression can be obtained is extremely narrow, and C having excellent viewing angle characteristics
The advantage over an RT (cathode ray tube = cathode ray tube = cathode ray tube) display device or the like has been significantly impaired. As a means for solving such a problem, a multi-domain technique has been proposed in which one pixel is divided into a plurality of regions having different rising directions of liquid crystal molecules to improve visual characteristics.

【0012】例えば、特許第2565639号では、図
18に示すように、第1電極基板63には画素電極70
が、第2電極基板64には共通電極71が各々蒸着形成
されている。また、共通電極71の画素電極70に対面
する部位に開口部78を設け、画素電極70と共通電極
71間に電圧を印加すると、開口部78により、画素内
に不均一電界が生じる。この不均一電界により、一つの
画素が、液晶分子75の立ち上がり方向の異なる複数の
領域に分割される。これにより、斜方向から視認しても
階調反転のない表示が得られる。
For example, in Japanese Patent No. 2565639, a pixel electrode 70 is provided on a first electrode substrate 63 as shown in FIG.
However, a common electrode 71 is formed on the second electrode substrate 64 by vapor deposition. Further, when an opening 78 is provided at a portion of the common electrode 71 facing the pixel electrode 70 and a voltage is applied between the pixel electrode 70 and the common electrode 71, the opening 78 causes an uneven electric field in the pixel. Due to the non-uniform electric field, one pixel is divided into a plurality of regions having different rising directions of the liquid crystal molecules 75. As a result, a display without gradation inversion can be obtained even when viewed from an oblique direction.

【0013】また、上述のように、配向層73に施した
ラビング処理のベクトル方向に沿って液晶分子75が整
列する。そこで、特許第2692693号では、図19
に示すように、一つの画素内にラビング方向の異なる複
数の領域80、81を設ける。この領域80、81にお
いては、液晶分子75の立ち上がり方向が異なる。すな
わち、一つの画素が、液晶分子75の立ち上がり方向の
異なる複数の領域80、81に分割される。これによ
り、斜方向から視認しても階調反転のない表示が得られ
る。
Further, as described above, the liquid crystal molecules 75 are aligned along the vector direction of the rubbing process performed on the alignment layer 73. Therefore, in Japanese Patent No. 2692693, FIG.
As shown in (1), a plurality of regions 80 and 81 having different rubbing directions are provided in one pixel. In the regions 80 and 81, the rising directions of the liquid crystal molecules 75 are different. That is, one pixel is divided into a plurality of regions 80 and 81 having different rising directions of the liquid crystal molecules 75. As a result, a display without gradation inversion can be obtained even when viewed from an oblique direction.

【0014】さらに、特開平10−20323公報に記
載の技術では、図20に示すように、画素電極70中に
開口部78を設け、開口部78内に第3の電極79を設
ける。また、画素電極70上に絶縁層(図示せず)を介
して第3の電極79を設ける。液晶物質74(図14)
内には予め感光性低分子物質を混入しておく。液晶物質
74を等方性液体状態を示す温度まで加熱した後、画素
電極70及び第3の電極79に電圧を印可しつつ徐冷す
ることで、液晶物質74を再配向する。このとき、前述
の通り、画素電極70に印加する電圧より高い電圧を第
3の電極79に印加する。例えば、画素電極70に5
V、第3の電極79に10Vを印加する。
Further, in the technique described in JP-A-10-20323, as shown in FIG. 20, an opening 78 is provided in a pixel electrode 70, and a third electrode 79 is provided in the opening 78. Further, a third electrode 79 is provided over the pixel electrode 70 with an insulating layer (not shown) interposed therebetween. Liquid crystal substance 74 (FIG. 14)
A photosensitive low-molecular substance is mixed in advance. After the liquid crystal material 74 is heated to a temperature indicating an isotropic liquid state, the liquid crystal material 74 is re-aligned by gradually cooling while applying a voltage to the pixel electrode 70 and the third electrode 79. At this time, a voltage higher than the voltage applied to the pixel electrode 70 is applied to the third electrode 79 as described above. For example, 5
V, 10 V is applied to the third electrode 79.

【0015】これにより、不均一電界が生じ、一つの画
素が、液晶分子75の立ち上がり方向の異なる複数の領
域に分割される。この後、紫外線を照射することで、感
光性低分子物質が光重合して高分子化する。この高分子
化合物が液晶物質74中に均一に分散し、液晶分子75
の立ち上がり方向を安定化させることができる。
As a result, a non-uniform electric field is generated, and one pixel is divided into a plurality of regions having different rising directions of the liquid crystal molecules 75. Thereafter, the photosensitive low-molecular substance is photopolymerized and polymerized by irradiating ultraviolet rays. This polymer compound is uniformly dispersed in the liquid crystal material 74, and the liquid crystal molecules 75
Can be stabilized.

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特許第2
565639号に記載の技術では、本来微細加工が不要
な共通電極71にも開口部78を形成するため、フォト
レジスト加工等の微細加工が必要となるとともに、画素
電極70と開口部78を正確に対面させるために、第1
電極基板63と第2電極基板64との高度な貼り合わせ
技術が必要となるため、製造工程が複雑になるという問
題がある。
However, the above-mentioned patent No. 2
In the technique described in Japanese Patent No. 565639, since the opening 78 is also formed in the common electrode 71 which does not originally require fine processing, fine processing such as photoresist processing is required, and the pixel electrode 70 and the opening 78 can be accurately formed. First to meet
Since an advanced bonding technique of the electrode substrate 63 and the second electrode substrate 64 is required, there is a problem that the manufacturing process is complicated.

【0017】また、開口部78には電極がなく、従っ
て、画素電極70に電圧を印加した際に開口部78に十
分な電界がかからず、液晶が印加電圧に対して十分に応
答しないため、液晶の応答性が不十分となり、コントラ
ストの低下が生じるという問題がある。
Further, since there is no electrode in the opening 78, a sufficient electric field is not applied to the opening 78 when a voltage is applied to the pixel electrode 70, and the liquid crystal does not respond sufficiently to the applied voltage. In addition, there is a problem that the response of the liquid crystal becomes insufficient and the contrast is lowered.

【0018】一方、特許第2692693号に記載の技
術では、第1電極基板63及び、第2電極基板64各々
の配向層73において、ベクトル方向の異なる複数回の
ラビング処理が必要にるとともに、ラビング方向の異な
る複数の領域を作成するために、配向層73に対するフ
ォトレジスト加工等によるマスキング処理が必要にな
り、さらに、ラビング方向の異なる領域80、81を正
確に対面させるために、第1電極基板63と第2電極基
板64との高度な貼り合わせ技術が必要となるため、製
造工程が複雑になることである。
On the other hand, according to the technique described in Japanese Patent No. 2692693, a plurality of rubbing treatments having different vector directions are required for the alignment layers 73 of the first electrode substrate 63 and the second electrode substrate 64, respectively. In order to form a plurality of regions having different directions, it is necessary to perform a masking process such as a photoresist process on the alignment layer 73. Further, in order to accurately face the regions 80 and 81 having different rubbing directions, the first electrode substrate is formed. Since an advanced bonding technique between the first electrode substrate 63 and the second electrode substrate 64 is required, the manufacturing process is complicated.

【0019】上記問題点に鑑み、特開平10−2032
3号公報には、画素電極70内に第3の電極79を設
け、画素電極70に印加する電圧より高い電圧を第3の
電極79に印加することにより、不均一電界を生じさ
せ、一つの画素を液晶分子75の立ち上がり方向の異な
る複数の領域に分割することで、視角特性を改善する方
法が開示されている。
In view of the above problems, Japanese Patent Laid-Open No. 10-2032
In JP-A No. 3 (1993) -1995, a third electrode 79 is provided in the pixel electrode 70, and a voltage higher than the voltage applied to the pixel electrode 70 is applied to the third electrode 79, thereby generating a non-uniform electric field. A method for improving the viewing angle characteristics by dividing a pixel into a plurality of regions having different rising directions of the liquid crystal molecules 75 is disclosed.

【0020】また、これら以外にも、マルチドメインに
よって視角特性を改善する発明はいくつか提案されてい
るが、上記3つの従来例も含めて、いずれもマルチドメ
イン方式の液晶表示装置の可能性を実験レベルで実証し
たものであって、工業的な製造方法や製造装置に触れた
ものは皆無である。
In addition to the above, some inventions have been proposed in which the viewing angle characteristics are improved by using multi-domains. However, all of the above-mentioned three prior art examples also show the possibility of a multi-domain liquid crystal display device. None of them have been demonstrated at the experimental level and mention industrial production methods and production equipment.

【0021】そこで、本発明は上記従来例に記載された
液晶表示素子セルの工業的製造方法及び製造装置を提供
することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial method and apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell described in the above-mentioned conventional example.

【0022】本発明の目的は、液晶表示素子セルを、液
晶物質が等方性を示す液体状態に相転移する温度より高
い温度まで加熱し、第1電極基板上に形成された画素電
極と第3の電極、第2電極基板上に形成された共通電極
に電圧を印加しつつ、液晶表示素子セルを、液晶物質が
異方性を示す温度まで冷却し、液晶物質を再配向させた
状態で、紫外線を照射し、液晶物質中に混入した感光性
低分子物質を光重合させて高分子化し、液晶分子の立ち
上がり角度を安定化させるマルチドメイン方式液晶表示
素子セルの製造方法において、これらの製造プロセスを
連続して自動的に行い、工業的生産を可能とする、液晶
表示素子セルの製造方法、及び製造装置を提供するもの
である。
It is an object of the present invention to heat a liquid crystal display element cell to a temperature higher than a temperature at which a liquid crystal material undergoes a phase transition to an isotropic liquid state, thereby forming a pixel electrode formed on a first electrode substrate and a second electrode. While applying a voltage to the third electrode and the common electrode formed on the second electrode substrate, the liquid crystal display element cell was cooled to a temperature at which the liquid crystal material showed anisotropy, and the liquid crystal material was realigned. In a method of manufacturing a multi-domain type liquid crystal display element cell in which a photosensitive low-molecular substance mixed in a liquid crystal substance is irradiated with ultraviolet light to polymerize by photopolymerization and stabilize a rising angle of liquid crystal molecules, An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell, which automatically perform a process continuously and enable industrial production.

【0023】[0023]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明にかかる液晶表示素子セルの製造方法は、マ
ルチドメイン方式液晶表示素子セルの液晶分子を配向す
る際に、液晶分子が未配向の液晶表示素子セルの電圧印
加手段への搭載、液晶表示素子セルの加熱、液晶表示素
子セルへの電圧の印加、液晶表示素子セルの冷却、液晶
表示素子セルへの紫外線の照射、液晶表示素子セルに印
加している電圧の解除、配向が完了した液晶表示素子セ
ルの電圧印加手段からの回収の各々の工程を自動で連続
して行うことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention comprises the steps of: aligning liquid crystal molecules of a multi-domain liquid crystal display element cell; Mounting the liquid crystal display element cell on the voltage applying means, heating the liquid crystal display element cell, applying a voltage to the liquid crystal display element cell, cooling the liquid crystal display element cell, irradiating the liquid crystal display element cell with ultraviolet rays, the liquid crystal display element The method is characterized in that the steps of canceling the voltage applied to the cell and collecting the liquid crystal display element cell from the voltage applying means whose alignment has been completed are automatically and continuously performed.

【0024】この際、前記電圧印加手段に液晶表示素子
セルを搭載し、液晶表示素子セルに電圧を印加しつつ、
液晶表示素子セルを冷却し、紫外線を照射しても良い。
At this time, a liquid crystal display element cell is mounted on the voltage applying means, and a voltage is applied to the liquid crystal display element cell.
The liquid crystal display element cell may be cooled and irradiated with ultraviolet rays.

【0025】また、液晶表示素子セルの表示領域の周囲
より僅かに広い領域を過熱、冷却しても良い。この際、
前記液晶表示素子セルを一定の温度勾配で冷却すること
が好適である。
Further, an area slightly larger than the periphery of the display area of the liquid crystal display element cell may be heated and cooled. On this occasion,
It is preferable to cool the liquid crystal display element cell at a constant temperature gradient.

【0026】さらに、本発明にかかる液晶表示素子セル
の製造装置は、液晶表示素子セルへ電圧印加する手段
と、前記液晶表示素子を前記電圧印可手段に搭載する手
段と、前記液晶表示素子セルを加熱する手段と、前記液
晶表示素子セルへ電圧を印加する手段と、前記液晶表示
素子セルを冷却する手段と、前記液晶表示素子セルへ紫
外線を照射する手段と、前記液晶表示素子セルに印加し
ている電圧を解除する手段と、前記液晶表示素子セルを
前記電圧印加手段から回収する手段と、前記各手段を制
御する手段とを備えたことを特徴とする。
Further, in the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention, means for applying a voltage to the liquid crystal display element cell, means for mounting the liquid crystal display element on the voltage applying means, and Means for heating, means for applying a voltage to the liquid crystal display element cell, means for cooling the liquid crystal display element cell, means for irradiating the liquid crystal display element cell with ultraviolet light, and means for applying a voltage to the liquid crystal display element cell. Means for canceling the applied voltage, means for collecting the liquid crystal display element cells from the voltage applying means, and means for controlling each of the means.

【0027】また、前記電圧印加手段に液晶表示素子セ
ルを搭載し、前記電圧印可手段によって前記液晶表示素
子セルに電圧を印加しつつ、前記冷却手段によって前記
液晶表示素子セルを冷却するとともに、前記紫外線照射
手段によって前記液晶表示素子セルに紫外線を照射する
ことも可能である。
A liquid crystal display element cell is mounted on the voltage applying means, and while the voltage applying means applies a voltage to the liquid crystal display element cell, the cooling means cools the liquid crystal display element cell. It is also possible to irradiate the liquid crystal display element cell with ultraviolet light by means of ultraviolet light irradiating means.

【0028】さらに、前記電圧印可手段はローラーを備
え、前記液晶表示素子セルを加熱、冷却する加熱冷却ス
テーションと、前記液晶表示素子セルに紫外線を照射す
る紫外線照射ステーションとの間において、液晶表示素
子セルに電圧を印加しつつ移動するように構成すること
もできる。
Further, the voltage applying means includes a roller, and a liquid crystal display element is provided between a heating / cooling station for heating and cooling the liquid crystal display element cell and an ultraviolet irradiation station for irradiating the liquid crystal display element cell with ultraviolet light. The cell may be configured to move while applying a voltage.

【0029】前記電圧印可手段は、電圧発生装置からの
電圧を端子を介して前記液晶表示素子セルに供給する配
線基板を備えた内台枠と、該内台枠が嵌め込まれるとと
もに前記ローラーを備えた外台枠とを有することが好適
である。
The voltage applying means includes an inner underframe having a wiring substrate for supplying a voltage from a voltage generator to the liquid crystal display element cell via a terminal, the inner underframe being fitted therein and the roller being provided. It is preferable to have an outer underframe.

【0030】また、前記電圧印可手段は、前記液晶表示
素子セルを位置決めするセル位置決め部を有し、該セル
位置決め部によって前記液晶表示素子セルのゲート端子
とドレン端子が電圧印加手段の端子と確実に接触するよ
うにすることが好ましい。
Further, the voltage applying means has a cell positioning part for positioning the liquid crystal display element cell, and the gate positioning and drain terminal of the liquid crystal display element cell are reliably connected to the terminals of the voltage applying means by the cell positioning part. Preferably.

【0031】さらに、前記電圧印可手段は、任意の保持
力で前記液晶表示素子セルを挟持するセル保持機構を有
し、該セル保持機構によって前記液晶表示素子セルのゲ
ート端子とドレン端子が前記電圧印加手段の端子と確実
に接触するようにすることが好ましい。
Further, the voltage applying means has a cell holding mechanism for holding the liquid crystal display element cell with an arbitrary holding force, and the gate terminal and the drain terminal of the liquid crystal display element cell are connected to the voltage by the cell holding mechanism. It is preferable to make sure that it makes contact with the terminal of the application means.

【0032】前記液晶表示素子セルを加熱、冷却するた
めの加熱冷却プレートが、前記液晶表示素子セルの表示
領域の周囲より僅かに広い領域と面接触し、加熱冷却を
行うようにすることも可能である。
A heating / cooling plate for heating and cooling the liquid crystal display element cell may be brought into surface contact with an area slightly larger than the periphery of the display area of the liquid crystal display element cell to perform heating and cooling. It is.

【0033】この際、前記加熱手段によって、前記液晶
表示素子セルの前記加熱温度を最高130℃まで任意に
設定可能とすることが好適であり、前記冷却手段によっ
て、前記液晶表示素子セルを一定の温度勾配による冷却
を可能とすることが好ましい。
At this time, it is preferable that the heating means can arbitrarily set the heating temperature of the liquid crystal display element cell up to a maximum of 130 ° C., and the cooling means makes the liquid crystal display element cell constant. It is preferable to enable cooling by a temperature gradient.

【0034】また、前記加熱手段によって液晶表示素子
セルを加熱する際に、液晶物質の相転移温度より20℃
高い温度に達したことを検出し、加熱を確実に行うこと
が好ましく、前記冷却手段によって加熱した液晶表示素
子セルを冷却する際に、液晶物質の相転移温度より30
℃低い温度に達したことを検出し、冷却を確実に行うこ
とが好ましい。
When the liquid crystal display element cell is heated by the heating means, the temperature of the liquid crystal display element cell is higher than the phase transition temperature of the liquid crystal material by 20 ° C.
It is preferable to detect that the temperature has reached a high temperature, and to perform heating surely. When cooling the liquid crystal display element cell heated by the cooling means, the temperature is higher than the phase transition temperature of the liquid crystal substance by 30%.
It is preferable to detect that the temperature has been lowered by ° C. and to surely perform cooling.

【0035】さらに、前記紫外線照射手段によって前記
液晶表示素子セルへ照射される紫外線の照度を可変とす
ること、紫外線の照射時間を任意に設定可能とすること
が好ましい。
Further, it is preferable that the illuminance of the ultraviolet light applied to the liquid crystal display element cell by the ultraviolet irradiation means is variable, and that the irradiation time of the ultraviolet light can be set arbitrarily.

【0036】紫外線灯の灯具及び紫外線照射室内の雰囲
気を排気することにより、紫外線灯の発する輻射熱によ
る紫外線照射室及び液晶表示素子セルの過熱を防止し、
この際、冷却ファンにより外気を前記液晶表示素子セル
に噴射し、紫外線照射による前記液晶表示素子セルの過
熱を防止することが好適である。
By exhausting the atmosphere of the lamp of the ultraviolet lamp and the interior of the ultraviolet irradiation chamber, overheating of the ultraviolet irradiation chamber and the liquid crystal display cell due to the radiant heat generated by the ultraviolet lamp is prevented,
At this time, it is preferable to inject outside air to the liquid crystal display element cell by a cooling fan to prevent the liquid crystal display element cell from being overheated due to ultraviolet irradiation.

【0037】また、前記液晶表示素子セルの加熱、冷却
中の配向状態を観察するため偏光顕微鏡を備えることが
より好ましい。
Further, it is more preferable to provide a polarizing microscope for observing the alignment state during heating and cooling of the liquid crystal display element cell.

【0038】そして、上記本発明にかかる液晶表示素子
セルの製造装置によって、例えば、セル装填ステーショ
ンの移載装置にて、カセットに装填されている感光性低
分子物質を混入した液晶物質を注入済みの液晶表示素子
セルを、電圧印加治具に装填する。
The liquid crystal display device cell manufacturing apparatus according to the present invention is used to inject, for example, a liquid crystal material mixed with a photosensitive low-molecular substance loaded in a cassette by a transfer device at a cell loading station. Of the liquid crystal display element cell is loaded in a voltage application jig.

【0039】次に、前記電圧印加治具に装填された液晶
表示素子セルを隣接する加熱冷却ステーションに移す。
加熱冷却ステーションで液晶表示素子セルを100℃に
加熱すると、液晶物質が等方性を示す液体状態に相転移
する。
Next, the liquid crystal display element cell loaded in the voltage applying jig is moved to an adjacent heating / cooling station.
When the liquid crystal display cell is heated to 100 ° C. in the heating / cooling station, the liquid crystal material undergoes a phase transition to an isotropic liquid state.

【0040】この際、加熱冷却プレートは、液晶表示素
子セルの表示領域より周囲1mmずつ拡大した寸法とな
っているため、液晶表示素子セルの表示領域を一様に加
熱することができる。次に、電圧印加治具を介して液晶
表示素子セルの電極基板に電圧を印加する。このとき、
第3の電極には画素電極よりも高い電圧を印加する。電
圧を印加しつつ、液晶物質の相転移温度以下まで、−1
℃/分乃至−20℃/分の温度勾配で液晶表示素子セル
を徐冷すると、液晶物質は、異方性を示す液晶相とな
る。一定の温度勾配で除冷することにより、一様に相転
移させることができる。このとき、画素電極に印加する
電圧よりも高い電圧を第3の電極に印加しているため、
画素内に不均一電界を生じ、液晶分子が立ち上がり方向
の異なる複数の領域に、画素が分割される。
At this time, the size of the heating / cooling plate is enlarged by 1 mm around the display area of the liquid crystal display element cell, so that the display area of the liquid crystal display element cell can be uniformly heated. Next, a voltage is applied to the electrode substrate of the liquid crystal display element cell via a voltage application jig. At this time,
A voltage higher than that of the pixel electrode is applied to the third electrode. While applying a voltage, -1
When the liquid crystal display element cell is gradually cooled at a temperature gradient of ° C / min to -20 ° C / min, the liquid crystal substance becomes a liquid crystal phase exhibiting anisotropy. By performing cooling at a constant temperature gradient, a uniform phase transition can be achieved. At this time, since a voltage higher than the voltage applied to the pixel electrode is applied to the third electrode,
A non-uniform electric field is generated in the pixel, and the pixel is divided into a plurality of regions in which liquid crystal molecules rise in different directions.

【0041】続いて、徐冷した液晶表示素子セルを、電
圧印加治具を介して電極基板に電圧を印加しつつ、隣接
する紫外線照射ステーションに移す。紫外線照射ステー
ションでは、液晶表示素子セルの表示面に1mW/cm
2乃至15mW/cm2の照度で紫外線を照射する。紫
外線の照射により、液晶物質に混入した感光性低分子物
質が光重合して高分子化し、液晶物質中に分散するた
め、液晶分子の配向状態、すなわち立ち上がり方向を安
定させる。また、液晶表示素子セルに電圧を印加したま
ま、冷却と紫外線照射を連続して行うため、配向状態が
乱れることがない。
Subsequently, the slowly cooled liquid crystal display cell is transferred to an adjacent ultraviolet irradiation station while applying a voltage to the electrode substrate via a voltage applying jig. In the ultraviolet irradiation station, the display surface of the liquid crystal display element cell was 1 mW / cm
Irradiation with ultraviolet light is performed at an illuminance of 2 to 15 mW / cm2. Irradiation of ultraviolet light causes the photosensitive low-molecular substance mixed in the liquid crystal material to undergo photopolymerization to be polymerized and dispersed in the liquid crystal material, so that the alignment state of the liquid crystal molecules, that is, the rising direction is stabilized. In addition, since the cooling and the irradiation of the ultraviolet ray are continuously performed while the voltage is applied to the liquid crystal display element cell, the alignment state is not disturbed.

【0042】次に、電圧印加治具に装填された液晶表示
素子セルを、前記セル装填ステーションに移す。電圧の
印加を終了し、電圧印加治具から、配向を完了した液晶
表示素子セルを取り出す。これらの工程を連続して、自
動で行うため、マルチドメイン方式液晶表示素子セル
を、安定した品質で量産することが可能となる。
Next, the liquid crystal display element cell loaded on the voltage applying jig is moved to the cell loading station. After the application of the voltage is completed, the liquid crystal display cell whose alignment has been completed is taken out of the voltage application jig. Since these steps are performed continuously and automatically, it becomes possible to mass-produce the multi-domain liquid crystal display element cells with stable quality.

【0043】[0043]

【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる液晶表示素
子セルの製造方法及び製造装置の実施の形態を図面を参
照しながら説明する。
Next, an embodiment of a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0044】図1乃至図10を用いて、本発明に係る液
晶表示素子セルの製造装置の構成について詳細に説明す
る。図1及び図2に示すように、本発明による液晶表示
素子セルの製造装置は、セル装填ステーション1、電圧
印加治具7、搬送機構6、加熱冷却ステーション2、紫
外線照射ステーション3等から構成される。
The configuration of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. As shown in FIGS. 1 and 2, the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention includes a cell loading station 1, a voltage applying jig 7, a transport mechanism 6, a heating / cooling station 2, an ultraviolet irradiation station 3, and the like. You.

【0045】図1乃至図3に示すように、搬送機構6
は、基台5上に、支柱21を介して、搬送レール15、
16、17が対向して設置されている。この対向した搬
送レール15、16、17間に、電圧印加治具7が搭載
されている。電圧印加治具7に備えられたローラー34
(図8)が搬送レール15、16、17の内面に接地
し、搬送レール15、16、17上を往復自在に滑動す
ることができる。
As shown in FIGS. 1 to 3, the transport mechanism 6
Is provided on the base 5 via the support 21 and the transfer rail 15,
16 and 17 are installed facing each other. A voltage applying jig 7 is mounted between the opposed transfer rails 15, 16, and 17. Roller 34 provided on voltage applying jig 7
(FIG. 8) comes into contact with the inner surfaces of the transport rails 15, 16, 17 and can slide on the transport rails 15, 16, 17 in a reciprocating manner.

【0046】電圧印加治具7は、基台5上に、搬送レー
ル15、16、17と平行に設置されたベルト20及び
プーリー19を動力伝達手段として、100Wの電動機
18によって駆動され、セル装填ステーション1、加熱
冷却ステーション2、紫外線照射ステーション3の各ス
テーション間を往復移動する。
The voltage applying jig 7 is driven by a 100 W electric motor 18 using a belt 20 and a pulley 19 installed on the base 5 in parallel with the transport rails 15, 16 and 17 as a power transmission means to load cells. It reciprocates between stations 1, a heating / cooling station 2, and an ultraviolet irradiation station 3.

【0047】図1、図2及び図4に示すように、セル装
填ステーション1は、移載装置8、カセット回転機構9
等から構成される。カセット回転機構9に、感光性低分
子物質を混入した液晶注入済みの液晶表示素子セル61
が、例えば20枚収納されたカセット10を挿入口を上
にして搭載する。
As shown in FIGS. 1, 2 and 4, the cell loading station 1 includes a transfer device 8, a cassette rotating mechanism 9,
And so on. A liquid crystal display element cell 61 into which a liquid crystal has been injected into which a photosensitive low-molecular substance is mixed into the cassette rotating mechanism 9
However, for example, a cassette 10 containing 20 sheets is mounted with the insertion opening facing upward.

【0048】カセット10の搬送は、搬送中の震動等に
より液晶表示素子セル61がカセット10から脱落する
ことのないように、挿入口を上に向けて搬送するのが一
般的である。
In general, the cassette 10 is conveyed with its insertion opening facing upward so that the liquid crystal display element cells 61 do not fall off the cassette 10 due to vibrations during conveyance.

【0049】次に、カセット10から液晶表示素子セル
61を抜き差しするべく、カセット回転機構9を作動し
て、カセット10を90゜回転し、挿入口を移載装置8
側に向ける。このとき、液晶表示素子セル61は、水平
面に積層する姿勢となる。
Next, in order to insert and remove the liquid crystal display element cell 61 from the cassette 10, the cassette rotating mechanism 9 is operated to rotate the cassette 10 by 90.degree.
Turn to the side. At this time, the liquid crystal display element cells 61 have a posture of being stacked on a horizontal plane.

【0050】そして、図示しない移載装置コントローラ
からの指令で、架台4に設置されている移載装置8の吸
着アーム11により、カセット10から感光性低分子物
質を混入した液晶注入済みの液晶表示素子セル61が1
枚抜き取られ、抜き取られた液晶表示素子セル61は、
移載装置8により電圧印加治具7に搭載される。
Then, in response to a command from a transfer device controller (not shown), the suction arm 11 of the transfer device 8 installed on the gantry 4 causes the liquid crystal display with the liquid crystal infused with the photosensitive low-molecular substance from the cassette 10 to be injected. Element cell 61 is 1
The extracted liquid crystal display element cell 61 is
It is mounted on the voltage applying jig 7 by the transfer device 8.

【0051】図7及び図8に示すように、電圧印加治具
7は、外台枠29、内台枠30、配線基板31、端子3
2、セル位置決め部33、ローラー34、押さえ枠3
6、押さえシリンダ37、支柱38等から構成される。
尚、押さえ枠36、押さえシリンダ37、支柱38等は
セル保持機構35として機能する。
As shown in FIGS. 7 and 8, the voltage applying jig 7 includes an outer frame 29, an inner frame 30, a wiring board 31, and a terminal 3.
2. Cell positioning part 33, roller 34, holding frame 3
6, a holding cylinder 37, a support 38, and the like.
The holding frame 36, the holding cylinder 37, the support 38, and the like function as a cell holding mechanism 35.

【0052】外台枠29の中に、内台枠30が嵌め込ま
れ、内台枠30上には配線基板31が設置されている。
配線基板31上には端子32が備えられる。
An inner frame 30 is fitted into the outer frame 29, and a wiring board 31 is mounted on the inner frame 30.
Terminals 32 are provided on the wiring board 31.

【0053】この端子32は、図示しない電圧発生装置
からの電圧を、配線基板31を介して液晶表示素子セル
61に供給するものである。すなわち、配線基板31の
配線と端子32は電気的に接触しており導通している。
前記移載装置8によって、液晶表示素子セル61が1枚
電圧印加治具7に搭載される。このとき、図9に示すよ
うに、搭載された液晶表示素子セル61の第1電極基板
63に蒸着形成されているゲート電極65とドレン電極
66が、端子32と接触しており、導通している。これ
によって、前記電圧発生装置から送られる電圧が、配線
基板31、端子32を介して液晶表示素子セル61に供
給可能となる。
The terminal 32 supplies a voltage from a voltage generator (not shown) to the liquid crystal display element cell 61 via the wiring board 31. That is, the wiring of the wiring board 31 and the terminal 32 are in electrical contact with each other and are conductive.
The transfer device 8 mounts one liquid crystal display element cell 61 on the voltage application jig 7. At this time, as shown in FIG. 9, the gate electrode 65 and the drain electrode 66 formed by vapor deposition on the first electrode substrate 63 of the mounted liquid crystal display element cell 61 are in contact with the terminal 32 and become conductive. I have. Thus, the voltage sent from the voltage generator can be supplied to the liquid crystal display element cell 61 via the wiring board 31 and the terminal 32.

【0054】前記液晶表示素子セル61は、セル保持機
構35により保持される。そして、搭載した液晶表示素
子セル61に、押さえシリンダ37の作用で押さえ枠3
6を押圧し、液晶表示素子セル61が位置ずれしないよ
うに保持するとともに、ゲート電極65、ドレン電極6
6と端子32との接触を良好に保つ。
The liquid crystal display element cell 61 is held by the cell holding mechanism 35. The holding frame 3 is attached to the mounted liquid crystal display element cell 61 by the action of the holding cylinder 37.
6, the liquid crystal display element cell 61 is held so as not to be displaced, and the gate electrode 65 and the drain electrode 6 are pressed.
6 and the terminals 32 are kept in good contact.

【0055】尚、外台枠29下部にはローラー34が4
基取り付けられ、前述の通り、搬送レール15、16、
17上を、搬送機構6によって往復自在に滑動すること
ができる。
Incidentally, four rollers 34 are provided below the outer underframe 29.
As described above, the transport rails 15, 16,
17 can be slid reciprocally by the transport mechanism 6.

【0056】図5に示すように、搬送レール16は、カ
ムローラー台座22、カムローラー23、直動ガイド2
4、昇降カム25、昇降シリンダ26、ステンレス製シ
ャフト27、ボールベアリング入りのブッシュ28等で
構成される昇降機構によって自在に昇降できる。
As shown in FIG. 5, the transfer rail 16 includes a cam roller pedestal 22, a cam roller 23, and a linear motion guide 2.
4. It can be freely moved up and down by an elevating mechanism composed of an elevating cam 25, an elevating cylinder 26, a stainless steel shaft 27, a bush 28 containing a ball bearing, and the like.

【0057】搬送レール16は、基台5に取り付けられ
たボールベアリング入りブッシュ28と、ボールベアリ
ング入りブッシュ28に嵌合するシャフト27によって
支えられ昇降自在に滑動する。また、基台5上には、昇
降シリンダ26と、直動ガイド24が取り付けられ、直
動ガイド24上には昇降カム25が搭載されている。さ
らに、昇降シリンダ26の先端は、昇降カム25と連結
しており、直動ガイド24の作用で、往復自在に滑動す
る。
The transport rail 16 is supported by a ball bearing-containing bush 28 attached to the base 5 and a shaft 27 fitted to the ball bearing-containing bush 28, and slides vertically. An elevating cylinder 26 and a linear motion guide 24 are mounted on the base 5, and an elevating cam 25 is mounted on the linear motion guide 24. Further, the tip of the elevating cylinder 26 is connected to the elevating cam 25, and slides reciprocally by the action of the linear guide 24.

【0058】また、搬送レール16には、カムローラー
台座22を介して、ベアリング入りのカムローラー23
が取り付けられている。カムローラー23は昇降カム2
5と接触しており、昇降カム25が往復動作することに
より、搬送レール16を昇降動作させる。昇降シリンダ
26が、昇降カム25を押し出した状態で、搬送レール
16は上昇位置となる。
A cam roller 23 containing a bearing is provided on the transfer rail 16 via a cam roller base 22.
Is attached. The cam roller 23 is a lifting cam 2
5, and the lift cam 25 reciprocates to move the transport rail 16 up and down. With the lifting cylinder 26 pushing the lifting cam 25, the transport rail 16 is at the raised position.

【0059】尚、カムローラー台座22は、搬送レール
16に対して取り付け位置の微調節が可能で、これによ
り、搬送レール16の上昇位置の微調節ができ、搬送レ
ール16は隣接する搬送レール15、17と高さが同水
準となる。この状態で、液晶表示素子セル61を搭載し
た電圧印加治具7は、搬送レール15と搬送レール1
6、また搬送レール16と搬送レール17との乗り移り
が可能となる。
The mounting position of the cam roller pedestal 22 can be finely adjusted with respect to the transport rail 16, whereby the raising position of the transport rail 16 can be finely adjusted. , 17 are at the same height. In this state, the voltage applying jig 7 on which the liquid crystal display element cell 61 is mounted is moved by the transport rail 15 and the transport rail 1.
6, and the transfer between the transfer rail 16 and the transfer rail 17 is enabled.

【0060】前記液晶表示素子セル61を搭載した電圧
印加治具7は、搬送機構6によってセル装填ステーショ
ン1から加熱冷却ステーション2へ移送される。昇降シ
リンダ26が昇降カム25を引き寄せると、搬送レール
16とともに、電圧印加治具7も下降する。昇降シリン
ダ26が下降端に達する直前に、液晶表示素子セル61
が加熱冷却プレート39に接触する。このとき、電圧印
加治具7の内台枠30は、液晶表示素子セル61ととも
に、加熱冷却プレート39上に載っているが、外台枠2
9は内台枠30からはずれ、搬送レール16とともに、
下降端まで下降する。このように、電圧印加治具7を、
外台枠29と内台枠30の二重構造とすることにより、
加熱冷却プレート39上に液晶表示素子セル61が載っ
たときに、搬送レール16等の余分な荷重が、液晶表示
素子セル61に加わることを防ぐことができる。
The voltage applying jig 7 on which the liquid crystal display element cells 61 are mounted is transferred from the cell loading station 1 to the heating / cooling station 2 by the transfer mechanism 6. When the lifting cylinder 26 pulls the lifting cam 25, the voltage applying jig 7 moves down together with the transport rail 16. Immediately before the lifting cylinder 26 reaches the lower end, the liquid crystal display element cell 61
Contacts the heating / cooling plate 39. At this time, the inner frame 30 of the voltage applying jig 7 is placed on the heating / cooling plate 39 together with the liquid crystal display element cell 61, but the outer frame 2
9 is disengaged from the inner underframe 30, and together with the transport rail 16,
It descends to the descending end. Thus, the voltage application jig 7 is
With the double structure of the outer frame 29 and the inner frame 30,
When the liquid crystal display element cell 61 is placed on the heating / cooling plate 39, it is possible to prevent an extra load such as the transport rail 16 from being applied to the liquid crystal display element cell 61.

【0061】図5及び図10に示すように、加熱冷却ス
テーション2(図1)は、加熱冷却プレート39、加熱
媒体42、冷却媒体43、温度センサ44、温度コント
ローラー45、台座41、断熱板40、偏光顕微鏡46
等から構成される。
As shown in FIGS. 5 and 10, the heating / cooling station 2 (FIG. 1) includes a heating / cooling plate 39, a heating medium 42, a cooling medium 43, a temperature sensor 44, a temperature controller 45, a pedestal 41, and a heat insulating plate 40. , Polarizing microscope 46
And so on.

【0062】加熱冷却プレート39は、液晶表示素子セ
ル61の表示領域62を周囲1mmずつ拡げた寸法とし
ている。尚、この「周囲1mm」という寸法は、液晶表
示素子セル61と加熱冷却プレート39との位置ずれを
考慮し、表示領域62全域に加熱冷却プレート39が確
実に接触するようにしたものである。
The heating / cooling plate 39 has a size in which the display area 62 of the liquid crystal display element cell 61 is expanded by 1 mm around the periphery. Note that the dimension of "1 mm around" is such that the heating / cooling plate 39 reliably contacts the entire display area 62 in consideration of the displacement between the liquid crystal display element cell 61 and the heating / cooling plate 39.

【0063】加熱冷却プレート39の内部には、加熱媒
体42、冷却媒体43、温度センサ44が内蔵され、加
熱媒体42と冷却媒体43、温度センサ44は温度コン
トローラー45に接続される。
A heating medium 42, a cooling medium 43, and a temperature sensor 44 are built in the heating / cooling plate 39. The heating medium 42, the cooling medium 43, and the temperature sensor 44 are connected to a temperature controller 45.

【0064】加熱冷却プレート39の温度制御は、加熱
媒体42としてヒーター、冷却媒体43として冷却水を
用い、温度センサ44の測定値から、温度コントローラ
ー45がヒーターの加熱温度調節と、冷却水の流量調節
を行い、加熱冷却プレート39を所望の温度に制御す
る。このような温度制御技術は、例えば、特開平8−1
52636に紹介されているように、公知の技術として
知られている。
The temperature of the heating / cooling plate 39 is controlled by using a heater as the heating medium 42 and cooling water as the cooling medium 43, and the temperature controller 45 controls the heating temperature of the heater and the flow rate of the cooling water based on the measured value of the temperature sensor 44. Adjustment is performed to control the heating / cooling plate 39 to a desired temperature. Such a temperature control technique is disclosed in, for example,
It is known as a known technique as introduced in 52636.

【0065】図5に示すように、偏光顕微鏡46は、モ
ニタカメラ47、鏡筒48、偏光フィルター49、照明
装置51、テレビジョン装置50等から構成される。
As shown in FIG. 5, the polarizing microscope 46 comprises a monitor camera 47, a lens barrel 48, a polarizing filter 49, a lighting device 51, a television device 50 and the like.

【0066】加熱冷却プレート39には予め直径3mm
程度の貫通穴(図示せず)を開けておき、加熱冷却プレ
ート39下面の前記貫通穴部に偏光フィルター49を取
り付け、さらにその下に照明装置51を配置する。
The heating and cooling plate 39 has a diameter of 3 mm in advance.
A through-hole (not shown) is opened, a polarizing filter 49 is attached to the through-hole on the lower surface of the heating / cooling plate 39, and an illumination device 51 is further disposed thereunder.

【0067】一方、前記貫通穴上部には鏡筒48を取り
付けたモニタカメラ47を設置する。鏡筒48にも偏光
フィルター49を取り付ける。加熱冷却プレート39下
面及び鏡筒48に取り付けた偏光フィルター49は、偏
光軸の向きを調節できる構造とする。照明装置51から
発せられた光は、偏光フィルター49で偏光され、加熱
冷却プレート39の貫通穴を通り、モニタカメラ47に
入る。モニタカメラ47に入った光は、テレビジョン装
置50に映像として映し出される。
On the other hand, a monitor camera 47 having a lens barrel 48 is installed above the through hole. A polarizing filter 49 is also attached to the lens barrel 48. The polarizing filter 49 attached to the lower surface of the heating / cooling plate 39 and the lens barrel 48 has a structure that can adjust the direction of the polarization axis. Light emitted from the illumination device 51 is polarized by the polarizing filter 49, passes through the through hole of the heating / cooling plate 39, and enters the monitor camera 47. The light that has entered the monitor camera 47 is projected on the television device 50 as an image.

【0068】図3及び図6に示すように、紫外線照射ス
テーション3(図1)は、ステンレス製の紫外線照射室
52、シャッター機構53、灯具54、紫外線灯55、
排気管56、冷却ファン57等から構成される。
As shown in FIGS. 3 and 6, the ultraviolet irradiation station 3 (FIG. 1) includes an ultraviolet irradiation chamber 52 made of stainless steel, a shutter mechanism 53, a lamp 54, an ultraviolet lamp 55,
It comprises an exhaust pipe 56, a cooling fan 57 and the like.

【0069】紫外線照射室52の内部に灯具54が取り
付けられ、灯具54内には反射板、熱線カットフィルタ
ー(ともに図示せず)とともに紫外線灯55が取り付け
られる。また、液晶表示素子セル61表面での照度を1
乃至15mW/cm2の範囲で可変とするため、紫外線
灯55に供給する電力を1乃至4kWの範囲で可変とし
た。
A lamp 54 is mounted inside the ultraviolet irradiation chamber 52, and an ultraviolet lamp 55 is mounted inside the lamp 54 together with a reflector and a heat ray cut filter (both not shown). The illuminance on the surface of the liquid crystal display element cell 61 is set to 1
The power supplied to the ultraviolet lamp 55 was made variable in the range of 1 to 4 kW in order to make it variable in the range of 15 to 15 mW / cm 2 .

【0070】紫外線照射室52の内には、搬送レール1
7が延長され、電圧印加治具7が搬入、搬出される。紫
外線照射室52の電圧印加治具7の導入口には、シャッ
ター機構53が備えられる。シャッター機構53は、シ
ャッター58、直動ガイド59、流体シリンダ60等か
ら構成される。
In the ultraviolet irradiation chamber 52, the transport rail 1
7 is extended, and the voltage applying jig 7 is carried in and carried out. A shutter mechanism 53 is provided at an inlet of the voltage application jig 7 in the ultraviolet irradiation chamber 52. The shutter mechanism 53 includes a shutter 58, a linear guide 59, a fluid cylinder 60, and the like.

【0071】直動ガイド59のレール部は紫外線照射室
52に固持され、シャッター58は直動ガイド59のス
ライダー部に固持される。直動ガイド59の作用によ
り、シャッター58は昇降自在に滑動する。紫外線照射
室52に固持されている、流体シリンダ60の先端が、
シャッター58に連結され、流体シリンダ60を動力源
として、シャッター58が昇降動作する。すなわち、シ
ャッター58は、電圧印加治具7の搬出入の際は、上昇
して導入口を開口させ、紫外線の照射時には下降して導
入口を塞ぎ、人体に有害な紫外線の漏洩を防ぐ。
The rail portion of the linear guide 59 is fixed to the ultraviolet irradiation chamber 52, and the shutter 58 is fixed to the slider portion of the linear guide 59. By the action of the linear motion guide 59, the shutter 58 slides up and down freely. The tip of the fluid cylinder 60 held in the ultraviolet irradiation chamber 52 is
The shutter 58 is connected to the shutter 58 and moves up and down using the fluid cylinder 60 as a power source. That is, the shutter 58 rises when the voltage application jig 7 is carried in and out, and opens the inlet, and when the ultraviolet light is irradiated, it lowers and closes the inlet, thereby preventing leakage of ultraviolet rays harmful to the human body.

【0072】密閉した空間で紫外線灯55を点灯する
と、紫外線照射室52内の温度が上昇する。過熱は、紫
外線灯55自身の損傷や、液晶物質74が等方性を示す
液体状態に相転移し、配向が乱れる等の悪影響を及ぼ
す。一般に、市販されている紫外線照射装置では、灯具
54と、図示していない排風機を排気管56で接続し、
灯具54内を排気することにより過熱を防ぐ構造となっ
ている。本発明では、灯具54内だけでなく、灯具54
周囲の雰囲気も同時に、排風機にて排気することによ
り、紫外線照射室52内の過熱を防ぐ。また、冷却ファ
ン57で外気を液晶表示素子セル61に吹き付け、液晶
表示素子セル61の過熱を防ぐ。
When the ultraviolet lamp 55 is turned on in a closed space, the temperature in the ultraviolet irradiation chamber 52 rises. The overheating has an adverse effect such as damage to the ultraviolet lamp 55 itself, a phase transition to a liquid state in which the liquid crystal substance 74 is isotropic, and disorder in the alignment. Generally, in a commercially available ultraviolet irradiation device, a lamp 54 and an exhaust fan (not shown) are connected by an exhaust pipe 56,
The inside of the lamp 54 is exhausted to prevent overheating. In the present invention, not only the lamp 54 but also the lamp 54
The surrounding atmosphere is simultaneously exhausted by the exhaust fan to prevent overheating in the ultraviolet irradiation chamber 52. The cooling fan 57 blows outside air to the liquid crystal display element cell 61 to prevent the liquid crystal display element cell 61 from overheating.

【0073】次に、図1乃至図10を用いて、本発明に
かかる液晶表示素子セルの製造方法及び製造装置の実施
例の構成について詳細に説明する。
Next, the structure of an embodiment of a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS.

【0074】図1及び図2に示すように、本発明による
液晶表示素子セルの製造装置は、セル装填ステーション
1、電圧印加治具7、搬送機構6、加熱冷却ステーショ
ン2紫外線照射ステーション3等で構成される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention comprises a cell loading station 1, a voltage application jig 7, a transport mechanism 6, a heating / cooling station 2, an ultraviolet irradiation station 3, and the like. Be composed.

【0075】図1乃至図3に示すように、搬送機構6
は、厚さ20mm×幅2900mm×奥行き1000m
mのアルミ板製の基台5上に、支柱21を介して、ステ
ンレス製で「コ」形の搬送レール15、16、17が対
向して設置されている。この対向した搬送レール15、
16、17間に、電圧印加治具7が搭載されている。電
圧印加治具7に備えられたステンレス製のローラー34
が搬送レール15、16、17の内面に接地し、電圧印
加治具7は搬送レール15、16、17上を往復自在に
滑動することができる。
As shown in FIGS. 1 to 3, the transport mechanism 6
Is 20mm thick x 2900mm wide x 1000m deep
The stainless steel “U” -shaped transfer rails 15, 16, and 17 are installed on a base 5 made of an aluminum plate having a length of m and opposed to each other with a support 21 interposed therebetween. This opposing transport rail 15,
The voltage application jig 7 is mounted between 16 and 17. Stainless steel roller 34 provided on voltage applying jig 7
Are grounded on the inner surfaces of the transport rails 15, 16, 17 and the voltage applying jig 7 can slide on the transport rails 15, 16, 17 in a reciprocating manner.

【0076】尚、搬送レール15、16、17の断面形
状は、本実施例では「コ」形だが、「L」形や「凹」
形、「工」形、「H」形、「⊥」形その他の形状を採用
してもよい。その際には、搬送レール15、16、17
の断面形状に合わせてローラー34の形状、取り付け位
置等を考慮する。また、電圧印加治具7が蛇行せず、往
復自在に滑動できるよう、搬送レール15、16、17
とローラー34を選定する必要があることはいうまでも
ない。
In this embodiment, the cross-sectional shapes of the transfer rails 15, 16, 17 are "U" -shaped, but "L" -shaped or "concave".
A shape, a “work” shape, an “H” shape, a “⊥” shape, or other shapes may be adopted. In that case, the transport rails 15, 16, 17
The shape, mounting position, etc. of the roller 34 are considered in accordance with the sectional shape of the roller 34. Also, the transport rails 15, 16, 17 are arranged so that the voltage applying jig 7 can slide back and forth without meandering.
Needless to say, the roller 34 needs to be selected.

【0077】搬送レール15、16、17とローラー3
4の材質は、本実施例では両者ともステンレス製とした
が、その他の材質を採用してもよい。但し、液晶表示素
子セルのセル組立工程の製造環境は、クラス100(1
立方フィート中に、0.5μmの塵埃を100個以下に
抑制する必要がある)のクリーンルームとするのが一般
的である。そのため、摩耗しやすい材質、腐食しやすい
材質は、塵埃を発してクリーンルームを汚染し、製造す
る製品に重大な被害を与えるおそれがあるため使用しな
いことが望ましい。
Transfer rails 15, 16, 17 and roller 3
The material 4 is made of stainless steel in this embodiment, but other materials may be adopted. However, the manufacturing environment of the cell assembling process of the liquid crystal display element cell is class 100 (1
It is necessary to suppress dust of 0.5 μm to 100 or less in a cubic foot). For this reason, it is desirable not to use materials that are easily worn or corrosive because they may emit dust and contaminate the clean room and seriously damage products to be manufactured.

【0078】電圧印加治具7は、基台5上に、搬送レー
ル15、16、17と平行に設置されたベルト20及び
プーリー19を動力伝達手段として、100Wの電動機
18によって駆動され、セル装填ステーション1、加熱
冷却ステーション2、紫外線照射ステーション3の各ス
テーション間を往復移動する。
The voltage applying jig 7 is driven by a 100 W electric motor 18 using a belt 20 and a pulley 19 installed on the base 5 in parallel with the conveying rails 15, 16 and 17 as a power transmission means, to load cells. It reciprocates between stations 1, a heating / cooling station 2, and an ultraviolet irradiation station 3.

【0079】尚、本発明の実施例では、動力源として電
動機18、動力伝達手段としてベルト20、プーリー1
9を用いているが、流体シリンダ、ボールネジ、リニア
モーター、ラック、歯車、その他これらに類する手段を
選んでもよい。但し、任意の位置に、任意の動作手順で
電圧印加治具7を移動、停止しうる手段を選ぶのが好ま
しい。
In the embodiment of the present invention, the electric motor 18 is used as the power source, the belt 20 is used as the power transmission means, and the pulley 1 is used as the power transmission means.
Although 9 is used, a fluid cylinder, a ball screw, a linear motor, a rack, a gear, or other similar means may be selected. However, it is preferable to select a means that can move and stop the voltage applying jig 7 to an arbitrary position by an arbitrary operation procedure.

【0080】図1、図2及び図4に示すように、セル装
填ステーション1は、カセット回転機構9、移載装置8
等から構成される。
As shown in FIGS. 1, 2 and 4, the cell loading station 1 includes a cassette rotating mechanism 9, a transfer device 8
And so on.

【0081】カセット回転機構9に、感光性低分子物質
を混入した液晶注入済みの液晶表示素子セル61が、例
えば20枚収納されたカセット10を、挿入口を上にし
て搭載する。
The cassette rotating mechanism 9 is loaded with, for example, a cassette 10 containing, for example, 20 liquid crystal display element cells 61 into which liquid crystal has been injected and into which a photosensitive low-molecular substance has been mixed, with the insertion opening facing upward.

【0082】カセット10の搬送は、搬送中の震動等に
より液晶表示素子セル61がカセット10から脱落する
ことのないよう、挿入口を上に向けて搬送するのが一般
的である。次に、カセット10から液晶表示素子セル6
1を抜き差しするべく、カセット回転機構9を作動し
て、カセット10を90゜回転し、挿入口を移載装置8
側に向ける。このとき、液晶表示素子セル61は、水平
面に積層する姿勢となる。
In general, the cassette 10 is transported with its insertion opening facing upward so that the liquid crystal display element cells 61 do not fall off the cassette 10 due to vibrations during transportation. Next, the liquid crystal display element cells 6
The cassette rotating mechanism 9 is operated to rotate the cassette 90 by 90 ° in order to insert / remove the cassette 1 and insert the insertion slot into the transfer device 8.
Turn to the side. At this time, the liquid crystal display element cells 61 have a posture of being stacked on a horizontal plane.

【0083】尚、カセット回転機構9は、本発明の実施
例では、動力源として旋回流体シリンダ(図示せず)、
動力伝達手段としてベルト、プーリーを用いているが、
その他これらに類する手段を選んでもよい。
Incidentally, in the embodiment of the present invention, the cassette rotating mechanism 9 includes a turning fluid cylinder (not shown) as a power source,
Although belts and pulleys are used as power transmission means,
Other means similar to these may be selected.

【0084】図示しない移載装置コントローラからの指
令で、架台4に設置されている移載装置8により、カセ
ット10から感光性低分子物質を混入した液晶注入済み
の液晶表示素子セル61が1枚抜き取られる。移載装置
8は、本発明の実施例ではX軸のストローク450m
m、Z軸のストローク300mm、θの回転範囲360
゜のXZθロボットを使用しており、X軸に吸着アーム
11が取り付けられ、液晶表示素子セル61を真空吸着
しつつ、XZθ装置の可動範囲内の任意の位置に、任意
の動作手順で移載することができる。
The transfer device 8 installed on the gantry 4 in response to a command from a transfer device controller (not shown), allows one liquid crystal display element cell 61 in which liquid crystal has been injected from the cassette 10 to which a photosensitive low-molecular substance has been mixed. It is extracted. In the embodiment of the present invention, the transfer device 8 has an X-axis stroke of 450 m.
m, Z axis stroke 300mm, θ rotation range 360
The XZθ robot is used, and the suction arm 11 is attached to the X axis, and the liquid crystal display element cell 61 is vacuum-adsorbed and transferred to an arbitrary position within the movable range of the XZθ device by an arbitrary operation procedure. can do.

【0085】尚、移載装置8として、例えば、水平多関
節型ロボット等、他の手段を用いてもよい。但し、任意
の位置に、任意の動作手順で、液晶表示素子セル61を
移載しうるものが好ましい。カセット10から抜き取ら
れた液晶表示素子セル61は、移載装置8により電圧印
加治具7に搭載される。
The transfer device 8 may be other means such as a horizontal articulated robot. However, it is preferable that the liquid crystal display element cell 61 can be transferred to an arbitrary position by an arbitrary operation procedure. The liquid crystal display element cell 61 extracted from the cassette 10 is mounted on the voltage applying jig 7 by the transfer device 8.

【0086】図7及び図8に示すように、電圧印加治具
7は、外台枠29、内台枠30、配線基板31、端子3
2、セル位置決め部33、ローラー34押さえ枠36、
押さえシリンダ37、支柱38等から構成される。尚、
押さえ枠36、押さえシリンダ37、支柱38等はセル
保持機構35として機能する。
As shown in FIGS. 7 and 8, the voltage applying jig 7 comprises an outer frame 29, an inner frame 30, a wiring board 31, and a terminal 3.
2. Cell positioning part 33, roller 34 holding frame 36,
It is composed of a holding cylinder 37, a column 38 and the like. still,
The holding frame 36, the holding cylinder 37, the column 38, and the like function as a cell holding mechanism 35.

【0087】板厚12mmのアルミ製の外台枠29の中
に、板厚10mmのアルミ製の内台枠30が嵌め込まれ
ている。内台枠30上には配線基板31が設置されてい
る。配線基板31には、例えば、印刷配線基板(一般に
プリント基板と呼ばれる)を用いるが、これに準ずる他
のものでもよい。本実施例では、銅貼りガラス基材エポ
キシ樹脂積層基板を用い、銅箔表面には腐食防止のた
め、2μmの厚さで金メッキを施した。
An aluminum inner frame 30 having a thickness of 10 mm is fitted in an aluminum outer frame 29 having a thickness of 12 mm. A wiring board 31 is provided on the inner underframe 30. As the wiring board 31, for example, a printed wiring board (generally called a printed board) is used, but other equivalent boards may be used. In this example, a copper-clad glass-based epoxy resin laminated substrate was used, and the surface of the copper foil was gold-plated with a thickness of 2 μm to prevent corrosion.

【0088】配線基板31上には端子32が備えられ
る。この端子32は、図示していない電圧発生装置から
の電圧を、配線基板31を介して液晶表示素子セル61
に供給するものである。すなわち、配線基板31の配線
と端子32は電気的に接触しており、導通している。本
実施例では、端子32として導電性ゴム(例えば、信越
ポリマー株式会社製:シンエツインターコネクターSE
C:商品名)を採用しているが、これに類するものや、
金属プローブ等を用いてもよい。また、特開平10−5
4967には、従来技術として、チューブに金属泊を巻
き付けた端子の例が記載されている。
The terminals 32 are provided on the wiring board 31. The terminal 32 applies a voltage from a voltage generator (not shown) to the liquid crystal display element cell 61 via the wiring board 31.
Is to be supplied to That is, the wiring of the wiring board 31 and the terminal 32 are in electrical contact with each other and are conductive. In the present embodiment, the terminal 32 is made of conductive rubber (for example, Shin-Etsu Interconnector SE manufactured by Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.).
C: product name), but similar or
A metal probe or the like may be used. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-5
No. 4967 describes, as a prior art, an example of a terminal in which a metal wire is wound around a tube.

【0089】前記移載装置8によって、液晶表示素子セ
ル61が1枚電圧印加治具7に搭載される。このとき、
搭載された液晶表示素子セル61の第1電極基板63に
蒸着形成されているゲート電極65とドレン電極66
が、端子32と接触しており、導通している。これによ
って、前記電圧発生装置から送られる電圧が、配線基板
31、端子32を介して液晶表示素子セル61に供給可
能となる。
The transfer device 8 mounts one liquid crystal display element cell 61 on the voltage applying jig 7. At this time,
A gate electrode 65 and a drain electrode 66 formed by vapor deposition on the first electrode substrate 63 of the mounted liquid crystal display element cell 61.
Are in contact with the terminal 32 and are conductive. Thus, the voltage sent from the voltage generator can be supplied to the liquid crystal display element cell 61 via the wiring board 31 and the terminal 32.

【0090】前記液晶表示素子セル61は、セル保持機
構35により保持される。セル保持機構35は押さえ枠
36、押さえシリンダ37、支柱38等で構成される。
The liquid crystal display element cell 61 is held by the cell holding mechanism 35. The cell holding mechanism 35 includes a holding frame 36, a holding cylinder 37, a support 38, and the like.

【0091】押さえ枠36は、本発明の実施例では、厚
さ10mmの紙基材フェノール樹脂積層板(一般にベー
クライトと呼ばれる)製としたが、他の材質を用いても
よい。但し、機械的強度や、後述の加熱冷却ステーショ
ン2での加熱処理のため、130℃程度の耐熱性が要求
される。例えば、ポリエーテルエーテルケトン樹脂や、
ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリイミド樹脂、ポ
リエーテルイミド樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、
芳香族ポリエステル樹脂等が使用できる。また、樹脂板
の厚さを、例えば5mmとし、アルミ等の金属で補強す
る方法を採ってもよい。但し、液晶表示素子セル61は
一般に、ガラス製のため、金属が直接触れるとガラス破
損の原因となり、ガラスに接触する押さえ枠36をすべ
て金属製とすることは望ましくない。
In the embodiment of the present invention, the holding frame 36 is made of a 10 mm-thick paper base phenol resin laminate (generally called bakelite), but other materials may be used. However, heat resistance of about 130 ° C. is required for mechanical strength and heat treatment in a heating / cooling station 2 described later. For example, polyetheretherketone resin,
Polyphenylene sulfide resin, polyimide resin, polyetherimide resin, polyethersulfone resin,
An aromatic polyester resin or the like can be used. Alternatively, the thickness of the resin plate may be, for example, 5 mm, and the resin plate may be reinforced with a metal such as aluminum. However, since the liquid crystal display element cell 61 is generally made of glass, direct contact with metal causes glass breakage, and it is not desirable to make all the holding frames 36 that come into contact with glass be made of metal.

【0092】前記搭載した液晶表示素子セル61に、直
径12mmの押さえシリンダ37の作用で押さえ枠36
を押圧し、液晶表示素子セル61が位置ずれしないよう
に保持するとともに、ゲート電極65、ドレン電極66
と端子32との接触を良好に保つ。尚、本発明の実施例
では、押さえシリンダに空気圧シリンダを用い、空気圧
シリンダを動作させる加圧気体は、図示していない調圧
器で空気圧を0.01MPa乃至0.5MPaの範囲で
加減し、液晶表示素子セル61と押さえ枠36との接触
圧力を適切に調節している。尚、空気圧シリンダ以外に
も、ボイスコイル等を選んでもよい。また、押圧力を任
意に調節できる手段を選ぶのが望ましいが、最適な押圧
力が求められれば、例えば、ばね加圧等、押圧力が調節
できない手段を採用することもできる。
The holding frame 36 is attached to the mounted liquid crystal display element cell 61 by the action of a holding cylinder 37 having a diameter of 12 mm.
Is pressed to hold the liquid crystal display element cell 61 so as not to be displaced, and the gate electrode 65 and the drain electrode 66 are pressed.
And the terminals 32 are kept in good contact. In the embodiment of the present invention, a pneumatic cylinder is used as the holding cylinder, and the pressurized gas for operating the pneumatic cylinder is adjusted by adjusting the air pressure within a range of 0.01 MPa to 0.5 MPa by a pressure regulator (not shown). The contact pressure between the display element cell 61 and the holding frame 36 is appropriately adjusted. Note that, other than the pneumatic cylinder, a voice coil or the like may be selected. Further, it is desirable to select a means capable of arbitrarily adjusting the pressing force. However, if an optimum pressing force is required, a means that cannot adjust the pressing force, such as a spring pressure, may be employed.

【0093】外台枠29下部にはローラー34が4基取
り付けられ、前述の通り、搬送レール15、16、17
上を、搬送機構6によって往復自在に滑動することがで
きる。
Four rollers 34 are attached to the lower part of the outer frame 29, and as described above, the transport rails 15, 16, 17
The upper part can be slid reciprocally by the transport mechanism 6.

【0094】図5に示すように、搬送レール16は、カ
ムローラー台座22、カムローラー23、直動ガイド2
4、昇降カム25、昇降シリンダ26、ステンレス製シ
ャフト27、ボールベアリング入りのブッシュ28等で
構成される昇降機構によって、自在に昇降できる。
As shown in FIG. 5, the transfer rail 16 includes a cam roller pedestal 22, a cam roller 23, and a linear motion guide 2.
4. It can be freely moved up and down by an elevating mechanism composed of an elevating cam 25, an elevating cylinder 26, a stainless steel shaft 27, a bush 28 containing a ball bearing, and the like.

【0095】搬送レール16は、基台5に取り付けられ
たボールベアリング入りブッシュ28と、ボールベアリ
ング入りブッシュ28に嵌合する直径12mmのステン
レス製シャフト27によって支えられ、昇降自在に滑動
する。
The transport rail 16 is supported by a ball bearing-containing bush 28 attached to the base 5 and a stainless steel shaft 27 having a diameter of 12 mm fitted to the ball bearing-containing bush 28, and slides vertically.

【0096】基台5上には、直径20mmの昇降シリン
ダ26と、直動ガイド24が取り付けられ、直動ガイド
24上には昇降カム25が搭載されている。昇降シリン
ダ26の先端は、昇降カム25と連結しており、直動ガ
イド24の作用で、往復自在に滑動する。搬送レール1
6には、カムローラー台座22を介して、ベアリング入
りの直径19mmのカムローラー23が取り付けられて
いる。カムローラー23は昇降カム25と接触してお
り、昇降カム25が往復動作することにより、搬送レー
ル16を昇降動作させる。昇降シリンダ26が、昇降カ
ム25を押し出した状態で、搬送レール16は上昇位置
となる。
An elevating cylinder 26 having a diameter of 20 mm and a linear guide 24 are mounted on the base 5, and an elevating cam 25 is mounted on the linear guide 24. The tip of the elevating cylinder 26 is connected to the elevating cam 25, and slides reciprocally by the action of the linear guide 24. Transport rail 1
A cam roller 23 having a diameter of 19 mm and containing a bearing is attached to 6 via a cam roller base 22. The cam roller 23 is in contact with the elevating cam 25, and the elevating cam 25 reciprocates to move the transport rail 16 up and down. With the lifting cylinder 26 pushing the lifting cam 25, the transport rail 16 is at the raised position.

【0097】尚、カムローラー台座22は、搬送レール
16に対して取り付け位置の微調節が可能で、これによ
り、搬送レール16の上昇位置の微調節ができ、搬送レ
ール16は隣接する搬送レール15、17と高さが同水
準となる。この状態で、液晶表示素子セル61を搭載し
た電圧印加治具7は、搬送レール15と搬送レール1
6、また搬送レール16と搬送レール17との乗り移り
が可能となる。
The position of the cam roller pedestal 22 can be finely adjusted with respect to the transport rail 16 so that the ascending position of the transport rail 16 can be finely adjusted. , 17 are at the same height. In this state, the voltage applying jig 7 on which the liquid crystal display element cells 61 are mounted is transported by the transport rail 15 and the transport rail 1.
6, and the transfer between the transfer rail 16 and the transfer rail 17 is enabled.

【0098】前記液晶表示素子セル61を搭載した電圧
印加治具7は、搬送機構6によってセル装填ステーショ
ン1から加熱冷却ステーション2移送される。
The voltage applying jig 7 on which the liquid crystal display element cells 61 are mounted is transferred from the cell loading station 1 to the heating / cooling station 2 by the transfer mechanism 6.

【0099】昇降シリンダ26が昇降カム25を引き寄
せると、搬送レール16とともに、電圧印加治具7も下
降する。昇降シリンダ26が下降端に達する直前に、液
晶表示素子セル61が加熱冷却プレート39に接触す
る。このとき、電圧印加治具7の内台枠30は、液晶表
示素子セル61とともに、加熱冷却プレート39上に載
っているが、外台枠29は内台枠30からはずれ、搬送
レール16とともに、下降端まで下降する。
When the lifting / lowering cylinder 26 draws the lifting / lowering cam 25, the voltage applying jig 7 is lowered together with the transport rail 16. Just before the lifting cylinder 26 reaches the lower end, the liquid crystal display element cell 61 contacts the heating / cooling plate 39. At this time, the inner underframe 30 of the voltage applying jig 7 is placed on the heating and cooling plate 39 together with the liquid crystal display element cell 61, but the outer underframe 29 is disengaged from the inner underframe 30, and together with the transport rail 16, It descends to the descending end.

【0100】このように、電圧印加治具7を、外台枠2
9と内台枠30の二重構造とすることにより、加熱冷却
プレート39上に液晶表示素子セル61が載ったとき
に、搬送レール16等の余分な荷重が、液晶表示素子セ
ル61にかかることを防ぐことができる。
As described above, the voltage applying jig 7 is connected to the outer underframe 2.
When the liquid crystal display element cell 61 is mounted on the heating / cooling plate 39, an extra load such as the transport rail 16 is applied to the liquid crystal display element cell 61 by the double structure of the inner frame 9 and the inner base frame 30. Can be prevented.

【0101】尚、前述の通り、本実施例では、搬送レー
ル16の昇降機構として、昇降シリンダ26や昇降カム
25等を用いているが、電動機やクランク機構等、その
他の手段を用いてもよい。但し、搬送レール16の上昇
位置、すなわち隣接する搬送レール15、17との高さ
が同水準となるよう、微調節ができる手段を選択するの
が好ましい。
As described above, in this embodiment, the lifting cylinder 26, the lifting cam 25, and the like are used as the lifting mechanism of the transport rail 16, but other means such as an electric motor and a crank mechanism may be used. . However, it is preferable to select a means that can be finely adjusted so that the height of the transport rail 16, that is, the height of the adjacent transport rails 15 and 17 is the same level.

【0102】図5及び図10に示すように、加熱冷却ス
テーション2(図1)は、加熱冷却プレート39、断熱
板40、台座41、加熱媒体42、冷却媒体43、温度
センサ44、温度コントローラー45、偏光顕微鏡46
等から構成される。
As shown in FIGS. 5 and 10, the heating / cooling station 2 (FIG. 1) includes a heating / cooling plate 39, a heat insulating plate 40, a pedestal 41, a heating medium 42, a cooling medium 43, a temperature sensor 44, and a temperature controller 45. , Polarizing microscope 46
And so on.

【0103】加熱冷却プレート39は、厚さ20mmの
アルミ製で、液晶表示素子セル61の表示領域62(図
9)を周囲1mmずつ拡げた寸法としている。すなわ
ち、表示領域62の寸法246mm×184mmに対し
て、加熱冷却プレート39の寸法248mm×186m
mとなる。尚、この「周囲1mm」という寸法は、液晶
表示素子セル61と加熱冷却プレート39との位置ずれ
を考慮し、表示領域62全域に加熱冷却プレート39が
確実に接触するようにしたものである。
The heating / cooling plate 39 is made of aluminum having a thickness of 20 mm, and has a size in which the display area 62 (FIG. 9) of the liquid crystal display element cell 61 is expanded by 1 mm around. That is, while the size of the display area 62 is 246 mm × 184 mm, the size of the heating / cooling plate 39 is 248 mm × 186 m.
m. Note that the dimension of "1 mm around" is such that the heating / cooling plate 39 reliably contacts the entire display area 62 in consideration of the displacement between the liquid crystal display element cell 61 and the heating / cooling plate 39.

【0104】加熱冷却プレート39を構成する材質は、
本発明の実施例ではアルミ基材に硬質アルマイト処理を
施したものとしたが、その他の材質でもよい。但し、熱
伝導性に優れたものを選ぶのが好ましい。加熱冷却プレ
ート39内部には、加熱媒体42、冷却媒体43、温度
センサ44が内蔵され、加熱媒体42と冷却媒体43、
温度センサ44は温度コントローラー45に接続され
る。加熱冷却プレート39の温度制御は、加熱媒体42
としてヒーター、冷却媒体43として冷却水を用い、温
度センサ44の測定値から、温度コントローラー45が
ヒーターの加熱温度調節と、冷却水の流量調節を行い、
加熱冷却プレート39を所望の温度に制御する。このよ
うな温度制御技術は、例えば、特開平8−152636
に紹介されているように、公知の技術として知られてい
る。
The material forming the heating / cooling plate 39 is as follows.
In the embodiment of the present invention, the aluminum base is subjected to hard alumite treatment, but other materials may be used. However, it is preferable to select one having excellent thermal conductivity. A heating medium 42, a cooling medium 43, and a temperature sensor 44 are built in the heating and cooling plate 39, and the heating medium 42, the cooling medium 43,
The temperature sensor 44 is connected to a temperature controller 45. The temperature of the heating and cooling plate 39 is controlled by the heating medium 42.
As a heater, cooling water is used as a cooling medium 43, and a temperature controller 45 adjusts a heating temperature of the heater and a flow rate of the cooling water from a measurement value of the temperature sensor 44,
The heating and cooling plate 39 is controlled to a desired temperature. Such a temperature control technique is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-152636.
, Is known as a known technique.

【0105】冷却水は、一般の市水(水道水)でも、純
水でもよい。但し、水温が一定であること、流量が変動
しないことが望ましい。また、純水は藻やバクテリアが
発生しやすく、これらが流路に付着すると冷却性能が変
化するので注意を要する。
The cooling water may be ordinary city water (tap water) or pure water. However, it is desirable that the water temperature is constant and the flow rate does not fluctuate. Also, pure water is liable to produce algae and bacteria, and if these adhere to the flow path, the cooling performance changes, so care must be taken.

【0106】図5に示すように、偏光顕微鏡46は、モ
ニタカメラ47、鏡筒48、偏光フィルター49、テレ
ビジョン装置50、照明装置51等で構成される。
As shown in FIG. 5, the polarizing microscope 46 includes a monitor camera 47, a lens barrel 48, a polarizing filter 49, a television device 50, a lighting device 51, and the like.

【0107】加熱冷却プレート39には予め直径3mm
程度の貫通穴(図示せず)を開けておき、加熱冷却プレ
ート39下面の前記貫通穴部に偏光フィルター49を取
り付け、さらにその下に照明装置51をおく。
The heating and cooling plate 39 has a diameter of 3 mm in advance.
A through-hole (not shown) is opened, a polarizing filter 49 is attached to the through-hole on the lower surface of the heating / cooling plate 39, and a lighting device 51 is placed thereunder.

【0108】一方、前記貫通穴上部には鏡筒48を取り
付けたモニタカメラ47を設置する。鏡筒48にも偏光
フィルター49を取り付ける。加熱冷却プレート39下
面及び鏡筒48に取り付けた偏光フィルター49は、偏
光軸の向きを調節できる構造とする。照明装置51から
発せられた光は、偏光フィルター49で偏光され、加熱
冷却プレート39の貫通穴を通り、モニタカメラ47に
入る。
On the other hand, a monitor camera 47 having a lens barrel 48 is installed above the through hole. A polarizing filter 49 is also attached to the lens barrel 48. The polarizing filter 49 attached to the lower surface of the heating / cooling plate 39 and the lens barrel 48 has a structure that can adjust the direction of the polarization axis. Light emitted from the illumination device 51 is polarized by the polarizing filter 49, passes through the through hole of the heating / cooling plate 39, and enters the monitor camera 47.

【0109】本実施例では、照明装置51の光源として
は、液晶表示装置のバックライトとして一般に使用され
ているものと同じ、直径6mmの冷陰極管蛍光灯を用い
た。尚、使用できる光源の種類は、冷陰極管蛍光灯に限
るものではないが、白色光を発するものを選ぶのが好ま
しい。さらに好ましくは、蛍光灯のような放電による照
明装置では、交流電源の周波数を、より高い周波数に変
調できるインバータ式電源を採用すると、テレビジョン
装置50に映し出される映像にちらつきが少なく、観察
しやすい。モニタカメラ47に入った光は、テレビジョ
ン装置50に映像として映し出される。
In this embodiment, as a light source of the illumination device 51, a cold cathode fluorescent lamp having a diameter of 6 mm, which is the same as that generally used as a backlight of a liquid crystal display device, is used. The type of light source that can be used is not limited to a cold cathode fluorescent lamp, but it is preferable to select a light source that emits white light. More preferably, in an illuminating device using a discharge such as a fluorescent lamp, if an inverter-type power supply that can modulate the frequency of an AC power supply to a higher frequency is adopted, an image displayed on the television device 50 has less flicker and is easy to observe. . The light that has entered the monitor camera 47 is projected on the television device 50 as an image.

【0110】本発明の実施例では、モニタカメラ47に
対角寸法1/2インチのCCD(charge coupled devic
e=電荷結合素子)を採用したカラーCCDカメラを用
いた。対角1/2インチのCCDは受光部寸法10mm
×8mmで、倍率12倍の拡大レンズを内蔵した鏡筒4
8と組み合わせることにより、0.8mm×0.7mm
の領域を、テレビジョン装置50に拡大して映し出すこ
とができる。通常、ノートブック型パソコンや、卓上型
モニタ等、OA用途で多用される10乃至15インチ型
の液晶表示素子セル61は、1画素の大きさが0.1m
m×0.3mm程度であるため、前記モニタカメラ47
と鏡筒48の組み合わせは、配向状態を観察するのに適
当である。
In the embodiment of the present invention, the monitor camera 47 is provided with a CCD (charge coupled device) having a diagonal size of 1/2 inch.
e = charge-coupled device). CCD with diagonal 1/2 inch is 10mm
A barrel 4 with a built-in magnifying lens of × 8 mm and a magnification of 12 times
0.8mm x 0.7mm by combining with 8
Can be enlarged and projected on the television device 50. Normally, a 10 to 15-inch type liquid crystal display element cell 61 frequently used in OA applications such as a notebook type personal computer and a desktop monitor has a pixel size of 0.1 m.
m × 0.3 mm, the monitor camera 47
The combination of the lens barrel 48 is suitable for observing the alignment state.

【0111】尚、本実施例では、顕微鏡として、モニタ
カメラ47と鏡筒48、テレビジョン装置50を用いて
いるが、光学顕微鏡またはこれらに準ずるものを用いて
もよい。
In this embodiment, the monitor camera 47, the lens barrel 48, and the television device 50 are used as microscopes. However, an optical microscope or a microscope equivalent thereto may be used.

【0112】図3及び図6に示すように、紫外線照射ス
テーション3(図1)は、ステンレス製の紫外線照射室
52、シャッター機構53、灯具54、紫外線灯55、
排気管56、冷却ファン57等から構成される。
As shown in FIGS. 3 and 6, the ultraviolet irradiation station 3 (FIG. 1) includes a stainless steel ultraviolet irradiation chamber 52, a shutter mechanism 53, a lamp 54, an ultraviolet lamp 55,
It comprises an exhaust pipe 56, a cooling fan 57 and the like.

【0113】紫外線照射室52内部に灯具54が取り付
けられ、灯具54内には反射板、熱線カットフィルター
(ともに図示せず)とともに紫外線灯55が取り付けら
れる。ここで、紫外線灯55の中心から、電圧印加治具
7に保持されている液晶表示素子セル61表面までの距
離を500mmとした。これは、液晶表示素子セル61
の表示領域62(246mm×184mm)全域を、均
一に照射するために必要かつ十分な距離である。
A lamp 54 is mounted inside the ultraviolet irradiation chamber 52, and an ultraviolet lamp 55 is mounted inside the lamp 54 together with a reflector and a heat ray cut filter (both not shown). Here, the distance from the center of the ultraviolet lamp 55 to the surface of the liquid crystal display element cell 61 held by the voltage applying jig 7 was 500 mm. This is the liquid crystal display element cell 61
Is a necessary and sufficient distance to uniformly irradiate the entire display area 62 (246 mm × 184 mm).

【0114】必要とされる紫外線の照度は、液晶表示素
子セル61の表示領域62表面で1乃至15mW/cm
2で、前記照射距離500mmにおいて、最大15mW
/cm2の照度が得られるものとして、最大出力4kW
のメタルハライド灯を採用した。尚、その他の種類の紫
外線灯として、高圧水銀灯、低圧水銀灯等があるが、分
光特性が適合せず、本装置の実施例では採用しなかっ
た。紫外線灯55には、液晶物質74中に混入する感光
性低分子物質の組成に合わせて、分光特性の適合するも
のを選べばよい。また、照度を1乃至15mW/cm2
の範囲で可変とするため、紫外線灯55に供給する電力
を1乃至4kWの範囲で可変とした。
The required illuminance of ultraviolet light is 1 to 15 mW / cm on the surface of the display area 62 of the liquid crystal display element cell 61.
2, at the irradiation distance of 500 mm, a maximum of 15 mW
/ Cm2 with a maximum output of 4 kW
Metal halide lamp was adopted. Incidentally, other types of ultraviolet lamps include a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, and the like, but the spectral characteristics did not match, and were not adopted in Examples of the present apparatus. As the ultraviolet lamp 55, one having a spectral characteristic suitable for the composition of the photosensitive low-molecular substance mixed into the liquid crystal substance 74 may be selected. Further, the illuminance is 1 to 15 mW / cm 2
, The electric power supplied to the ultraviolet lamp 55 is made variable in the range of 1 to 4 kW.

【0115】紫外線照射室52内には、搬送レール17
が延長され、電圧印加治具7が搬入、搬出される。紫外
線照射室52の電圧印加治具7の導入口には、シャッタ
ー機構53が備えられる。シャッター機構53は、板厚
5mmのアルミ製シャッター58、直動ガイド59、直
径16mmの流体シリンダ60等から構成される。
In the ultraviolet irradiation chamber 52, the transport rail 17 is provided.
Is extended, and the voltage applying jig 7 is carried in and carried out. A shutter mechanism 53 is provided at an inlet of the voltage application jig 7 in the ultraviolet irradiation chamber 52. The shutter mechanism 53 includes an aluminum shutter 58 having a thickness of 5 mm, a linear motion guide 59, a fluid cylinder 60 having a diameter of 16 mm, and the like.

【0116】直動ガイド59のレール部は紫外線照射室
52に固持され、シャッター58は、前記直動ガイド5
9のスライダー部に固持される。直動ガイド59の作用
により、シャッター58は昇降自在に滑動する。紫外線
照射室52に固持されている、流体シリンダ60の先端
が、シャッター58に連結され、流体シリンダ60を動
力源として、シャッター58が昇降動作する。すなわ
ち、シャッター58は、電圧印加治具7の搬出入の際
は、上昇して導入口を開口させ、紫外線の照射時には下
降して導入口を塞ぎ、人体に有害な紫外線の漏洩を防
ぐ。
The rail portion of the linear guide 59 is fixed to the ultraviolet irradiation chamber 52, and the shutter 58 is
9 slider part. By the action of the linear motion guide 59, the shutter 58 slides up and down freely. The distal end of the fluid cylinder 60 fixed to the ultraviolet irradiation chamber 52 is connected to the shutter 58, and the shutter 58 moves up and down using the fluid cylinder 60 as a power source. That is, the shutter 58 rises when the voltage application jig 7 is carried in and out, and opens the inlet, and when the ultraviolet light is irradiated, it lowers and closes the inlet, thereby preventing leakage of ultraviolet rays harmful to the human body.

【0117】密閉した空間で紫外線灯55を点灯する
と、紫外線照射室52内の温度が上昇する。過熱は、紫
外線灯55自身の損傷や、液晶物質74が等方性を示す
液体状態に相転移し、配向が乱れる等の悪影響をおよぼ
す。
When the ultraviolet lamp 55 is turned on in a closed space, the temperature in the ultraviolet irradiation chamber 52 rises. The overheating has an adverse effect such as damage to the ultraviolet lamp 55 itself, phase transition to a liquid state in which the liquid crystal material 74 shows isotropicity, and disorder in the alignment.

【0118】一般に、市販されている紫外線照射装置で
は、灯具54と、図示していない排風機を排気管56で
接続し、灯具54内を排気することにより過熱を防ぐ構
造となっている。本発明の実施例では、灯具54内だけ
でなく、灯具54周囲の雰囲気も同時に、排風機にて排
気することにより、紫外線照射室52内の過熱を防ぐ。
また、冷却ファン57で外気を液晶表示素子セル61に
吹き付け、液晶表示素子セル61の過熱を防ぐ。これら
の施策により、紫外線照射室52内雰囲気、液晶表示素
子セル61とも、温度は最高で50℃程度となってい
る。
In general, a commercially available ultraviolet irradiator has a structure in which the lamp 54 is connected to a ventilator (not shown) by an exhaust pipe 56 and the inside of the lamp 54 is exhausted to prevent overheating. In the embodiment of the present invention, not only the inside of the lamp 54 but also the atmosphere around the lamp 54 is simultaneously exhausted by the exhaust fan to prevent overheating in the ultraviolet irradiation chamber 52.
The cooling fan 57 blows outside air to the liquid crystal display element cell 61 to prevent the liquid crystal display element cell 61 from overheating. As a result of these measures, the temperature of the atmosphere in the ultraviolet irradiation chamber 52 and the temperature of the liquid crystal display element cell 61 are about 50 ° C. at the maximum.

【0119】次に、図12及び図13を中心に参照しな
がら、本発明にかかる液晶表示素子セルの製造装置(以
下、本装置と称す)の実施例の動作について詳細に説明
する。
Next, the operation of the embodiment of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention (hereinafter referred to as the present apparatus) will be described in detail with reference to FIGS.

【0120】感光性低分子物質を混入した液晶物質74
(図14)を注入し、図注入孔を封止した液晶表示素子
セル61を、図4に示すように、例えば、20枚、カセ
ット10に装填し、液晶表示素子セル61を装填したカ
セット10を、挿入口を上にしてセル装填ステーション
1のカセット回転機構9に装填する。このとき、第1電
極基板63(図9)が図4において右側になるようにカ
セット10を装填する(STEP1)。
Liquid crystal material 74 mixed with a photosensitive low molecular weight material
As shown in FIG. 4, for example, 20 liquid crystal display element cells 61 in which (FIG. 14) is injected and the injection hole is sealed are loaded in the cassette 10 and the cassette 10 in which the liquid crystal display element cells 61 are loaded. Is loaded into the cassette rotating mechanism 9 of the cell loading station 1 with the insertion opening facing up. At this time, the cassette 10 is loaded so that the first electrode substrate 63 (FIG. 9) is on the right side in FIG. 4 (STEP 1).

【0121】次に、製造する液晶表示素子セル61の品
種を、操作盤12で選択する。ホストシーケンスコント
ローラー67(図10)には、品種パラメータとして、
加熱温度、温度勾配、紫外線照度、紫外線積算光量等が
記憶されている。本装置の起動スイッチ13(図4)を
作業者が押すと、本装置の自動運転動作が開始される
(STEP2〜STEP3)。
Next, the type of the liquid crystal display element cell 61 to be manufactured is selected on the operation panel 12. The host sequence controller 67 (FIG. 10)
A heating temperature, a temperature gradient, an ultraviolet illuminance, an ultraviolet integrated light amount, and the like are stored. When the operator presses the start switch 13 (FIG. 4) of the present apparatus, the automatic operation of the present apparatus is started (STEP2 to STEP3).

【0122】まず、図4において、カセット回転機構9
が90゜回転し、挿入口が移載装置8側に向く。このと
き、液晶表示素子セル61は、第1電極基板63(図
9)が上、第2電極基板64(図9)が下向きとなる姿
勢になる(STEP4)。
First, referring to FIG.
Rotates 90 °, and the insertion opening faces the transfer device 8 side. At this time, the liquid crystal display element cell 61 is in a posture in which the first electrode substrate 63 (FIG. 9) is upward and the second electrode substrate 64 (FIG. 9) is downward (STEP 4).

【0123】次に、図4において、移載装置8が作動
し、吸着アーム11がカセット10内に挿入され、最上
段の液晶表示素子セル61を真空吸着して、カセット1
0から抜き取る(STEP5)。
Next, in FIG. 4, the transfer device 8 is operated, the suction arm 11 is inserted into the cassette 10, and the uppermost liquid crystal display element cell 61 is vacuum-sucked.
Extract from 0 (STEP 5).

【0124】次に、吸着アーム11が180゜回転し、
図8に示すように、抜き取った液晶表示素子セル61を
電圧印加治具7の内台枠30と押さえ枠36の間に挿入
する。ここで、電圧印加治具7は予めセル装填ステーシ
ョン1(図1)に移動しておき、セル保持機構35を開
放状態としておく。電圧印加治具7内に挿入された液晶
表示素子セル61は、第1電極基板63のゲート電極6
5とドレン電極66が下向きとなって、端子32に接触
し導通する。また、セル位置決め部33によりその外形
が位置決めされる(STEP6)。
Next, the suction arm 11 rotates by 180 °,
As shown in FIG. 8, the removed liquid crystal display element cell 61 is inserted between the inner underframe 30 and the holding frame 36 of the voltage applying jig 7. Here, the voltage applying jig 7 is moved to the cell loading station 1 (FIG. 1) in advance, and the cell holding mechanism 35 is opened. The liquid crystal display element cell 61 inserted in the voltage applying jig 7 is connected to the gate electrode 6 of the first electrode substrate 63.
5 and the drain electrode 66 face downward to contact and conduct with the terminal 32. Further, the outer shape is positioned by the cell positioning unit 33 (STEP 6).

【0125】次に、セル保持機構35の押さえシリンダ
37が作動し、液晶表示素子セル61を、内台枠30と
押さえ枠36で挟持する。挟持することで、液晶表示素
子セル61の位置ずれを防止するとともに、ゲート電極
65、ドレン電極66と端子32との接触を良好に保つ
ことができる(STEP7)。
Next, the holding cylinder 37 of the cell holding mechanism 35 operates to hold the liquid crystal display element cell 61 between the inner frame 30 and the holding frame 36. By sandwiching, the displacement of the liquid crystal display element cell 61 can be prevented, and the contact between the gate electrode 65 and the drain electrode 66 and the terminal 32 can be kept good (STEP 7).

【0126】次に、搬送機構6の電動機18(図2)を
起動し、電圧印加治具7を加熱冷却ステーション2(図
1)に移動させる。図5に示すように、電圧印加治具7
に挟持されている液晶表示素子セル61の表示領域62
中心が、加熱冷却プレート39の中心と一致したところ
で電圧印加治具7の移動を停止する(STEP8)。
Next, the electric motor 18 (FIG. 2) of the transport mechanism 6 is started, and the voltage applying jig 7 is moved to the heating / cooling station 2 (FIG. 1). As shown in FIG.
Display area 62 of liquid crystal display element cell 61 sandwiched between
When the center coincides with the center of the heating / cooling plate 39, the movement of the voltage applying jig 7 is stopped (STEP 8).

【0127】次に、搬送レール16の昇降シリンダ26
を起動し、昇降カム25を昇降シリンダ26寄りに引き
寄せる。昇降カム25に接触しているカムローラー23
が、昇降カム25の形状に従って下降する。すなわち、
搬送レール16と搬送レール16上にある電圧印加治具
7が下降する。下降途中において、搬送レール16が下
降端に達する前に、液晶表示素子セル61が加熱冷却プ
レート39に接地する。搬送レール16と電圧印加治具
7はさらに下降端まで下がろうとするが、電圧印加治具
7の外台枠29から内台枠30が抜け、液晶表示素子セ
ル61に過大な荷重がかかることを防ぐ(STEP
9)。
Next, the lifting cylinder 26 of the transport rail 16
Is started, and the lifting cam 25 is drawn toward the lifting cylinder 26. Cam roller 23 in contact with lifting cam 25
Descends according to the shape of the elevating cam 25. That is,
The transport rail 16 and the voltage applying jig 7 on the transport rail 16 are lowered. During the lowering, the liquid crystal display element cell 61 is grounded to the heating / cooling plate 39 before the transport rail 16 reaches the lowering end. The transfer rail 16 and the voltage applying jig 7 attempt to further descend to the lower end, but the inner frame 30 comes off the outer frame 29 of the voltage applying jig 7 and an excessive load is applied to the liquid crystal display element cell 61. (STEP
9).

【0128】次に、図11に示すように、加熱冷却プレ
ート39(図10)を加熱し、液晶表示素子セル61を
加熱する。例えば、相転移温度が80℃の場合、液晶物
質74(図14)が等方性を示す液体状態に相転移する
のに十分な温度である100℃まで加熱する。尚、本装
置起動時より、加熱冷却プレート39を50℃に余熱し
ておくと(STEP3)、液晶表示素子セル61を10
0℃まで加熱するのに要する時間を短縮することができ
る(STEP10)。
Next, as shown in FIG. 11, the heating / cooling plate 39 (FIG. 10) is heated to heat the liquid crystal display element cell 61. For example, when the phase transition temperature is 80 ° C., the liquid crystal material 74 (FIG. 14) is heated to 100 ° C., which is a temperature sufficient for a phase transition to a liquid state showing isotropicity. If the heating / cooling plate 39 is preheated to 50 ° C. from the start of the apparatus (STEP 3), the liquid crystal display element cell 61 is set at 10 ° C.
The time required for heating to 0 ° C. can be reduced (STEP 10).

【0129】次に、温度センサ44(図10)により、
例えば上記例の場合、液晶表示素子セル61が100℃
になったことを検知すると、従来の特開平10−203
23号に記載の技術のように、電圧発生装置を起動し
て、画素電極70に5V・5Hzの正弦波電圧を第3の
電極79に10V・5Hzの正弦波電圧を印加する(S
TEP11〜STEP12)。
Next, the temperature sensor 44 (FIG. 10)
For example, in the case of the above example, the liquid crystal display element cell 61 has a temperature of 100 ° C.
Is detected, the conventional Japanese Patent Laid-Open No. 10-203
As in the technique described in No. 23, the voltage generator is started to apply a 5V / 5Hz sine wave voltage to the pixel electrode 70 and a 10V / 5Hz sine wave voltage to the third electrode 79 (S
(TEP11 to STEP12).

【0130】次に、図11に示すように、加熱冷却プレ
ート39(図10)を、例えば−10℃/分の温度勾配
で冷却する。本実施例による温度コントローラー45
は、ホストシーケンスコントローラー67から設定温度
を指示されると、温度センサ44の値を読み取りなが
ら、加熱媒体42と冷却媒体43の作用を調節して、加
熱冷却プレート39の温度を設定温度に近づける。
Next, as shown in FIG. 11, the heating / cooling plate 39 (FIG. 10) is cooled at a temperature gradient of, for example, -10 ° C./min. Temperature controller 45 according to the present embodiment
When the set temperature is instructed from the host sequence controller 67, the action of the heating medium 42 and the cooling medium 43 is adjusted while reading the value of the temperature sensor 44 so that the temperature of the heating and cooling plate 39 approaches the set temperature.

【0131】所定時間おきに設定温度を1℃下げるよう
に、ホストシーケンスコントローラー67から温度コン
トローラー45に指示すると、略々一定の温度勾配が得
られる。前記所定時間を変えることにより、任意の温度
勾配が得られる。この温度勾配による徐冷を、液晶物質
74(図14)が異方性を示す状態に相転移する温度以
下になるまで続ける。
When the host sequence controller 67 instructs the temperature controller 45 to lower the set temperature by 1 ° C. every predetermined time, a substantially constant temperature gradient is obtained. By changing the predetermined time, an arbitrary temperature gradient can be obtained. The gradual cooling by the temperature gradient is continued until the temperature becomes lower than the temperature at which the liquid crystal material 74 (FIG. 14) undergoes a phase transition to an anisotropic state.

【0132】例えば、相転移温度が80℃の場合、50
℃になるまで除冷を続行する。図20の従来例に示すよ
うに、画素電極70と第3の電極79に電圧を印加した
状態で、液晶物質74を、等方性を示す状態から異方性
を示す状態へ相転移させると、液晶分子75が再配向さ
れる(STEP13〜STEP14)。
For example, when the phase transition temperature is 80 ° C., 50
Continue cooling down to ℃. As shown in the conventional example of FIG. 20, when a voltage is applied to the pixel electrode 70 and the third electrode 79, the liquid crystal material 74 undergoes a phase transition from an isotropic state to an anisotropic state. Then, the liquid crystal molecules 75 are re-aligned (STEP 13 to STEP 14).

【0133】次に、温度センサ44(図10)により、
例えば上記例の場合、50℃になったことを検知した
ら、冷却を停止する。加熱冷却プレート39は50℃に
保温する(STEP15)。
Next, the temperature sensor 44 (FIG. 10)
For example, in the case of the above example, when it is detected that the temperature has reached 50 ° C., the cooling is stopped. The heating and cooling plate 39 is kept at 50 ° C. (STEP 15).

【0134】次に、前記電圧印加を続行しつつ、図5に
おいて、搬送レール16の昇降シリンダ26を起動し、
昇降カム25を押し出す。すると、昇降カム25に接触
しているカムローラー23が、昇降カム25の形状に従
って上昇する。すなわち、搬送レール16と、搬送レー
ル16上にある電圧印加治具7が上昇し、液晶表示素子
セル61は、加熱冷却プレート39から剥離される。搬
送レール16は、上昇端まで上昇すると、隣接する搬送
レール17と高さが同水準となり、搬送レール17へ電
圧印加治具7の乗り移りが可能となる(STEP1
6)。
Next, while continuing the voltage application, the lifting cylinder 26 of the transport rail 16 is activated in FIG.
The lifting cam 25 is pushed out. Then, the cam roller 23 in contact with the elevating cam 25 moves up according to the shape of the elevating cam 25. That is, the transport rail 16 and the voltage applying jig 7 on the transport rail 16 are raised, and the liquid crystal display element cell 61 is separated from the heating / cooling plate 39. When the transport rail 16 rises to the rising end, the height becomes the same level as the adjacent transport rail 17, and the voltage applying jig 7 can be transferred to the transport rail 17 (STEP 1).
6).

【0135】次に、図6において、紫外線照射室52の
シャッター機構53を起動して紫外線照射室52の導入
口を開口する(STEP17)。
Next, in FIG. 6, the shutter mechanism 53 of the ultraviolet irradiation chamber 52 is activated to open the inlet of the ultraviolet irradiation chamber 52 (STEP 17).

【0136】次に、前記電圧印加を続行しつつ、搬送機
構6を起動して電圧印加治具7を紫外線照射ステーショ
ン3(図1)に移動する。そして、図5に示すように、
電圧印加治具7に挟持されている液晶表示素子セル61
の表示領域62の中心が、紫外線灯55の中心の直下に
一致したら搬送を停止する(STEP18)。
Next, while continuing the voltage application, the transport mechanism 6 is started to move the voltage application jig 7 to the ultraviolet irradiation station 3 (FIG. 1). And as shown in FIG.
Liquid crystal display element cell 61 sandwiched between voltage applying jigs 7
Is stopped when the center of the display area 62 coincides with immediately below the center of the ultraviolet lamp 55 (STEP 18).

【0137】次に、図6において、紫外線照射室52の
シャッター機構53を起動して紫外線照射室52の導入
口を閉塞する(STEP19)。
Next, in FIG. 6, the shutter mechanism 53 of the ultraviolet irradiation chamber 52 is activated to close the inlet of the ultraviolet irradiation chamber 52 (STEP 19).

【0138】次に、前記電圧印加を続行しつつ、紫外線
灯55(図3)を所定時間点灯させる。例えば、照度1
0mW/cm2で3分照射する。尚、照度の切り替え
は、予め紫外線灯電源の出力を設定しておく。紫外線灯
55の点灯と同時に、紫外線照射による紫外線照射室5
2の過熱、及び紫外線灯55自身の過熱を防ぐため、図
示しない排風機を起動し、紫外線照射室52内の熱気を
排出する。さらに、紫外線照射による液晶表示素子セル
61の過熱を防ぐため、冷却ファン57を起動し、外気
を液晶表示素子セル61に噴射する(STEP20)。
Next, the ultraviolet lamp 55 (FIG. 3) is turned on for a predetermined time while the voltage application is continued. For example, illuminance 1
Irradiate at 0 mW / cm 2 for 3 minutes. The illuminance is switched by setting the output of the ultraviolet lamp power supply in advance. At the same time when the ultraviolet lamp 55 is turned on, the ultraviolet irradiation chamber 5 is irradiated with ultraviolet light.
In order to prevent the overheating of the second and the overheating of the ultraviolet lamp 55 itself, an exhaust fan (not shown) is activated to discharge the hot air in the ultraviolet irradiation chamber 52. Further, in order to prevent the liquid crystal display element cell 61 from being overheated due to the irradiation of ultraviolet rays, the cooling fan 57 is started to inject outside air into the liquid crystal display element cell 61 (STEP 20).

【0139】次に、所定の照射時間が経過したら、すな
わち、照射量が所定の積算光量に達したら、紫外線灯5
5を消灯する。また、冷却ファン57を停止する。さら
に、前記電圧印加を停止する。尚、前記排風機による紫
外線照射室52内の熱気の排気は、紫外線照射室52内
が室温(20乃至25℃)になるまで続ける(STEP
21〜STEP22)。
Next, after a predetermined irradiation time has elapsed, that is, when the irradiation amount has reached a predetermined integrated light amount, the ultraviolet lamp 5
5 is turned off. Further, the cooling fan 57 is stopped. Further, the voltage application is stopped. The exhaust of the hot air in the ultraviolet irradiation chamber 52 by the exhaust fan is continued until the inside of the ultraviolet irradiation chamber 52 reaches room temperature (20 to 25 ° C.) (STEP
21 to STEP 22).

【0140】次に、図6において、紫外線照射室52の
シャッター機構53を起動して紫外線照射室52の導入
口を開口する(STEP23)。
Next, in FIG. 6, the shutter mechanism 53 of the ultraviolet irradiation chamber 52 is activated to open the inlet of the ultraviolet irradiation chamber 52 (STEP 23).

【0141】次に、図1及び図2に示すように、搬送機
構6を起動して、電圧印加治具7をセル装填ステーショ
ン1に移動する(STEP24)。
Next, as shown in FIGS. 1 and 2, the transfer mechanism 6 is activated, and the voltage application jig 7 is moved to the cell loading station 1 (STEP 24).

【0142】次に、図8に示すように、セル保持機構3
5の押さえシリンダ37を起動し、押さえ枠36を上昇
させて、再配向済みの液晶表示素子セル61の挟持を解
除する(STEP25)。
Next, as shown in FIG.
The pressing cylinder 37 of No. 5 is activated, the pressing frame 36 is raised, and the holding of the realigned liquid crystal display element cell 61 is released (STEP 25).

【0143】次に、移載装置8の吸着アーム11(図
4)を、押さえ枠36と液晶表示素子セル61の間に挿
入し、再配向済みの液晶表示素子セル61を真空吸着し
て、電圧印加治具7より抜き取る(STEP26)。
Next, the suction arm 11 (FIG. 4) of the transfer device 8 is inserted between the holding frame 36 and the liquid crystal display cell 61, and the realigned liquid crystal display cell 61 is vacuum-adsorbed. It is extracted from the voltage application jig 7 (STEP 26).

【0144】次に、図4において、吸着アーム11が1
80゜回転し、カセット10に再配向済みの液晶表示素
子セル61を挿入する(STEP27)。
Next, in FIG.
After rotating by 80 °, the realigned liquid crystal display element cell 61 is inserted into the cassette 10 (STEP 27).

【0145】次に、カセット10内の、次段の液晶表示
素子セルについて、STEP5〜STEP27を繰り返
す(STEP28)。
Next, STEP 5 to STEP 27 are repeated for the next stage liquid crystal display cell in the cassette 10 (STEP 28).

【0146】次に、カセット10内のすべての液晶表示
素子セル61の再配向が完了したら、カセット回転機構
9を起動し、カセット10を90゜回転させる。カセッ
ト10は、挿入口が上方を向く姿勢となる(STEP2
9)。
Next, when the realignment of all the liquid crystal display element cells 61 in the cassette 10 is completed, the cassette rotating mechanism 9 is started to rotate the cassette 10 by 90 °. The cassette 10 is in a posture in which the insertion opening faces upward (STEP 2).
9).

【0147】次に、警報装置14を鳴動し、作業者に自
動運転動作が終了したことを告げて、一連の動作が終了
する。作業者は、再配向が完了した液晶表示素子セル6
1が、例えば20枚装填された前記カセット10を次工
程へ移す(STEP30〜STEP31)。
Next, the alarm device 14 is sounded to notify the worker that the automatic driving operation has been completed, and the series of operations is completed. The operator operates the liquid crystal display element cell 6 whose realignment is completed.
1 moves the cassette 10 loaded with, for example, 20 sheets to the next step (STEP 30 to STEP 31).

【0148】尚、偏光顕微鏡46(図5)は、前記一連
の動作には関わらず、随時モニタ動作が可能である。
The polarizing microscope 46 (FIG. 5) can monitor at any time, irrespective of the series of operations.

【0149】また、図17に示すように、本発明の液晶
表示素子セルの製造装置の他の実施例として、セル装填
ステーション1を、コンベア装置69で図示しない前後
工程装置と接続する。そして、前工程での加工処理が完
了した液晶表示素子セル61がカセット10に装填さ
れ、コンベア装置69を経てセル装填ステーション1の
カセット回転機構9に搭載される。また、本装置で配向
が完了した液晶表示素子セル61が装填されたカセット
10を、コンベア装置69を経て後工程装置へ送り出
す。これにより、マルチドメイン方式液晶表示素子セル
の全自動一貫生産が可能になる。
As shown in FIG. 17, as another embodiment of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention, the cell loading station 1 is connected to a front-rear process device (not shown) by a conveyor device 69. Then, the liquid crystal display element cells 61 which have been processed in the previous process are loaded into the cassette 10 and are mounted on the cassette rotating mechanism 9 of the cell loading station 1 via the conveyor device 69. In addition, the cassette 10 loaded with the liquid crystal display element cells 61 whose alignment has been completed by the present apparatus is sent out to the post-processing apparatus via the conveyor apparatus 69. This enables fully automatic integrated production of a multi-domain liquid crystal display element cell.

【0150】[0150]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶分子が未配向の液晶表示素子セルの電圧印加手段へ
の搭載、液晶表示素子セルの加熱、液晶表示素子セルへ
の電圧の印加、液晶表示素子セルの冷却、液晶表示素子
セルへの紫外線の照射、液晶表示素子セルに印加してい
る電圧の解除、配向が完了した液晶表示素子セルの電圧
印加手段からの回収の各々の工程を自動で連続して行う
ことができるため、マルチドメイン方式液晶表示素子セ
ルを工業的に生産することができ、マルチドメイン方式
液晶表示素子セルを安価かつ大量に生産することが可能
になる。
As described above, according to the present invention,
Mounting the liquid crystal display element cell in which liquid crystal molecules are not aligned on the voltage applying means, heating the liquid crystal display element cell, applying voltage to the liquid crystal display element cell, cooling the liquid crystal display element cell, applying ultraviolet light to the liquid crystal display element cell. The steps of irradiating, canceling the voltage applied to the liquid crystal display element cell, and recovering the liquid crystal display element cell after the alignment is completed from the voltage applying means can be automatically and continuously performed. Display element cells can be industrially produced, and multi-domain liquid crystal display element cells can be produced inexpensively and in large quantities.

【0151】また、本発明によれば、液晶表示素子セル
を加熱冷却プレートに搭載する際に、内台枠が、外台枠
からはずれ、外台枠や搬送レール等の荷重が液晶表示素
子セルに加わらないため、液晶表示素子セルを破損する
ことがなく、これにより、液晶表示素子セルの製品歩留
まりが向上する。
Further, according to the present invention, when the liquid crystal display element cell is mounted on the heating / cooling plate, the inner frame is disengaged from the outer frame, and the load of the outer frame and the transfer rail is reduced. Therefore, the liquid crystal display element cell is not damaged, thereby improving the product yield of the liquid crystal display element cell.

【0152】さらに、本発明によれば、温度コントロー
ラにより、相転移を起こす温度以上になるまで、温度セ
ンサで監視しつつ、液晶表示素子セルを加熱することが
でき、相転移を起こす温度以下になるまで、温度センサ
で監視しつつ、液晶表示素子セルを一定の温度勾配で冷
却できるとともに、加熱冷却手段として、加熱冷却プレ
ートを用い、加熱冷却プレートと液晶表示素子セルが接
触していることにより、加熱冷却プレートの温度変化と
液晶表示素子セルの温度変化が同期し、液晶表示素子セ
ルを加熱冷却プレートに搭載する際に、内台枠が、外台
枠からはずれ、外台枠や搬送レール等の荷重が、液晶表
示素子セルに加わらないため、液晶表示素子セルが変形
せず、液晶表示素子セルの表示領域と加熱冷却プレート
が、確実に接触して、加熱冷却プレートの温度変化と液
晶表示素子セルの温度変化が同期し、加熱冷却プレート
を、液晶表示素子セルの表示領域より僅かに広い寸法と
したことで液晶表示素子セルの表示領域全面を加熱冷却
することができるため、液晶物質が、確実に相転移で
き、配向不良を防ぎ、製品の歩留まりが向上する。
Further, according to the present invention, the liquid crystal display element cell can be heated by the temperature controller while monitoring the temperature with the temperature sensor until the temperature becomes higher than the temperature at which the phase transition occurs. Until the liquid crystal display element cell can be cooled with a constant temperature gradient while monitoring with a temperature sensor, and a heating / cooling plate is used as a heating / cooling means, and the heating / cooling plate is in contact with the liquid crystal display element cell. When the temperature change of the heating / cooling plate and the temperature change of the liquid crystal display element cell are synchronized, when the liquid crystal display element cell is mounted on the heating / cooling plate, the inner frame is disengaged from the outer frame, Since the load such as is not applied to the liquid crystal display element cell, the liquid crystal display element cell is not deformed, and the display area of the liquid crystal display element cell and the heating / cooling plate are securely contacted. The temperature change of the heating / cooling plate and the temperature change of the liquid crystal display element cell are synchronized, and the heating / cooling plate is slightly wider than the display area of the liquid crystal display element cell to heat the entire display area of the liquid crystal display element cell. Since the liquid crystal material can be cooled, the liquid crystal material can surely undergo a phase transition, prevent poor alignment, and improve the product yield.

【0153】また、本発明によれば、セル位置決め部に
より、液晶表示素子セルが電圧印加治具内で位置決めさ
れ、ゲート電極とドレン電極が、端子に確実に接触し、
導通するとともに、セル保持機構により、液晶表示素子
セルが電圧印加治具の端子に押圧され、液晶表示素子セ
ルのゲート電極、及びドレン電極と、端子が確実に接触
し、導通し、液晶表示素子セルを加熱冷却プレートに搭
載する際、内台枠が、外台枠からはずれ、外台枠や搬送
レール等の荷重が、液晶表示素子セルに加わらず、液晶
表示素子セルが変形せず、液晶表示素子セルのゲート電
極、及びドレン電極と、電圧印加治具の端子が確実に接
触し、導通するため、画素電極と第3の電極へ、確実に
電圧印加が行われ、配向不良を防ぎ、製品の歩留まりが
向上する。
Further, according to the present invention, the liquid crystal display element cell is positioned in the voltage applying jig by the cell positioning section, and the gate electrode and the drain electrode are securely brought into contact with the terminal.
When the liquid crystal display element cell is pressed by the terminal of the voltage applying jig by the cell holding mechanism, the terminal is securely brought into contact with the gate electrode and the drain electrode of the liquid crystal display element cell, and the liquid crystal display element is turned on. When the cell is mounted on the heating / cooling plate, the inner frame is disengaged from the outer frame, and the load of the outer frame and transport rails is not applied to the liquid crystal display element cells, the liquid crystal display element cells are not deformed, and the liquid crystal Since the gate electrode and drain electrode of the display element cell and the terminal of the voltage applying jig surely contact and conduct, the voltage is reliably applied to the pixel electrode and the third electrode, preventing poor alignment, Product yield is improved.

【0154】さらに、本発明によれば、照射する紫外線
の積算光量が、常に一定となるよう、照射時間を管理し
ているため、液晶物質中に混入した感光性低分子物質
が、確実に重合反応することができ、紫外線照射室内の
雰囲気を排気し、紫外線照射室内温度の上昇を防ぐこと
で、液晶表示素子セルの過熱を防ぎ、再配向した液晶物
質が、再び相転移することを防ぐことができ、冷却ファ
ンにより、液晶表示素子セルに外気を噴射することで、
液晶表示素子セルの過熱を防ぎ、再配向した液晶物質
が、再び相転移することを防ぐことができ、電圧印加治
具にローラーを具備することで、液晶表示素子セルへの
電圧印加を中断することなく、加熱、冷却、紫外線照
射、及び、加熱冷却ステーションと紫外線照射ステーシ
ョンとの移動が可能であるため、液晶分子の配向状態を
良好に維持することができ、製品歩留まりが向上する。
Further, according to the present invention, since the irradiation time is controlled so that the integrated amount of ultraviolet light to be irradiated is always constant, the photosensitive low-molecular substance mixed in the liquid crystal substance is surely polymerized. Able to react, exhaust the atmosphere in the ultraviolet irradiation chamber, prevent the temperature of the ultraviolet irradiation chamber from rising, prevent overheating of the liquid crystal display element cell, and prevent the realigned liquid crystal material from undergoing a phase transition again. By using a cooling fan to inject outside air into the liquid crystal display cell,
The overheating of the liquid crystal display element cell can be prevented, the liquid crystal material that has been re-aligned can be prevented from undergoing a phase transition again, and the application of a voltage to the liquid crystal display element cell can be interrupted by providing the voltage applying jig with a roller. Since heating, cooling, ultraviolet irradiation, and movement between the heating and cooling station and the ultraviolet irradiation station can be performed without any problem, the alignment state of the liquid crystal molecules can be maintained well, and the product yield is improved.

【0155】さらに、本発明によれば、マルチドメイン
方式液晶表示素子セルの液晶分子を配向する際に、各工
程をホストシーケンスコントローラからの指令で自動的
に行われ、人手を介在せずに行われるため、マルチドメ
イン方式液晶表示素子セルを、安定した品質で工業的生
産を可能にすることである。これにより、作業者の能力
に関わらず、製品歩留まりが向上し、製品の品質を一定
に保つことができる。
Further, according to the present invention, when the liquid crystal molecules of the multi-domain mode liquid crystal display element cell are aligned, each step is automatically performed by a command from the host sequence controller, and can be performed without human intervention. Therefore, it is an object of the present invention to enable industrial production of a multi-domain liquid crystal display element cell with stable quality. Thereby, regardless of the ability of the worker, the product yield is improved, and the quality of the product can be kept constant.

【0156】また、本発明によれば、加熱温度を最高1
30℃まで設定でき、使用する液晶物質にあった加熱温
度を選ぶことができ、液晶表示素子セルの加熱温度をホ
ストシーケンスコントローラに品種パラメータとして持
ち、選択された品種に応じた加熱温度が自動的に設定さ
れ、冷却時の温度勾配を−1℃/分乃至−20℃/分の
範囲で可変できるため、使用する液晶物質にあった温度
勾配を選ぶことができ、冷却時の温度勾配をホストシー
ケンスコントローラに品種パラメータとして持ち、選択
された品種に応じた温度勾配が自動的に設定されるた
め、異なる成分の液晶物質を使用していても、同一装置
で生産でき、多品種生産が可能となるため装置の稼働率
が向上する。
Further, according to the present invention, the heating temperature is set to a maximum of 1
The temperature can be set up to 30 ° C, and the heating temperature suitable for the liquid crystal material to be used can be selected. The heating temperature of the liquid crystal display element cell is stored as a kind parameter in the host sequence controller, and the heating temperature according to the selected kind is automatically set. The temperature gradient at the time of cooling can be varied in the range of -1 ° C / min to -20 ° C / min, so that a temperature gradient suitable for the liquid crystal material to be used can be selected. Since the temperature is automatically set according to the selected product type in the sequence controller as a product type parameter, even if liquid crystal materials of different components are used, it can be produced by the same device and multi-product production is possible. Therefore, the operation rate of the apparatus is improved.

【0157】さらに、本発明によれば、紫外線の照度を
1mW/cm2乃至15mW/cm2の範囲で可変できる
ため、使用する感光性低分子物質にあった紫外線照度を
選ぶことができ、紫外線の照度を、ホストシーケンスコ
ントローラに品種パラメータとして持ち、選択された品
種に応じた照度が自動的に設定され、紫外線照射時間を
任意に設定することができ、すなわち、使用する感光性
低分子物質に適した、紫外線積算光量を照射することが
でき、紫外線の照射時間を、ホストシーケンスコントロ
ーラに品種パラメータとして持ち、選択された品種に応
じた照射時間、すなわち、紫外線積算光量が自動的に設
定されるため、異なる成分の感光性低分子物質を使用し
ていても、同一装置で生産することができる。そのた
め、多品種生産が可能となり、装置の稼働率が向上す
る。
Further, according to the present invention, since the illuminance of ultraviolet light can be varied in the range of 1 mW / cm 2 to 15 mW / cm 2 , it is possible to select an ultraviolet illuminance suitable for the photosensitive low-molecular substance to be used. Illuminance as a kind parameter in the host sequence controller, the illuminance according to the selected kind is automatically set, and the UV irradiation time can be set arbitrarily. It is possible to irradiate an appropriate integrated UV light amount, and the UV irradiation time is stored as a type parameter in the host sequence controller, and the irradiation time according to the selected type, that is, the integrated UV light amount is automatically set. Therefore, even if photosensitive low-molecular substances having different components are used, they can be produced by the same apparatus. Therefore, multi-kind production becomes possible, and the operation rate of the apparatus is improved.

【0158】また、本発明によれば、加熱冷却ステーシ
ョンに偏光顕微鏡を備え、随時配向状態を観察すること
ができるため、万一配向不良が生じても、紫外線を照射
する前に早期発見でき、配向のやり直しができるため、
製品歩留まりが向上する。
Further, according to the present invention, a polarization microscope is provided in the heating / cooling station, and the alignment state can be observed at any time. Therefore, even if an alignment defect occurs, it can be detected early before irradiation with ultraviolet rays. Since the orientation can be redone,
Product yield is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる液晶表示素子セルの製造装置の
一実施例を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing one embodiment of an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention.

【図2】本発明にかかる液晶表示素子セルの製造装置の
一実施例を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing one embodiment of an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to the present invention.

【図3】図1の液晶表示素子セルの製造装置の左側面図
である。
FIG. 3 is a left side view of the apparatus for manufacturing the liquid crystal display element cell of FIG.

【図4】図1の液晶表示素子セルの製造装置のセル装填
ステーションの正面図である。
FIG. 4 is a front view of a cell loading station of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of FIG. 1;

【図5】図1の液晶表示素子セルの製造装置の液晶表示
素子セルの製造装置の過熱冷却ステーションの正面図で
ある。
5 is a front view of an overheating cooling station of the liquid crystal display element cell manufacturing apparatus of FIG. 1;

【図6】図1の液晶表示素子セルの製造装置の紫外線照
射ステーションの正面図である。
FIG. 6 is a front view of an ultraviolet irradiation station of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of FIG.

【図7】図1の液晶表示素子セルの製造装置の電圧印加
治具の斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view of a voltage applying jig of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of FIG.

【図8】図1の液晶表示素子セルの製造装置の電圧印加
治具の斜視図である。
8 is a perspective view of a voltage applying jig of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of FIG.

【図9】図1の製造装置によって製造される液晶表示素
子セルの斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view of a liquid crystal display element cell manufactured by the manufacturing apparatus of FIG.

【図10】図1の液晶表示素子セルの製造装置の過熱冷
却プレートを表す模式図である。
FIG. 10 is a schematic diagram showing a superheated cooling plate of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of FIG.

【図11】図1の液晶表示素子セルの製造装置の温度制
御要領を表すグラフである。
FIG. 11 is a graph showing a temperature control procedure of the apparatus for manufacturing the liquid crystal display element cell of FIG.

【図12】図1の液晶表示素子セルの製造装置の動作を
示すフローチャートである。
FIG. 12 is a flowchart showing an operation of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of FIG. 1;

【図13】図1の液晶表示素子セルの製造装置の動作を
示すフローチャートである。
FIG. 13 is a flowchart showing an operation of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell of FIG. 1;

【図14】液晶表示素子セルの概略構造を模式的に示す
断面図である。
FIG. 14 is a cross-sectional view schematically showing a schematic structure of a liquid crystal display element cell.

【図15】液晶表示素子セルの概略構造を模式的に示す
斜視図である。
FIG. 15 is a perspective view schematically showing a schematic structure of a liquid crystal display element cell.

【図16】液晶表示素子セルの概略構造を模式的に示す
断面図である。
FIG. 16 is a sectional view schematically showing a schematic structure of a liquid crystal display element cell.

【図17】本発明のその他の実施例による、液晶表示素
子セルの製造装置の平面図である。
FIG. 17 is a plan view of an apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to another embodiment of the present invention.

【図18】従来の液晶表示素子セルの一例を示すを示す
断面図である。
FIG. 18 is a sectional view showing an example of a conventional liquid crystal display element cell.

【図19】従来の液晶表示素子セルの一例を示すを示す
断面図である。
FIG. 19 is a sectional view showing an example of a conventional liquid crystal display element cell.

【図20】従来の液晶表示素子セルの一例を示すを示す
断面図である。
FIG. 20 is a sectional view showing an example of a conventional liquid crystal display element cell.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セル装填ステーション 2 加熱冷却ステーション 3 紫外線照射ステーション 4 架台 5 基台 6 搬送機構 7 電圧印加治具 8 移載装置 9 カセット回転機構 10 カセット 11 吸着アーム 12 操作盤 13 起動スイッチ 14 警報装置 15、16、17 搬送レール 18 電動機 19 プーリー 20 ベルト 21 支柱 22 カムローラー台座 23 カムローラー 24 直動ガイド 25 昇降カム 26 昇降シリンダ 27 シャフト 28 ブッシュ 29 外台枠 30 内台枠 31 配線基板 32 端子 33 セル位置決め部 34 ローラー 35 セル保持機構 36 押さえ枠 37 押さえシリンダ 38 支柱 39 加熱冷却プレート 40 断熱板 41 台座 42 加熱媒体 43 冷却媒体 44 温度センサ 45 温度コントローラー 46 偏光顕微鏡 47 モニタカメラ 48 鏡筒 49 偏光フィルター 50 テレビジョン装置 51 照明装置 52 紫外線照射室 53 シャッター機構 54 灯具 55 紫外線灯 56 排気管 57 冷却ファン 58 シャッター 59 直動ガイド 60 流体シリンダ 61 液晶表示素子セル 62 表示領域 63 第1電極基板 64 第2電極基板 65 ゲート電極 66 ドレン電極 67 ホストシーケンスコントローラー 68 流量調節弁 69 コンベア装置 70 画素電極 71 共通電極 72 偏光板 73 配向層 74 液晶物質 75 液晶分子 76 バックライト 77 アクティブ素子 78 開口部 79 第3の電極 80、81 領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cell loading station 2 Heating / cooling station 3 Ultraviolet irradiation station 4 Stand 5 Base 6 Transport mechanism 7 Voltage application jig 8 Transfer device 9 Cassette rotation mechanism 10 Cassette 11 Suction arm 12 Operation panel 13 Start switch 14 Alarm device 15, 16 , 17 Transport rail 18 Electric motor 19 Pulley 20 Belt 21 Support 22 Cam roller pedestal 23 Cam roller 24 Linear guide 25 Elevating cam 26 Elevating cylinder 27 Shaft 28 Bush 29 Outer frame 30 Inner frame 31 Wiring board 32 Terminal 33 Cell positioning part 34 roller 35 cell holding mechanism 36 holding frame 37 holding cylinder 38 support 39 heating / cooling plate 40 heat insulating plate 41 pedestal 42 heating medium 43 cooling medium 44 temperature sensor 45 temperature controller 46 polarizing microscope 47 Camera 48 lens barrel 49 polarizing filter 50 television device 51 lighting device 52 ultraviolet irradiation chamber 53 shutter mechanism 54 lamp 55 ultraviolet lamp 56 exhaust pipe 57 cooling fan 58 shutter 59 linear guide 60 fluid cylinder 61 liquid crystal display element cell 62 display area 63 First electrode substrate 64 Second electrode substrate 65 Gate electrode 66 Drain electrode 67 Host sequence controller 68 Flow control valve 69 Conveyor device 70 Pixel electrode 71 Common electrode 72 Polarizing plate 73 Alignment layer 74 Liquid crystal substance 75 Liquid crystal molecule 76 Backlight 77 Active element 78 opening 79 third electrode 80, 81 region

Claims (20)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マルチドメイン方式液晶表示素子セルの
液晶分子を配向する際に、液晶分子が未配向の液晶表示
素子セルの電圧印加手段への搭載、液晶表示素子セルの
加熱、液晶表示素子セルへの電圧の印加、液晶表示素子
セルの冷却、液晶表示素子セルへの紫外線の照射、液晶
表示素子セルに印加している電圧の解除、配向が完了し
た液晶表示素子セルの電圧印加手段からの回収の各々の
工程を自動で連続して行うことを特徴とする液晶表示素
子セルの製造方法。
When a liquid crystal molecule of a multi-domain type liquid crystal display cell is aligned, mounting of the liquid crystal display cell in which liquid crystal molecules are not aligned on a voltage applying means, heating of the liquid crystal display cell, liquid crystal display cell Voltage, cooling the liquid crystal display element cell, irradiating the liquid crystal display element cell with ultraviolet light, releasing the voltage applied to the liquid crystal display element cell, A method for manufacturing a liquid crystal display element cell, wherein each step of collection is automatically and continuously performed.
【請求項2】 前記電圧印加手段に前記液晶表示素子セ
ルを搭載し、該液晶表示素子セルに電圧を印加しつつ、
該液晶表示素子セルを冷却し、紫外線を照射することを
特徴とする請求項1記載の液晶表示素子セルの製造方
法。
2. The liquid crystal display element cell is mounted on the voltage applying means, and a voltage is applied to the liquid crystal display element cell.
2. The method according to claim 1, wherein the liquid crystal display cell is cooled and irradiated with ultraviolet light.
【請求項3】 前記液晶表示素子セルの表示領域の周囲
より僅かに広い領域を過熱、冷却することを特徴とする
請求項1記載の液晶表示素子セルの製造方法。
3. The method for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 1, wherein an area slightly larger than a periphery of a display area of the liquid crystal display element cell is heated and cooled.
【請求項4】 前記液晶表示素子セルを一定の温度勾配
で冷却することを特徴とする請求項1記載の液晶表示素
子セルの製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein the liquid crystal display element cell is cooled at a constant temperature gradient.
【請求項5】 液晶表示素子セルへ電圧を印加する手段
と、 前記液晶表示素子を前記電圧印可手段に搭載する手段
と、 前記液晶表示素子セルを加熱する手段と、 前記液晶表示素子セルを冷却する手段と、 前記液晶表示素子セルへ紫外線を照射する手段と、 前記液晶表示素子セルに印加している電圧を解除する手
段と、 前記液晶表示素子セルを前記電圧印加手段から回収する
手段と、 前記各手段を制御する手段とを備えたことを特徴とする
液晶表示素子セルの製造装置。
5. A means for applying a voltage to a liquid crystal display element cell, a means for mounting the liquid crystal display element on the voltage applying means, a means for heating the liquid crystal display element cell, and cooling the liquid crystal display element cell Means for irradiating the liquid crystal display element cell with ultraviolet light, means for canceling the voltage applied to the liquid crystal display element cell, means for collecting the liquid crystal display element cell from the voltage applying means, A liquid crystal display element cell manufacturing apparatus, comprising: means for controlling each of the above means.
【請求項6】 前記電圧印加手段に液晶表示素子セルを
搭載し、前記電圧印可手段によって前記液晶表示素子セ
ルに電圧を印加しつつ、前記冷却手段によって前記液晶
表示素子セルを冷却するとともに、前記紫外線照射手段
によって前記液晶表示素子セルに紫外線を照射すること
を特徴とする請求項5記載の液晶表示素子セルの製造装
置。
6. A liquid crystal display element cell is mounted on the voltage applying means, and while applying a voltage to the liquid crystal display element cell by the voltage applying means, the liquid crystal display element cell is cooled by the cooling means. 6. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 5, wherein the liquid crystal display element cell is irradiated with ultraviolet light by an ultraviolet irradiation means.
【請求項7】 前記電圧印可手段はローラーを備え、前
記液晶表示素子セルを加熱、冷却する加熱冷却ステーシ
ョンと、前記液晶表示素子セルに紫外線を照射する紫外
線照射ステーションとの間において、液晶表示素子セル
に電圧を印加しつつ移動することを特徴とする請求項5
記載または6記載の液晶表示素子セルの製造装置。
7. The liquid crystal display element is provided between a heating / cooling station for heating and cooling the liquid crystal display element cell and an ultraviolet irradiation station for irradiating the liquid crystal display element cell with ultraviolet light. 6. The cell moves while applying a voltage to the cell.
7. The apparatus for producing a liquid crystal display element cell according to item 6 or 6.
【請求項8】 前記電圧印可手段は、電圧発生装置から
の電圧を端子を介して前記液晶表示素子セルに供給する
配線基板を備えた内台枠と、該内台枠が嵌め込まれると
ともに前記ローラーを備えた外台枠とを有することを特
徴とする請求項7記載の液晶表示素子セルの製造装置。
8. An inner frame having a wiring board for supplying a voltage from a voltage generating device to the liquid crystal display element cell via a terminal, the inner frame being fitted into the inner frame, and the roller being applied to the roller. 8. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 7, further comprising an outer frame having:
【請求項9】 前記電圧印可手段は、前記液晶表示素子
セルを位置決めするセル位置決め部を有し、該セル位置
決め部によって前記液晶表示素子セルのゲート端子とド
レン端子が電圧印加手段の端子と確実に接触することを
特徴とする請求項7記載の液晶表示素子セルの製造装
置。
9. The voltage applying means has a cell positioning part for positioning the liquid crystal display element cell, and the gate positioning part and the drain terminal of the liquid crystal display element cell are surely connected to the terminal of the voltage applying means by the cell positioning part. 8. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 7, wherein the liquid crystal display element cell is brought into contact with.
【請求項10】 前記電圧印可手段は、任意の保持力で
前記液晶表示素子セルを挟持するセル保持機構を有し、
該セル保持機構によって前記液晶表示素子セルのゲート
端子とドレン端子が前記電圧印加手段の端子と確実に接
触することを特徴とする請求項7記載の液晶表示素子セ
ルの製造装置。
10. The voltage applying means has a cell holding mechanism for holding the liquid crystal display element cell with an arbitrary holding force,
8. The apparatus according to claim 7, wherein the cell holding mechanism ensures that the gate terminal and the drain terminal of the liquid crystal display element cell are in contact with the terminal of the voltage applying means.
【請求項11】 前記液晶表示素子セルを加熱、冷却す
るための加熱冷却プレートが、前記液晶表示素子セルの
表示領域の周囲より僅かに広い領域と面接触し、加熱冷
却を行うことを特徴とする請求項5記載の液晶表示素子
セルの製造装置。
11. A heating and cooling plate for heating and cooling the liquid crystal display element cell is brought into surface contact with an area slightly larger than the periphery of a display area of the liquid crystal display element cell to perform heating and cooling. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 5.
【請求項12】 前記加熱手段によって、前記液晶表示
素子セルの前記加熱温度を最高130℃まで任意に設定
可能としたことを特徴とする前記請求項5記載の液晶表
示素子セルの製造装置。
12. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 5, wherein the heating means can arbitrarily set the heating temperature of the liquid crystal display element cell up to 130 ° C.
【請求項13】 前記冷却手段によって、前記液晶表示
素子セルを一定の温度勾配による冷却を可能としたこと
を特徴とする請求項5記載の液晶表示素子セルの製造装
置。
13. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 5, wherein said cooling means makes it possible to cool said liquid crystal display element cell with a constant temperature gradient.
【請求項14】 前記加熱手段によって液晶表示素子セ
ルを加熱する際に、液晶物質の相転移温度より20℃高
い温度に達したことを検出し、加熱を確実に行うことを
特徴とする請求項5記載の液晶表示素子セルの製造装
置。
14. When the liquid crystal display element cell is heated by the heating means, it is detected that the temperature has reached a temperature 20 ° C. higher than the phase transition temperature of the liquid crystal material, and the heating is reliably performed. 6. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to item 5.
【請求項15】 前記冷却手段によって加熱した液晶表
示素子セルを冷却する際に、液晶物質の相転移温度より
30℃低い温度に達したことを検出し、冷却を確実に行
うことを特徴とする請求項5記載の液晶表示素子セルの
製造装置。
15. When cooling the liquid crystal display element cell heated by the cooling means, it is detected that the temperature has reached a temperature lower by 30 ° C. than the phase transition temperature of the liquid crystal substance, and the cooling is surely performed. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 5.
【請求項16】 前記紫外線照射手段によって前記液晶
表示素子セルへ照射される紫外線の照度を可変としたこ
とを特徴とする請求項5記載の液晶表示素子セルの製造
装置。
16. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 5, wherein the illuminance of ultraviolet light irradiated to said liquid crystal display element cell by said ultraviolet irradiation means is variable.
【請求項17】 前記紫外線照射手段によって前記液晶
表示素子セルへ照射される紫外線液晶表示素子セルに照
射する紫外線の照射時間を任意に設定可能としたことを
特徴とする前記請求項5記載の液晶表示素子セルの製造
装置。
17. The liquid crystal according to claim 5, wherein the irradiation time of the ultraviolet light applied to the liquid crystal display element cell by the ultraviolet light irradiating means can be set arbitrarily. Display device cell manufacturing equipment.
【請求項18】 紫外線灯の灯具及び紫外線照射室内の
雰囲気を排気することにより、紫外線灯の発する輻射熱
による紫外線照射室及び液晶表示素子セルの過熱を防止
することを特徴とする請求項5記載の液晶表示素子セル
の製造装置。
18. The method according to claim 5, wherein the atmosphere of the lamp of the ultraviolet lamp and the interior of the ultraviolet irradiation chamber is exhausted to prevent the ultraviolet irradiation chamber and the liquid crystal display element cell from being overheated due to the radiant heat generated by the ultraviolet lamp. Equipment for manufacturing liquid crystal display element cells.
【請求項19】 冷却ファンを備え、該冷却ファンによ
り外気を前記液晶表示素子セルに噴射し、紫外線照射に
よる前記液晶表示素子セルの過熱を防止することを特徴
とする請求項5記載の液晶表示素子セルの製造装置。
19. The liquid crystal display according to claim 5, further comprising a cooling fan, wherein the cooling fan injects outside air to the liquid crystal display element cell to prevent the liquid crystal display element cell from being overheated by ultraviolet irradiation. Device cell manufacturing equipment.
【請求項20】 前記液晶表示素子セルの加熱、冷却中
の配向状態を観察するため偏光顕微鏡を有することを特
徴とする請求項5記載の液晶表示素子セルの製造装置。
20. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display element cell according to claim 5, further comprising a polarizing microscope for observing an alignment state during heating and cooling of the liquid crystal display element cell.
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