JP2009245968A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ゲート酸化膜の耐圧劣化を抑制した半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】表面にエピタキシャル層12が形成され、裏面に第1の絶縁膜14が形成された半導体基板10を準備する第1工程と、エピタキシャル層12の半導体基板10とは反対側の面に酸化膜16を形成する第2工程と、第1の絶縁膜14の半導体基板10とは反対側の面に第2の絶縁膜18を形成する第3工程と、酸化膜16を除去する第4工程と、を有する。
【選択図】なし
【解決手段】表面にエピタキシャル層12が形成され、裏面に第1の絶縁膜14が形成された半導体基板10を準備する第1工程と、エピタキシャル層12の半導体基板10とは反対側の面に酸化膜16を形成する第2工程と、第1の絶縁膜14の半導体基板10とは反対側の面に第2の絶縁膜18を形成する第3工程と、酸化膜16を除去する第4工程と、を有する。
【選択図】なし
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関するものであり、特に、半導体基板の裏面がゲッタリング処理された半導体装置の製造方法に関する。
半導体基板としてのシリコン基板上に、シリコンをエピタキシャル成長させて形成されるシリコンウェハ(例えば、特許文献1参照)は、急峻な接合濃度プロファイルが得られるなど、デバイス設計上のメリットが大きく、有望視されている。
ゲート酸化膜の耐圧を向上させる観点から、シリコン基板の表面にエピタキシャル層を形成し、当該シリコン基板の裏面に窒化膜やポリシリコン膜からなるゲッタリング層を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献2〜4参照)。
しかしながら、従来の半導体装置の製造方法では、その後の製造プロセスにおいて、ゲッタリング層が除去されシリコン基板の裏面が露出する場合があり、裏面が露出した状態でゲート酸化膜を形成すると、ゲッタリング効果が失われているためにゲート酸化膜に汚染物質が混入し、ゲート酸化膜の耐圧が劣化する。
本発明は、前記問題点に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明の目的は、ゲート酸化膜の耐圧劣化を抑制した半導体装置の製造方法を提供することにある。
即ち、本発明の目的は、ゲート酸化膜の耐圧劣化を抑制した半導体装置の製造方法を提供することにある。
本発明者は鋭意検討した結果、以下の半導体装置の製造方法を発明するに至った。
即ち、本発明の半導体装置の製造方法は、表面にエピタキシャル層が形成され、裏面に第1の絶縁膜が形成された半導体基板を準備する第1工程と、前記エピタキシャル層の、前記半導体基板とは反対側の面に酸化膜を形成する第2工程と、前記第1の絶縁膜の、前記半導体基板とは反対側の面に第2の絶縁膜を形成する第3工程と、前記酸化膜を除去する第4工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、表面にエピタキシャル層が形成され、裏面に第1の絶縁膜が形成された半導体基板を準備する第1工程と、前記エピタキシャル層の、前記半導体基板とは反対側の面に酸化膜を形成する第2工程と、前記第1の絶縁膜を除去する第3工程と、前記半導体基板の裏面に第2の絶縁膜を形成する第4工程と、前記酸化膜を除去する第5工程と、を有することを特徴とする。
即ち、本発明の半導体装置の製造方法は、表面にエピタキシャル層が形成され、裏面に第1の絶縁膜が形成された半導体基板を準備する第1工程と、前記エピタキシャル層の、前記半導体基板とは反対側の面に酸化膜を形成する第2工程と、前記第1の絶縁膜の、前記半導体基板とは反対側の面に第2の絶縁膜を形成する第3工程と、前記酸化膜を除去する第4工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、表面にエピタキシャル層が形成され、裏面に第1の絶縁膜が形成された半導体基板を準備する第1工程と、前記エピタキシャル層の、前記半導体基板とは反対側の面に酸化膜を形成する第2工程と、前記第1の絶縁膜を除去する第3工程と、前記半導体基板の裏面に第2の絶縁膜を形成する第4工程と、前記酸化膜を除去する第5工程と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、ゲート酸化膜の耐圧劣化を抑制した半導体装置の製造方法を提供することができる。
以下に、本発明の半導体装置の製造方法を実施するための最良の形態について、図面により説明する。なお、重複する説明は省略する場合がある。
本発明における半導体装置の製造方法は、エピタキシャル層を形成した後、エピタキシャル層を保護するために酸化膜を形成するものである。また、ゲート酸化膜を形成する際、ゲート酸化膜中に不純物が混入するのをより確実に防止するため、第2の絶縁膜を別途形成するものである。
以下、本発明の実施形態について詳述する。
以下、本発明の実施形態について詳述する。
<第1の実施形態>
まず、図1(A)のように、半導体基板(シリコン基板)10を用意し、公知のエピタキシャル成長装置により、半導体基板10の表面にエピタキシャル層12を形成する。この際、半導体基板10の裏面にも、例えば膜厚が500nm〜1000nm程度の第1の絶縁膜14(以下、適宜、「ゲッタリング膜」と称する)が形成されている。本実施形態では、800nmの第1の絶縁膜14を形成した。
そして、エピタキシャル層12上に、酸化膜16を形成する。この酸化膜16は、エピタキシャル層12が形成された半導体基板10を酸素雰囲気や水蒸気雰囲気による熱酸化にて形成してもよく、酸化膜を公知のCVD法にて別途形成してもよい。この酸化膜16は、後述する第2の絶縁膜を成膜したのち、半導体基板10の表面に形成された第2の絶縁膜を除去する際に、エピタキシャル層12を保護するために設けられたものである。
酸化膜16の膜厚としては、前述の効果を奏する膜厚であれば特に限定されない。本実施形態では、50nmの酸化膜16を形成した。
まず、図1(A)のように、半導体基板(シリコン基板)10を用意し、公知のエピタキシャル成長装置により、半導体基板10の表面にエピタキシャル層12を形成する。この際、半導体基板10の裏面にも、例えば膜厚が500nm〜1000nm程度の第1の絶縁膜14(以下、適宜、「ゲッタリング膜」と称する)が形成されている。本実施形態では、800nmの第1の絶縁膜14を形成した。
そして、エピタキシャル層12上に、酸化膜16を形成する。この酸化膜16は、エピタキシャル層12が形成された半導体基板10を酸素雰囲気や水蒸気雰囲気による熱酸化にて形成してもよく、酸化膜を公知のCVD法にて別途形成してもよい。この酸化膜16は、後述する第2の絶縁膜を成膜したのち、半導体基板10の表面に形成された第2の絶縁膜を除去する際に、エピタキシャル層12を保護するために設けられたものである。
酸化膜16の膜厚としては、前述の効果を奏する膜厚であれば特に限定されない。本実施形態では、50nmの酸化膜16を形成した。
次いで、図1(B)のように、前述の半導体基板10をLPCVD(減圧CVD)装置に投入し、LPCVD法により、第2の絶縁膜18を第1の絶縁膜の半導体基板10とは反対側の面に形成する。本実施形態では、膜厚が190nmの窒化膜18を形成した。
そして、図1(C)のように、エピタキシャル層16上の第2の絶縁膜18を、例えば公知のドライエッチングにより除去することにより、第1の絶縁膜14の半導体基板10とは反対側の面に第2の絶縁膜18が残されることになる。本発明では、前記ドライエッチングによりエッチング粕等が装置内に残存しても、酸化膜16が形成されているため、エッチング粕等がエピタキシャル層12に進入することを阻止する効果を奏する。また、第2の絶縁膜18として窒化膜を用いると フッ酸等のエッチャントを用いたウェットエッチング耐性に極めて優れるため、前述の第1の絶縁膜14の膜厚を薄くすることが可能となる。
最後に、図1(D)のように、例えばフッ酸等のエッチャントを用いたウエットエッチングにて酸化膜16を除去して、裏面に第1と第2の絶縁膜が設けられ、表面にエピタキシャル層12が設けられた半導体基板10で構成される構造体100を製造することができる。このような構造の基板に対してゲート酸化膜の形成等、種々の工程を経て半導体装置が製造される。
本実施形態では、半導体基板10の裏面に800nmのCVD膜と190nmの窒化膜を形成しているが、フッ酸等のエッチャントの組成・温度等によりCVD膜や窒化膜のエッチング速度が変わる。従って、本発明では、このような膜厚に限定されることはなく、ゲート酸化膜の形成時に半導体基板10の裏面にCVD膜や窒化膜が残存するような膜厚に適宜調整すればよい。
なお、前述のように、半導体基板10の裏面に、更にポリシリコン膜や窒化膜を形成してもよく、製造時間との兼ね合いや、ゲート酸化膜形成時におけるエッチャントとの関係で、膜厚や材質を適宜選択することができる。これは、後述する第2、第3の実施形態においても同様の態様をとることができる。
<第2の実施形態>
まず、図2(A)のように、図1(A)と同様にして、表面にエピタキシャル層22、酸化膜26、裏面に第1の絶縁膜24が形成された半導体基板20を準備する。
まず、図2(A)のように、図1(A)と同様にして、表面にエピタキシャル層22、酸化膜26、裏面に第1の絶縁膜24が形成された半導体基板20を準備する。
次いで、図2(B)のように、例えば、酸化膜26の表面をレジストにてコーティングし、フッ酸等のエッチャントを用いたウェットエッチングにより半導体基板20の裏面に形成された第1の絶縁膜24を除去する。これは、エピタキシャル層の形成後に、ポリバックシール(ゲッタリング層)を追加形成可能にするためである。
次いで、図2(C)のように、前述の半導体基板20をLPCVD(減圧CVD)装置に投入し、LPCVD法により、例えば膜厚が1000nm〜2000nm程度の第2の絶縁膜28を半導体基板10の周囲に形成する。本実施形態では、例えば、膜厚が1500nmのポリシリコン膜28を半導体基板20の周囲に形成する。
その後の工程は、図2(D)、(E)のように、図1(C)、(D)と同様にして半導体基板20の裏面に絶縁膜28を形成することにより、図2(E)に示すような構造体200の基板を製造することができる。この基板を用いて、第1の実施形態同様に、ゲート酸化膜の形成等を行い、半導体装置を製造することができる。
また、本実施形態のように半導体基板を加工することにより、ポリバックシール(ゲッタリング層)を追加形成することができる。
<第3の実施形態>
まず、図3(A)、(B)のように、図2(A)、(B)と同様にして、エピタキシャル層32の、半導体基板30とは反対側の面に酸化膜36を形成し、半導体基板30の裏面に形成された第1の絶縁膜34を除去する。
次いで、図3(C)のように、第2の絶縁膜の一層目(ポリシリコン膜)37及び第2の絶縁膜の2層目(窒化膜)38をLPCVDにて順次積層する。
そして、図3(D)のように、半導体基板30の表面側に形成されたポリシリコン膜37、及び窒化膜38を公知のドライエッチングにて除去する。
最後に、図3(E)のように、半導体基板30の裏面に残されたポリシリコン膜37、及び窒化膜38をマスクとし、酸化膜36を除去して、半導体基板30の裏面にポリシリコン膜37と窒化膜38とが設けられた構造体300を製造することができる。この基板を用いて、第1、2の実施形態同様に、ゲート酸化膜の形成等を行い、半導体装置を製造することができる。
まず、図3(A)、(B)のように、図2(A)、(B)と同様にして、エピタキシャル層32の、半導体基板30とは反対側の面に酸化膜36を形成し、半導体基板30の裏面に形成された第1の絶縁膜34を除去する。
次いで、図3(C)のように、第2の絶縁膜の一層目(ポリシリコン膜)37及び第2の絶縁膜の2層目(窒化膜)38をLPCVDにて順次積層する。
そして、図3(D)のように、半導体基板30の表面側に形成されたポリシリコン膜37、及び窒化膜38を公知のドライエッチングにて除去する。
最後に、図3(E)のように、半導体基板30の裏面に残されたポリシリコン膜37、及び窒化膜38をマスクとし、酸化膜36を除去して、半導体基板30の裏面にポリシリコン膜37と窒化膜38とが設けられた構造体300を製造することができる。この基板を用いて、第1、2の実施形態同様に、ゲート酸化膜の形成等を行い、半導体装置を製造することができる。
また、本実施形態では、第2の実施形態のように1500nm程度の厚い絶縁膜を形成することができない場合や、ドライエッチングで厚い絶縁膜を除去することができない場合には、本実施形態のように半導体基板を加工することにより、ポリバックシール(ゲッタリング層)を追加形成することができる。
<第3の実施形態の変形例>
第3の実施形態の変形例は、第3の実施形態において、半導体基板の表面に形成されたポリシリコン膜や窒化膜を除去する工程順を変えた製造方法である。
具体的には、図4(C)のように、第2の絶縁膜の1層目(ポリシリコン膜)47を形成した後、公知のドライエッチングにて半導体基板40の表面側の第2の絶縁膜の1層目(ポリシリコン膜)を除去する。そして、図4(D)のように、第2の絶縁膜の2層目(窒化膜)48をLPCVDにて更に積層した後、公知のドライエッチングにて半導体基板40の表面側の第2の絶縁膜の2層目(窒化膜)を除去する。
このようにして製造された構造体400は、構造体300と同じ構成である。
第3の実施形態の変形例は、第3の実施形態において、半導体基板の表面に形成されたポリシリコン膜や窒化膜を除去する工程順を変えた製造方法である。
具体的には、図4(C)のように、第2の絶縁膜の1層目(ポリシリコン膜)47を形成した後、公知のドライエッチングにて半導体基板40の表面側の第2の絶縁膜の1層目(ポリシリコン膜)を除去する。そして、図4(D)のように、第2の絶縁膜の2層目(窒化膜)48をLPCVDにて更に積層した後、公知のドライエッチングにて半導体基板40の表面側の第2の絶縁膜の2層目(窒化膜)を除去する。
このようにして製造された構造体400は、構造体300と同じ構成である。
前述の方法にて製造した各構造体100,200,300において、膜厚が100nmのゲート酸化膜を形成し、ゲート酸化膜の絶縁耐圧を評価した。なお、第3の実施形態の変形例については、得られた構成が同一であるため、第3の実施形態と同一の結果が得られたので、実験結果を省略する。
また、比較例として、図5のように、半導体基板50の裏面に第1の絶縁膜54(CVD膜)を800nm形成した後、半導体基板50の表面にエピタキシャル層52を形成した構造体500において、エピタキシャル層52上に100nmのゲート酸化膜を形成してゲート酸化膜の絶縁耐圧を評価した。結果を図6、7、8に示す。
評価方法としては、カーブトレーサを用い、各実施形態にて製造した半導体基板(WAF.)を4ロット用い、各ロットにつき図6(A)のように13点の耐圧を測定した。
また、比較例として、図5のように、半導体基板50の裏面に第1の絶縁膜54(CVD膜)を800nm形成した後、半導体基板50の表面にエピタキシャル層52を形成した構造体500において、エピタキシャル層52上に100nmのゲート酸化膜を形成してゲート酸化膜の絶縁耐圧を評価した。結果を図6、7、8に示す。
評価方法としては、カーブトレーサを用い、各実施形態にて製造した半導体基板(WAF.)を4ロット用い、各ロットにつき図6(A)のように13点の耐圧を測定した。
図6〜8より、本実施形態では、4枚のウエハのいずれの箇所においても高い耐圧を示すことが明らかになった。
以上より、本発明の半導体装置の製造方法により製造した構造体である基板は、従来の製造方法にて製造した基板を用いた場合と比べてゲート酸化膜の耐圧の劣化を抑制することができる。
以上より、本発明の半導体装置の製造方法により製造した構造体である基板は、従来の製造方法にて製造した基板を用いた場合と比べてゲート酸化膜の耐圧の劣化を抑制することができる。
10、20、30、40 半導体基板
12、22、32、42 エピタキシャル層
14、24、34、44、 第1の絶縁膜
16、26、36、46 酸化膜
18、28、37、38、47、48 第2の絶縁膜
100、200、300、400 構造体
12、22、32、42 エピタキシャル層
14、24、34、44、 第1の絶縁膜
16、26、36、46 酸化膜
18、28、37、38、47、48 第2の絶縁膜
100、200、300、400 構造体
Claims (6)
- 表面にエピタキシャル層が形成され、裏面に第1の絶縁膜が形成された半導体基板を準備する第1工程と、
前記エピタキシャル層の、前記半導体基板とは反対側の面に酸化膜を形成する第2工程と、
前記第1の絶縁膜の、前記半導体基板とは反対側の面に第2の絶縁膜を形成する第3工程と、
前記酸化膜を除去する第4工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第3工程において、前記第2の絶縁膜が窒化膜及びポリシリコン膜からなる群より選択される少なくとも1つであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3工程において、前記第2の絶縁膜が、ポリシリコン膜、窒化膜の順に積層されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 表面にエピタキシャル層が形成され、裏面に第1の絶縁膜が形成された半導体基板を準備する第1工程と、
前記エピタキシャル層の、前記半導体基板とは反対側の面に酸化膜を形成する第2工程と、
前記第1の絶縁膜を除去する第3工程と、
前記半導体基板の裏面に第2の絶縁膜を形成する第4工程と、
前記酸化膜を除去する第5工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第4工程において、前記第2の絶縁膜が窒化膜及びポリシリコン膜からなる群より選択される少なくとも1つであることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第4工程において、前記第2の絶縁膜が、ポリシリコン膜、窒化膜の順に積層されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
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- 2008-03-28 JP JP2008087398A patent/JP2009245968A/ja active Pending
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