JP2009243887A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力を検出する受圧部1と、受圧部1を外部電源6から供給された電力により加熱するヒータ2と、受圧部1の温度を検出する受圧部温度センサ3と、受圧部温度センサ3によって検出された温度が予め設定された設定温度となるようにヒータ2の加熱量を制御するヒータ制御回路4とを備える圧力センサであって、外部電源6の電圧を検出する電源電圧検出回路26と、電源電圧検出回路26によって検出された電圧に応じたPIDパラメータを算出するコントローラ5とを備える。ヒータ制御回路4は、コントローラ5によって算出されたPIDパラメータに基づくフィードバック制御則によりヒータ2の加熱量を制御する。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 圧力を検出する受圧部と、該受圧部を外部電源から供給された電力により加熱する加熱手段と、該受圧部の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段によって検出された温度が予め設定された設定温度となるように前記加熱手段の加熱量を制御する制御手段と、前記外部電源の電圧を検出する電圧検出手段と、該電圧検出手段によって検出された電圧に応じたPIDパラメータを算出するパラメータ算出手段とを備え、
前記制御手段は、前記パラメータ算出手段によって算出されたPIDパラメータに基づくフィードバック制御則により前記加熱手段の加熱量を制御することを特徴とする圧力センサ。 - 圧力を検出する受圧部と、該受圧部を外部電源から供給された電力により加熱する加熱手段と、該受圧部の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段によって検出された温度が予め設定された設定温度となるように前記加熱手段の加熱量を制御する制御手段と、前記設定温度に応じたPIDパラメータを算出するパラメータ算出手段とを備え、
前記制御手段は、前記パラメータ算出手段によって算出されたPIDパラメータに基づくフィードバック制御則により前記加熱手段の加熱量を制御することを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1記載の圧力センサにおいて、
前記電圧検出手段によって検出された電圧に基づいて前記加熱手段の最大加熱量を設定する加熱量設定手段を備え、
前記制御手段は、前記加熱手段の加熱量が前記最大加熱量を超える場合に、該加熱量を該最大加熱量に制限することを特徴とする圧力センサ。 - 請求項2記載の圧力センサにおいて、
前記設定温度に応じて最大加熱量を設定する加熱量設定手段を備え、
前記制御手段は、前記加熱手段の加熱量が前記最大加熱量を超える場合に、該加熱量を該最大加熱量に制限することを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至4のうちいずれか1項記載の圧力センサにおいて、
前記制御手段は、当該センサの不具合を示すエラーを検知した場合に前記加熱量または前記最大加熱量を0にすることを特徴とする圧力センサ。
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