JP2009242113A - Droplet discharge device - Google Patents

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Shinichiro Sato
伸一郎 佐藤
Akimichi Satake
晶宙 佐竹
Naoki Umetsu
直樹 梅津
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily cope with a change of workpiece width without lowering the degree of cleanliness. <P>SOLUTION: A roller 61 is provided for holding a strip workpiece 80 in the width direction. The roller 61 has a pair of holders 65 divided in the width direction to respectively hold the workpiece 80. Each of the pair of holders 65 has a plurality of divided bodies 65A that can be separated and integrated; urging members 71 for urging the plurality of divided bodies 65A in the integrating direction; and positioning parts for positioning the holder 65 in the width direction when the plurality of divided bodies 65A are integrated. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、搬送装置及び搬送方法並びに描画装置に関するものである。   The present invention relates to a transport apparatus, a transport method, and a drawing apparatus.

例えば液晶表示装置に用いられるCOF(Chip On Film)には、各種配線が形成されるが、近年では金属配線形成技術として、液体吐出方式の利用が拡大する傾向にある。液体吐出方式による塗布技術は、一般に、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液体吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから金属材料を含む液状体を液滴として吐出し、その液滴を基板上に繰り返し付着させて塗布膜を描画形成するものであり、液状体の消費に無駄が少なく、任意のパターンをフォトリソグラフィーなどの手段を用いず直接塗布することが出来るといった利点を有している。   For example, various wirings are formed in a COF (Chip On Film) used in a liquid crystal display device, but in recent years, the use of a liquid ejection method has been increasing as a metal wiring forming technique. In general, a coating technique based on a liquid discharge method discharges a liquid material containing a metal material as droplets from a plurality of nozzles provided in a liquid discharge head while relatively moving the substrate and the liquid discharge head. The film is drawn and formed by repeatedly depositing droplets on the substrate, and there is an advantage that the liquid material is less wasted and an arbitrary pattern can be applied directly without using means such as photolithography. is doing.

この種の配線形成においては、前工程で配線が形成されたテープ状(帯状)のフィルム上に液滴吐出方式で金属材料を含む液滴を吐出して金属配線を形成する場合がある。
このテープ状フィルムは、フィルムを幅方向両側から保持するフランジを有するローラにより連続的に送られるが、フィルムの幅は機種に応じて変動するため、ローラにおいてもフランジによる保持幅を対応させる必要がある。
In this type of wiring formation, a metal wiring may be formed by discharging droplets containing a metal material by a droplet discharge method onto a tape-like (strip-shaped) film on which wiring has been formed in the previous process.
This tape-like film is continuously fed by a roller having a flange that holds the film from both sides in the width direction. However, since the width of the film varies depending on the model, it is necessary to correspond to the holding width by the flange also in the roller. is there.

そこで、特許文献1には、リンク機構を用いてガイドローラによる帯状部材の保持幅を調整する技術が開示されている。   Therefore, Patent Document 1 discloses a technique for adjusting a holding width of a belt-shaped member by a guide roller using a link mechanism.

実開平5−26351号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-26351

しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
保持幅調整にリンク機構を用いるため、装置が大型化するという問題が生じる。
また、ローラをフィルム(テープ)の幅方向(回転軸の軸方向)に分割し、それぞれ回転軸にフィルム幅に応じた位置で取付ネジやプランジャを用いて固定する方法も考えられるが、この場合、取付ネジの取り付け、取り外しにレンチ等の工具が必要になり、作業が繁雑になるという問題が生じる。
However, the following problems exist in the conventional technology as described above.
Since the link mechanism is used for adjusting the holding width, there arises a problem that the apparatus becomes large.
In addition, it is possible to divide the roller in the width direction of the film (tape) (axial direction of the rotating shaft) and fix it to the rotating shaft at a position corresponding to the film width using a mounting screw or plunger. In addition, a tool such as a wrench is required to attach and detach the mounting screw, resulting in a problem that the work becomes complicated.

また、プランジャによるローラの固定は、プランジャが回転軸に摺接するため、クリーン度に問題が生じてしまう。
さらに、取付ネジやプランジャを用いたローラの固定では、フィルムに対する十分な位置決め精度を確保しづらいという問題もある。
Further, the fixing of the roller by the plunger causes a problem in cleanliness because the plunger is in sliding contact with the rotating shaft.
Furthermore, there is a problem that it is difficult to secure a sufficient positioning accuracy with respect to the film when the roller is fixed using a mounting screw or a plunger.

本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、クリーン度を低下させることなくワーク幅の変更に簡便に対応できる搬送装置及び搬送方法並びに描画装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above points, and an object of the present invention is to provide a transport apparatus, a transport method, and a drawing apparatus that can easily cope with a change in the work width without reducing the cleanliness. .

上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の搬送装置は、帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.
The conveying device of the present invention is a conveying device provided with a roller that holds a belt-like workpiece in the width direction, and the roller has a pair of holding bodies that are divided in the width direction and each hold the workpiece. Each of the pair of holding bodies includes a plurality of split bodies that can be separated and integrated, a biasing member that biases the plurality of split bodies in a direction to integrate the plurality of split bodies, and the plurality of split bodies. And a positioning portion for positioning the holding body in the width direction.

従って、本発明の搬送装置では、付勢部材の付勢力に抗して分割体を分割することにより、保持体のワークの幅方向の位置決めを解除することが可能になり、ワークの幅に応じた位置で分割体を一体化することにより、一対の保持体をそれぞれワークの保持位置で位置決めすることができる。
そのため、本発明では、工具等を用いることなく、簡便にワーク幅の変更に対応することができる。また、本発明では、付勢部材の付勢力に抗して分割体を分離させる方向に力を加えればよいため、プランジャ等による摺接が生じず、クリーン度の低下も防止することができる。
Therefore, in the conveyance device of the present invention, it is possible to release the positioning of the holding body in the width direction of the work by dividing the divided body against the urging force of the urging member, and according to the width of the work. By integrating the divided bodies at the different positions, the pair of holding bodies can be positioned at the holding positions of the workpieces.
Therefore, in the present invention, it is possible to easily cope with the change of the workpiece width without using a tool or the like. Further, in the present invention, since it is sufficient to apply a force in the direction in which the divided body is separated against the urging force of the urging member, sliding contact with the plunger or the like does not occur, and a reduction in cleanliness can be prevented.

また、本発明の搬送装置では、前記ローラに挿通され、外周面に溝部が形成された軸体を有し、前記位置決め部が、前記溝部に嵌合する突部を有する構成を好適に採用できる。
また、この構成では、前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除される構成を採用できる。
従って、本発明では、分割体が一体化されたときに、保持体の突部が軸体の溝部に嵌合することにより、保持体が軸体に対して位置決めされる。
この溝部としては、前記ワークの幅に応じて複数設けられる構成が好適である。
従って、本発明では、変更されるワークの幅に対応する溝部に保持体の突部を嵌合させることにより、保持体によりワークを幅方向に保持することが可能になる。
Moreover, in the conveying apparatus of this invention, it can employ | adopt suitably the structure which has a shaft body by which the said roller was penetrated and the groove part was formed in the outer peripheral surface, and the said positioning part fits into the said groove part. .
Further, in this configuration, when the divided body is integrated, the holding body is separated from the urging force of the urging member, with the protruding portion fitted into the groove portion. Sometimes, a configuration in which the fitting between the protrusion and the groove is released can be employed.
Therefore, in this invention, when a division body is integrated, a protrusion of a holding body fits into the groove part of a shaft body, and a holding body is positioned with respect to a shaft body.
As this groove part, the structure provided with two or more according to the width | variety of the said workpiece | work is suitable.
Therefore, in the present invention, the work can be held in the width direction by the holding body by fitting the protrusion of the holding body into the groove corresponding to the width of the work to be changed.

また、本発明では、前記溝部及び前記突部が互いに交差する嵌合面で嵌合する構成も好適である。
従って、本発明では、軸体と保持体とが、いわゆるテーパ合わせにて位置決めされるため、保持体を軸体に対してがたつきなく、取り付けることが可能になり、ワークを精度よく保持することが可能になる。
また、この構成においては、前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることが好ましい。
これにより、本発明では、保持体のワークの幅方向の位置を、前記幅方向と略直交する嵌合面により規定することができる。
In the present invention, a configuration in which the groove and the protrusion are fitted on a fitting surface intersecting each other is also preferable.
Therefore, in the present invention, since the shaft body and the holding body are positioned by so-called taper alignment, the holding body can be attached to the shaft body without rattling, and the work can be held accurately. It becomes possible.
In this configuration, it is preferable that at least one of the fitting surfaces is provided substantially orthogonal to the width direction.
Thereby, in this invention, the position of the width direction of the workpiece | work of a holding body can be prescribed | regulated by the fitting surface substantially orthogonal to the said width direction.

一方、本発明の描画装置は、帯状のワークを搬送する搬送装置と、搬送された前記ワークに対して液滴を吐出して描画する吐出ヘッドとを備えた描画装置であって、前記搬送装置として先に記載の搬送装置が用いられることを特徴とするものである。
従って、本発明の描画装置では、上述した搬送装置を備えているため、簡便にワーク幅の変更に対応でき、クリーン度の低下も防止できる描画装置を提供することができる。
On the other hand, the drawing apparatus of the present invention is a drawing apparatus comprising a transport device that transports a strip-shaped workpiece, and a discharge head that ejects and draws droplets on the transported workpiece. As described above, the conveying device described above is used.
Therefore, since the drawing apparatus of the present invention includes the above-described transport device, it is possible to provide a drawing apparatus that can easily cope with a change in the workpiece width and can prevent a decrease in cleanness.

また、本発明の搬送方法は、帯状のワークを幅方向で保持し軸体が挿通するローラにより搬送する方法であって、前記ローラを、前記幅方向で分割され、それぞれが前記ワークを保持する一対の保持体で構成し、前記一対の保持体のそれぞれを、分離一体可能で、且つ一体化する方向に付勢され、前記軸体と嵌合したときに前記幅方向に位置決めされる複数の分割体で構成し、前記複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除する工程と、前記ワークに応じた位置で前記分割体を前記軸体に嵌合させる工程とを有することを特徴とするものである。   Further, the transport method of the present invention is a method of transporting the belt-shaped work in the width direction by a roller through which the shaft body is inserted, and the roller is divided in the width direction, each of which holds the work. A plurality of holding bodies, each of the pair of holding bodies being separable and integrated, biased in the direction of integration, and positioned in the width direction when fitted with the shaft body A divided body, dividing the plurality of divided bodies against an urging force and releasing the fitting with the shaft body; and the divided bodies at a position corresponding to the workpiece. And a step of fitting the shaft body.

従って、本発明では、複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除した後に、ワークの幅に応じた位置で軸体と嵌合させることにより、工具等を用いることなく、簡便にワーク幅の変更に対応することができる。また、本発明では、付勢力に抗して分割体を分離させる方向に力を加えればよいため、プランジャ等による摺接が生じず、クリーン度の低下も防止することができる。   Therefore, in the present invention, the plurality of divided bodies are divided against the biased force, and after the fitting with the shaft body is released, the divided body is fitted with the shaft body at a position corresponding to the width of the workpiece. Accordingly, it is possible to easily cope with the change of the workpiece width without using a tool or the like. Further, in the present invention, it is only necessary to apply a force in the direction of separating the divided body against the urging force, so that sliding contact with a plunger or the like does not occur, and a decrease in cleanliness can be prevented.

本発明に係る描画装置の平面図である。It is a top view of the drawing apparatus which concerns on this invention. 吸着装置及びアライメントユニットの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a suction device and an alignment unit. テープ押さえ装置の構成及び動作を示す図である。It is a figure which shows the structure and operation | movement of a tape pressing device. ガイド軸に挿通されるフランジ体の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the flange body inserted in a guide shaft. 図4における一部断面図である。It is a partial cross section figure in FIG. フランジ体の平面図である。It is a top view of a flange body. 液滴吐出ヘッドの側面断面図である。It is side surface sectional drawing of a droplet discharge head. 様々なTABテープの部分平面図である。It is a partial top view of various TAB tapes. 液晶表示装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a liquid crystal display device. 電子機器の例を示す図である。It is a figure which shows the example of an electronic device. フランジ体の突部とガイド軸の溝部との別の嵌合形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another fitting form of the protrusion part of a flange body, and the groove part of a guide shaft.

以下、本発明の搬送装置及び搬送方法並びに描画装置の実施の形態を、図1ないし図11を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a transport apparatus, a transport method, and a drawing apparatus according to the present invention will be described below with reference to FIGS. In each drawing used for the following description, the scale of each member is appropriately changed to make each member a recognizable size.

図1は描画装置1の平面図である。
描画装置1は、Y方向に沿って送られる帯状のテープ(ワーク)80に対して配線等のパターンを描画形成するものであって、テープ80を吸着保持する吸着装置50、吸着装置の上方にX方向に延びて設けられる一対のフレーム20、フレーム20に架設され、それぞれ図示しないリニアモータ等の駆動装置によりX方向に独立して駆動される描画ユニット22、アライメントユニット24およびUV照射ユニット26、図2に示すように、ガイドローラ(ローラ)61を介してテープ80を繰り出す繰出しローラ84およびガイドローラ62を介してテープ80を巻き取る巻取りローラ85を主体に構成されている。
これらガイドローラ61、62、繰出しローラ84、巻取りローラ85により、本発明に係る搬送装置が構成される。
テープ80は、ガイドローラ61、62の間に掛け渡され、両者間において吸着装置50の上面に載置されるようになっている。
FIG. 1 is a plan view of the drawing apparatus 1.
The drawing device 1 draws and forms a pattern such as wiring on a strip-shaped tape (work) 80 sent along the Y direction. The drawing device 1 sucks and holds the tape 80, and above the suction device. A pair of frames 20 provided extending in the X direction, a drawing unit 22, an alignment unit 24, and a UV irradiation unit 26 that are installed on the frame 20 and are independently driven in the X direction by a driving device such as a linear motor (not shown). As shown in FIG. 2, a feeding roller 84 that feeds the tape 80 via a guide roller (roller) 61 and a winding roller 85 that winds the tape 80 via a guide roller 62 are mainly configured.
The guide rollers 61 and 62, the feeding roller 84, and the take-up roller 85 constitute a conveying device according to the present invention.
The tape 80 is stretched between the guide rollers 61 and 62 and is placed on the upper surface of the suction device 50 between them.

図2は、吸着装置50及びアライメントユニット24の外観斜視図である。
吸着装置50は、定盤60の表面に多孔質板51を配置(埋設)して構成され、その多孔質板51の表面に上述したテープ80を吸着しうるようになっている。なお80テープの吸着位置は、多孔質板51の幅方向中央部であり、テープの中心線が多孔質板51の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
FIG. 2 is an external perspective view of the suction device 50 and the alignment unit 24.
The adsorption device 50 is configured by disposing (embedding) the porous plate 51 on the surface of the surface plate 60, and can adsorb the tape 80 described above on the surface of the porous plate 51. The suction position of the 80 tape is the central portion in the width direction of the porous plate 51, and the center line of the tape is set to a position where it matches the center line of the porous plate 51. As a result, it is possible to minimize the changeover of the drawing apparatus accompanying the change in the tape size.

この多孔質板51は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着(焼結)させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン(PE)やポリプロピレン(PP)、ポリスチレン(PS)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド(PA)、アクリル樹脂(PMMA)、フッ素樹脂(PVDF、PTFE)等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板51を樹脂材料で構成することにより、多孔質板51の表面に吸着されるテープの損傷を防止することができる。   The porous plate 51 is composed of a resin sintered material obtained by sintering a resin material. Sinter molding is a technique in which raw material powder is filled in a mold and heated, and the surface layers of the raw material powder are fused (sintered) to form while leaving the space between the powders. As the raw material powder, polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene (PS), polyvinyl chloride (PVC), polycarbonate (PC), polyamide (PA), acrylic resin (PMMA), fluororesin (PVDF, PTFE) It is possible to employ a thermoplastic resin material such as. Thus, by comprising the porous board 51 with a resin material, damage to the tape adsorbed on the surface of the porous board 51 can be prevented.

多孔質板51には、図示しない負圧吸引装置が接続されており、多孔質板51の表面全体に亘ってほぼ均一に負圧が供給される。従って、幅の異なる複数種のテープに対しても、一様に吸着保持可能な構成となっている。   A negative pressure suction device (not shown) is connected to the porous plate 51, and the negative pressure is supplied almost uniformly over the entire surface of the porous plate 51. Therefore, even a plurality of types of tapes having different widths can be sucked and held uniformly.

また、吸着装置50は、その下方に配置された中間プレート18に固定されている。この中間プレート18は、モータ16によりθz方向(z軸周りの回転方向)に回動しうるようになっている。そのモータ16はスライダ14に固定されている。このスライダ14は、ベースプレート12の表面をY方向に移動しうるようになっている。これにより吸着装置50は、ベースプレート12に対してθz方向およびY方向に移動しうるようになっている。   Further, the suction device 50 is fixed to the intermediate plate 18 disposed below the suction device 50. The intermediate plate 18 can be rotated by the motor 16 in the θz direction (rotation direction around the z axis). The motor 16 is fixed to the slider 14. The slider 14 can move on the surface of the base plate 12 in the Y direction. Accordingly, the suction device 50 can move in the θz direction and the Y direction with respect to the base plate 12.

アライメントユニット24は、上述したフレーム20に沿って移動する移動フレーム31、移動フレーム31に搭載されたカメラ(撮像装置)32、カメラ(第2撮像装置)33及びテープ押さえ装置34から構成されている。カメラ32、33は、CCDカメラ等で構成されるものであり、テープ80に形成されたマーク(後述)を計測し、制御部99に出力する。制御部99は、カメラ32、33の計測結果に基づいて、モータ16、スライダ14、繰出しローラ84及び巻取りローラ85の駆動を制御する。   The alignment unit 24 includes a moving frame 31 that moves along the frame 20 described above, a camera (imaging device) 32 mounted on the moving frame 31, a camera (second imaging device) 33, and a tape pressing device 34. . The cameras 32 and 33 are constituted by a CCD camera or the like, measure marks (described later) formed on the tape 80, and output the marks to the control unit 99. The control unit 99 controls driving of the motor 16, the slider 14, the feeding roller 84, and the take-up roller 85 based on the measurement results of the cameras 32 and 33.

また、カメラ32は、移動フレーム31に一体的に固定されているが、カメラ33は、移動フレーム31に対してY軸方向に移動自在に設けられたスライダ35に搭載されることにより、制御部99の制御下でカメラ32に対してY軸方向に移動する。   The camera 32 is integrally fixed to the moving frame 31, but the camera 33 is mounted on a slider 35 that is movable in the Y-axis direction with respect to the moving frame 31, thereby controlling the control unit. Under the control of 99, the camera 32 moves in the Y-axis direction.

図3は、主としてテープ押さえ装置34に関する図2における右側面図である。
テープ押さえ装置34は、Y軸方向に延在する一対の押さえ部36と、Y軸方向に延び、支持柱37を介して押さえ部36の一方(−Y側)を上方から支持する支持フレーム38、支持柱39を介して押さえ部36の他方(+Y側)を上方から支持するとともに、支持フレーム38をY軸方向に伸縮自在に支持する支持フレーム40とを有している。
3 is a right side view in FIG.
The tape pressing device 34 includes a pair of pressing portions 36 that extend in the Y-axis direction, and a support frame 38 that extends in the Y-axis direction and supports one (−Y side) of the pressing portion 36 from above via a support column 37. The support frame 39 has a support frame 40 that supports the other side (+ Y side) of the pressing portion 36 from above and supports the support frame 38 so as to be extendable in the Y-axis direction.

支持フレーム38は、制御部99の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により支持フレーム40に対してY軸方向に移動する構成となっている。
支持フレーム40は、制御部99の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により、移動フレーム31にZ方向に延びて設けられたガイドフレーム41に沿ってZ軸方向に移動する構成となっている。
The support frame 38 is configured to move in the Y-axis direction with respect to the support frame 40 by a drive device such as a linear motion motor that is driven by the control of the control unit 99.
The support frame 40 is configured to move in the Z-axis direction along a guide frame 41 provided on the moving frame 31 so as to extend in the Z direction by a driving device such as a linear motor driven by the control of the control unit 99. Yes.

図1に戻り、ガイドローラ61、62は、ポリプロピレン(PP)等の樹脂材で形成されており、X軸方向に延びX軸と平行な軸周りに回転するガイド軸(軸体)63、64が挿通し、テープ80の幅方向(X軸方向)に分割して設けられた一対のフランジ体(保持体)65、65及び一対のフランジ体(保持体)66、66からそれぞれ構成されている。
なお、フランジ体65、66は同様の構成を有しているため、以下フランジ体65についてのみ説明する。
Returning to FIG. 1, the guide rollers 61 and 62 are formed of a resin material such as polypropylene (PP), and extend in the X-axis direction and rotate around an axis parallel to the X-axis (shaft bodies) 63 and 64. Is formed by a pair of flange bodies (holding bodies) 65 and 65 and a pair of flange bodies (holding bodies) 66 and 66 which are divided and provided in the width direction (X-axis direction) of the tape 80. .
In addition, since the flange bodies 65 and 66 have the same structure, only the flange body 65 is demonstrated below.

図4は、ガイド軸63に挿通されるフランジ体65、65の外観斜視図であり、図5は一部断面図であり、図6はフランジ体65の平面図である。
各フランジ体65は、内周面でガイド軸63に嵌合する筒状に形成されており、外周面でテープ80の裏面(液滴で描画される面と逆側の面)を支持する円筒部67と、テープ80の幅方向の側縁を保持するフランジ部68とを有している。また、各フランジ体65は、直径方向に沿って分離一体可能に2分割された分割体65A、65Aから構成されている。
4 is an external perspective view of the flange bodies 65 and 65 inserted through the guide shaft 63, FIG. 5 is a partial cross-sectional view, and FIG. 6 is a plan view of the flange body 65.
Each flange body 65 is formed in a cylindrical shape that fits on the guide shaft 63 on the inner peripheral surface, and a cylinder that supports the back surface of the tape 80 (the surface opposite to the surface drawn with droplets) on the outer peripheral surface. It has a portion 67 and a flange portion 68 that holds the side edges of the tape 80 in the width direction. Each flange body 65 is composed of divided bodies 65A and 65A which are divided into two along the diameter direction so as to be separated and integrated.

また、各フランジ体65には、各分割体65A同士の各接合面と直交して延びる溝部69が対をなす分割体65Aに跨って連通して設けられている。各溝部69の両端部には、ポスト材70が圧入等によりそれぞれ固定されている。このポスト材70には、引張バネ(付勢部材)71の端部がそれぞれ係合している。各引張バネ71は、端部において係合するポスト材70が接近する方向に、すなわち、一対の分割体65Aが接近して一体化する方向に付勢する。
また、各分割体65Aには、図5及び図6に示すように、内周面からほぼ同じ高さで垂直に突出する突部72が位置決め部として設けられている。
Further, each flange body 65 is provided with a groove portion 69 extending orthogonally to each joint surface between the divided bodies 65A so as to extend across the pair of divided bodies 65A. Post members 70 are fixed to both ends of each groove 69 by press fitting or the like. End portions of tension springs (biasing members) 71 are engaged with the post members 70, respectively. Each tension spring 71 is biased in a direction in which the post members 70 engaged at the end approach each other, that is, in a direction in which the pair of divided bodies 65A approach and integrate.
Moreover, as shown in FIG.5 and FIG.6, each division body 65A is provided with the protrusion part 72 which protrudes perpendicularly | vertically from the internal peripheral surface at substantially the same height as a positioning part.

そして、ガイド軸63の外周面には、フランジ体65の突部72とそれぞれ嵌合可能な複数(ここでは各分割体65A毎に3つ、合計6つ)の溝部73A〜73Cが軸周り(周方向)に形成されている(図5では、右側のフランジ体65に対応する溝部73A〜73C、及び左側のフランジ体65に対応する溝部73B、73Cのみ図示)。
溝部73A〜73Cは、フランジ体65の突部72が嵌合したときに、対向するフランジ部68間の距離Lがテープ80の種類に応じた所定幅となる位置に形成されている。
なお、フランジ体65の突部72は、各分割体65Aの接合面近傍まで設けられた場合には、溝部73A〜73Cから外す(嵌合解除させる)ためのストロークが大きくなるため、各分割体65Aの中央部のみに設けられている。
On the outer peripheral surface of the guide shaft 63, a plurality of (here, three for each divided body 65A, a total of six) groove portions 73A to 73C that can be fitted to the protrusions 72 of the flange body 65 are provided around the axis ( (In FIG. 5, only the groove portions 73A to 73C corresponding to the right flange body 65 and the groove portions 73B and 73C corresponding to the left flange body 65 are shown in FIG. 5).
The groove portions 73 </ b> A to 73 </ b> C are formed at positions where the distance L between the opposing flange portions 68 becomes a predetermined width according to the type of the tape 80 when the protrusion 72 of the flange body 65 is fitted.
In addition, since the protrusion part 72 of the flange body 65 is provided to the joint surface vicinity of each division body 65A, since the stroke for removing from the groove parts 73A-73C (releasing fitting) becomes large, each division body It is provided only at the center of 65A.

図1に戻り、描画ユニット22には、液滴吐出ヘッド(吐出ヘッド)90が搭載されている。図7は、液滴吐出ヘッドの側面断面図である。吐出ヘッド90は、ヘッド本体90Aと、ヘッド本体90Aの一方面に装着されたノズルプレート92と、ヘッド本体90Aの他方面に装着されたピエゾ素子98とを主として構成されている。   Returning to FIG. 1, the drawing unit 22 includes a droplet discharge head (discharge head) 90. FIG. 7 is a side sectional view of the droplet discharge head. The ejection head 90 mainly includes a head main body 90A, a nozzle plate 92 mounted on one surface of the head main body 90A, and a piezo element 98 mounted on the other surface of the head main body 90A.

インク吐出面を構成するノズルプレート92には、液滴を吐出するための複数のノズル91が整列配置されている。またヘッド本体90Aには、各ノズル91と連通する複数の圧力室93が形成されている。各圧力室93はリザーバ95に接続され、リザーバ95はインク導入口96に接続されている。そしてインク9は、インク導入口96からリザーバ95を通って各圧力室93に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体90Aの上端面には、可撓性を有する振動板94が装着されている。その振動板94を挟んで各圧力室93の反対側には、それぞれピエゾ素子98が設けられている。ピエゾ素子98は、PZT等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部99に接続されている。   A plurality of nozzles 91 for discharging droplets are arranged in an array on the nozzle plate 92 that forms the ink discharge surface. The head body 90 </ b> A is formed with a plurality of pressure chambers 93 that communicate with the nozzles 91. Each pressure chamber 93 is connected to a reservoir 95, and the reservoir 95 is connected to an ink inlet 96. The ink 9 is supplied from the ink introduction port 96 through the reservoir 95 to each pressure chamber 93. On the other hand, a flexible diaphragm 94 is attached to the upper end surface of the head main body 90A. Piezo elements 98 are provided on opposite sides of the pressure chambers 93 with the diaphragm 94 interposed therebetween. The piezo element 98 is obtained by sandwiching a piezoelectric material such as PZT between electrodes. The electrode is connected to the control unit 99.

そして制御部99からピエゾ素子98に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子98が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子98が収縮変形すると、圧力室93内の圧力が低下して、リザーバ95から圧力室93にインク9が流入する。またピエゾ素子98が膨張変形すると、圧力室93内の圧力が増加して、ノズル91からインク9の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子98に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。   When a driving voltage is applied from the control unit 99 to the piezo element 98, the piezo element 98 is expanded or contracted. When the piezoelectric element 98 contracts and deforms, the pressure in the pressure chamber 93 decreases, and the ink 9 flows from the reservoir 95 into the pressure chamber 93. Further, when the piezo element 98 is expanded and deformed, the pressure in the pressure chamber 93 is increased, and the droplet of the ink 9 is ejected from the nozzle 91. The droplet discharge conditions can be controlled by controlling the driving voltage applied to the piezo element 98.

なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、インクを加熱して気泡(バブル)を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、インクを加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。   In addition to the above-described piezo method for changing the pressure in the pressure chamber by deformation of the piezo element, a method for changing the pressure in the pressure chamber by heating the ink to generate bubbles (bubbles), etc. Various known techniques can be applied. Of these, the piezo method is superior in that it does not adversely affect the composition of the material because the ink is not heated.

UV照射ユニット26には、UVランプ等のUV照射装置27が搭載されている。
本実施形態の描画装置1は、以上のように構成されている。
The UV irradiation unit 26 includes a UV irradiation device 27 such as a UV lamp.
The drawing apparatus 1 of the present embodiment is configured as described above.

次に、上記の描画装置1により液滴が吐出されてパターンが形成されるテープ80について説明する。
図8は、様々なテープ(TABテープ;ワーク)81〜83の部分平面図である。テープ81の幅方向両端部には、テープを巻き取るためのスプロケット孔86が連続形成され、テープ81の幅方向中央部には、半導体装置を形成するための作業領域88が連続形成されている。この作業領域88は、例えばデバイス毎に設定されるものである。
Next, a description will be given of the tape 80 on which a pattern is formed by discharging droplets from the drawing apparatus 1.
FIG. 8 is a partial plan view of various tapes (TAB tape; work) 81-83. Sprocket holes 86 for winding the tape are continuously formed at both ends in the width direction of the tape 81, and a work area 88 for forming a semiconductor device is continuously formed at the center in the width direction of the tape 81. . This work area 88 is set for each device, for example.

そして、上記の描画装置1は、この作業領域88に金属配線パターンを描画形成するものであり、本実施形態の吸着装置は、金属配線パターンを描画すべきテープを吸着保持するものである。
上述した作業領域88の大きさに対応して、また幅方向における作業領域88の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ81,82,83が存在する。
The drawing device 1 draws and forms a metal wiring pattern in the work area 88, and the suction device of this embodiment sucks and holds a tape on which the metal wiring pattern is to be drawn.
There are a plurality of types of tapes 81, 82, and 83 having different width dimensions corresponding to the size of the work area 88 described above and the number of work areas 88 arranged in the width direction.

各テープ81〜83における各作業領域88には、テープ81〜83を位置決めする際に観察されるアライメントマークAMが、例えばそれぞれ3個ずつ形成されている。なお、アライメントマークAMの形状は、計測方法等によって各種存在するが、ここでは円形のマークとし、矩形の作業領域88の3つのコーナー部に配置されるものとして図示している。   For example, three alignment marks AM that are observed when the tapes 81 to 83 are positioned are formed in each work area 88 of each tape 81 to 83. The alignment mark AM has various shapes depending on the measurement method or the like. Here, the alignment mark AM is a circular mark and is illustrated as being arranged at three corners of the rectangular work area 88.

次に、上記のガイドローラ61(62)の使用方法について説明する。
フランジ体65をガイド軸63に取り付ける際には、まず、引張バネ71を装着していない状態で、一対の分割体65Aによりガイド軸63を挟み込む。
このとき、使用するテープ80の幅に対応する溝部73A〜73Cにフランジ体65の突部72を嵌合させる。
Next, the usage method of said guide roller 61 (62) is demonstrated.
When attaching the flange body 65 to the guide shaft 63, first, the guide shaft 63 is sandwiched between the pair of divided bodies 65A in a state where the tension spring 71 is not attached.
At this time, the protrusion 72 of the flange body 65 is fitted into the groove portions 73A to 73C corresponding to the width of the tape 80 to be used.

次いで、各分割体65Aの溝部69に引張バネ71を挿入し、ポスト材70に引張バネ71を係合させる。これにより、引張バネ71の付勢力が分割体65Aを一体化させる方向に作用し、フランジ体65はフランジ部68間の距離Lがテープ80の幅に設定された状態でガイド軸63にX軸方向に位置決めされて取り付けられる。   Next, the tension spring 71 is inserted into the groove 69 of each divided body 65 </ b> A, and the tension spring 71 is engaged with the post member 70. As a result, the urging force of the tension spring 71 acts in the direction in which the divided body 65A is integrated, and the flange body 65 has the X axis on the guide shaft 63 with the distance L between the flange portions 68 set to the width of the tape 80. Positioned and mounted in the direction.

また、機種変更等によりテープ80の幅が変更される場合には、引張バネ71の付勢力に抗して分割体65A、65Aを分離する(離間させる)方向に引っ張る。
そして、フランジ体65の突部72と、ガイド軸63の溝部(73A〜73Cのいずれか)との嵌合が解除される位置まで分割体65Aを離間させると、分割体65AをX軸方向に移動させて、変更されるテープの幅に対応する溝部(例えば73B)にフランジ体65の突部72を嵌合させる。
そして、分割体65Aへの引張を解除すると、引張バネ71の付勢力により、フランジ体65は、フランジ部68間の距離Lが変更されたテープ幅に設定された状態でガイド軸63にX軸方向に位置決めされて取り付けられる。
Further, when the width of the tape 80 is changed due to a model change or the like, the divided bodies 65A and 65A are pulled in the direction of separating (separating) against the urging force of the tension spring 71.
Then, when the divided body 65A is separated to a position where the fitting between the protrusion 72 of the flange body 65 and the groove portion (any of 73A to 73C) of the guide shaft 63 is released, the divided body 65A is moved in the X-axis direction. The protrusion 72 of the flange body 65 is fitted into a groove (for example, 73B) corresponding to the width of the tape to be changed.
When the tension to the split body 65A is released, the flange body 65 is moved to the guide shaft 63 by the urging force of the tension spring 71 and the guide shaft 63 is set to the X-axis with the distance L between the flange portions 68 being changed. Positioned and mounted in the direction.

次に、上述した描画装置1の使用方法について説明する。
ここでは、上述したテープ81を用いるものとして説明する。
また、本実施形態では、4つの作業領域88からなる作業領域88’に対して、一括して描画処理を行うものとし、作業領域88’における一端側(+Y側)に位置するアライメントマークAM1と、他端側(−Y側)に位置し、アライメントマークAM1と同列(同じX位置)に位置するアライメントマーク(第2マーク)AM2とを計測することにより、テープ81を位置決めするものとする。
Next, the usage method of the drawing apparatus 1 mentioned above is demonstrated.
Here, description will be made assuming that the tape 81 described above is used.
Further, in the present embodiment, drawing processing is performed collectively on a work area 88 ′ composed of four work areas 88, and an alignment mark AM1 located on one end side (+ Y side) in the work area 88 ′ The tape 81 is positioned by measuring an alignment mark (second mark) AM2 located on the other end side (−Y side) and in the same row (same X position) as the alignment mark AM1.

まず、図2に示す繰出しローラ84と巻取りローラ85との間にテープ80(ここではテープ81)を掛け渡し、両者間に配置された吸着装置50(多孔質板51)の表面にテープ81を載置する。
次に、描画ユニット22またはUV照射ユニット26が吸着装置50と対向する位置にある場合は、当該ユニットを吸着装置50との対向位置から予め退避させておく。
First, the tape 80 (here, the tape 81) is stretched between the feeding roller 84 and the take-up roller 85 shown in FIG. 2, and the tape 81 is placed on the surface of the suction device 50 (the porous plate 51) disposed therebetween. Is placed.
Next, when the drawing unit 22 or the UV irradiation unit 26 is at a position facing the suction device 50, the unit is retracted in advance from the position facing the suction device 50.

続いて、アライメントユニット24をフレーム20に沿って移動させ、図3(a)に示すように、吸着装置50と対向する位置に位置決めする。
このとき、カメラ32の計測範囲にアライメントマークAM1が位置するように、移動フレーム31のX方向の位置を調整する。また、アライメントマークAM1、AM2の相対位置関係は既知であるため、この相対位置関係に応じた距離、スライダ35を介してカメラ33をY軸方向に移動させる。
Subsequently, the alignment unit 24 is moved along the frame 20 and positioned at a position facing the suction device 50 as shown in FIG.
At this time, the position of the moving frame 31 in the X direction is adjusted so that the alignment mark AM1 is positioned in the measurement range of the camera 32. Further, since the relative positional relationship between the alignment marks AM1 and AM2 is known, the camera 33 is moved in the Y-axis direction via the slider 35 by a distance corresponding to the relative positional relationship.

次に、支持フレーム40をガイドフレーム41に沿って下降させることにより、図3(b)に示すように、押さえ部36をテープ81に当接させる。このとき、押さえ部36は、予め支持フレーム38を支持フレーム40に対してX軸方向に移動させることにより、テープ81の幅方向の側縁に当接するように調整されている。
この後、負圧吸引装置を作動させて、テープ81を多孔質板51の表面に吸着保持させる。テープ81の両側は、押さえ部36によって押さえられているため、テープに反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板51の表面に平滑に吸着保持される。
Next, the support frame 40 is lowered along the guide frame 41 to bring the pressing portion 36 into contact with the tape 81 as shown in FIG. At this time, the pressing portion 36 is adjusted so as to contact the side edge in the width direction of the tape 81 by moving the support frame 38 in the X-axis direction with respect to the support frame 40 in advance.
Thereafter, the negative pressure suction device is operated to adsorb and hold the tape 81 on the surface of the porous plate 51. Since both sides of the tape 81 are pressed by the pressing portion 36, even when the tape warps or bends, the tape 81 is corrected and is smoothly held by suction on the surface of the porous plate 51 without causing floating or the like. .

テープ81が吸着装置50に吸着保持されると、カメラ32によりアライメントマークAM1を撮影・計測し、カメラ33によりアライメントマークAM2を撮影・計測する。これらの撮影結果から、制御部99はテープ81の作業領域の現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。その算出結果に基づいて、スライダ14およびモータ16を駆動して吸着装置50をY方向およびθz方向に移動させ、吸着装置50の表面に吸着されたテープ81を(液滴吐出ヘッド90に対して)位置合わせする。なおテープ81のX方向の位置合わせは、描画ユニット22の移動量を調整することによって行われる。   When the tape 81 is sucked and held by the suction device 50, the camera 32 captures and measures the alignment mark AM1, and the camera 33 captures and measures the alignment mark AM2. From these photographing results, the control unit 99 calculates the current position of the work area of the tape 81, and further calculates the offset amount from the predetermined position. Based on the calculation result, the slider 14 and the motor 16 are driven to move the suction device 50 in the Y direction and the θz direction, and the tape 81 sucked on the surface of the suction device 50 (with respect to the droplet discharge head 90). ) Align. The alignment of the tape 81 in the X direction is performed by adjusting the movement amount of the drawing unit 22.

テープ81の位置合わせが完了すると、フレーム20に沿ってアライメントユニット24を移動させて、吸着装置50(すなわちテープ81)との対向位置から退避させるとともに、描画ユニット22をX方向に移動させて吸着装置50との対向位置に配置する。そして、液滴吐出ヘッド90からインクを吐出することにより、テープ81の作業領域88に所定パターンの金属配線等が、例えば既に形成されている配線パターンと接続させるように描画される。   When the alignment of the tape 81 is completed, the alignment unit 24 is moved along the frame 20 to be retracted from the position facing the suction device 50 (that is, the tape 81), and the drawing unit 22 is moved in the X direction for suction. It arrange | positions in the position facing the apparatus 50. FIG. Then, by ejecting ink from the droplet ejection head 90, a predetermined pattern of metal wiring or the like is drawn in the work area 88 of the tape 81 so as to be connected to, for example, an already formed wiring pattern.

テープ81に対する液滴吐出処理が完了すると、フレーム20に沿って描画ユニット22を移動させて、吸着装置50(すなわちテープ81)との対向位置から退避させるとともに、UV照射ユニット26をX方向に移動させて吸着装置50との対向位置に配置する。そして、UV照射装置27からUVを照射することにより、テープ81に吐出されたインクを乾燥させる。   When the droplet discharge process on the tape 81 is completed, the drawing unit 22 is moved along the frame 20 to be retracted from the position facing the suction device 50 (that is, the tape 81), and the UV irradiation unit 26 is moved in the X direction. And disposed at a position facing the suction device 50. Then, the ink discharged onto the tape 81 is dried by irradiating UV from the UV irradiation device 27.

なお、上述した液滴吐出工程およびUV照射工程を繰り返し行うことにより、同種または異種の被膜を積層形成することが可能である。異種の被膜を積層形成する場合には、1つの描画ユニットに異なるインクを吐出する複数の液滴吐出ヘッドを搭載してもよいし、異なるインクを吐出する液滴吐出ヘッドを備えた複数の描画ユニットを設けてもよい。   In addition, it is possible to laminate | stack the same kind or different kind of film by repeating the droplet discharge process and UV irradiation process mentioned above. When different types of films are stacked, a plurality of droplet discharge heads that discharge different inks may be mounted on one drawing unit, or a plurality of drawings that include droplet discharge heads that discharge different inks. A unit may be provided.

以上により、作業領域に対する描画処理が終了したら、テープ81を送って未処理の作業領域を吸着装置50の表面に載置し、上述した描画処理を繰り返す。
また、テープ81の全ての作業領域に対する描画処理が終了したら、図2に示す繰出しローラ84および巻取りローラ85とともにテープ81を交換するとともに、上述した手順でフランジ体65を移動させて新たなテープ幅に対応させる。
なお、テープサイズ(幅寸法)を変更する場合でも、テープの幅方向の中心線を吸着装置50の中心線と一致させる。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができる。
As described above, when the drawing process for the work area is completed, the tape 81 is sent to place the unprocessed work area on the surface of the suction device 50, and the above-described drawing process is repeated.
When the drawing process for all the work areas of the tape 81 is completed, the tape 81 is exchanged together with the feeding roller 84 and the take-up roller 85 shown in FIG. 2, and the flange body 65 is moved by the above-described procedure to create a new tape. Corresponds to the width.
Even when the tape size (width dimension) is changed, the center line in the width direction of the tape is made to coincide with the center line of the suction device 50. As a result, it is possible to minimize the changeover of the drawing apparatus accompanying the change in the tape size.

以上説明したように、本実施形態の搬送装置では、引張バネ71の付勢力に抗して分割体65Aを分離させた後に、所望のテープ幅に対応する溝部73A〜73Cに突部72を嵌合させるという簡単な作業でテープ幅の変更に対応することが可能であり、工具を用いることなく容易に作業を行うことができる。また、本実施形態では、フランジ体65の摺接等が生じないので、クリーン度を低下させることなく、テープ幅の変更に対応することができる。   As described above, in the transport device of this embodiment, after separating the divided body 65A against the urging force of the tension spring 71, the protrusions 72 are fitted into the groove portions 73A to 73C corresponding to the desired tape width. It is possible to cope with a change in the tape width by a simple operation of combining them, and the operation can be easily performed without using a tool. Further, in the present embodiment, since the sliding contact of the flange body 65 does not occur, the tape width can be changed without degrading the cleanliness.

さらに、本実施形態では、ガイド軸63に形成する溝部を増加させることにより、種々のテープ幅に容易に対応することができ、汎用性を向上させることができる。
加えて、本実施形態では、ガイド軸63への溝部を追加形成するとともに、フランジ体65及び引張バネ71を用意することにより、既存の搬送装置に対しても、本発明を容易に適用することが可能である。
Furthermore, in this embodiment, by increasing the number of grooves formed in the guide shaft 63, various tape widths can be easily accommodated, and versatility can be improved.
In addition, in the present embodiment, the groove portion to the guide shaft 63 is additionally formed, and the flange body 65 and the tension spring 71 are prepared so that the present invention can be easily applied to an existing conveyance device. Is possible.

また、本実施の形態では、テープ81を多孔質板51により吸着するので、幅の異なる種々のテープにも容易に対応することができ、テープの種類変更に伴う作業を一層効率化することができる。
加えて、本実施形態では、テープ押さえ装置34によりテープ81の側縁を押さえる構成としているので、テープ81に反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板51の表面に平滑に吸着保持することが可能になり、アライメントマークを精度よく計測でき、所定位置にパターンを高精度に形成することができる。
In the present embodiment, since the tape 81 is adsorbed by the porous plate 51, it is possible to easily cope with various tapes having different widths, and the work associated with the change of the tape type can be made more efficient. it can.
In addition, in this embodiment, since the side edge of the tape 81 is pressed by the tape pressing device 34, even if the tape 81 is warped and bent, the porous plate is corrected without being lifted. The surface 51 can be sucked and held smoothly, the alignment mark can be measured with high accuracy, and the pattern can be formed at a predetermined position with high accuracy.

(液晶表示装置)
続いて、上記描画装置1により配線パターンが形成されたテープを有する液晶表示装置について説明する。
図9は、電気光学装置である液晶表示装置の分解斜視図である。
この図に示す液晶表示装置(電気光学装置)101は、大別するとカラーの液晶パネル(電気光学パネル)102と、液晶パネル102に接続される回路基板103とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル102に付設されている。
(Liquid crystal display device)
Next, a liquid crystal display device having a tape on which a wiring pattern is formed by the drawing device 1 will be described.
FIG. 9 is an exploded perspective view of a liquid crystal display device which is an electro-optical device.
A liquid crystal display device (electro-optical device) 101 shown in this figure is roughly provided with a color liquid crystal panel (electro-optical panel) 102 and a circuit board 103 connected to the liquid crystal panel 102. In addition, an illumination device such as a backlight and other incidental devices are attached to the liquid crystal panel 102 as necessary.

液晶パネル102は、シール材104によって接着された一対の基板105a及び基板105bを有し、これらの基板105bと基板105bとの間に形成される間隙、いわゆるセルギャップには液晶が封入されている。これらの基板105a及び基板105bは、一般には透光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成されている。基板105a及び基板105bの外側表面には偏光板106a及び偏光板106bが貼り付けられている。なお、図6においては、偏光板106bの図示を省略している。   The liquid crystal panel 102 includes a pair of substrates 105a and 105b bonded by a sealing material 104, and liquid crystal is sealed in a gap formed between the substrates 105b and 105b, a so-called cell gap. . These substrate 105a and substrate 105b are generally formed of a light-transmitting material such as glass or synthetic resin. A polarizing plate 106a and a polarizing plate 106b are attached to the outer surfaces of the substrate 105a and the substrate 105b. In FIG. 6, illustration of the polarizing plate 106b is omitted.

また、基板105aの内側表面には電極107aが形成され、基板105bの内側表面には電極107bが形成されている。これらの電極107a、107bはストライプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に形成されている。また、これらの電極107a、107bは、例えばITO(Indium Tin Oxide:インジウムスズ酸化物)等の透光性材料によって形成されている。
基板105aは、基板105bに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子108が形成されている。これらの端子108は、基板105a上に電極107aを形成するときに電極107aと同時に形成される。従って、これらの端子108は、例えばITOによって形成されている。これらの端子108には、電極107aから一体に延びるもの、及び導電材(不図示)を介して電極107bに接続されるものが含まれる。
An electrode 107a is formed on the inner surface of the substrate 105a, and an electrode 107b is formed on the inner surface of the substrate 105b. These electrodes 107a and 107b are formed in stripes or letters, numbers, or other appropriate patterns. The electrodes 107a and 107b are made of a light-transmitting material such as ITO (Indium Tin Oxide).
The substrate 105a has an extended portion that protrudes from the substrate 105b, and a plurality of terminals 108 are formed on the extended portion. These terminals 108 are formed simultaneously with the electrode 107a when the electrode 107a is formed on the substrate 105a. Therefore, these terminals 108 are made of, for example, ITO. These terminals 108 include one that extends integrally from the electrode 107a and one that is connected to the electrode 107b via a conductive material (not shown).

なお、実際の電極107a,107b及び端子108は、極めて狭い間隔をもって多数本が基板105a及び基板105b上にそれぞれ形成されているが、図9においては、液晶パネル102の構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、それらの内の数本のみを図示することにして他の部分を省略してある。また、端子108と電極107aとの接続状態及び端子108と電極107bとの接続状態も図9においては図示を省略している。   Note that a large number of actual electrodes 107a and 107b and terminals 108 are formed on the substrate 105a and the substrate 105b, respectively, with extremely narrow intervals. In FIG. 9, the structure of the liquid crystal panel 102 is easily understood. For this reason, the intervals are schematically shown in an enlarged manner, and only a few of them are illustrated, and other portions are omitted. Further, the connection state between the terminal 108 and the electrode 107a and the connection state between the terminal 108 and the electrode 107b are not shown in FIG.

また、回路基板103には、配線基板(配線)109上の所定位置に液晶駆動用ICとしての半導体素子(半導体装置)100が実装されている。配線基板109は、例えばポリイミド等の可撓性を有するベース基板(基板)111の上に形成されたCu等の金属膜をパターニングして配線パターン112を形成することによって製造されている。
なお、実際の配線パターン112は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板111上に形成されているが、図9においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子100が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。
In addition, a semiconductor element (semiconductor device) 100 as a liquid crystal driving IC is mounted on the circuit board 103 at a predetermined position on the wiring board (wiring) 109. The wiring substrate 109 is manufactured by patterning a metal film such as Cu formed on a flexible base substrate (substrate) 111 such as polyimide to form a wiring pattern 112.
Note that a large number of actual wiring patterns 112 are formed on the base substrate 111 with an extremely narrow interval. In FIG. 9, in order to facilitate understanding of the structure, the interval is enlarged and schematically illustrated. In addition, the structure is simplified and illustrated. Although not shown, a resistor, a capacitor, and other chip components may be mounted at predetermined positions other than the portion where the semiconductor element 100 is mounted.

本実施形態では、この回路基板103が、上述した描画装置1によりパターンが形成されたテープをデバイス毎に切断することにより製造される。
本実施形態に係る液晶表示装置は、上述した描画装置1を用いて回路基板3が製造されているため、高精度に配線パターンが形成された高品質の液晶表示装置を得ることができる。
In this embodiment, the circuit board 103 is manufactured by cutting the tape on which the pattern is formed by the drawing apparatus 1 described above for each device.
In the liquid crystal display device according to the present embodiment, since the circuit board 3 is manufactured using the drawing device 1 described above, a high-quality liquid crystal display device in which a wiring pattern is formed with high accuracy can be obtained.

(電子機器)
図10(a)〜(c)は、前述した液晶表示装置を有する電子機器の実施の形態例を示す図である。
図10(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図10(a)において、符号1000は携帯電話本体(電子機器)を示し、符号1001は表示部を示している。
図10(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図10(b)において、符号1100は時計本体(電子機器)を示し、符号1101は表示部を示している。
図10(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図10(c)において、符号1200は情報処理装置(電子機器)、符号1202はキーボードなどの入力部、符号1204は情報処理装置本体、符号1206は表示部を示している。
図10(a)〜(c)に示すそれぞれの電子機器は、本発明の描画装置及び描画方法を用いて製造された液晶表示装置を備えているので、配線パターンの描画精度が向上した高品質の電子機器となる。
(Electronics)
10A to 10C are diagrams illustrating an embodiment of an electronic apparatus having the liquid crystal display device described above.
FIG. 10A is a perspective view showing an example of a mobile phone. In FIG. 10A, reference numeral 1000 denotes a mobile phone main body (electronic device), and reference numeral 1001 denotes a display unit.
FIG. 10B is a perspective view illustrating an example of a wristwatch type electronic device. In FIG. 10B, reference numeral 1100 indicates a watch body (electronic device), and reference numeral 1101 indicates a display unit.
FIG. 10C is a perspective view showing an example of a portable information processing apparatus such as a word processor or a personal computer. In FIG. 10C, reference numeral 1200 denotes an information processing apparatus (electronic device), reference numeral 1202 denotes an input unit such as a keyboard, reference numeral 1204 denotes an information processing apparatus body, and reference numeral 1206 denotes a display unit.
Each of the electronic devices shown in FIGS. 10A to 10C includes a liquid crystal display device manufactured by using the drawing apparatus and the drawing method of the present invention, so that high-quality wiring pattern drawing accuracy is improved. It becomes an electronic device.

また、上記実施形態では、電子機器として、携帯電話機、腕時計、情報処理装置を例に挙げて説明したが、これらに限らず、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ(PC)及びエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。   In the above-described embodiment, a mobile phone, a wristwatch, and an information processing apparatus have been described as examples of electronic devices. However, the present invention is not limited to these, and a liquid crystal projector, a multimedia-compatible personal computer (PC), and an engineering workstation. (EWS), pagers, word processors, televisions, viewfinder type or monitor direct-view type video tape recorders, electronic notebooks, electronic desk calculators, car navigation devices, POS terminals, devices equipped with touch panels, etc. Is possible.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   As described above, the preferred embodiments according to the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

例えば、上記実施形態では、テープ押さえ装置34によってテープ81を押さえた後に、負圧吸引装置を作動させて多孔質板51の表面に吸着保持する手順としたが、逆の手順であってもよい。
また、上記実施形態では、カメラ33がカメラ32に対してY軸方向の1軸で相対移動可能な構成としたが、これに限定されるものではなく、Y軸方向及びX軸方向の2軸で相対移動可能な構成であってもよい。
For example, in the above-described embodiment, after the tape 81 is pressed by the tape pressing device 34, the negative pressure suction device is operated and held on the surface of the porous plate 51. However, the reverse procedure may be used. .
In the above embodiment, the camera 33 is configured to be relatively movable with respect to the camera 32 by one axis in the Y-axis direction. However, the present invention is not limited to this, and two axes in the Y-axis direction and the X-axis direction are used. The configuration may be such that relative movement is possible.

また、上記実施形態では、突部72がテープの幅方向と直交する面でガイド軸63の溝部73A〜73Cと嵌合する構成としたが、これに限定されるものではなく、例えば図11(a)に示すように、突部72における嵌合面72a、72a同士及び溝部73A〜73Cにおける嵌合面73a、73a同士が互いに交差する、いわゆるテーパ合わせで嵌合する構成であってもよい。この場合、フランジ体65をがたつきなくガイド軸63に取り付けることが可能になり、精度よくテープを保持することができる。
さらに、図11(b)に示すように、嵌合面の中、図中、左側の嵌合面72b、73bのように、テープの幅方向(テープ保持方向)と直交するように設ける構成も好適である。この構成では、テーパ合わせにより、がたつきがない状態でフランジ体65を取り付けられるとともに、嵌合面72b、73bによりフランジ体65のテープ幅方向の位置を高精度に位置決めすることができ、より高精度にテープを保持することが可能になる。
Moreover, in the said embodiment, although it was set as the structure which the protrusion 72 fits with the groove parts 73A-73C of the guide shaft 63 in the surface orthogonal to the width direction of a tape, it is not limited to this, For example, FIG. As shown in a), the fitting surfaces 72a and 72a in the protrusion 72 and the fitting surfaces 73a and 73a in the groove portions 73A to 73C may intersect with each other so-called taper alignment. In this case, the flange body 65 can be attached to the guide shaft 63 without rattling, and the tape can be held with high accuracy.
Furthermore, as shown in FIG. 11 (b), there is a configuration in which the fitting surface is provided so as to be orthogonal to the tape width direction (tape holding direction), such as the left fitting surfaces 72b and 73b in the drawing. Is preferred. In this configuration, the flange body 65 can be attached without tapering by taper alignment, and the position of the flange body 65 in the tape width direction can be positioned with high accuracy by the fitting surfaces 72b and 73b. It becomes possible to hold the tape with high accuracy.

AM,AM1…アライメントマーク(マーク)、AM2…アライメントマーク(第2マーク)、CONT…制御装置、1…描画装置、32…カメラ(撮像装置)、33…カメラ(第2撮像装置)、50…吸着装置、51…多孔質板、61,62…ガイドローラ(ローラ)、63,64…ガイド軸(軸体)、65…フランジ体(保持体)、71…引張バネ(付勢部材)、72…突部(位置決め部)、72a,73a…嵌合面、73A〜73C…溝部、80〜83…テープ(ワーク)、84…繰出しローラ、85…巻取りローラ、90…液滴吐出ヘッド(吐出ヘッド)。   AM, AM1 ... alignment mark (mark), AM2 ... alignment mark (second mark), CONT ... control device, 1 ... drawing device, 32 ... camera (imaging device), 33 ... camera (second imaging device), 50 ... Adsorption device, 51 ... porous plate, 61, 62 ... guide roller (roller), 63, 64 ... guide shaft (shaft body), 65 ... flange body (holding body), 71 ... tension spring (biasing member), 72 ... Projections (positioning parts), 72a, 73a ... fitting surfaces, 73A to 73C ... grooves, 80 to 83 ... tape (workpiece), 84 ... feeding roller, 85 ... winding roller, 90 ... droplet discharge head (discharge) head).

Claims (8)

帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、
前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、
前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、
前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、
前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とする搬送装置。
A transport device provided with a roller for holding a belt-like workpiece in the width direction,
The roller has a pair of holding bodies that are divided in the width direction and each hold the workpiece,
Each of the pair of holding bodies includes a plurality of divided bodies that can be separated and integrated,
A biasing member that biases the plurality of divided bodies in a direction to be integrated;
And a positioning unit that positions the holding body in the width direction when the plurality of divided bodies are integrated.
請求項1記載の搬送装置において、
前記ローラに挿通され、外周面に溝部が形成された軸体を有し、
前記位置決め部は、前記溝部に嵌合する突部を有することを特徴とする搬送装置。
In the conveying apparatus of Claim 1,
The shaft is inserted through the roller and has a groove formed on the outer peripheral surface,
The said positioning part has a protrusion fitted to the said groove part, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項2記載の搬送装置において、
前記溝部は、前記ワークの幅に応じて複数設けられることを特徴とする搬送装置。
In the conveying apparatus of Claim 2,
A plurality of the groove portions are provided according to the width of the workpiece.
請求項2または3記載の搬送装置において、
前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除されることを特徴とする搬送装置。
In the conveying apparatus of Claim 2 or 3,
The holding body is configured such that when the divided body is integrated, the protrusion fits into the groove, and when the divided body is separated against the urging force of the urging member, A conveying device characterized in that the fitting with the groove is released.
請求項2から4のいずれかに記載の搬送装置において、
前記溝部及び前記突部は、互いに交差する嵌合面で嵌合することを特徴とする搬送装置。
In the conveyance apparatus in any one of Claim 2 to 4,
The said groove part and the said protrusion are fitted by the fitting surface which mutually cross | intersects, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項5記載の搬送装置において、
前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることを特徴とする搬送装置。
In the conveyance apparatus of Claim 5,
At least one of the fitting surfaces is provided substantially perpendicular to the width direction.
帯状のワークを搬送する搬送装置と、搬送された前記ワークに対して液滴を吐出して描画する吐出ヘッドとを備えた描画装置であって、
前記搬送装置として請求項1から6のいずれかに記載の搬送装置が用いられることを特徴とする描画装置。
A drawing apparatus comprising: a conveying device that conveys a belt-shaped workpiece; and a discharge head that draws and draws droplets on the conveyed workpiece,
A drawing apparatus, wherein the conveying apparatus according to claim 1 is used as the conveying apparatus.
帯状のワークを幅方向で保持し軸体が挿通するローラにより搬送する方法であって、
前記ローラを、前記幅方向で分割され、それぞれが前記ワークを保持する一対の保持体で構成し、
前記一対の保持体のそれぞれを、分離一体可能で、且つ一体化する方向に付勢され、前記軸体と嵌合したときに前記幅方向に位置決めされる複数の分割体で構成し、
前記複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除する工程と、
前記ワークに応じた位置で前記分割体を前記軸体に嵌合させる工程とを有することを特徴とする搬送方法。
A belt-like workpiece is held in the width direction and conveyed by a roller through which a shaft body is inserted.
The roller is divided in the width direction, and each comprises a pair of holding bodies that hold the workpiece,
Each of the pair of holding bodies is composed of a plurality of divided bodies that can be separated and integrated and are biased in the direction of integration, and positioned in the width direction when fitted to the shaft body,
Dividing the plurality of divided bodies against a biased force and releasing the fitting with the shaft body;
And a step of fitting the divided body into the shaft body at a position corresponding to the workpiece.
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