JP6404586B2 - Manufacturing method and manufacturing apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、パネル同士を貼り合わせて積層体を製造する技術に関する。 The present invention relates to a technique for manufacturing a laminate by bonding panels together.
テレビ、パソコン、携帯端末等のディスプレイとして、液晶表示パネル等の画像表示パネルと、カバーパネルと、を接着して貼り合せたものが知られている。このようなパネル同士の貼り合わせを行う装置としては、パネル同士の位置合わせ機構と、ローラの押圧により両パネルを密着させる押圧機構を備えた装置が提案されている(特許文献1)。 2. Description of the Related Art Known displays for televisions, personal computers, portable terminals, and the like include an image display panel such as a liquid crystal display panel and a cover panel that are bonded together. As an apparatus for bonding such panels together, there has been proposed an apparatus including an alignment mechanism between panels and a pressing mechanism for bringing both panels into close contact with each other by pressing a roller (Patent Document 1).
特許文献1の装置では、装置にパネルを搬送する搬送系の機構が別に必要となる。システム全体で見ると、搬送系の機構に加えてパネル同士の位置合わせ機構が必要となり、システムの構成が複雑化する場合がある。
The apparatus of
本発明の目的は、両パネルの搬送からパネル同士の位置合わせまでを、より簡易な構成で実現することにある。 An object of the present invention is to realize a simpler configuration from conveying both panels to aligning the panels.
本発明によれば、第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造方法であって、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの位置をそれぞれ検出する位置検出工程と、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送工程と、前記作業領域に向けて、前記第二のパネルを前記第一の方向とは異なる第二の方向に搬送する第二の搬送工程と、を備え、前記位置検出工程による前記第一のパネル及び前記第二のパネルの位置検出結果に基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを貼り合わせる貼合位置を設定し、前記第一の搬送工程では、前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御し、前記第二の搬送工程では、前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御する、ことを特徴とする製造方法が提供される。 According to the present invention, a manufacturing method for manufacturing a laminated body by bonding a first panel and a second panel, the position detection for detecting the positions of the first panel and the second panel, respectively. A first transporting step for transporting the first panel in a first direction toward a work area where the first panel and the second panel are laminated and bonded together; and A second transport step for transporting the second panel in a second direction different from the first direction, and the first panel and the second panel by the position detection step On the basis of the position detection result, a bonding position for bonding the first panel and the second panel is set, and in the first conveying step, the first direction of the first panel is set in the first direction. the conveyance amount, Gyoshi control based on the bonding position, the second The transfer step, the conveyance amount of the second direction of the second panel, control is control based on the bonding position, the manufacturing method characterized is provided that.
また、本発明によれば、第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造装置であって、前記第一のパネルの位置を検出する第一の位置検出ユニットと、前記第二のパネルの位置を検出する第二の位置検出ユニットと、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの搬送量を制御する制御ユニットと、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送機構と、前記作業領域にむけて、前記第二のパネルを前記第一の方向とは異なる第二の方向に搬送する第二の搬送機構と、前記第一の搬送機構及び前記第二の搬送機構を制御する制御ユニットと、を備え、前記制御ユニットは、前記第一の位置検出ユニットによる前記第一のパネルの位置検出結果及び前記第二の位置検出ユニットによる前記第二のパネルの位置検出結果に基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを貼り合わせる貼合位置を設定し、前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御し、前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御する、ことを特徴とする製造装置が提供される。 Further, according to the present invention, a manufacturing apparatus for manufacturing a laminate by bonding a first panel and a second panel, the first position detection unit for detecting the position of the first panel; A second position detection unit for detecting the position of the second panel, a control unit for controlling the transport amount of the first panel and the second panel, the first panel and the second panel A first transport mechanism that transports the first panel in a first direction toward the work area where the panels are laminated and bonded, and the second panel is moved to the first area toward the work area . A second transport mechanism that transports in a second direction different from the direction, and a control unit that controls the first transport mechanism and the second transport mechanism, wherein the control unit includes the first transport mechanism Position detection of the first panel by the position detection unit Based on the result and the position detection result of the second panel by the second position detection unit, a bonding position for bonding the first panel and the second panel is set, and the first panel The conveyance amount in the first direction is controlled based on the bonding position, and the conveyance amount in the second direction of the second panel is controlled based on the bonding position. Is provided.
本発明によれば、両パネルの搬送からパネル同士の位置合わせまでを、より簡易な構成で実現することができる。 According to the present invention, it is possible to realize from the conveyance of both panels to the alignment between the panels with a simpler configuration.
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。各図において、矢印X及びYは互いに直交する水平方向を示し、矢印Zは上下方向を示す。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each figure, arrows X and Y indicate horizontal directions orthogonal to each other, and arrow Z indicates an up-down direction.
<第1実施形態>
<装置の概要>
図1は本発明の一実施形態に係る製造装置Aの平面図、図2は製造装置Aの図1における矢印D1方向矢視図、図3は製造装置Aの図1における矢印D2方向矢視図、図4(A)は製造装置Aの図2における矢印D3方向矢視図である。図4(B)は製造対象となる積層体の分解斜視図である。
<First Embodiment>
<Outline of device>
1 is a plan view of a manufacturing apparatus A according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view of the manufacturing apparatus A in the direction of arrow D1 in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 and FIG. 4 (A) are views of the manufacturing apparatus A in the direction of arrow D3 in FIG. FIG. 4B is an exploded perspective view of a laminate to be manufactured.
製造装置Aは、2枚のパネルを貼り合わせて積層体を製造する装置である。本実施形態の場合、図4(B)に示すように、方形のパネルP1と方形のパネルP2との積層体LBを製造する。パネルP1はカバーパネル、パネルP2は画像表示パネルであり、その積層体LBは画像表示装置を構成するものである。画像表示パネルであるパネルP2は例えば液晶表示パネル(例えば、LCD)であり、その表示面側(図4(B)では下面である)にカバーパネル(例えば、カバーガラス)であるパネルP1が貼り付けられる。パネルP1は光透過性を有するパネル本体MBを備える。パネル本体MBは例えばガラス板や樹脂板である。パネルP2が貼り付けられる、パネル本体MBの表面(図4(B)では上面である)の周縁には遮光層LSが形成されている。 The manufacturing apparatus A is an apparatus that manufactures a laminate by bonding two panels together. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 4B, a laminate LB of a square panel P1 and a square panel P2 is manufactured. The panel P1 is a cover panel, the panel P2 is an image display panel, and the laminated body LB constitutes an image display device. The panel P2 that is an image display panel is, for example, a liquid crystal display panel (for example, an LCD), and a panel P1 that is a cover panel (for example, a cover glass) is attached to the display surface side (the lower surface in FIG. 4B). Attached. The panel P1 includes a panel body MB having light transparency. The panel body MB is, for example, a glass plate or a resin plate. A light shielding layer LS is formed on the periphery of the surface of the panel main body MB (the upper surface in FIG. 4B) to which the panel P2 is attached.
製造装置Aは、装置のレイアウト上、搬入領域R1と、処理領域R2と、搬出領域R3とを備える。搬入領域R1では、パネルP1の供給元の装置からパネルP1が受け渡され、パネルP1が搬入される。処理領域R2は、パネルP1と、パネルP1とは別に搬入されるパネルP2のパネル同士を重ねて貼り合わせる作業領域である。搬出領域R3では処理領域R2で貼り合わされた2枚のパネルP1及びP2の積層体LBが供給先の装置に受け渡され、積層体LBが搬出される。ここで、搬入領域R1に搬入されるパネルP1の表面には、あらかじめ貼り合わせのための接着剤RG(後述)が設けられている。貼り合わせのための接着剤RGとしては、例えば、未硬化状態又は仮硬化状態の接着層、接着シート、接着フィルム等が挙げられる。 The manufacturing apparatus A includes a carry-in area R1, a process area R2, and a carry-out area R3 in view of the layout of the apparatus. In the carry-in region R1, the panel P1 is delivered from the apparatus that supplies the panel P1, and the panel P1 is carried in. The processing region R2 is a work region in which the panels P1 and the panel P2 that is carried in separately from the panel P1 are stacked and pasted together. In the carry-out area R3, the laminated body LB of the two panels P1 and P2 bonded together in the processing area R2 is delivered to the supply destination apparatus, and the laminated body LB is carried out. Here, an adhesive RG (described later) for bonding is provided in advance on the surface of the panel P1 carried into the carry-in region R1. Examples of the adhesive RG for bonding include an uncured or temporarily cured adhesive layer, an adhesive sheet, and an adhesive film.
製造装置Aは、保持ユニット2と、搬送機構3と、押圧ユニット4と、搬入台5と、制御ユニット6と、位置検出ユニット7及び8と、搬送機構12と、昇降ユニット13と、調整ユニット14及び15と、調整ユニット53及び54と、を備える。まず、搬送機構12の構成から説明する。
The manufacturing apparatus A includes a
<搬送機構>
搬送機構12は、搬入領域R1に搬入されたパネルP1を処理領域R2に向けてY方向に搬送するユニットであり、本実施形態の場合、複数のエア浮上テーブル121と、複数のスライドユニット123と、スライドユニット123毎に設けられたレール122と、を備える。
<Transport mechanism>
The
エア浮上テーブル121は空気孔が多数形成された水平な上面を備えている。空気孔は、エア浮上テーブル121内部の通路を介して不図示のエア装置に連通している。エア装置は、ポンプに代表される空気供給装置又は空気吸引装置である。空気孔から空気を噴出することで、パネルP1を浮遊状態で支持することができる。また、エア浮上テーブル121の一部を、一部の空気孔から空気を噴出し、他の一部の空気孔から空気を吸引し、ベルヌーイチャックとすることで、パネルP1を安定して、かつ精密に浮遊状態で支持することができる。 The air levitation table 121 has a horizontal upper surface on which many air holes are formed. The air hole communicates with an air device (not shown) via a passage inside the air floating table 121. The air device is an air supply device or an air suction device represented by a pump. By ejecting air from the air holes, the panel P1 can be supported in a floating state. In addition, a part of the air levitation table 121 is ejected from a part of the air holes, and the air is sucked from the other part of the air holes to form a Bernoulli chuck. It can be precisely supported in a floating state.
エア浮上テーブル121は、パネルP1の搬送方向であるY方向に延設されている。より詳しくは、搬入領域R1から搬出領域R3に渡って溝部121bを除いて全域に延設されている。したがって、製造装置Aの全領域においてパネルP1及び積層体LBを非接触で支持可能である。エア浮上テーブル121は、2つ設けられており、互いに平行に延設され、かつ、X方向に離間して配置されている。2つのエア浮上テーブル121のX方向の隙間は複数のスライドユニット123の移動空間を形成している。エア浮上テーブル121の上面には、溝121aが形成されている。溝121aは後述する昇降ユニット13のピン131の退避空間となっている。
The air levitation table 121 extends in the Y direction, which is the conveyance direction of the panel P1. More specifically, it extends across the entire area from the carry-in area R1 to the carry-out area R3 except for the
スライドユニット123は、エア浮上テーブル121上で浮遊状態で支持されているパネルP1を、搬入領域R1から処理領域R2に搬送し、エア浮上テーブル121上で浮遊状態で支持されている積層体LBを、処理領域R2から搬出領域R3に搬送する。スライドユニット123は、Y方向に延設されたレール122の案内により、不図示の駆動機構によりY方向に往復移動可能である。駆動機構は、例えば、ボールネジ機構、ベルト伝動機構等を採用可能である。スライドユニット123は2つ設けられている。スライドユニット123毎に駆動機構を設けて独立して移動可能とすることで、1つのパネルの搬送途中で次のパネルの搬送を開始すること、すなわち別々の領域に位置する2枚のパネルを別々のタイミングで搬送することが可能となる。
The
スライドユニット123は、吸着部1231と、当接部1232と、スライダ1233と、昇降機構1234とを備える。吸着部1231は、吸着孔1231aが形成された上面を備えている。この上面はパネルP1の下面に吸着可能な水平な吸着面を構成している。吸着孔1231aは、吸着部1231内部の通路を介して不図示の空気装置に連通している。空気装置は、ポンプに代表される空気吸引装置である。吸着孔1231aから空気を吸引することでパネルP1を吸着保持することが可能となる。
The
当接部1232は、パネルP1の端縁に当接可能である。本実施形態の場合、当接部1232は吸着部1231の上部に支持軸を介して回転自在に設けられたローラである。当接部1232は主として、パネル搬入時にパネルP1の姿勢を調整する際に、パネルP1の端縁(上流側の端縁)に当接する。吸着部1231の吸着面のZ方向の位置は、当接部1232のZ方向下端から上端までの範囲内に設定されている。このため、吸着部1231の吸着面は、当接部1232の支持軸が立設している部位よりも一段高い位置に位置している。
The
スライダ1233はレール122と係合し、レール122に案内されてY方向に移動可能である。昇降機構1234は、スライダ1233上に搭載されている。昇降機構1234は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含む。吸着部1231は昇降機構1234に搭載されており、昇降機構1234により昇降される。吸着部1231は、吸着面がエア浮上テーブル121の上面よりも上方に位置する吸着位置と、吸着部1231全体がエア浮上テーブル121の上面よりも下方に位置する退避位置との間で昇降される。吸着位置は吸着部1231をパネルP1に吸着保持させる位置であり、吸着部1231はエア浮上テーブル121の上面よりも僅かに上方に位置する。
The
<昇降ユニット及び調整ユニット>
搬入領域R1には昇降ユニット13と、調整ユニット14及び15とが設けられている。
<Elevating unit and adjustment unit>
In the carry-in area R1, an elevating
昇降ユニット13は、外部の装置と製造装置Aとの間でパネルP1の受け渡しを行うユニットである。搬入領域R1における昇降ユニット13の数は2つである。昇降ユニット13は搬出領域R3にも設けられており、その数は2つである。搬出領域R3の昇降ユニット13は、製造装置Aと外部の装置との間で積層体LBの受け渡しを行う。
The elevating
昇降ユニット13は、複数のピン131と、支持部材132と、昇降機構133と、を備える。複数のピン131は支持部材132に支持されて上方向に延びている。各ピン131は、エア浮上テーブル121の溝121aに設けられた上下方向の貫通孔に挿入されている。複数のピン131は等長であり、それらの先端(上端)の高さは面一である。
The lifting
支持部材132はエア浮上テーブル121の下方に位置し、ピン131の下端が固定されている。昇降機構133は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部材132を昇降する。支持部材132の昇降によりピン131も昇降する。ピン131は、その先端がエア浮上テーブル121の上面よりも上方に突出した上昇位置と、ピン131の先端がエア浮上テーブル121の上面よりも下方に位置する降下位置と、の間で昇降される。図2、図3及び図4(A)はピン131が降下位置にある場合を示しており、ピン131の先端は溝121a内に位置している。
The
調整ユニット14及び15は、搬入領域R1においてパネルP1の姿勢を調整してその位置決めを行う位置決めユニットである。調整ユニット14はX方向におけるパネルP1の姿勢を調整し、調整ユニット15はY方向におけるパネルP1の姿勢を調整する。
The
調整ユニット14は搬入領域R1に複数設けられており、2つのエア浮上テーブル121を挟んでX方向の両側に配置されている。調整ユニット14は、円柱状の当接部141と、駆動部142とを備える。駆動部142は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、当接部141をX方向に往復移動する。駆動部142の駆動により、当接部141は、エア浮上テーブル121からより離れた退避位置からエア浮上テーブル121により近づく位置決め位置へ移動可能である。位置決め位置において当接部141はパネルのX方向の端縁に当接してその姿勢調整及び位置決めが可能である。調整ユニット15も調整ユニット14と同様の構成であるが、その当接部はパネルP1のY方向の端縁(下流側端縁)に当接してその姿勢調整及び位置決めが可能である。
A plurality of
<保持ユニット>
次に、保持ユニット2について説明する。保持ユニット2は、処理領域R2に配置され、一方面に光硬化性樹脂が塗布されたパネルP1を保持するユニットである。保持ユニット2にパネルP1が保持された状態でパネルP2が積層される。
<Holding unit>
Next, the holding
保持ユニット2は、複数の保持機構20a、20bと、複数の支持部材24及び25と、移動機構26と、を備える。保持機構20aは2つ設けられており、パネルP1の搬送方向上流側の端部を保持する。保持機構20bは2つ設けられており、パネルP1の搬送方向下流側の端部を保持する。
The holding
保持機構20aは、平面視で、エア浮上テーブル121、121の各溝121a上の位置に配置されている。保持機構20bは、平面視で、各エア浮上テーブル121、121のX方向外側(レール122に面する側とは反対側)から、溝部121bにかけて配置されている。
The
なお、各保持機構20a、20bのY方向の位置および保持機構20b、20bの離間距離はパネルP1のサイズに応じて調整される。
The positions in the Y direction of the holding
保持機構20a、20bは、それぞれ、保持部21a、21bと、支持部22a、22bと、昇降機構23a、23bとを備える。保持部21a、21bは、パネルP1の周縁部下面に当接するように配置された爪状の部分を含む。保持部21aは、溝121a内に進退自在とされ、また、保持部21bは、溝部121b内に進退自在とされている。
The holding
支持部22a、22bは保持部21a、21bをそれぞれ支持する部材である。昇降機構23a、23bは例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部22a、22bを昇降する機構である。支持部22a、22bを昇降することで保持部21a、21bも昇降することになる。保持部21a、21bは、同じ高さに位置し、それらの昇降動作は同期的に行われる。
The
2つの支持部材24は保持機構20a、20bを支持する梁部材であり、1つの支持部材24に2つの保持機構20a又は2つの保持機構20bが、吊り下げられるようにして支持される。
The two
支持部材24は、互いにY方向に離間して2つ設けられた梁部材である。各支持部材24は、X方向に延設されている。一方の支持部材24には、2つの保持機構20aが吊り下げられるようにして支持され、かつ、一対の支持部材25で支持されている。支持部材25は、支持部材24を水平姿勢で支持する柱部材である。
The
残りの一方の支持部材24は、2つの保持機構20aを支持し、一対の移動機構26でY方向に移動可能に支持されている。移動機構26は、例えば、エアシリンダや電動シリンダ等のアクチュエータを駆動源として備えている。なお、2つの支持部材24の双方をY方向に移動可能に構成することもできる。
The remaining one
<押圧ユニット>
押圧ユニット4は、処理領域R2に配置され、保持ユニット2の各保持部21上で水平保持されて重ね合わせられたパネルP1とパネルP2に、その厚み方向(ここではZ方向)の押圧力を付与する機構であり、処理領域R2に配置されている。なお、パネルP1とパネルP2とは互いに接して重ねられてもよいし、僅かに離間して重ねられてもよい。
<Pressing unit>
The
押圧ユニット4は、ローラ41と、複数の支持部42と、複数の昇降機構43と、複数のスライダ44と、複数のレール45とを備える。支持部42と昇降機構43とスライダ44とレール45とは2組設けられており、昇降機構43はスライダ44に搭載され、支持部42は昇降機構43に搭載されている。
The
ローラ41は、2つのエア浮上テーブル121を跨るようにX方向に水平に延設されている。ローラ41は、その両端部が支持部42に回転自在に支持されて自由回転可能なフリーローラである。レール45は、2つのエア浮上テーブル121を挟んで両側にそれぞれ配置されており、Y方向に水平に延設されている。スライダ44はレール45と係合してレール45の案内によりY方向に移動可能である。スライダ44は不図示の駆動機構によってY方向に往復移動される。2つのスライダ44を同期的に移動させることで、ローラ41をY方向に平行移動することができる。
The
昇降機構43は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部42を昇降する。2つの支持部42を同期的に昇降移動させることで、ローラ41をZ方向に平行移動(昇降)することができる。
The elevating
<搬入台及び調整ユニット>
搬入台5は、外部の装置と製造装置Aとの間でパネルP2の受け渡しを行うユニットである。搬入台5は、エア浮上テーブル51と、昇降ユニット52とを備える。エア浮上テーブル51は、エア浮上テーブル121と同様の構成であり、空気孔が多数形成された水平な上面を備え、空気孔から空気を噴出することでパネルP2を浮遊状態で支持することができる。パネルP2の種類、大きさによっては、搬入台5として、エア浮上テーブルでなく、通常の接触式の置き台を用いてもよい。
<Loading table and adjustment unit>
The carry-in table 5 is a unit that transfers the panel P <b> 2 between an external apparatus and the manufacturing apparatus A. The carry-in table 5 includes an air floating table 51 and a
昇降ユニット52は昇降ユニット13と同様の構成であり、複数のピン521と、支持部材522と、昇降機構523と、を備える。複数のピン521は支持部材522に支持されて上方向に延びている。各ピン521は、エア浮上テーブル51の溝51aに設けられた上下方向の貫通孔に挿入されている。複数のピン521は等長であり、それらの先端(上端)の高さは面一である。
The lifting
支持部材522はエア浮上テーブル51の下方に位置し、ピン521の下端が固定されている。昇降機構523は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部材522を昇降する。支持部材522の昇降によりピン521も昇降する。ピン521は、その先端がエア浮上テーブル51の上面よりも上方に突出した上昇位置と、ピン521の先端がエア浮上テーブル51の上面よりも下方に位置する降下位置と、の間で昇降される。
The
エア浮上テーブル51の周囲には、調整ユニット53及び54が配設されている。調整ユニット53及び54は、エア浮上テーブル51上でパネルP2の姿勢を調整してその位置決めを行うユニットである。
調整ユニット53はY方向におけるパネルP2の姿勢を調整し、調整ユニット54はX方向におけるパネルP2の姿勢を調整する。調整ユニット53及び54は、調整ユニット14又は15と同様の構成であり、姿勢調整及び位置決めの原理も同様である。パネルP2の姿勢調整の機構は調整ユニット53および54に限られず、例えば姿勢調整ユニット又は位置決め調整ユニットとして慣用的に用いられている全ての装置、機構、ユニットが挙げられる。また、パネルP2の姿勢調整及び位置決めを、ガイド治具を用いて作業員がマニュアルで行うようにしても良い。
The
<搬送機構>
搬送機構3は、搬入台5に搬入されたパネルP2を処理領域R2に向けてX方向に搬送するユニットである。搬送機構3は、パネルP2を保持ユニット2に保持されたパネルP1の上方に搬送し、降下させて両者を重ね合わせる。搬送機構3は、吸着ユニット31と、回転ユニット32と、可動ユニット33と、レール部材34と、複数の支柱35とを備える。
<Transport mechanism>
The
吸着ユニット31は、その下面が水平な吸着面を構成している。この吸着面には空気孔が形成されており、吸着ユニット31内部の通路を介して不図示の空気吸引装置に接続されている。空気吸引装置は例えばポンプである。空気孔から空気を吸引することで、吸着ユニット31はパネルP2の上面を負圧吸引して吸着する。吸着ユニット31は回転ユニット32の下端に固定されている。
The lower surface of the
回転ユニット32は、可動ユニット33によって昇降されるZ方向に延びる昇降軸であると共に、吸着ユニット31をZ軸周りに回転させる回転機構32aを備える。回転機構32aは例えばモータと減速機であり、その出力軸に吸着ユニット31の中心部が固定される。吸着ユニット31を回転させることにより、吸着ユニット31に吸着されているパネルP2を回転することができ、その姿勢を補正することができる。つまり、回転機構32aは補正ユニットとして機能する。
The rotating
可動ユニット33は回転ユニット32を昇降する昇降機構を備える。昇降機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。レール部材34はX方向に水平に延設されており、その両端部が支柱35により支持されている。可動ユニット33は不図示の駆動機構によってレール部材34の案内によってX方向に往復移動可能である。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。可動ユニット33のX方向の移動と、回転ユニット32の昇降とによって吸着ユニット31はX−Z平面上を移動可能である。
The
<位置検出ユニット>
位置検出ユニット7は、搬入領域R1に設けられ、調整ユニット14及び15により姿勢調整及び位置決めが行われたパネルP1の位置を検出するユニットである。調整ユニット14及び15により姿勢調整及び位置決めが行われたパネルP1であっても、その製造精度やパネル個体差に起因して、同一形状及び正確な方形ではなく、また、調整ユニット14及び15の位置決め精度の影響で、全く同じ姿勢及び位置にあるわけではない。これは、パネルP1とパネルP2とを貼り合わせる際の、位置ずれの要因となる。そこで、位置検出ユニット7によって、パネルP1の、より正確な姿勢及び/又は位置を検出する。
<Position detection unit>
The
本実施形態の場合、位置検出ユニット7はパネルP1の画像を撮影してその姿勢及び/又は位置を検出する。位置検出ユニット7としては、パネルP1のX方向及びY方向の位置が検出可能なものであれば、どのような構成のものであってもよい。好ましい位置検出ユニット7としては、非接触で、高速・高精度に、広範囲の姿勢及び/又は位置の検出が可能なものである。
In the case of this embodiment, the
位置検出ユニット7は、カメラ71と、スライダ72と、レール部材73とを備える。レール部材73は、2列のエア浮上テーブル121上を横断するようにX方向に水平に延設されている。スライダ72はレール部材73と係合し、不図示の駆動機構によってレール部材73の案内によってX方向に往復移動可能である。駆動機構は例えばリニアモータ機構、ボールねじ機構、又はベルト伝動機構等を採用可能である。
The
カメラ71は、スライダ72に支持され、撮影範囲が下向きに設定されている。これにより、エア浮上テーブル121上のパネルP1を撮影可能となっている。本実施形態の場合、カメラ71は、パネルP1の所定の部位を撮影してその位置を検出するが、パネルP1全体を撮影するように構成されていても勿論構わない。
The
撮影して位置を検出する部位は、本実施形態の場合、パネルP1の外形の角部である。パネルP1は方形であるため、4つの角部の位置を検出する。なお、撮影して位置を検出する部位はこれに限られない。例えば、図4(B)に示すように、遮光層LSの内縁の角部であってもよい。また、パネルP1に事前にアライメントマークを付しておき、このマークを対象としてもよい。 In the case of the present embodiment, the site for photographing and detecting the position is a corner of the outer shape of the panel P1. Since the panel P1 is rectangular, the positions of the four corners are detected. In addition, the site | part which image | photographs and detects a position is not restricted to this. For example, as shown in FIG. 4B, it may be a corner portion of the inner edge of the light shielding layer LS. Further, an alignment mark may be attached to the panel P1 in advance, and this mark may be the target.
スライダ72の移動位置を検知するセンサを設けるか、又は駆動機構のコントローラの制御量により、カメラ71の画像中の物体の位置をセンサの検出結果、或いはコントローラの制御量に基づくスライダ72の位置から演算することができ、結果として、パネルP1の角部の位置を演算できる。
A sensor for detecting the moving position of the
次に、位置検出ユニット8は、搬入台5に隣接して設けられ、吸着ユニット31に吸着されたパネルP2の位置を検出するユニットである。調整ユニット53及び54により姿勢調整及び位置決めが行われたパネルP2であっても、その製造精度やパネル個体差に起因して、同一形状及び正確な方形ではなく、また、調整ユニット53及び54の位置決め精度の影響で、全く同じ姿勢及び位置にあるわけではない。これは、パネルP1とパネルP2とを貼り合わせる際の、位置ずれの要因となる。そこで、位置検出ユニット8によって、パネルP2の、より正確な姿勢及び/又は位置を検出する。
Next, the
本実施形態の場合、位置検出ユニット8はパネルP2の画像を撮影してその姿勢及び/又は位置を検出する。位置検出ユニット8としては、位置検出ユニット7と同様の構成のものであってよい。
In the case of the present embodiment, the
位置検出ユニット8は、2つのカメラ81と、2つのカメラ81を支持する支持部材82と、移動機構83と、を備える。支持部材82はY方向に延設された部材であり、その両端部にカメラ81が配置されている。移動機構83は例えば電動シリンダであり、吸着ユニット31と干渉しないように、撮影位置と退避位置との間で支持部材82をX方向に進退させる。
The
2つのカメラ81は、パネルP2のY方向の幅分に概ね相当する距離だけ離間して支持されており、撮影範囲が上向きに設定されている。これにより、吸着ユニット31に吸着されたパネルP2を下から撮影可能となっている。本実施形態の場合、カメラ81はパネルP2の所定の部位を撮影してその位置を検出するが、パネルP2全体を撮影するように構成されていても勿論構わない。また、少なくともカメラ81の一方を、支持部材82の長手方向(Y方向)に沿って移動自在に設けてもよい。これによって、撮影範囲の狭いカメラ81であったとしても、様々なサイズのパネルP2に対応することが可能となる。
The two
撮影して位置を検出する部位は、本実施形態の場合、パネルP2の外形の角部である。2つのカメラ81で同時に2か所の角部を撮影し、吸着ユニット31を回転させることで残りの2か所の角部も撮影できる。撮影位置は固定の位置であることから、カメラ81の画像から、パネルP2の角部の位置を演算できる。
In the case of the present embodiment, the part for photographing and detecting the position is a corner of the outer shape of the panel P2. Two corners can be photographed simultaneously by two
パネルP2は方形であるため、4つの角部の位置を検出する。なお、撮影して位置を検出する部位はこれに限られない。例えば、パネルP2の回路配置領域(外縁から所定幅内側の領域)の角部であってもよい。また、パネルP2に事前にアライメントマークを付しておき、このマークを対象としてもよい。 Since the panel P2 is rectangular, the positions of the four corners are detected. In addition, the site | part which image | photographs and detects a position is not restricted to this. For example, it may be a corner portion of a circuit arrangement region (region inside a predetermined width from the outer edge) of the panel P2. Further, an alignment mark may be attached to the panel P2 in advance, and this mark may be the target.
<制御ユニット>
図5は製造装置Aの制御を行う制御ユニット6のブロック図である。制御ユニット6は、CPU等の処理部61と、RAM、ROM等の記憶部62と、外部デバイスと処理部61とをインターフェースするインターフェース部63と、を含む。インターフェース部63には、ホストコンピュータとの通信を行う通信インターフェースも含まれる。ホストコンピュータは、例えば、製造装置Aが配置された製造設備全体を制御するコンピュータである。
<Control unit>
FIG. 5 is a block diagram of the
処理部61は記憶部62に記憶されたプログラムを実行し、各種のセンサ65の検出結果や上位のコンピュータ等の指示に基づいて、各種のアクチュエータ64を制御する。各種のセンサ65には、例えば、スライドユニット123の位置を検出するセンサ、支持部42の位置を検出するセンサ、吸着ユニット31の位置や回転角度を検出するセンサ、スライダ72の位置を検出するセンサ、支持部材82の位置を検出するセンサ、カメラ71及び81が備える撮像センサ等、各種のセンサが含まれる。各種アクチュエータ93には、例えば、エア浮上テーブル121、51用の空気装置、吸着部1231用の空気装置、吸着ユニット21用の空気装置、各種機構の駆動源等が含まれる。
The
<制御例>
処理部61の制御例について図6(A)〜図16を参照して説明する。ここでは製造装置AへのパネルP1、P2の搬入、パネルP1に対する搬送、パネルP1とパネルP2との貼り合わせ、及び、積層体LBの搬出という一連の動作について説明する。
<Control example>
A control example of the
図6(A)は外部の装置により搬入領域R1にパネルP1が搬入される直前の状態を示している。搬入領域R1に設けられた2台の昇降ユニット13は、各ピン131が上昇位置に位置している。吸着部1231は搬入領域R1の上流端の位置(初期位置という)において退避位置に位置している。調整ユニット14の当接部141は退避位置に位置している。図示していないが調整ユニット15も同様である。エア浮上テーブル121の空気孔12から空気が噴出される。
FIG. 6A shows a state immediately before the panel P1 is carried into the carry-in area R1 by an external device. In the two lifting
図6(B)は外部の装置により搬入領域R1にパネルP1が搬入された状態を示している。パネルP1は、遮光層LSが形成された表面を上面として、水平姿勢で複数のピン131上に載置される。パネルP1の上面には、事前に接着剤RGが塗布されている(図9(A)、(B)参照)。
FIG. 6B shows a state in which the panel P1 is carried into the carry-in area R1 by an external device. The panel P1 is placed on the plurality of
その後、図6(C)に示すように搬入領域R1に設けられた2台の昇降ユニット13は、各ピン131を降下位置に降下する。これによりパネルP1が複数のピン131からエア浮上テーブル121に移載される。このとき、パネルP1はエア浮上テーブル121の上面に密着するのではなく、上面から若干浮き上がった浮遊状態で支持される。
Thereafter, as shown in FIG. 6C, the two lifting
次に、パネルP1の姿勢調整及び位置決めを行う。図7(A)に示すように、各調整ユニット14が駆動され、当接部141が位置決め位置に移動する。位置決め位置における当接部141間のX方向の離間距離は、パネルP1のX方向の幅に略等しい。このため、パネルP1の姿勢が乱れていた場合は、パネルP1の側縁に当接部141が当接し、姿勢及び位置が調整される。これにより、パネルP1の四辺のうち、X方向両側に位置する一対の辺は、それぞれレール122側に向かってセンタリングされて位置決めされ、Y方向と平行又はほぼ平行に姿勢調整される。
Next, posture adjustment and positioning of the panel P1 are performed. As shown in FIG. 7A, each
並行して、パネルP1のスライドユニット123に対するY方向の姿勢及び位置の調整を行う。駆動部152の駆動により、調整ユニット15の当接部151が、それぞれ姿勢及び位置調整位置に移動する。このとき、両調整ユニット15は、Y方向における位置が同じ位置となるよう、また、X方向に対して平行となるように、それぞれの姿勢及び位置が調整されている。パネルP1の移動には2つのスライドユニット123のうちの一方を用いる。図7(B)に示すように吸着部1231が昇降機構1234によって吸着位置に上昇される。
In parallel, the posture and position in the Y direction with respect to the
図8(A)に示すように、スライドユニット123をパネルP1のサイズに応じて設定された距離だけY方向に移動して停止する。このとき、吸着部1231の当接部1232がパネルP1の搬送方向上流側端縁(搬送方向後端縁)に当接し、パネルP1を搬送方向下流側に向かって押圧する。その後、パネルP1の搬送方向下流側端縁が両当接部151に当接され、スライドユニット123の移動が停止される。スライドユニット123の停止時における当接部1232と当接部151とのY方向の離間距離は、パネルP1のY方向の幅に略等しい。これにより、パネルP1の搬送方向の両側の端縁(搬送方向の前端縁及び後端縁)の内、少なくとも搬送方向前端縁は、両当接部151の位置に位置決めされ、X方向と平行に姿勢調整される。
As shown in FIG. 8A, the
以上により、パネルP1の姿勢調整及び位置決めが完了する。この段階で吸着部1231の吸着孔1231aからの空気の吸引を行い、吸着部1231にパネルP1を吸着保持させる。図8(B)に示すように、調整ユニット14及び15の各当接部141、151を退避位置に戻す。当接部151を退避位置に戻す前に、スライドユニット123を僅かに上流側に戻すことで当接部151がパネルP1の前端縁(搬送方向下流側の端縁)と擦れることを防止できる。
Thus, the posture adjustment and positioning of the panel P1 are completed. At this stage, air is sucked from the suction holes 1231a of the
次に、位置検出ユニット7によりパネルP1の位置を検出する。図9(A)に示すように、スライダ71をX方向に移動し、パネルP1の角部の上方と推測される2か所の位置においてスライダ71の移動を停止してカメラ71で撮影を行う。これによりパネルP1の前側(搬送方向で下流側)の2か所の角部が撮影される。
Next, the
次に、図9(B)に示すようにスライドユニット123をパネルP1のY方向の幅分だけ移動させ、パネルP1をY方向の幅分だけ送り出す。スライダ71を図9(A)の場合とは逆方向に移動し、パネルP1の角部の上方と推測される2か所の位置においてスライダ71の移動を停止してカメラ71で撮影を行う。これによりパネルP1の後側(搬送方向で上流側)の2か所の角部が撮影される。こうして4か所の角部が撮影される。撮影画像から4か所の角部の位置が検出される。後述するように、この検出結果からパネルP1とパネルP2との貼り合わせ位置が合うようにパネルP1のY方向の搬送量を制御する。
Next, as shown in FIG. 9B, the
パネルP1に対する上記の処理に並行して、外部の装置により搬入台5にパネルP2が搬入される。昇降ユニット52は、各ピン521が上昇位置に位置した状態にあり、エア浮上テーブル51の空気孔12から空気が噴出される。そして、図1における矢印11A方向矢視図を図10(A)に示すように、エア浮上テーブル51上にパネルP2が搬入される。パネルP2はパネルP1と貼り合わされる面を下向きとした水平姿勢で複数のピン521上に載置される。この姿勢でパネルP2を搬入、搬送し、パネルP1はパネルP2と貼り合わせる面を上向きの姿勢で、搬入、搬送することにより、両者を貼り合わせる際に、パネルP1やパネルP2の上下面の姿勢を変更するための、”持ち替え”が不要となる。
In parallel with the above processing for the panel P1, the panel P2 is carried into the carry-in table 5 by an external device. The elevating
図10(B)に示すように昇降ユニット52により、各ピン521を降下位置に降下させる。これによりパネルP2が複数のピン521からエア浮上テーブル51に移載される。このとき、パネルP2はエア浮上テーブル51の上面に密着するのではなく、若干浮き上がった浮遊状態で支持される。
As shown in FIG. 10B, the
続いて、パネルP2の姿勢調整及び位置決めを行う。図10(B)及び図10(C)に示すように、各調整ユニット53、54の駆動部532、542が駆動され、当接部531、541が位置決め位置に移動する。位置決め位置における当接部531間のY方向の離間距離は、パネルP2のY方向の幅に略等しい。また、位置決め位置における当接部541間のX方向の離間距離は、パネルP2のX方向の幅に略等しい。このため、パネルP2の姿勢が乱れていた場合は、パネルP2の側縁に当接部531、541が当接し、姿勢及び位置が調整される。パネルP1は保持ユニット2へ移動している。
Subsequently, the posture adjustment and positioning of the panel P2 are performed. As shown in FIGS. 10B and 10C, the
以上により、パネルP2の姿勢調整及び位置決めが完了する。その後、図10(D)に示すように、駆動部532、542が、調整ユニット53、54の各当接部531、541を退避位置に戻すと共に、昇降ユニット52が、各ピン521を上昇位置に上昇させ、パネルP2が持ち上げられる。
Thus, the posture adjustment and positioning of the panel P2 are completed. Thereafter, as shown in FIG. 10D, the
なお、パネルP2の姿勢調整および位置決めの前後に、各ピン521を下降位置に下降させ、パネルP2をテーブル521に載置した状態で、パネルP2の検査等の処理を行ってもよい。
Before and after the posture adjustment and positioning of the panel P2, each
次に、図11(A)に示すように吸着ユニット31を搬入台5上に移動し、パネルP2上に降下させてパネルP2を吸着する。パネルP2は、パネルP1に貼り合わされる側の面(ここでは下面)とは反対側の面(ここでは上面)が吸着される。図11(B)に示すように吸着ユニット31を搬入台5から上昇し、位置検出ユニット8によりパネルP2の位置を検出する。図11(B)に示すように、移動機構83により支持部材82が撮影位置に移動され、2つのカメラ81が図12(A)に示すようにパネルP2の2つの角部の略真下に位置する。2つのカメラ81で撮影を行うことで、パネルP2のX方向の一方側(図12(A)中では上側)における2か所の角部が撮影される。
Next, as shown in FIG. 11A, the
次に、パネルP2のX方向の他方側における2か所の角部の撮影に移る。回転機構32aを駆動し、図12(B)及び図12(C)に示すように吸着ユニット31を180度回転させる。回転完了後、2つのカメラ81で撮影を行うことで、パネルP2の反対側(図12(C)中では上側、図12(A)中では下側に位置)における残りの2か所の角部が撮影される。こうして4か所の角部が撮影される。撮影画像から4か所の角部の位置が検出される。後述するように、この検出結果からパネルP1とパネルP2との貼り合わせ位置が合うようにパネルP2のX方向の搬送量を制御する。
Next, it moves to imaging | photography of two corners in the other side of the X direction of panel P2. The
パネルP2の搬入に並行して、パネルP1を処理領域R2へ搬送して保持ユニット2で保持する。図13(A)に示すように、保持機構20bの保持部21bは溝部121b内のエア浮上テーブル121の上面よりも下側の待機位置に位置しており、その上にパネルP1が搬送される。保持機構20aの保持部21aはパネルP1よりも高い位置で、かつ、パネルP1よりも搬送方向で上流側に待機している。
In parallel with the loading of the panel P2, the panel P1 is transported to the processing region R2 and held by the holding
図13(B)に示すように保持機構20aの保持部21aを溝121a内に降下させる。続いて移動機構26(図1参照)を駆動して保持機構20aを支持する支持部材24を移動し、図14(A)に示すように、保持部21aをパネルP1の下側に進入させる。
As shown in FIG. 13B, the holding
パネルP1が各保持部21a、21b上の位置に移動されると、スライドユニット123の吸着部1231でのパネルP1の吸着が解除され、図14(A)に示すようにスライドユニット123は僅かに上流側の位置へ退避する。
When the panel P1 is moved to a position on each holding
図14(B)に示すように各昇降機構23a、23bが同期的に駆動されて各保持部21a、21bを同期的に上昇させる。これによりパネルP1が保持部21a、21bに移載される。各保持部21a、21bはパネルP1を下から支え、ローラ41よりも高い保持位置まで上昇される。
As shown in FIG. 14B, the elevating
次に、搬送機構3によりパネルP2を保持ユニット2に保持されたパネルP1の上方に搬送し、両者を重ね合わせる。図15で二点鎖線及び矢印A131、A132で示すように、吸着ユニット31を水平移動してパネルP1上に移動させ、吸着ユニット31を降下してパネルP1上にパネルP2を重ね合わせる。このとき、パネルP1とパネルP2とは僅かに接触するか或いは僅かに離間した状態にあり、パネルP2は吸着ユニット31に支持されたままである。
Next, the
次に、パネルP1とパネルP2を重ね合わせたものに厚み方向の押圧力を付与する。まず、図16(A)に示すように、ローラ41をパネルP1の下へ移動する。ローラ41は、後に保持部21bと干渉しないよう、保持部21bの真下を避けた上で、パネルP1の搬送方向前端縁よりもわずかに搬送方向上流側の位置まで移動される。
Next, a pressing force in the thickness direction is applied to the stacked panel P1 and panel P2. First, as shown in FIG. 16A, the
続いて、図16(B)に示すように、昇降機構43によりローラ41を上昇させ、パネルP1の下面に当接して上方(パネルP2側)へ押圧する。押圧の反力は吸着ユニット31を介して搬送機構3により受けられる。パネルP1、P2はローラ41と吸着ユニット31とで挟持された状態となる。この状態で、図16(C)に示すようにローラ41をY方向に移動させ、保持部21aと干渉しない範囲でパネルP1の搬送方向後端縁よりもわずかに搬送方向下流側の位置まで移動させる。ローラ41はフリーローラであるので、転動しながらパネルP1の下面を搬送方向下流側から上流側にかけて押圧する。これにより、全面に渡ってパネルP1とパネルP2とが圧着されて貼り合わされ、積層体LBが得られる。この状態では、積層体LBは吸着ユニット31に実質的に支持されている。
Subsequently, as shown in FIG. 16B, the
次に、積層体LBを吸着ユニット31からスライドユニット123へ移載する。まず、図17(A)に示すように昇降機構43によりローラ41を降下させる。図17(B)に示すようにローラ41を元の位置へY方向に移動する。また、スライドユニット123を積層体LBの下方へ移動する。図17(C)に示すように、保持ユニット2の各保持部21を待機位置に降下させ、吸着ユニット31を降下させて積層体LBをエア浮上テーブル121上に位置させる。スライドユニット123の吸着部1231での吸着を再開し、吸着ユニット31の吸着を解除することで、積層体LBが保持ユニット31からスライドユニット123へ移載される。
Next, the stacked body LB is transferred from the
次に、積層体LBを搬出する工程に移る。図18に示すように、スライドユニット123を移動して、積層体LBを搬出エリアR3の昇降ユニット13上に移動する。吸着ユニット31は次の処理を行うべく、上昇後、X方向に移動される。積層体LBが搬出エリアR3の昇降ユニット13上に到達すると、各ピン131を上昇させて積層体LBの下面に当接させた後、スライドユニット123の吸着部1231による積層体LBの吸着を解除する。これにより積層体LBはエア浮上テーブル121からピン131に移載され、供給先の装置に受け渡し可能な状態となる。
Next, the process proceeds to the step of carrying out the stacked body LB. As shown in FIG. 18, the
このように本実施形態の製造装置Aでは、両パネル(パネルP1とパネルP2)の搬送から両パネル同士の位置合わせまでを連続的に、精度よく行うことができ、積層体LBの製造効率を向上できる。 As described above, in the manufacturing apparatus A of the present embodiment, it is possible to continuously and accurately perform the conveyance of both panels (panel P1 and panel P2) to the alignment between the two panels, thereby improving the production efficiency of the stacked body LB. It can be improved.
次に、図19(A)〜図20(B)を参照して、パネルP1、パネルP2の搬送量の制御について説明する。パネルP1と、パネルP2とは、互いに位置ずれなく、所定の位置関係で貼り合わせられることが好ましい。そこで、位置検出ユニット7によるパネルP1の位置検出結果と、位置検出ユニット8によるパネルP2の位置検出結果に基づいて、パネルP1、パネルP2を貼り合わせする位置にパネルP1、パネルP2が位置するように、パネルP1、P2の各搬送量の制御を行う。ここでは、パネルP1、パネルP2のX−Y平面上の各中心位置が合うように各搬送量を制御する。中心位置としては、パネルの対角線同士の交点や、パネルの一方の向かい合う辺の中点同士を結ぶ線と他方の向かい合う辺の中点同士を結ぶ線との交点等が挙げられる。
Next, with reference to FIGS. 19A to 20B, control of the transport amounts of the panels P1 and P2 will be described. It is preferable that the panel P1 and the panel P2 are bonded to each other with a predetermined positional relationship without positional displacement. Therefore, based on the position detection result of the panel P1 by the
図19(A)は、搬送量制御の説明図である。処理領域R2における積層体LBの中心位置を座標RP(X、Y)と仮定する。座標RP1(X、Y1)は、調整ユニット14及び15により姿勢調整及び位置決めされたパネルP1の中心点の理想的な座標である。パネルP1の中心点が座標RP1にある場合、基準距離LY(=Y−Y1)だけパネルP1をY方向に搬送すると、パネルP1が処理領域R2において、その中心点が座標RPに位置することになる。
FIG. 19A is an explanatory diagram of transport amount control. The center position of the stacked body LB in the processing region R2 is assumed to be coordinates RP (X, Y). The coordinates RP1 (X, Y1) are ideal coordinates of the center point of the panel P1 whose posture is adjusted and positioned by the adjusting
同様に、座標RP2(X1、Y)は、調整ユニット53及び54により姿勢調整及び位置決めされたパネルP2の中心点の理想的な座標である。パネルP2の中心点が座標RP2にある場合、基準距離LX(=X−X1)だけパネルP1をX方向に搬送すると、パネルP2が処理領域R2において、その中心が座標RPに位置することになる。
Similarly, the coordinates RP2 (X1, Y) are ideal coordinates of the center point of the panel P2 whose posture is adjusted and positioned by the adjusting
そして、パネルP1、P2の実際の中心点が、座標RP1、RP2からずれている場合、パネルP1のY方向の搬送量はY方向のずれ分だけ加減すればよく、また、パネルP2のX方向の搬送量はX方向のずれ分だけ加減すればよい。 If the actual center points of the panels P1 and P2 are deviated from the coordinates RP1 and RP2, the transport amount in the Y direction of the panel P1 may be adjusted by the amount of deviation in the Y direction, and the X direction of the panel P2 It is sufficient to increase or decrease the transport amount of X.
このような搬送量の制御を行うためには、X方向、Y方向の座標設定が必要となる。図19(B)はその一例を示す。ここでは、パネルP1に相当する治具G1と、パネルP2に相当する治具G2とを用いる。治具G1と治具G2とは、互いの貼り合わせ位置がぴったり合った状態で処理領域R2に配置され、これを原位置とする。 In order to control the carry amount as described above, coordinate settings in the X direction and the Y direction are necessary. FIG. 19B shows an example. Here, a jig G1 corresponding to the panel P1 and a jig G2 corresponding to the panel P2 are used. The jig G1 and the jig G2 are disposed in the processing region R2 in a state where the bonding positions of the jigs G1 and G2 are closely aligned with each other, and this is the original position.
そして、治具G2を搬送機構3によって例えば基準距離LXだけ逆搬送し、位置検出ユニット8でその位置を検出する。同様に、治具G1を搬送機構12によって例えば距離LYだけ逆搬送し、位置検出ユニット7でその位置を検出する。位置検出ユニット7及び8の位置検出結果から、X方向、Y方向の座標設定が可能となる。
Then, the jig G2 is reversely conveyed by, for example, the reference distance LX by the
制御に利用する情報としては、例えば、原位置における治具G1と治具G2の中心座標を原点とする。そして、位置検出ユニット7による逆搬送後の治具G1の4つの角部の座標から治具G1の中心点の座標を演算してパネルP1の基準中心点とする。また、位置検出ユニット8による逆搬送後の治具G2の4つの角部の座標から治具G2の中心点の座標を演算してパネルP2の基準中心点とする。
As information used for control, for example, the center coordinates of the jig G1 and the jig G2 at the original position are set as the origin. And the coordinate of the center point of the jig | tool G1 is calculated from the coordinate of the four corners of the jig | tool G1 after reverse conveyance by the
或いは、位置検出ユニット7による逆搬送後の治具G1の4つの角部の座標をそれぞれ角部の基準座標とし、位置検出ユニット8による逆搬送後の治具G2の4つの角部の座標をそれぞれ角部の基準座標としてもよい。
Alternatively, the coordinates of the four corners of the jig G1 after reverse conveyance by the
図20(A)は搬送量制御の一例を示している。位置検出ユニット7及び8の位置検出結果から、パネルP1の中心点の座標がPC1(x1、y1)、パネルP2の中心点の座標がPC2(x2、y2)と算出されたとする。処理領域R2において、パネルP1、P2の搬送後の中心点が座標RC(x1、y2)となるように搬送すれば、パネルP1、P2を互いに位置ずれなく貼り合わせることができる。
FIG. 20A shows an example of the conveyance amount control. Assume that the coordinates of the center point of the panel P1 are calculated as PC1 (x1, y1) and the coordinates of the center point of the panel P2 are calculated as PC2 (x2, y2) from the position detection results of the
そのために、パネルP1の搬送量Lyは、Ly=y2−y1、又は、Ly=LY+(Y1−y1)−(Y−y2)と設定することができる。また、パネルP2の搬送量Lxは、Lx=x2−x1、又は、Lx=LX+(X−x1)−(X1−x2)と設定することができる。 Therefore, the transport amount Ly of the panel P1 can be set as Ly = y2−y1 or Ly = LY + (Y1−y1) − (Y−y2). Further, the transport amount Lx of the panel P2 can be set as Lx = x2-x1 or Lx = LX + (X-x1)-(X1-x2).
パネルP1の位置検出タイミングと、パネルP2の位置検出タイミングとは、必ずしも一致しない。パネルP2の位置検出タイミングよりもパネルP1の位置検出タイミングの方が早い場合、パネルP1の搬送量は、基準距離LYに設定しておき、パネルP2の位置検出完了により、搬送量を増減するようにしてもよい。また、パネルP2の位置検出前にパネルP1が既に基準距離LYの搬送を完了している場合は、パネルP1を停止させておき、パネルP2の位置検出完了により、パネルP1を上流側又は下流側に必要量だけ再搬送するようにしてもよい。 The position detection timing of the panel P1 and the position detection timing of the panel P2 do not necessarily match. When the position detection timing of the panel P1 is earlier than the position detection timing of the panel P2, the transport amount of the panel P1 is set to the reference distance LY, and the transport amount is increased or decreased when the position detection of the panel P2 is completed. It may be. If the panel P1 has already completed the transport of the reference distance LY before the position of the panel P2 is detected, the panel P1 is stopped, and the panel P1 is moved upstream or downstream when the position detection of the panel P2 is completed. In addition, only a necessary amount may be re-conveyed.
パネルP1又はパネルP2のいずれか一方の姿勢が適切でない場合も想定される。例えば、図20(B)に示すように、パネルP2は二点鎖線で図示するようにX方向に対してほぼ平行な姿勢であり(微小角度θ2(図示省略≠0度)だけ傾いていると仮定する)、パネルP1がX方向に対して角度θ傾いている場合も想定される。或いは、パネルP1の外形が厳密な方形ではなく、平行四辺形状や台形状になっている場合もある。この場合、少なくともパネルP1及びパネルP2の各対応する一辺(例えばパネルP1の搬送方向下流側の辺SD1及びパネルP2におけるパネルP1の辺SD1との重ね合わせに対応する辺SD2)同士のみを合わせることも可能である。 It is assumed that the posture of either the panel P1 or the panel P2 is not appropriate. For example, as shown in FIG. 20B, the panel P2 has a substantially parallel posture with respect to the X direction as shown by a two-dot chain line (if it is tilted by a minute angle θ2 (not shown) ≠ 0 degrees). It is assumed that the panel P1 is inclined at an angle θ with respect to the X direction. Alternatively, the outer shape of the panel P1 may not be a strict square, but may be a parallelogram or a trapezoid. In this case, at least the corresponding sides of the panel P1 and the panel P2 (for example, the side SD1 on the downstream side in the transport direction of the panel P1 and the side SD2 corresponding to the overlap with the side SD1 of the panel P1 in the panel P2) are matched. Is also possible.
まず、パネルP1、P2の姿勢或いは各辺の向きは、位置検出ユニット7、8による角部の検出結果から検出できる。更に、本実施形態の場合、回転ユニット32によって吸着ユニット31を回転することで、パネルP2の姿勢を補正可能である。
First, the postures of the panels P1 and P2 or the orientations of the sides can be detected from the corner detection results by the
したがって、例えば、図20(B)に示すように角度θだけ傾いたパネルP1に対して、貼り合わせ位置においてパネルP2を重ね合わせるために必要な補正角度θ’(=θ−θ2)分だけパネルP2を回転させることで、パネルP1、P2の姿勢或いは向きを合わせることも可能である。このとき、パネルP2の中心点の座標PC2(x2、y2)は、パネルP2を角度θ’だけ回転させた後の中心点の座標PC2’(x2’、y2’)に置き換えた後、パネルP1の搬送量Ly、パネルP2の搬送量Lxをそれぞれ設定することになる。座標PC2’は、座標PC2と、回転角と、回転ユニット32の回転中心の座標(設計上、既知の座標である)から演算することができる。 Therefore, for example, as shown in FIG. 20B, the panel P1 tilted by the angle θ is corrected by the correction angle θ ′ (= θ−θ2) necessary for overlapping the panel P2 at the bonding position. By rotating P2, it is possible to match the postures or orientations of the panels P1 and P2. At this time, the coordinates PC2 (x2, y2) of the center point of the panel P2 are replaced with the coordinates PC2 ′ (x2 ′, y2 ′) of the center point after the panel P2 is rotated by the angle θ ′, and then the panel P1. The carry amount Ly and the carry amount Lx of the panel P2 are respectively set. The coordinate PC <b> 2 ′ can be calculated from the coordinate PC <b> 2, the rotation angle, and the coordinates of the rotation center of the rotation unit 32 (designally known coordinates).
なお、本実施形態ではパネルP2を回転可能としたが、パネルP1を回転可能に構成してもよい。或いは、パネルP1、パネルP2の双方を回転可能としてもよい。 In the present embodiment, the panel P2 is rotatable, but the panel P1 may be configured to be rotatable. Alternatively, both the panel P1 and the panel P2 may be rotatable.
以上の通り、本実施形態では、パネルP1のY方向の搬送量と、パネルP2のX方向の搬送量の制御によって、パネルP1とパネルP2との互いの貼り合わせ位置を合わせることができ、貼り合わせ位置を合わせるための専用の装置を必要としない。したがって、パネルの搬送からパネル間の位置合わせまでを、より簡易な構成で実現することができる。 As described above, in the present embodiment, the bonding positions of the panel P1 and the panel P2 can be matched by controlling the transport amount in the Y direction of the panel P1 and the transport amount in the X direction of the panel P2. A dedicated device for adjusting the alignment position is not required. Therefore, from the conveyance of the panel to the alignment between the panels can be realized with a simpler configuration.
なお、本実施形態では、パネルP1及びパネルP2の角部や中心点を基準としているが、基準の取り方はこれに限られず、一部の辺としてもよいし、アライメントマーク等を基準としてもよい。 In this embodiment, the corners and center points of the panel P1 and the panel P2 are used as a reference. However, the method of taking the reference is not limited to this, and may be a part of the side, or may be an alignment mark or the like. Good.
また、本実施形態では、パネルP1とパネルP2として、カバーパネル及び画像表示パネルを例示したが、本発明はこれ以外のパネルにも適用可能である。パネルP1とパネルP2の形状も方形に限られず、各種の形状に対応可能である。樹脂RGの段差の要因として、遮光層LSの存在による段差を例示したが、本発明はこれ以外の段差を要因とする樹脂RGの段差の抑制にも適用可能である。 In the present embodiment, the cover panel and the image display panel are exemplified as the panel P1 and the panel P2. However, the present invention can be applied to other panels. The shapes of the panel P1 and the panel P2 are not limited to a square, and can be various shapes. Although the step due to the presence of the light shielding layer LS has been exemplified as the factor of the step of the resin RG, the present invention can also be applied to the suppression of the step of the resin RG caused by other steps.
本実施形態では、パネルP1の搬送機構12として、エア浮上テーブル121とスライドユニット123とを組み合わせた構成としたが、これに限られず、ベルトコンベアやローラコンベア等、各種の移動機構を採用可能である。
In the present embodiment, the air floating table 121 and the
本実施形態では、搬送機構3が吸着ユニット31によってパネルP2を吸着保持する構成としたが、保持機構はこれに限られずクランプ機構等の機械式保持機構等、他の保持機構を採用してもよい。
In the present embodiment, the
本実施形態では、積層体LBの押圧に際して、ローラ41を採用したが、これ以外の押圧機構も採用可能である。また、積層体LBの押圧に際して、ローラ41をY方向に移動する構成としたが、積層体LBをY方向に移動する構成としてもよい。更に、ローラ41をパネルP1下面に当接する構成としたが、これとは逆に、積層体LBを下側から支えてパネルP2上面側からパネルP1側へ押圧する構成としてもよい。
In the present embodiment, the
本実施形態では、保持ユニット2によるパネルP1の保持機構として、保持部21a、21b上にパネルP1を載せる構成としたが、吸着保持やクランプ機構等の機械式保持機構等、他の保持機構も採用可能である。
In the present embodiment, the panel P1 is held by the holding
<第2実施形態>
ローラ41によってパネルP1をパネル2側に押圧する際、極力気泡が混入しないようにパネルP1を押圧することが好ましい。そこで、パネルP1を傾斜して保持しておき、ローラ41の移動に伴って水平姿勢となるようにしてもよい。図21(A)〜(D)はその一例を示す。
Second Embodiment
When pressing the panel P1 to the
まず、図21(A)に示すように、パネルP1を、搬送方向で上流側の端部E2が、搬送方向で下流側の端部E1よりもパネルP2から離れるように斜めに保持する。換言すると、ローラ41による押圧開始位置に近い方の端部E1はパネルP2に近接させ、押圧終了位置に近い方の端部E2はパネルP2から離れるようにパネルP1を保持する。同図の例では、保持部21、21の高さを変えることで、端部E1、E2間で高低差hを生じさせている。
First, as shown in FIG. 21A, the panel P1 is held obliquely so that the upstream end E2 in the transport direction is farther from the panel P2 than the downstream end E1 in the transport direction. In other words, the end E1 closer to the pressing start position by the
次に、図21(B)に示すように、ローラ41による押圧を開始する。ローラ41の移動に合わせて、端部E2側の保持部21を上昇させ(図21(C))、ローラ41が押圧終了位置に到達したときには、図21(D)に示すように、パネルP1が水平姿勢となるようにする。パネルP1とパネルP2との間の空気が、ローラ41の押圧と移動によって端部E2側から押し出されて抜けやすくなり、気泡の混入を低減することができる。
Next, as shown in FIG. 21B, pressing by the
図21(A)〜(D)の方法により気泡の混入を防止する際、パネルP1の強度や柔軟性次第で、ローラ41が押圧を開始した直後に、パネルP1の端部E2側がパネルP2に接触してくっつく場合があり得る。この場合、空気が押し出されにくくなる。そこで、パネルP1のうち、ローラ41による押圧前の部分が、パネルP2に接触することを規制するようにしてもよい。図22(A)〜(E)はその一例を示す図である。
When preventing bubbles from being mixed by the method of FIGS. 21A to 21D, depending on the strength and flexibility of the panel P1, immediately after the
同図の例では、保持機構20a、20bに代わる保持機構200a、200bを採用し、保持機構200a、200bに上述した規制を行う構成を設けている。
In the example of the figure, holding
図22(A)を参照して、保持機構200aは、保持部201aと、規制部202aと、支持部203aと、昇降機構204aと、を備える。図示しないが、昇降機構204aは、例えば、上述した支持部材24及び移動機構26と同様の構成でY方向に移動可能とされ、したがって、保持部201aと、規制部202aとはY方向に移動可能とされている。
Referring to FIG. 22A, the
保持機構200bは、保持部201bと、規制部202bと、支持部203bと、昇降機構204bと、を備える。図示しないが、昇降機構204bも、例えば、上述した支持部材24及び移動機構26と同様の構成でY方向に移動可能とされ、したがって、保持部201bと、規制部202bとはY方向に移動可能とされている。
The holding mechanism 200b includes a holding
保持部201a、201bは、パネルP1の周縁部下面に当接するように配置された爪状の部材である。規制部202a、202bは、保持部201からZ方向に離間して配置され、保持部201a、201b上のパネルP1が上方へ移動することを規制する爪状の部材である。支持部203a、203bは、保持部201a、201bと規制部202a、202bとを支持する部材である。昇降機構204a、204bは、支持部203a、203bを昇降する機構を備える。
The holding
図22(A)に示すように、保持部201a、201bは、パネルP1の保持前においては、パネルP1よりも高い位置に退避している。パネルP1を保持する場合は、図22(B)に示すように、昇降機構204a、204bによって保持部201a、201b及び規制部202a、202bを降下させ、かつ、保持部201a、201bと規制部202a、202bとの間にパネルP1が挿入されるように、昇降機構204a、204bをY方向に移動する。
As shown in FIG. 22A, the holding
続いて、昇降機構204a、204bによって、保持部201a、201b及び規制部202a、202bを上昇させ、保持部201a、201bによってパネルP1を保持する。このとき、図22(C)に示すように、端部E1側を端部E2側よりも高い位置に上昇することで、パネルP1の姿勢は上述した図21(A)と同様になる。
Subsequently, the holding
次に、図22(D)に示すように、ローラ41による押圧を開始する。端部E1側がローラ41で押圧されることにより、端部E2側もパネルP2に接触する可能性があるが、規制部202が端部E2と当接して、端部E2がパネルP2に近接することを規制する。その後、図21(A)〜(D)の例と同様に、ローラ41の移動に合わせて、端部E2側の保持部201a、201bを上昇させ(図22(E))、ローラ41が押圧終了位置に到達したときには、パネルP1が水平姿勢となるようにする。
Next, as shown in FIG. 22D, pressing by the
こうして、パネルP1のうち、ローラ41による押圧前の部分がパネルP2に貼りつくことを防止することができる。その結果、パネルP1とパネルP2との間の空気が、ローラ41の押圧と移動によって端部E2側から押し出されて抜けやすくなり、より確実に気泡の混入を低減することができる。
Thus, the portion of the panel P1 before being pressed by the
なお、本実施形態では、端部E1側の保持機構200にも規制部202を設けているが、これを省略してもよい。
In the present embodiment, the restricting portion 202 is also provided in the
<第3実施形態>
パネルP1に接着剤RGを塗布する塗布ユニットか、その硬化を促進する装置の少なくともいずれかを設けてもよい。図23は、その一例を示す。
<Third Embodiment>
You may provide at least any one of the application | coating unit which apply | coats the adhesive agent RG to the panel P1, or the apparatus which accelerates | stimulates the hardening. FIG. 23 shows an example.
同図の製造装置Bは、塗布ユニット1と硬化促進装置UV1とが設けられている。塗布ユニット1の上流側には昇降ユニット13と、調整ユニット14及び15とが設けられ、下流側には、調整ユニット14及び15と位置検出ユニット7とが設けられている。本実施形態の場合、接着剤RGの塗布前に、その上流側の調整ユニット14及び15でパネルP1の位置決めを行い、塗布後にも、その下流側の調整ユニット14及び15でパネルP1の位置決めを行う。そして、位置検出ユニット7でパネルP1の位置検出を行って、パネルP2との貼り合わせ位置が合うようにパネルP1の搬送量を制御する構成である。
The manufacturing apparatus B in the figure is provided with a
塗布ユニット1は、パネルP1の表面に、接着剤RGとして液状の光硬化性樹脂を塗布するユニットであり、塗布ヘッド10と、移動機構11と、を備える。
The
塗布ヘッド10はエア浮上テーブル121の上方に配置されており、エア浮上テーブル121の上面に対向するように配置されたノズル101を備える。ノズル101は液状で光透過性を有する光硬化性樹脂を吐出可能である。
The
ノズル101はX方向に延在するスリット状のノズルであり、光硬化性樹脂はX方向に広がる幕状に下方へ連続的に吐出される。パネルP1を搬送機構12で搬送しながら光硬化性樹脂を吐出することでパネルP1の表面に光硬化性樹脂の液膜を形成することができる。
The
移動機構11は、塗布ヘッド10のX方向の両端部にそれぞれ設けられており、塗布ヘッド10を水平姿勢で支持する。各移動機構11は、不図示の駆動機構を備え、互いに同期的に制御されて塗布ヘッド10をZ方向に移動する。換言すると、移動機構11は塗布ヘッド10を水平姿勢に保持したまま、昇降する。塗布ヘッド10はY方向及びX方向には移動不能である。駆動機構は、例えば、ボールネジ機構、ベルト伝動機構等を採用可能である。
The moving
硬化促進装置UV1は、保持ユニット2よりもY方向の下流側に配置されており、積層体LBの形成後に、光硬化性樹脂の硬化を促進する。硬化促進装置UV1は、X方向に延設され、その両端部が支柱CLで支持されてエア浮上テーブル121の上面よりも上方に水平に配置されている。
The curing accelerating device UV1 is disposed downstream of the holding
硬化促進装置UV1は、X方向に延設された光源LTSを備える。光源LTSは紫外線を照射する。積層体LBが硬化促進装置UV1の下方を移動する際、光源LTSにより積層体LBに紫外線を照射する工程を実行することで、光硬化性樹脂の硬化が促進され、パネルP1とパネルP2との接着を強固なものとすることができる。 The curing accelerator UV1 includes a light source LTS that extends in the X direction. The light source LTS emits ultraviolet rays. When the laminated body LB moves below the curing accelerating device UV1, by performing a process of irradiating the laminated body LB with ultraviolet light by the light source LTS, curing of the photocurable resin is promoted, and the panel P1 and the panel P2 Adhesion can be made strong.
<第4実施形態>
パネルP1の光硬化性樹脂の硬化を促進する構成を設けてもよい。図24は本実施形態の製造装置Cの平面図である。製造装置Cは製造装置Bに硬化促進装置UV2とシャッタ装置9とを追加したものであり、他の構成は製造装置Bと同じである。なお、製造装置Cにおいて硬化促進装置UV1を設けない構成も採用可能である。
<Fourth embodiment>
You may provide the structure which accelerates | stimulates hardening of the photocurable resin of the panel P1. FIG. 24 is a plan view of the manufacturing apparatus C of this embodiment. The manufacturing apparatus C is obtained by adding a curing accelerating device UV2 and a
硬化促進装置UV2は、塗布ヘッド10よりもY方向の下流側で、位置検出ユニット7や保持ユニット2等よりも上流側に配置されている。つまり、パネルP1とパネルP2との貼り合わせ位置よりも上流側に位置している。
The curing accelerating device UV2 is disposed downstream of the
硬化促進装置UV2の構成は硬化促進装置UV1と同じである。つまり、硬化促進装置UV2は、X方向に延設され、その両端部が支柱CLで支持されてエア浮上テーブル121の上面よりも上方に水平に配置されている。硬化促進装置UV2は、X方向に延設された光源LTSを備える。光源LTSは紫外線を照射する。パネルP1が硬化促進装置UV2の下方を移動する際、光源LTSによりパネルP1に紫外線を照射する工程を実行することで、光硬化性樹脂を半硬化させることができる。これにより、パネルP1とパネルP2とを貼り合わせる際に、気泡の混入を防ぎ、両者の位置ずれ等を防止して積層体LBの取扱いを容易化することができる。 The configuration of the curing accelerator UV2 is the same as that of the curing accelerator UV1. That is, the curing accelerating device UV2 extends in the X direction, and both ends thereof are supported by the support columns CL and are horizontally disposed above the upper surface of the air floating table 121. The curing accelerating device UV2 includes a light source LTS extending in the X direction. The light source LTS emits ultraviolet rays. When the panel P1 moves below the curing accelerating device UV2, the photocurable resin can be semi-cured by executing a process of irradiating the panel P1 with ultraviolet rays by the light source LTS. Thereby, when the panel P1 and the panel P2 are bonded together, it is possible to prevent bubbles from being mixed and to prevent misalignment between the two, thereby facilitating the handling of the stacked body LB.
シャッタ装置9は、塗布ヘッド10と硬化促進装置UV2との間に配置されている。シャッタ装置9は、X方向に延設され、その両端部が支柱92で支持されてエア浮上テーブル121の上面よりも上方に水平に配置されている。シャッタ装置9は、塗布ヘッド10と硬化促進装置UV2との間を遮光可能な可動のシャッタ91を備える。
The
シャッタ装置9は、パネルP1がシャッタ装置9の下方を通過するとシャッタ91を降下して塗布ヘッド10と硬化促進装置UV2との間を遮光する。その後、硬化促進装置UV2が駆動され紫外線が照射される。シャッタ91の存在により塗布ヘッド10は紫外線から遮光され、ノズル101に付着している光硬化性樹脂が固化することを抑制できる。パネルP1が硬化促進装置UV2を通過して光源91の駆動が停止されるとシャッタ91は上昇される。
When the panel P1 passes below the
P1、P2 パネル、LB 積層体、3 搬送機構、6 制御ユニット、7、8 位置検出ユニット、12 搬送機構
P1, P2 panel,
Claims (21)
前記第一のパネル及び前記第二のパネルの位置をそれぞれ検出する位置検出工程と、
前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送工程と、
前記作業領域に向けて、前記第二のパネルを前記第一の方向とは異なる第二の方向に搬送する第二の搬送工程と、を備え、
前記位置検出工程による前記第一のパネル及び前記第二のパネルの位置検出結果に基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを貼り合わせる貼合位置を設定し、
前記第一の搬送工程では、前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御し、
前記第二の搬送工程では、前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御する、
ことを特徴とする製造方法。 A manufacturing method of manufacturing a laminate by bonding a first panel and a second panel,
A position detection step of detecting the positions of the first panel and the second panel,
A first transporting step of transporting the first panel in a first direction toward a work area in which the first panel and the second panel are stacked and bonded together;
A second transport step for transporting the second panel in a second direction different from the first direction toward the work area;
Based on the position detection result of the first panel and the second panel by the position detection step, set the bonding position to bond the first panel and the second panel,
In the first transport step, the transport amount in the first direction of the first panel is controlled based on the bonding position,
In the second transport step, the transport amount in the second direction of the second panel is controlled based on the bonding position.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記第一のパネル又は前記第二のパネルの少なくともいずれか一方の姿勢を補正する補正工程を更に備え、
前記補正工程では、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの前記位置検出結果に基づいて、前記第一の方向及び前記第二の方向の双方に対して直交する第三の方向の軸回りに、姿勢を補正するべくパネルを回転させる、
ことを特徴とする製造方法。 The manufacturing method according to claim 1,
A correction step of correcting the posture of at least one of the first panel and the second panel;
In the correction step, based on the position detection results of the first panel and the second panel, the third direction is orthogonal to both the first direction and the second direction. Rotate the panel to correct the posture,
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記補正工程では、前記第二のパネルの姿勢を補正し、
前記第一の搬送工程では、前記位置検出工程により位置が検出された前記第一のパネルを、前記作業領域に向けて前記第一の方向に搬送し、
前記第二の搬送工程では、前記位置検出工程により位置が検出され、かつ、前記補正工程により姿勢が補正された前記第二のパネルを、前記作業領域に向けて前記第二の方向に搬送する、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 2, Comprising:
In the correction step, the posture of the second panel is corrected,
In the first transport step, the first panel whose position is detected by the position detection step is transported in the first direction toward the work area,
In the second transport step, the second panel whose position is detected by the position detection step and whose posture is corrected by the correction step is transported in the second direction toward the work area. ,
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記補正工程では、前記第一のパネルの姿勢を補正し、
前記第一の搬送工程では、前記位置検出工程により位置が検出され、かつ、前記補正工程により姿勢が補正された前記第一のパネルを、前記作業領域に向けて前記第一の方向に搬送し、
前記第二の搬送工程では、前記位置検出工程により位置が検出された前記第二のパネルを、前記作業領域に向けて前記第二の方向に搬送する、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 2, Comprising:
In the correction step, the posture of the first panel is corrected,
In the first transport step, the first panel whose position is detected by the position detection step and whose posture is corrected by the correction step is transported in the first direction toward the work area. ,
In the second transport step, the second panel whose position is detected by the position detection step is transported in the second direction toward the work area.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記第一の方向と前記第二の方向とは互いに直交する方向であり、
前記位置検出工程は、前記第一のパネルの所定の部位の位置、及び、前記第二のパネルの所定の部位の位置をそれぞれ検出し、
前記製造方法は、
前記第一のパネルの所定の部位の位置検出結果に基づいて、前記第一のパネルの中心点を算出する工程と、
前記第二のパネルの所定の部位の位置検出結果に基づいて、前記第二のパネルの中心点を算出する工程と、を含み、
前記第一のパネルの前記中心点と前記第二のパネルの前記中心点とに基づいて、前記貼合位置を設定する、
ことを特徴とする製造方法。 The manufacturing method according to claim 1,
The first direction and the second direction are directions orthogonal to each other,
The position detection step detects the position of the predetermined part of the first panel and the position of the predetermined part of the second panel,
The manufacturing method includes:
Calculating a center point of the first panel based on a position detection result of a predetermined part of the first panel;
Calculating the center point of the second panel based on the position detection result of the predetermined part of the second panel,
Based on the center point of the first panel and the center point of the second panel, the bonding position is set.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記補正工程によって回転される前記パネルの回転後の位置を算出する算出工程を備え、
前記第一のパネルの前記位置検出結果と、前記第二のパネルの前記位置検出結果と、前記算出工程で算出した前記パネルの位置と、に基づいて前記貼合位置を設定する、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 2, Comprising:
A calculation step of calculating a position after rotation of the panel rotated by the correction step;
The bonding position is set based on the position detection result of the first panel, the position detection result of the second panel, and the position of the panel calculated in the calculation step.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記第一のパネルを、少なくとも前記第二の方向について位置決めする第一の位置決め工程と、
前記第二のパネルを、少なくとも前記第一の方向について位置決めする第二の位置決め工程と、を更に備え、
前記第一の搬送工程では、前記第一の位置決め工程で位置決めされた前記第一のパネルを前記作業領域に向けて搬送し、
前記第二の搬送工程では、前記第二の位置決め工程で位置決めされた前記第二のパネルを前記作業領域に向けて搬送し、
前記位置検出工程では、前記第一の位置決め工程による位置決め後の前記第一のパネルの位置、及び、前記第二の位置決め工程による位置決め後の前記第二のパネルの位置をそれぞれ検出する、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of any one of Claims 3-6,
A first positioning step of positioning the first panel at least in the second direction;
A second positioning step of positioning the second panel at least in the first direction,
In the first conveying step, the first panel positioned in the first positioning step is conveyed toward the work area,
In the second transport step, the second panel positioned in the second positioning step is transported toward the work area,
In the position detection step, the position of the first panel after positioning by the first positioning step and the position of the second panel after positioning by the second positioning step are detected, respectively.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記作業領域において、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの積層体に、厚み方向の押圧力を付与する押圧工程を更に備える、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of any one of Claims 1-7,
In the work area, further comprising a pressing step of applying a pressing force in the thickness direction to the laminate of the first panel and the second panel.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記押圧工程では、
前記第一のパネル又は前記第二のパネルの一方にローラを当接し、前記積層体又は前記ローラの一方を移動させることで、前記積層体を厚み方向に押圧する、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 8, Comprising:
In the pressing step,
A roller is brought into contact with one of the first panel or the second panel, and the laminate is pressed in the thickness direction by moving one of the laminate or the roller.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記第二の搬送工程では、前記第二のパネルの前記第一のパネルに貼り合される側の面とは反対側の面を吸着して前記第二のパネルを搬送する、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 8, Comprising:
In the second transport step, the second panel is transported by adsorbing the surface of the second panel opposite to the surface to be bonded to the first panel,
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記作業領域において、前記作業領域に搬送された前記第一のパネルを保持して上昇させる保持工程を更に備え、
前記第二の搬送工程では、前記保持工程で保持された前記第一のパネル上に前記第二のパネルを搬送し、
前記押圧工程では、前記保持工程で保持された前記第一のパネルを、前記第二のパネルへ押圧する、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 10, Comprising:
In the work area, further comprising a holding step of holding and raising the first panel conveyed to the work area,
In the second transporting process, the second panel is transported onto the first panel held in the holding process,
In the pressing step, the first panel held in the holding step is pressed against the second panel.
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記押圧工程では、
前記保持工程で保持された前記第一のパネルを、前記第一のパネルの一方端部側からローラで前記第二のパネルへ押圧しながら前記ローラを前記第一のパネルの他方端部側へ移動させ、
前記保持工程では、
前記第一のパネルの前記他方端部側が前記一方端部側よりも前記第二のパネルから離れるように保持し、前記ローラが前記第一のパネルの前記他方端部側へ近づくにつれて、前記第一のパネルの前記他方端部側が前記第二のパネルに近づくように前記他方端部側を上昇させる、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 11, Comprising:
In the pressing step,
While pressing the first panel held in the holding step from one end side of the first panel to the second panel with a roller, the roller is moved to the other end side of the first panel. Move
In the holding step,
The other end side of the first panel is held so as to be farther from the second panel than the one end side, and as the roller approaches the other end side of the first panel, Raising the other end side so that the other end side of one panel approaches the second panel;
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記第一のパネルのうち、前記ローラによる押圧前の部分が、前記第二のパネルに接触することを規制する規制工程を含む、
ことを特徴とする製造方法。 It is a manufacturing method of Claim 12, Comprising:
Including a regulating step of regulating the portion of the first panel before being pressed by the roller from contacting the second panel;
The manufacturing method characterized by the above-mentioned.
前記第一のパネルの位置を検出する第一の位置検出ユニットと、
前記第二のパネルの位置を検出する第二の位置検出ユニットと、
前記第一のパネル及び前記第二のパネルの搬送量を制御する制御ユニットと、
前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送機構と、
前記作業領域にむけて、前記第二のパネルを前記第一の方向とは異なる第二の方向に搬送する第二の搬送機構と、
前記第一の搬送機構及び前記第二の搬送機構を制御する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記第一の位置検出ユニットによる前記第一のパネルの位置検出結果及び前記第二の位置検出ユニットによる前記第二のパネルの位置検出結果に基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを貼り合わせる貼合位置を設定し、
前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御し、
前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記貼合位置に基づいて制御する、
ことを特徴とする製造装置。 A manufacturing apparatus for manufacturing a laminate by bonding a first panel and a second panel,
A first position detection unit for detecting the position of the first panel;
A second position detection unit for detecting the position of the second panel;
A control unit for controlling the transport amount of the first panel and the second panel;
A first transport mechanism for transporting the first panel in a first direction toward a work area in which the first panel and the second panel are stacked and bonded together;
A second transport mechanism for transporting the second panel in a second direction different from the first direction toward the work area;
A control unit for controlling the first transport mechanism and the second transport mechanism,
The control unit is
Based on the position detection result of the first panel by the first position detection unit and the position detection result of the second panel by the second position detection unit, the first panel and the second panel Set the bonding position where
Control the conveyance amount of the first direction of the first panel based on the bonding position,
Control the conveyance amount of the second direction of the second panel based on the bonding position,
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
前記第一のパネル又は前記第二のパネルの少なくともいずれか一方の姿勢を補正する補正ユニットを更に備え、
前記補正ユニットは、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの前記位置検出結果に基づいて、前記第一の方向及び前記第二の方向の双方に対して直交する第三の方向の軸回りに、姿勢を補正するべくパネルを回転させる、
ことを特徴とする製造装置。 15. The manufacturing apparatus according to claim 14, wherein
A correction unit for correcting the posture of at least one of the first panel and the second panel;
The correction unit is configured to rotate around an axis in a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction based on the position detection results of the first panel and the second panel. Rotate the panel to correct the posture,
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
前記作業領域において、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの積層体に、厚み方向の押圧力を付与する押圧ユニットを更に備える、
ことを特徴とする製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 14 or 15,
In the work area, further comprising a pressing unit that applies a pressing force in the thickness direction to the laminate of the first panel and the second panel.
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
前記押圧ユニットは、
前記第一のパネル又は前記第二のパネルの一方に当接するローラを備え、前記積層体又は前記ローラの一方を移動させることで、前記積層体を厚み方向に押圧する、
ことを特徴とする製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 16, wherein
The pressing unit is
A roller abutting on one of the first panel or the second panel, and pressing the laminate in the thickness direction by moving one of the laminate or the roller;
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
前記第二の搬送機構は、前記第二のパネルの前記第一のパネルに貼り合される側の面とは反対側の面を吸着して前記第二のパネルを搬送する、
ことを特徴とする製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 17,
The second transport mechanism transports the second panel by adsorbing a surface of the second panel opposite to a surface bonded to the first panel;
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
前記作業領域において、前記作業領域に搬送された前記第一のパネルを保持して上昇させる保持ユニットを更に備え、
前記第二の搬送機構は、前記保持ユニットで保持された前記第一のパネル上に前記第二のパネルを搬送し、
前記押圧ユニットは、前記保持ユニットで保持された前記第一のパネルを、前記第二のパネルへ押圧する、
ことを特徴とする製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 18, wherein
In the work area, further comprising a holding unit that holds and raises the first panel conveyed to the work area,
The second transport mechanism transports the second panel onto the first panel held by the holding unit,
The pressing unit presses the first panel held by the holding unit against the second panel;
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
前記押圧ユニットは、前記保持ユニットで保持された前記第一のパネルを、前記第一のパネルの一方端部側からローラで前記第二のパネルへ押圧しながら前記ローラを前記第一のパネルの他方端部側へ移動させ、
前記保持ユニットは、
前記第一のパネルの前記他方端部側が前記一方端部側よりも前記第二のパネルから離れるように保持し、前記ローラが前記第一のパネルの前記他方端部側へ近づくにつれて、前記第一のパネルの前記他方端部側が前記第二のパネルに近づくように前記他方端部側を上昇させる、
ことを特徴とする製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 19, wherein
The pressing unit is configured to press the roller of the first panel while pressing the first panel held by the holding unit from the one end side of the first panel to the second panel with a roller. Move to the other end side,
The holding unit is
The other end side of the first panel is held so as to be farther from the second panel than the one end side, and as the roller approaches the other end side of the first panel, Raising the other end side so that the other end side of one panel approaches the second panel;
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
前記保持ユニットは、前記第一のパネルのうち、前記ローラによる押圧前の部分が、前記第二のパネルに接触することを規制する規制部を含む、
ことを特徴とする製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 20, wherein
The holding unit includes a restricting portion that restricts a portion of the first panel before being pressed by the roller from contacting the second panel.
The manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
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JP2002368064A (en) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Seiko Epson Corp | Device and method of detecting mark, device and method of alignment, method of manufacturing electro-optical panel, and method of manufacturing electro-optical device |
JP4626160B2 (en) * | 2004-03-04 | 2011-02-02 | 株式会社ニコン | Wafer overlay method and wafer overlay apparatus |
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JP2006120928A (en) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Shibaura Mechatronics Corp | Mounting apparatus and method of electronic component |
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JP2009280338A (en) * | 2008-05-21 | 2009-12-03 | Kuraimu Prod Kk | Workpiece laminating device and workpiece laminating method |
JP5090535B2 (en) * | 2008-09-04 | 2012-12-05 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Bonding device |
JP5479701B2 (en) * | 2008-10-06 | 2014-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Display panel module assembly equipment |
JP5074368B2 (en) * | 2008-12-15 | 2012-11-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Deposition equipment |
JP4889057B2 (en) * | 2009-09-25 | 2012-02-29 | 株式会社Fuk | Film sticking device |
AU2011358318B2 (en) * | 2011-01-31 | 2014-11-27 | Luoyang Landglass Technology Co., Ltd. | Device for continuously processing vacuum glass member |
JP5490741B2 (en) * | 2011-03-02 | 2014-05-14 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate transport apparatus position adjustment method and substrate processing apparatus |
JP5710761B2 (en) * | 2011-06-15 | 2015-04-30 | クライムプロダクツ株式会社 | Workpiece precision laminating apparatus and workpiece precision laminating method |
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