JP2009236899A - 振動環境における性能が改善された振動梁加速度計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この加速度計は、プルーフマスと、少なくとも2つの対向する内壁を有する筐体と、筐体の対向する壁のうち第1の壁に対して第1の端部でプルーフマスをたわみ可能に接続する1つまたは複数のたわみ部とを含む。第1の共振器は、上記第1の端部の反対側のプルーフマスの端部でプルーフマスの第1の面に接続されるとともに、たわみ部に取り付けられていない筐体壁に接続される。第2の共振器は、プルーフマスの第2の面および第1の共振器を受ける筐体壁に接続される。第2の面は、第1の面のようにプルーフマスの反対側にある。
【選択図】図2
Description
本明細書に記載した本発明は、米国政府の契約FA9453−05−C−0241のもとで作業を実行する中で作成されたものである。その政府機関は、空軍研究所(AFRL:Air Force Research Laboratories)である。米国政府は、本発明の一部に対する権利を有することができる。
本発明の好ましい実施形態および代替の実施形態を後述の添付図面を参照して以下に詳細に説明する。
本発明は、振動梁の力/周波数の非線形性からのKipを用いて振り子のドループのKipを相殺することによって上述の問題を解決する。Kipについてのこれらの2つの源は、実質的に互いを相殺するように、本発明により符号が逆であるようになされ、かつ/または正確に等しく逆であるようになされる。
1)ドループのKipは、依然として正であり、
2)振子軸72に沿っての正の加速度(紙面の右への筐体の動き)は、共振器64−1と64−2の両方を張力のかかった状態にし、共振器の非線形の力/周波数の関係によって入力軸感度を低下させることになり、それによって負のKipになる。
1)振り子のドループからのKipは、1Gの入力軸の加速度については、たわみヒンジの回転中心に対してのプルーフマスの重心の角変位として計算される。
この設計は、2つのKip誤差の源が互いを相殺するように等しくおよび符号が逆になるまで調整される。
共振器の非線形性からのKipの導出
共振器の非線形性によるKipについての式の導出は、以下の通りである。
f−fo=(fo・a1・Bi)・Ai+(fo・a1・Bp)・Ap+fo・a2・(Bi・Ai+Bp・Ap)2 (2)
ここで、
SF=fo・a1・Bi (4)
とする。
式(6)は、他軸感度(単一共振器感度)である。
また、
式(7)は、二次入力軸非線形性(単一共振器感度)である。
また、
式(8)は、二次振子軸非線形性(単一共振器感度)である。
振り子のドループからKipを導き出すため、以下のようにする。
f=fo(1+a1・Fc) (11)
式(11)は、共振器周波数対力の多項式近似である。二次の項は、振り子のドループからのクロスカップリングを示すのに必須ではない。
f−fo=(fo・a1・Bi)・Ai+(fo・a1・Bp)・Ap+(fo・a1・Bip)Ai・Ap
(12)
Biは、プルーフマスおよびヒンジの形状および材料特性の関数である。Biは、共振器の力に対する入力軸に沿っての加速度Aiに関連する。
Bipは、入力軸と振子軸の両方の成分を含む軸に沿っての加速度に関連する。
ここで、
SF=fo・a1・Bi
(13)
とする。
Kipについての2つの源は、以下のときに相殺することになる。
これらの関数は、有限要素解析または他の機械的分析の方法を用いて求められるのが最もよい。
32 たわみ部
34−1 共振器
34−2 共振器
38 構造および安定部材
40 入力軸
42 振子軸
58 加速度計、振動梁力センサ、センサ
60 プルーフマス、振り子のプルーフマス
62 たわみ部
64−1 第1の共振器、共振器
64−2 第2の共振器、共振器
68 内壁、筐体の第1の壁、筐体の別の壁、筐体の壁
80 加速度計
84 振り子のプルーフマス、プルーフマス
86 たわみ部
88−1 上部共振器、共振器
88−2 底部共振器、共振器
Claims (3)
- プルーフマス(60)と、
少なくとも2つの対向する内壁(68)を備える筐体と、
前記筐体の前記対向する壁のうち第1の壁に対して第1の端部で前記プルーフマスをたわみ可能に接続する1つまたは複数のたわみ部(62)と、
前記プルーフマスの前記第1の端部の反対側の前記プルーフマスの端部で前記プルーフマスの第1の面に接続されるとともに、前記たわみ部に取り付けられていない前記筐体壁に接続される第1の共振器(64−1)と、
前記プルーフマスの第2の面および前記第1の共振器を受ける前記筐体壁に接続される第2の共振器(64−2)と
を備え、
前記第2の面は前記第1の面のように前記プルーフマスの反対側にあり、前記第1の共振器および前記第2の共振器は音叉共振器である、
加速度計(58)。 - 請求項1に記載の加速度計において、前記プルーフマスの振り子のドループによるクロスカップリング係数が、共振器の非線形性によるクロスカップリング係数にほぼ等しいとともに符号が逆である、加速度計。
- 加速度計を製造する方法であって、
少なくとも2つの対向する内壁を備える筐体を提供するステップと、
プルーフマス、および前記筐体の前記対向する壁のうち第1の壁に対して第1の端部で前記プルーフマスをたわみ可能に接続する1つまたは複数のたわみ部を形成するステップと、
第1の共振器を、前記プルーフマスの前記第1の端部の反対側の前記プルーフマスの端部で前記プルーフマスの第1の面に取り付けるとともに前記たわみ部に取り付けられていない前記筐体壁に取り付けるステップと、
第2の共振器を、前記プルーフマスの第2の面および前記第1の共振器を受ける前記筐体壁に取り付けるステップとを含み、前記第2の面は前記第1の面のように前記プルーフマスの反対側にあり、前記第1の共振器および前記第2の共振器は音叉共振器であり、前記プルーフマスの振り子のドループによるクロスカップリング係数は、共振器の非線形性によるクロスカップリング係数にほぼ等しいとともに符号が逆である、方法。
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