JP2009231233A - RE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法及びそれに用いるプラズマ処理装置 - Google Patents
RE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法及びそれに用いるプラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009231233A JP2009231233A JP2008078432A JP2008078432A JP2009231233A JP 2009231233 A JP2009231233 A JP 2009231233A JP 2008078432 A JP2008078432 A JP 2008078432A JP 2008078432 A JP2008078432 A JP 2008078432A JP 2009231233 A JP2009231233 A JP 2009231233A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- tape
- raw material
- plasma
- glow discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
【解決手段】テープ状基板上に、REBa2Cu3Oy系超電導体を構成する各金属元素を所定の組成比で含む金属有機酸塩を混合してなる原料溶液を塗布し、原料塗布テープ状基板を作製する第1工程と、グロー放電プラズマ中を前記原料塗布テープ状基板を通過させることにより、前記超電導体の前駆体膜が形成された前駆体膜形成テープ状基板を得る第2工程と、前記前駆体膜形成テープ状基板に前記超電導体を生成させる熱処理を施す第3工程とを備えたRE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法である。
【選択図】図2
Description
1’…前駆体膜形成テープ状基板(前駆体膜形成テープ線材)
11…反応容器
12…ガス導入管
13…排気管
14…高周波電源
15…整合器
16…送り出しロール
17…巻き取りロール
18…上部電極
19…下部電極
20…誘電体板
21…ヒータ
22…ドラム状回転電極
23…対向ロール
24…加熱用ランプ
Claims (7)
- テープ状基板上に、REBa2Cu3Oy(REは、Y、Nd、Sm、Gd、Eu、Yb、Pr及びHoのうち少なくとも1種の元素、6.4≦y≦7.0)系超電導体を構成する各金属元素を所定の組成比で含む金属有機酸塩を混合してなる原料溶液を塗布し、該原料溶液を乾燥して、原料塗布テープ状基板を作製する第1工程と、グロー放電プラズマ中を前記原料塗布テープ状基板を通過させることにより、前記超電導体の前駆体膜が形成された前駆体膜形成テープ状基板を得る第2工程と、得られた前記前駆体膜形成テープ状基板に前記超電導体を生成させる熱処理を施す第3工程とを備えたことを特徴とするRE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法。
- 前記金属有機酸塩がフッ素を含むものであり、前記グロー放電プラズマのプラズマ生成ガスが水素を含むものであることを特徴とする請求項1記載のRE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法。
- 前記第2工程において、円筒状外周面を有する回転電極に高周波電力又は直流電力を供給して前記グロー放電プラズマを発生させることを特徴とする請求項1又は2記載のRE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法。
- 前記第2工程において、前記原料塗布テープ状基板を加熱しながら、前記グロー放電プラズマ中を通過させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のRE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法。
- 請求項1、2、3又は4に記載のRE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法の製造方法における前記第2工程に用いられるプラズマ処理装置であって、グロー放電プラズマを発生させるための電極と、長尺の前記原料塗布テープ状基板を前記グロー放電プラズマ中を通過させ、該プラズマ中を通過させて得られた前記前駆体膜形成テープ状基板を引き取る搬送手段と、プラズマ生成ガスを導入するガス導入管を有するとともに、前記電極及び前記搬送手段を内部に収容する反応容器とを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
- 前記電極は、回転駆動され、円筒状外周面を有するドラム状の回転電極であることを特徴とする請求項5記載のプラズマ処理装置。
- 前記反応容器内に、前記グロー放電プラズマへ搬送されている前記原料塗布テープ状基板を加熱する基板加熱手段を備えていることを特徴とする請求項5又は6記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008078432A JP5096974B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | RE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法及びそれに用いるプラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008078432A JP5096974B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | RE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法及びそれに用いるプラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009231233A true JP2009231233A (ja) | 2009-10-08 |
JP5096974B2 JP5096974B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=41246380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008078432A Expired - Fee Related JP5096974B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | RE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法及びそれに用いるプラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5096974B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014132648A1 (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-04 | 公益財団法人国際超電導産業技術研究センター | 酸化物超電導体用組成物、酸化物超電導線材及び酸化物超電導線材の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113767620B (zh) | 2019-05-07 | 2023-09-22 | Agc株式会社 | 显示系统、显示方法及透明显示体 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6283471A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-16 | Hitachi Ltd | 炭素皮膜形成方法及び装置 |
JPH0274504A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 酸化物系超電導材料の製法 |
JPH02296724A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜超電導体の製造方法 |
JPH04245112A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 酸化物超電導材料の製造方法 |
JPH06251644A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Chodendo Hatsuden Kanren Kiki Zairyo Gijutsu Kenkyu Kumiai | 超電導線材および磁場発生装置 |
WO2002048428A1 (en) * | 2000-12-12 | 2002-06-20 | Konica Corporation | Method for forming thin film, article having thin film, optical film, dielectric coated electrode, and plasma discharge processor |
JP2005281718A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-13 | Kobe Steel Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2006083022A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Toshiba Corp | 酸化物超電導体およびその製造方法 |
-
2008
- 2008-03-25 JP JP2008078432A patent/JP5096974B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6283471A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-16 | Hitachi Ltd | 炭素皮膜形成方法及び装置 |
JPH0274504A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 酸化物系超電導材料の製法 |
JPH02296724A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜超電導体の製造方法 |
JPH04245112A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 酸化物超電導材料の製造方法 |
JPH06251644A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Chodendo Hatsuden Kanren Kiki Zairyo Gijutsu Kenkyu Kumiai | 超電導線材および磁場発生装置 |
WO2002048428A1 (en) * | 2000-12-12 | 2002-06-20 | Konica Corporation | Method for forming thin film, article having thin film, optical film, dielectric coated electrode, and plasma discharge processor |
JP2005281718A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-13 | Kobe Steel Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2006083022A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Toshiba Corp | 酸化物超電導体およびその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014132648A1 (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-04 | 公益財団法人国際超電導産業技術研究センター | 酸化物超電導体用組成物、酸化物超電導線材及び酸化物超電導線材の製造方法 |
JP2014167882A (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-11 | International Superconductivity Technology Center | 酸化物超電導体用組成物、及び酸化物超電導線材の製造方法 |
CN105009227A (zh) * | 2013-02-28 | 2015-10-28 | 公益财团法人国际超电导产业技术研究中心 | 氧化物超导体用组合物、氧化物超导线材以及氧化物超导线材的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5096974B2 (ja) | 2012-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4223076B2 (ja) | 金属オキシフッ化物の超伝導性酸化物への制御された変換 | |
EP1187231B1 (en) | Method of preparing an oxide superconductor | |
KR101429553B1 (ko) | 초전도 선재 및 초전도 선재 형성방법 | |
US9362477B2 (en) | Method of forming ceramic wire, system of forming the same, and superconductor wire using the same | |
JP5156188B2 (ja) | 厚膜テープ状re系(123)超電導体の製造方法 | |
CN1539172A (zh) | 超导体方法和反应器 | |
JP2007525790A (ja) | 超電導体法およびリアクタ | |
JP2007188755A (ja) | 酸化物超電導線材の熱処理装置。 | |
US20030130129A1 (en) | Vacuum processing for fabrication of superconducting films fabricated by metal-organic processing | |
JP5096974B2 (ja) | RE−Ba−Cu−O系超電導テープ線材の製造方法及びそれに用いるプラズマ処理装置 | |
WO2010021159A1 (ja) | 酸化物超電導薄膜の製造方法 | |
JP4876044B2 (ja) | 酸化物超電導線材の熱処理装置及びその製造方法 | |
JP2003327496A (ja) | 超電導体の製造方法 | |
JP2003034527A (ja) | 厚膜テープ状酸化物超電導体及びその製造方法 | |
JP2013235766A (ja) | 酸化物超電導薄膜とその形成方法 | |
JP2010238634A (ja) | 酸化物超電導線材とその製造方法及びそれに用いる基板の製造装置 | |
JP4071569B2 (ja) | 安定化層の形成方法及びその装置 | |
TWI517184B (zh) | 帶狀氧化物超電導線材的製造方法及熱處理裝置 | |
JP5930303B2 (ja) | テープ状re系酸化物超電導線材の製造方法 | |
JP2010238633A (ja) | 希土類系厚膜酸化物超電導線材の製造方法 | |
JP2013030491A (ja) | 厚膜テープ状re系(123)超電導体の製造方法 | |
JP2002068892A (ja) | アルミナ単結晶基板の表面に形成された超伝導薄膜からなる超伝導体、及びアルミナ単結晶基板の表面に超伝導薄膜を形成する方法 | |
WO2002093590A1 (fr) | Supraconducteur oxyde sous forme de ruban et son mode de fabrication | |
Yang et al. | Influence of annealing time on 5-layer YBa2Cu3O7-δ thick films by low-fluorine metal-organic deposition | |
JP2013045727A (ja) | テープ状re系酸化物超電導線材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110412 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120724 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120918 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5096974 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |