JP2009230795A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】非磁性基体上に少なくとも下地層、磁気記録層、保護層がこの順に積層されてなる垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層が、少なくとも複数の磁性層及び交換結合制御層から形成され、交換結合制御層に物理的なパターンが形成されていることを特徴とする磁気記録媒体、および、上記の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、下地層形成工程、磁気記録層形成工程、保護層形成工程を少なくとも有し、前記磁気記録層形成工程が、磁性層を成膜後、その上にパターン化された交換結合制御層を形成した後、その上に磁性層を形成するものであることを特徴とする磁気記録媒体製造方法。
【選択図】図1
Description
すなわち、本発明の磁気記録媒体は、非磁性基体上に少なくとも下地層、磁気記録層、保護層がこの順に積層されてなる垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層が、少なくとも複数の磁性層及び交換結合制御層から形成され、交換結合制御層に物理的なパターンが形成されていることを特徴とする。
図1は、本発明の磁気記録媒体の構成例を説明するための図であり、軟磁性裏打ち層を有する場合の構成を示しており、磁気記録媒体の交換結合制御層が所定のパターンを有するように形成されていることを示す断面図である。
本発明の磁気記録媒体の製造方法においては、非磁性基体(非磁性基板)1上に下地層3を形成する下地層形成工程と、形成された下地層3の上に磁気記録層4を形成する磁気記録層形成工程と、磁気記録層4の上に保護層5を形成する保護層形成工程を有する。
また、下地層3の形成は、スパッタ法、蒸着法により行うことができる。
パターン化された交換結合制御層4−2が、交換結合制御層のある部分とない部分によってパターン化されている場合、レジスト膜塗布、所定のパターンを有するマスクで必要部分を覆って露光した後、現像することでレジスト膜にパターン形成した上で、交換結合制御層4を成膜し、レジスト膜の上に形成された交換結合制御層ごとレジスト膜をリフトオフすることによりパターン化された交換結合制御層4−2を得ることができる。
非磁性基体1として表面が平滑な円盤状のガラス基板を用い、これを洗浄後、スパッタリング装置内に導入し、Co88Nb7Zr5ターゲットを用いてArガス圧5mTorr下でCoNbZrを80nm形成し、CoNbZrからなる軟磁性裏打ち層2を形成した。
Ru層を形成する際、マスクパターンディスクを用いず、磁性層4−1の上全面にRu層を形成すること以外は全て実施例1と同様にして磁気記録媒体とした。すなわち、信号記録領域と非信号領域のパターン区別は無く、磁気記録層4は全領域でCoPtCr−SiO2/Ru/CoCrPtBの構造とした。
Ru層を一切形成しないこと以外は全て実施例1と同様にして磁気記録媒体とした。すなわち、信号記録領域と非信号領域のパターン区別は無く、磁気記録層4は全領域でCoPtCr−SiO2/CoCrPtBの構造とした。
まず、実施例1、比較例1,2で試作した垂直媒体の磁気記録層の磁気特性評価を行った。磁気特性評価にはKerr効果測定装置を用いて、垂直方向のヒステリシループを測定した。なお、Kerr効果測定装置のスポット径φはおよそ1μmであり、ヒステリシスループはその範囲の磁化変化を観測していることになる。ヒステリシスループから、比較例1のHcは4.5kOe、比較例2のHcは5.8kOeであった。実施例1では、比較例1と比較例2のループが重なった形状をしており、このことから、信号記録領域と非信号記録領域では、それぞれ、比較例1及び比較例2の磁気特性であることを示している。
2:軟磁性裏打ち層
3:下地層
4:磁気記録層
4−1、4−3:磁性層
4−2:交換結合制御層
5:保護層
Claims (7)
- 非磁性基体上に少なくとも下地層、磁気記録層、保護層がこの順に積層されてなる垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層が、少なくとも複数の磁性層及び交換結合制御層から形成され、交換結合制御層に物理的なパターンが形成されていることを特徴とする磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層が、各々磁気特性の異なる信号記録領域及び非信号記録領域に分かれており、その磁気特性の差が、交換結合制御層の有無またはその膜厚の差によりもたらされていることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層の信号記録領域の保磁力が、非信号記録領域の保磁力よりも小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層の信号記録領域にのみ交換結合制御層が形成され、かつ、前記交換結合制御層の直上及び直下の磁性層が、前記交換結合制御層を介して強磁性結合していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記交換結合制御層の膜厚がいずれの領域においても2nm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体製造方法であって、下地層形成工程、磁気記録層形成工程、保護層形成工程を少なくとも有し、前記磁気記録層形成工程が、磁性層を成膜後、その上にパターン化された交換結合制御層を形成した後、その上に磁性層を形成するものであることを特徴とする磁気記録媒体製造方法。
- 前記交換結合制御層の膜厚がいずれの領域においても2nm以下であって、磁気記録層形成工程後、および保護層形成工程後のいずれにおいても平坦化処理を行わないことを特徴とする請求項6記載の磁気記録媒体製造方法。
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