JP2009229284A - 光学軸方位測定装置、光学軸方位測定方法、球状弾性表面波デバイス製造装置及び球状弾性表面波デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の第1の態様に係る光学軸方位測定装置は、複屈折性を有する光学的一軸性結晶の単結晶からなる球状部材の光学軸方位測定装置であって、ポラライザ102を介して前記球状部材に光を照射する光照射手段と、球状部材11に入射し、当該球状部材11の底面で反射し、当該球状部材11からに出射する光が、ポラライザ102とクロスニコルの関係にあるアナライザ107を介して構成するアイソジャイアを観察するアイソジャイア観察手段と、を備える反射型の光学軸方位測定装置である。
【選択図】図1
Description
ポラライザを介して前記球状部材に光を照射する光照射手段と、
前記球状部材に入射し、当該球状部材の底面で反射し、当該球状部材からに出射する光が、前記ポラライザとクロスニコルの関係にあるアナライザを介して構成するアイソジャイアを観察するアイソジャイア観察手段と、
を備える反射型の光学軸方位測定装置である。
前記球状部材の中心を通る水平面において前記球状部材に近接して配置可能であって、前記球状部材に対し弾性表面波を励起するとともに、弾性表面波を受信する弾性表面波送受信手段をさらに備えること特徴とするものである。
ポラライザを介して前記球状部材に対し光を入射させるステップと、
前記球状部材の底面で反射し、当該球状部材からに出射する光が、前記ポラライザとクロスニコルの関係にあるアナライザを介して構成するアイソジャイアを観察するステップと、を備える光学軸方位測定方法である。
観察面を変えていったときのアイソジャイア中心111の軌跡15は直線となる。
12 櫛形電極
12a 櫛形電極チップ
13 感応膜
14 光学軸
15 アイソジャイアの中心を構成する光
101 光源
102 ポラライザ
103 光波長フィルタ
104 開口絞り
105 ハーフミラー
106 対物レンズ
107 アナライザ
108 CCDカメラ
110 アイソジャイア
111 アイソジャイア中心
201 光学軸検出部
202 ボール位置決め部
203 弾性表面波送受信装置
Claims (11)
- 複屈折性を有する光学的一軸性結晶の単結晶からなる球状部材の光学軸方位測定装置であって、
ポラライザを介して前記球状部材に光を照射する光照射手段と、
前記球状部材に入射し、当該球状部材の底面で反射し、当該球状部材からに出射する光が、前記ポラライザとクロスニコルの関係にあるアナライザを介して構成するアイソジャイアを観察するアイソジャイア観察手段と、を備える反射型の光学軸方位測定装置。 - 光が入射するのとは反対側から、前記球状部材を支持する支持手段をさらに備える請求項1に記載の光学軸方位測定装置。
- 前記支持手段により、前記球状部材に入射する光の光軸をZ軸として、X軸、Y軸、Z軸の各軸周りに前記球状部材を回転可能である請求項2に記載の光学軸方位測定装置。
- 請求項2又は3に記載の光学軸方位測定装置の各構成を備え、
前記球状部材の中心を通る水平面において前記球状部材に近接して配置可能であって、前記球状部材に対し弾性表面波を励起するとともに、弾性表面波を受信する弾性表面波送受信手段をさらに備える光学軸方位測定装置。 - 請求項4に記載の光学軸方位測定装置の各構成を備え、
前記球状部材の光学軸を地軸とした赤道上に、櫛形電極チップを装着する櫛形電極装着手段をさらに備える球状弾性表面波デバイス製造装置。 - 複屈折性を有する光学的一軸性結晶の単結晶からなる球形状部材の光学軸方位測定方法であって、
ポラライザを介して前記球状部材に対し光を入射させるステップと、
前記球状部材の底面で反射し、当該球状部材から出射する光が、前記ポラライザとクロスニコルの関係にあるアナライザを介して構成するアイソジャイアを観察するステップと、を備える光学軸方位測定方法。 - 光が入射するのとは反対側から、前記球状部材を支持する請求項6に記載の光学軸方位測定方法。
- 前記球状部材に入射する光の光軸をZ軸として、X軸、Y軸、Z軸の各軸周りに前記球状部材を回転可能である請求項7に記載の光学軸方位測定方法。
- 前記アイソジャイアを観察し、前記球状部材の光学軸を前記入射光の光軸に一致させるステップをさらに備える請求項7又は8に記載の光学軸方位測定方法。
- 前記球状部材の光学軸を地軸とした赤道上に弾性表面波を励起するとともに、弾性表面波を受信するステップをさらに備える請求項9に記載の光学軸方位測定方法。
- 請求項10に記載の光学軸方位測定方法の各ステップを備え、
前記赤道上に櫛形電極チップを装着するステップをさらに備える球状弾性表面波デバイスの製造方法。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0367219A (ja) * | 1989-05-15 | 1991-03-22 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示素子 |
JPH0650020U (ja) * | 1992-12-15 | 1994-07-08 | 株式会社ニコン | 偏光顕微鏡 |
JPH10332533A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-18 | Unie Opt:Kk | 複屈折評価装置 |
JP2000356558A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-26 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 残留応力のその場観察装置 |
JP2002243418A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-08-28 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶パネルのギャップ検出方法及び検出装置 |
JP2005243444A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | イオン伝導体 |
JP2005291955A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Toppan Printing Co Ltd | 環境差異検出装置 |
JP2006332093A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 球状弾性表面波素子の製造方法 |
JP2007024567A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | 水素センサ,燃料電池およびそれらを備える車輌 |
JP2007315778A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Tohoku Univ | 異方性球状材料の方向測定方法、異方性球状材料の方向測定装置および球状弾性表面波素子の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3974765B2 (ja) | 2001-10-09 | 2007-09-12 | 凸版印刷株式会社 | 弾性表面波素子、弾性表面波素子を用いた電気信号処理装置、及び電気信号処理装置を用いた環境評価装置 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0367219A (ja) * | 1989-05-15 | 1991-03-22 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示素子 |
JPH0650020U (ja) * | 1992-12-15 | 1994-07-08 | 株式会社ニコン | 偏光顕微鏡 |
JPH10332533A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-18 | Unie Opt:Kk | 複屈折評価装置 |
JP2000356558A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-26 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 残留応力のその場観察装置 |
JP2002243418A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-08-28 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶パネルのギャップ検出方法及び検出装置 |
JP2005243444A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | イオン伝導体 |
JP2005291955A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Toppan Printing Co Ltd | 環境差異検出装置 |
JP2006332093A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 球状弾性表面波素子の製造方法 |
JP2007024567A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | 水素センサ,燃料電池およびそれらを備える車輌 |
JP2007315778A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Tohoku Univ | 異方性球状材料の方向測定方法、異方性球状材料の方向測定装置および球状弾性表面波素子の製造方法 |
Non-Patent Citations (1)
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---|
JPN6012027671; 坪井誠太郎: 偏光顕微鏡 , 19740320, 株式会社岩波書店 * |
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