JP2009228895A - 二重構造のベローズ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1部材と第2部材の相対移動により、伸縮変位するベローズ装置において、第1部材に固定結合される第1部材側フランジと、第1部材側フランジに一端が連結された第1ベローズ管と、第2部材に固定結合される第2部材側フランジと、第2部材側フランジに一端が連結された第2ベローズ管と、第1ベローズ管と第2ベローズ管の間に位置して第1ベローズ管及び第2ベローズ管の他端が結合される連結部材を含み、第1ベローズ管は、第1部材と第2部材を垂直に連結する軸方向への伸縮変位は可能であるが、軸方向に垂直な平面上に沿って伸縮変位する横方向への伸縮変位は規制され、第2ベローズ管は、第1部材と第2部材の相対移動によって横方向への伸縮変位は可能であるが、軸方向への伸縮変位は規制されるように構成される。
【選択図】図4
Description
通常、かかるベローズ装置は、2つの部材側にそれぞれ結合される2つのフランジと、その2つのフランジの間にかけて設けられる伸縮性のベローズ管で成り立っている。
そのうち、金属ベローズ管は、金属箔板を溶接して製造することができ、高温、高圧、高腐食性、高精密性などが必要な所に主に使用される。
特に、金属ベローズ管は、密封の信頼度が特別に要求される精密部品であり、宇宙航空、半導体装備、超高真空装備、放射光加速器、計測器、メカニカルシール(Mechanical Seal)など産業全般にわたる広範囲な分野で使用されている。
前記ベローズ管(B)は、第1部材または第2部材の移動によって移動する第1部材側フランジ(1)または第2部材側フランジ(3)の移動に従い、図2のイ)のように、第1部材と第2部材を垂直に連結する軸方向に伸縮変位したり、図2のロ)のように、前記軸に対して傾いた傾斜方向に伸縮変位したり、図2のハ)のように、前記軸に対して垂直な横方向に伸縮変位する。
ベローズ管が軸方向または横方向の単一方向にのみ伸縮変位する場合は考慮すべき設計因子の数が相対的に少ないため、ベローズ管の疲労強度などの特性を目標値に符号するように設計することが容易である。
この場合、特に、距離が狭い隙間の場合、左側部分の薄板の金属は、激しいと互いに触接するようになって摩耗が発生することがある。
また、図3の下端フランジ側付近のベローズ管にもこのような現象が発生するところ(ただし、引張及び圧縮方向は反対である)、このようなベローズ管の複合的変形は、ベローズ管に摩耗及び過度な疲労を誘発し、ベローズ管を破壊する原因となり、従って複合伸縮変位されるベローズ管は、単一に伸縮変位するベローズ管に比べて使用期間、つまり、寿命が短縮されるという問題がある。
互いに相対的に移動可能な対向する第1部材と第2部材の間に設けられ、
前記第1部材と第2部材の相対移動に従って伸縮変位されるベローズ装置において、
前記第1部材に固定結合される第1部材側フランジと、
前記第1部材側フランジに一端が連結された第1ベローズ管と、
前記第2部材に固定結合される第2部材側フランジと、
前記第2部材側フランジに一端が連結された第2ベローズ管と、
前記第1ベローズ管と第2ベローズ管の間に位置し、前記第1ベローズ管及び第2ベローズ管の他端が結合される連結部材を含んで構成され、
前記第1ベローズ管は、前記第1部材と第2部材の相対移動によって第1部材と第2部材を垂直に連結する軸方向への伸縮変位は可能であるが、前記軸方向に垂直な平面上に沿って伸縮変位する横方向への伸縮変位は規制され、
前記第2ベローズ管は、前記第1部材と第2部材の相対移動に従って、前記横方向への伸縮変位は可能であるが、前記軸方向への伸縮変位は規制される二重構造のベローズ装置で構成されることを特徴とする。
即ち、第1ベローズ管を軸方向への伸縮変位は可能であるが、横方向への伸縮変位は制限されるように構成し、反対に、第2ベローズ管は横方向への伸縮変位は可能だが、軸方向への伸縮変位は制限されるように構成すると、軸方向及び横方向の伸縮変位が複合的に作用する場合も、各ベローズ管が各方向の伸縮変位を分担するようになるため、結果的に本発明の全体ベローズ管の各部分は、実質的に単一方向の伸縮変位のみを行うことになり、従来の技術のようなベローズ管の摩耗や疲労発生を減らすことができ、寿命も向上させることができるようになる。
また、第1部材及び第2部材の移動方向は、互いを垂直に連結する軸方向への移動及び前記軸方向に垂直な平面上に沿って移動する横方向への移動、前記軸方向または横方向に対して傾いた傾斜方向への移動を全て含む。
第1部材または第2部材が傾斜方向に相対移動する場合も、結局は前記の軸方向移動及び横方向移動が複合した形と見ることができ、このような場合には、第1部材または第2部材の傾斜方向移動によって作用する各方向の力により、第1ベローズ管及び第2ベローズ管がそれぞれ軸方向及び横方向に伸縮変位することができる。
第1ベローズ管(7)の一端は、第1部材側フランジ(1)に連結され、他端は、第1部材側フランジ(1)と第2部材側フランジ(3)の間に配置された連結部材(2)に結合されている。
また、第2ベローズ管(4)の一端は、第2部材側フランジ(3)に連結され、他端は、連結部材(2)の第1ベローズ管(7)の結合面の裏面に結合されている。
第1ベローズ管(7)及び第2ベローズ管(4)は、第1部材と第2部材を垂直に連結する軸方向に相次いで配置されている。
本実施例では、両ベローズ管の直径は同一になっているが、ベローズ管内部に密封される部品の大きさやその配置関係などによって、両ベローズ管の直径を異なわせることができる。
前記固定軸(5)の他端は、連結部材(2)に対して横方向への相対移動は可能だが、軸方向への移動は不可能に結合されることによって、第2ベローズ管(4)の軸方向の伸縮変位の規制機構を形成している。
例えば、前記連結部材(2)の固定軸(5)の他端が結合される結合部に前記固定軸(5)が横方向に移動することができる空間を形成しておくと、前記第2部材側フランジ(3)に固定結合された固定軸(5)は第2部材側フランジ(3)の横方向移動に従って横方向に移動することができる。
しかし、前記連結部材(2)の結合部空間の上下に前記空間を覆い、固定軸(5)に結合され、固定軸(5)の軸方向移動を規制するスライドガイド(6)を結合させると、固定軸(5)の軸方向移動は不可能になる。
つまり、連結部材の結合部(2a)の上下のスライドガイド(6)とその結合部(2a)の空間を貫通し、前記連結部材(2)に結合された固定軸(5)は、連結部材(2)に形成された空間内で移動することができるため、連結部材(2)に対して、互いに横方向へ相対移動することは可能であるが、前記スライドガイド(6)のため、軸方向への移動は不可能になる。
従って、第2部材側フランジ(3)と連結部材(2)の間の距離は、その間の固定軸(5)の距離だけ常に一定に維持されるため、第2部材側フランジ(3)と連結部材(2)の間に設けられる第2ベローズ管(4)の軸方向の伸縮変位も不可能になる。
つまり、第2部材側フランジ(3)、この第2部材側フランジ(3)に固定結合された固定軸(5)、該固定軸(5)に結合されたスライドガイド(6)及び連結部材(2)は、全体が一体となり、第2ベローズ管(4)の軸方向の伸縮変位の規制機構を形成する。
もちろん、前記連結部材(2)も、前述のような一体となった構成に対して横方向に移動することができる。
前記スライドガイド(6)と連結部材(2)の固定軸の結合部(2a)の間には、所定間隔の遊間をおくか、潤滑油を注入しておくことにより、前記一体となった構成と連結部材(2)との相対移動が円滑に行なわれるようにすることができる。
図4の下の図面は、前記連結部材(2)の平面図であり、本実施例では、固定軸の結合部(2a)が固定軸(5)の数に対応して円盤の前後左右に2対が配置されている。
図5に示されているように、ベローズ装置が停止状態にある時は、前記固定軸(5)は凹部(M)の中心に位置しているが、例えば、第2部材側フランジ(3)が横方向に移動する時は、前記固定軸(5)が凹部(M)内周面または外側に向かって左右に移動する。
前記固定軸(5)と凹部(M)内周面の間の距離は、固定軸(5)の最大移動可能ストロークに該当する。
前記第2ベローズ管(4)の横方向の最大伸縮変位距離は、前記最大移動可能ストロークよりは大きくならない。
前記固定軸(5)が移動し、凹部(M)内周面に衝突すると騒音が発生して破損の危険が生じるなど、ベローズ装置に良くない影響を及ぼすため、前記第2ベローズ管(4)の横方向の最大伸縮変位距離は、前記固定軸(5)と凹部(M)内周面の間の距離よりは小さく設定される。
装置設計上では、前記固定軸(5)が凹部(M)の内周面の直前で止まるように第2ベローズ管(4)の横方向の最大伸縮変位距離を設定している。
かかる第1ベローズ管(7)の横方向の伸縮変位の規制機構は、図4〜図8に開示されているように、第1ベローズ管(7)と第2ベローズ管(4)の剛性差を利用して構成することもでき、図9〜図17に開示されているように、所定の機械的な装置を付加して構成することもできる。
ここで、前記両ベローズ管の剛性の差を、第1部材と第2部材の相対移動によって第1部材側フランジ(1)または第2部材側フランジ(3)が横方向に移動することにより、前記第1ベローズ管(7)及び第2ベローズ管(4)に横方向の力が加えられ、この横方向の力によって第2ベローズ管(4)が横方向に伸縮変位する際、第1ベローズ管(7)の横方向の伸縮変位はほとんど起きない程度の大きい剛性差に設定すれば、第1ベローズ管(7)の横方向の伸縮変位の規制を達成することができる。
わかりやすくするために、例えば、第1ベローズ管(7)を鉄製のスプリングと仮定し、第2ベローズ管(4)をゴムひもと仮定すると、第1ベローズ管(7)及び第2ベローズ管(4)に横方向への力が同時に加えられる時は、ゴムひもの方が横方向に長く伸びる反面、鉄製スプリングはほとんど伸びない。
もちろん、鉄製スプリングが横方向に伸びるほどの大きな力を加えると、鉄製スプリングが伸びることができるが、本発明で想定している横方向の変形力は、ゴムひも、つまり、第2ベローズ管(4)が横方向に伸びることができる程度であり、第2ベローズ管(4)が横方向に最大に伸縮変位する場合も、鉄製スプリング、つまり第1ベローズ管(7)は横方向にほとんど伸びない程度の力の大きさの範囲内にあるため、前述したような大きい力は本発明の論外である。
本実施例の横方向の伸縮変位の様態は、図6及び図7に示されている。
第1部材及び第1部材側フランジ(1)が固定されており、第2部材及び第2部材側フランジ(3)が移動する場合を考慮すると、図6に図示されているように、第2部材側フランジ(3)が左側に移動することにより、第2ベローズ管(4)が左側の横方向に伸張変位される。
この時、第2部材側フランジ(3)に固定結合された固定軸(5)と、固定軸(5)に結合されたスライドガイド(6)も一緒に横方向に移動される。
図6下の連結部材(2)の平面図に示されているように、この場合、固定軸の結合部(2a)の凹部(M)内で、固定軸(5)は左側に移動する。
合計4ヶ所の凹部(M)のうち、左側の凹部(M)を除いて、上下及び右側の凹部(M)で固定軸(5)はその凹部(M)の内周面に触る直前まで移動して停止する。
この時の第2ベローズ管(4)の横方向の変位距離が左側横方向に最大変位距離になる。
図7には、第2部材側フランジ(3)が右側に移動するに従い、第2ベローズ管(4)が右側に伸張変位することが開示されている。
この場合は、連結部材(2)の上下及び左側の固定軸(5)の結合部(2a)に形成された凹部(M)内でその凹部(M)の内周面の直前まで固定軸(5)が移動し、この時の第2ベローズ管(4)の横方向の変位距離が右側の横方向に最大変位距離となる。
この場合、やはり第1ベローズ管(7)は横方向にほとんど変位しない。
即ち、第1部材の横方向移動によって第1部材側フランジ(1)が横方向に移動すると、これに連結された第1ベローズ管(7)と連結部材(2)が横方向に一緒に移動する。
第1ベローズ管(7)は、本ベローズ装置に加えられる程度の横方向の力で横方向にほとんど変位しない程度の横方向の剛性を持つように設定されているため、第1部材側フランジ(1)の横方向移動にもかかわらず、横方向にほとんど伸びない。
従って、第1部材側フランジ(1)及び第1ベローズ管(7)が横方向に移動すると、第1ベローズ管(7)に連結された連結部材(2)も一緒に移動するしかない。
また、連結部材(2)が横方向に移動すると、横方向の変形剛性がはるかに低い第2ベローズ管(4)が横方向に伸縮変位するようになり、結局、図6及び図7の変形様態とほぼ同一の形に変位する。
この時、連結部材(2)は、その連結部材(2)の凹部(M)の内周面が固定軸(5)に触る直前まで横方向に移動し、この時の第2ベローズ管(4)の横方向の変位距離が最大変位距離になる点は、図6及び図7の例と同一である。
つまり、本発明で言う横方向への変位は、前記軸方向に垂直な平面上での移動を全て含む概念である。
例えば、図6の平面図で示された円盤状の連結部材(2)の上下左右間の円盤の中心に対して対称となる固定軸結合部(2a)を一対さらに形成し、これに対応して固定軸(5)も結合部に相応する位置に一対さらに形成すると、その上下左右間の円盤の直径方向へ連結部材(2)及び固定軸(5)が互いに相対移動することができる。
第2部材及び第2部材側フランジ(3)が固定されており、第1部材及び第1部材側フランジ(1)が第2部材側に向かって接近したり(図8(a)の場合)またはこれから離間される場合(図8(B)の場合)に、第2ベローズ管(4)は、第2部材側フランジ(3)、固定軸(5)、スライドガイド(6)及び連結部材(2)で構成される軸方向の伸縮変位の規制機構の作用として変位されず、従って第2ベローズ管(4)の軸方向の長さは常に一定である。
反面、第1部材側フランジ(1)の上下移動によって、第1ベローズ管(7)は、軸方向に伸張及び圧縮される。
即ち、前記軸方向の伸縮変位機構及び横方向の伸縮変位機構は、「第1部材と第2部材が相対移動」する場合に全て適用される。
例えば、前記固定軸の結合部(2a)の空間を、図面に示されたように、一方の面が空いている凹部(M)の形ではなく、固定軸の結合部(2a)で囲まれた円形状とする場合は、その円形の中心に1つの固定軸(5)を位置させ、その固定軸(5)を円形の半径方向に往復移動させる構成でできる。
かかる場合には、第2部材側フランジ(3)と連結部材(2)の間の間隔を維持するための固定軸(5)は1のみあっても十分である。
ただし、かかる場合も、前記間隔を安定的に維持し、軸方向に垂直した平面上で横方向に連結部材(2)及び固定軸(5)が安定的に相対移動できるようにするという側面で、固定軸(5)及び連結部材の結合部(2a)を対で形成することが望ましい。
つまり、前記連結部材(2)と第1部材側フランジ(1)の間にかけて軸方向に配置され、一端または両端が連結部材(2)及び第1部材側フランジ(1)のうち少なくとも一方の部材を貫通して軸方向にさらに延長され、少なくとも一方の部材と軸方向に互いに相対移動可能に設置されると同時に、少なくとも一方の部材の横方向への移動によって横方向へ一緒に移動可能に設置される軸部材を設けると、第1ベローズ管(7)の変位様態を規制することができる。
この実施例においても、第2ベローズ管(4)の軸方向変位の規制機構は、図4〜図8の実施例と同一であり、ただし第1ベローズ管(7)の横方向の変位規制機構が異なる。
従って、各実施例において、共通する構成要素には同一の符号を付け、それに対する重複する説明は省略することにする。
また、説明の便宜のために、図9〜図17に開示された実施例では、第2部材及び第2部材側フランジ(3)が固定され、第1部材及び第1部材側フランジ(1)が横方向または軸方向に移動すると仮定する。
また、連結部材ブッシング管(2−1)の直下の第1部材側フランジ(1)を貫通し、第1ベローズ管(7)より小さい直径を有するフランジブッシング管(1−1)が設けられている。
本実施例で、前記軸部材は、前記フランジブッシング管(1−1)及び連結部材ブッシング管(2−1)を貫通して延長形成され、両端が第1及び第2部材の方にそれぞれさらに延長されるシャフト(S)で構成されている。
また、前記シャフト(S)は、前記連結部材(2)と第1部材側フランジ(1)の間に縦にかけられて設けられているのは勿論、その両端が各々第1部材と第2部材に向かって長く延長されており、横方向に移動可能に設置されている。
結局、前記シャフト(S)により、前記第1部材側フランジ(1)と連結部材(2)は左右の横方向に常に一緒に移動するようになり、これによって前記第1ベローズ管(7)の横方向の伸縮変位は完全に制限される。
この際、前記第1部材側フランジ(1)−シャフト(S)−連結部材(2)の移動によって、前記連結部材(2)に連結された第2ベローズ管(4)が横方向に変位され、本発明の効果を達成するようになる。
本実施例では、第1ベローズ管(7)が機械的装置により横方向への変位が規制されるため、第2ベローズ管(4)との横方向変形剛性の差を考慮する必要もない。
例えば、前記シャフト(S)は第1部材側フランジ(1)を過ぎ、少なくとも連結部材(2)を貫通する程度の長さに延長形成されるが、第2部材側フランジ(3)に触る前まで延長さえされれば、第1部材側フランジ(1)と連結部材(2)の横方向への同時移動を達成することができる。
ただし、より安定的な作動のために、シャフト(S)を第2部材側フランジ(3)を貫通して長く延長形成する場合は、図9〜図11に示されたように、第2部材側フランジ(3)に貫通孔(3−1)を形成させ、その貫通孔(3−1)の直径は、シャフト(S)の横方向への最大ストロークより大きく形成させる必要がある。
このような構成によって、万一、第2部材側フランジ(3)が横方向に移動する場合も、シャフト(S)によって妨害されることなく、安定的に横方向移動が可能になる。
また、前記シャフト部(8−1)は、連結部材(2)と第1部材側フランジ(1)の間に縦にかけて設けられることは勿論、第2部材に向けて長く延長されており、横方向に移動可能に設けられている。
結局、前記シャフト部(8−1)によって、前記第1部材側フランジ(1)と連結部材(2)は左右の横方向に常に一緒に移動することになり、これに従って前記第1ベローズ管(7)の横方向の伸縮変位は完全に制限される。
この時、前記第1部材側フランジ(1)−シャフトフランジ(8)−連結部材(2)の移動によって、連結部材(2)に連結された第2ベローズ管(4)が横方向へ変位され、本発明の効果を達成するようになる。
これにより、図13では、前記シャフト部(8−1)が第1部材側フランジ(1)を過ぎ、少なくとも連結部材(2)を貫通する程度の長さに延長形性されるが、第2部材側フランジ(3)に触る前までのみ延長されている。
この時、第2ベローズ管(4)は、第2部材側フランジ(3)−固定軸(5)−スライドガイド(6)−連結部材(2)で構成される軸方向の伸縮変位の規制機構によって軸方向への伸縮変位が完全に制限される。
前記外部固定軸(9)の一端は連結部材(2)に固定結合されるため、外部固定軸(9)は連結部材(2)と一緒に移動する。
また、前記外部固定軸(9)は、前記連結部材(2)と第1部材側フランジ(1)の間に縦にかけて設けられることは勿論、他端が第1部材に向かって長く延長されており、横方向に移動可能に設けられている。
これに対応し、前記連結部材(2)にも外部固定軸(9)の数と同じ数の外部固定軸の結合部(2B)が形成される。
結局、前記外部固定軸(9)によって、前記第1部材側フランジ(1)と連結部材(2)は左右の横方向に常に一緒に移動するようになり、これに従って前記第1ベローズ管(7)の横方向の伸縮変位は完全に制限される。
この時、前記第1部材側フランジ(1)−外部固定軸(9)−連結部材(2)の移動に従って、連結部材(2)に連結された第2ベローズ管(4)が横方向に変位され、本発明の効果を達成するようになる。
この時、第2ベローズ管(4)は、第2部材側フランジ(3)−固定軸(5)−スライドガイド(6)−連結部材(2)で構成される軸方向伸縮変位の規制機構によって軸方向への伸縮変位が完全に制限される。
つまり、前記軸方向の伸縮変位機構及び横方向の伸縮変位機構は、「第1部材と第2部材が相対移動」する場合に全て適用される。
また、本発明は、ベローズ管の種類及び材質に関係なく、2方向の複合伸縮変位が作用する全てのベローズ管製品に適用可能である。
2 ・・・ 連結部材
2a ・・・ 固定軸の結合部
M ・・・ 凹部
3 ・・・ 第2部材側フランジ
4 ・・・ 第2ベローズ管
5 ・・・ 固定軸
6 ・・・ スライドガイド
7 ・・・ 第1ベローズ管
1−1 ・・・ フランジブッシング管
1−2 ・・・ フランジブッシング管
2−1 ・・・ 連結部材ブッシング管
S ・・・ シャフト
3−1 ・・・ 貫通孔
8 ・・・ シャフトフランジ
8−1 ・・・ フランジ部
8−2 ・・・ シャフト部
9 ・・・ 外部固定軸
2B ・・・ 外部固定軸の結合部
Claims (12)
- 互いに対して相対的に移動可能な対向する第1部材と第2部材の間に設けられ、前記第1部材と第2部材の相対移動に従って伸縮変位するベローズ装置において、
前記第1部材に固定結合される第1部材側フランジと、
前記第1部材側フランジに一端が連結された第1ベローズ管と、
前記第2部材に固定結合される第2部材側フランジと、
前記第2部材側フランジに一端が連結された第2ベローズ管と、
前記第1ベローズ管と第2ベローズ管の間に位置し、前記第1ベローズ管及び第2ベローズ管の他端が結合される連結部材を含んでなり、
前記第1ベローズ管は、前記第1部材と第2部材の相対移動に従って第1部材と第2部材を垂直に連結する軸方向への伸縮変位は可能であるが、前記軸方向に垂直な平面上に沿って伸縮変位する横方向への伸縮変位は規制され、
前記第2ベローズ管は、前記第1部材と第2部材の相対移動に従って、前記横方向への伸縮変位は可能であるが、前記軸方向への伸縮変位は規制されることを特徴とする二重構造のベローズ装置。 - 前記第2ベローズ管の外側に一端が前記第2部材側フランジに固定結合され、他端が前記連結部材に結合される固定軸を具備し、
前記固定軸の他端は前記連結部材に対して横方向への相対移動は可能だが、軸方向への移動は不可能に結合されることを特徴とする請求項1に記載された二重構造のベローズ装置。 - 前記連結部材の固定軸の他端が結合される結合部には、前記固定軸が横方向に移動することができる空間が形成され、前記結合部の空間の上下には前記空間を覆い、固定軸に結合され、固定軸の軸方向移動を規制するスライドガイドが結合され、前記固定軸は前記上下のスライドガイドと結合部の空間を貫通し、前記連結部材に結合されることを特徴とする請求項2に記載された二重構造のベローズ装置。
- 前記連結部材は円盤状で成り、前記円盤の周りに沿って前記固定軸の数に対応する数の固定軸の結合部が突出形成され、前記結合部には円盤の中心方向に向かって窪むように湾曲した凹部が形成され、前記凹部内で前記固定軸が横方向に移動することを特徴とする請求項3に記載された二重構造のベローズ装置。
- 前記固定軸と凹部内周面の間の距離は、前記第2ベローズ管の横方向の最大伸縮変位の距離より大きいことを特徴とする請求項4に記載された二重構造のベローズ装置。
- 前記固定軸は第2ベローズ管の前後左右に各一対ずつ配置され、これに対応して、前記連結部材の固定軸の結合部も、前記円盤状の連結部材の前後左右に各一対ずつ形成されていることを特徴とする請求項5に記載された二重構造のベローズ装置。
- 前記第1部材と第2部材の相対移動により、前記連結部材または第1部材側フランジのうち1つが横方向に動く時には、前記連結部材または第1部材側フランジのうち他の1つの部材が横方向に一緒に動くように構成されていることを特徴とする請求項第1乃至請求項6のいずれか1項に記載された二重構造のベローズ装置。
- 前記第1ベローズ管の横方向変形に対する抵抗性を示す横方向の変形剛性が、第2ベローズ管の横方向変形剛性より大きく、
前記第1ベローズ管と第2ベローズ管の剛性差は、前記第1部材と第2部材の相対移動によって前記第1部材側フランジまたは第2部材側フランジが横方向に移動することにより、前記第1ベローズ管及び第2ベローズ管に横方向の力が加わり、この横方向の力によって前記第2ベローズ管が横方向に伸縮変位する時、前記第1ベローズ管の横方向の伸縮変位はほぼ起きない程度の横方向の変形剛性差を有することを特徴とする請求項7に記載された二重構造のベローズ装置。 - 前記連結部材と第1部材側フランジの間にかけて軸方向に配置され、一端または両端が前記連結部材及び第1部材側フランジのうち少なくとも一方の部材を貫通し、軸方向にさらに延長され、前記少なくとも一方の部材と軸方向に互いに相対移動可能に設けられると同時に、前記少なくとも一方の部材の横方向への移動により、横方向に一緒に移動可能に設けられる軸部材を具備した請求項7に記載された二重構造のベローズ装置。
- 前記第1ベローズ管及び第2ベローズ管の内側中央の連結部材部分を貫通して設けられ、第1ベローズ管及び第2ベローズ管より小さい直径を有する連結部材ブッシング管と、前記連結部材ブッシング管の直下の第1部材側フランジ部分を貫通して設けられ、前記第1ベローズ管より小さい直径を有するフランジブッシング管を具備し、
前記軸部材は、前記フランジブッシング管及び連結部材ブッシング管を貫通して延長形成され、両端が前記第1及び第2部材の方に各々さらに延長されるシャフトであることを特徴とする請求項9に記載された二重構造のベローズ装置。 - 前記第1ベローズ管及び第2ベローズ管の内側中央の連結部材部分を貫通して設けられ、第1ベローズ管及び第2ベローズ管より小さい直径を有する連結部材ブッシング管と、
前記軸部材は、前記第1部材側フランジの第1部材側結合面に固定結合されるフランジ部と、前記連結部材ブッシング直下の第1部材側フランジ部分を貫通して延長され、前記連結部材ブッシング管を貫通し、第2部材の方にさらに延長されるシャフト部から成るシャフトフランジであることを特徴とする請求項9に記載された二重構造のベローズ装置。 - 前記第1ベローズ管の外側の第1部材側フランジ部分を貫通して設けられたフランジブッシング管を具備し、
前記軸部材は、一端が前記第1ベローズ管外側の連結部材部分に固定結合され、他端は前記フランジブッシング管を貫通し、前記第1部材の方に延長される外部の固定軸であることを特徴とする請求項9に記載された二重構造のベローズ装置。
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