JP2009226894A - Release film, and method for manufacturing green sheet - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a release film capable of preventing charging and blocking, and to provide a method for manufacturing a green sheet by which the charging and blocking of the release film can be prevented. <P>SOLUTION: The release film is provided with a belt-like base material, and a release layer mainly containing a release agent. In the vicinity of at least one end of the release film in a width direction, a discharge layer is provided in the longitudinal direction of the release film to remove electricity from the release film. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は剥離フィルムおよびグリーンシートの製造方法に関する。   The present invention relates to a release film and a method for producing a green sheet.

電子回路基板の製造に用いられるセラミックグリーンシート(グリーンシート)は、一般に、剥離フィルム上に、セラミックス粒子とバインダー樹脂とが有機溶剤に分散、溶解したグリーンスラリーを塗工し、塗工物を乾燥することにより製造される。このような方法では、均一な厚みのグリーンシートを効率よく製造することができる。また、こうして製造されたグリーンシートは、剥離フィルムから剥離して、電子回路基板の製造に用いられる。   Ceramic green sheets (green sheets) used in the manufacture of electronic circuit boards are generally coated on a release film with a green slurry in which ceramic particles and binder resin are dispersed and dissolved in an organic solvent, and the coated product is dried. It is manufactured by doing. In such a method, a green sheet having a uniform thickness can be efficiently produced. Moreover, the green sheet manufactured in this way peels from a peeling film, and is used for manufacture of an electronic circuit board.

上記のようなグリーンシートの製造方法において、剥離フィルムは、通常、帯状をなしている。このため、グリーンシート製造時においては、剥離シートおよびグリーンシートは、必要に応じて、適宜、ロール状に巻かれた巻きの状態で保管、輸送される。しかしながら、従来の剥離シートを用いたグリーンシートの製造方法では、以下のような問題があった。   In the method for producing a green sheet as described above, the release film usually has a strip shape. For this reason, at the time of manufacturing the green sheet, the release sheet and the green sheet are stored and transported in a state of being wound in a roll as appropriate. However, the conventional method for producing a green sheet using a release sheet has the following problems.

すなわち、剥離フィルムの巻きから剥離フィルムを繰り出す際に静電気が発生する。また、剥離フィルム上にグリーンスラリーを塗工し、グリーンシートを成形した後、剥離フィルムからグリーンシートを剥離する際に、静電気が発生する。このような場合、グリーンシートや剥離フィルムに埃が付着してしまう。この結果、製造されたグリーンシートに、この埃を基点とした欠点が生じてしまう。また、このような静電気が発生すると、巻きからの剥離フィルムの繰り出しが安定したものとならない問題があった。   That is, static electricity is generated when the release film is unwound from the winding of the release film. Moreover, static electricity is generated when the green sheet is peeled off from the release film after the green slurry is applied on the release film and the green sheet is formed. In such a case, dust adheres to the green sheet or the release film. As a result, the manufactured green sheet has a defect based on this dust. In addition, when such static electricity is generated, there is a problem that feeding of the release film from the winding is not stable.

そこで、剥離フィルムとして、発生した静電気を除去するための帯電防止層を、基材の塗工面とは反対側の面に設けたものを用いる試みがある(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、帯電防止層に含まれる成分がグリーンシートに付着、浸透することによりグリーンシートが汚染される問題があった。また、このような帯電防止層は、基材の主面の全面に設けられているものである。また、従来の帯電防止層は、隣り合う層と比較的ブロッキングを起こしやすいものである。このため、グリーンシートが形成された剥離フィルムの巻きから剥離フィルムを繰り出す際において、剥離フィルムを安定して繰り出すことが難しくなる問題があった。   Therefore, there has been an attempt to use a release film in which an antistatic layer for removing generated static electricity is provided on the surface opposite to the coated surface of the substrate (for example, see Patent Document 1). However, there is a problem that the green sheet is contaminated by the components contained in the antistatic layer adhering to and permeating the green sheet. Such an antistatic layer is provided on the entire main surface of the substrate. Moreover, the conventional antistatic layer is relatively easy to cause blocking with an adjacent layer. For this reason, when unwinding the release film from the winding of the release film on which the green sheet is formed, there is a problem that it is difficult to stably unwind the release film.

特開2003−203821号公報JP 2003-203821 A

本発明の目的は、帯電およびブロッキングを防止することのできる剥離フィルム、および剥離フィルムの帯電およびブロッキングを防止することのできるグリーンシートの製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a release film that can prevent charging and blocking, and a method for producing a green sheet that can prevent charging and blocking of the release film.

このような目的は、下記(1)〜(13)の本発明により達成される。
(1) 帯状の基材と、
前記基材上に設けられ、主として剥離剤で構成された剥離層とを有する剥離フィルムであって、
前記剥離フィルムの幅方向の少なくとも一方の端部付近に前記剥離フィルムの長手方向に沿って設けられた前記剥離フィルムを除電する除電層を有することを特徴とする剥離フィルム。
Such an object is achieved by the present inventions (1) to (13) below.
(1) a band-shaped substrate;
A release film provided on the substrate and having a release layer mainly composed of a release agent,
A release film comprising a charge removal layer for removing electricity from the release film provided along the longitudinal direction of the release film in the vicinity of at least one end in the width direction of the release film.

(2) 剥離フィルムは、前記除電層と外部の除電手段とが接触することにより、除電されるものである上記(1)に記載の剥離フィルム。   (2) The release film according to (1), wherein the release film is one that is neutralized by contact between the charge removal layer and an external charge removal unit.

(3) 前記除電層は、前記基材の、剥離層と同じ面側に設けられているものである上記(1)または(2)に記載の剥離フィルム。   (3) The release film according to (1) or (2), wherein the charge removal layer is provided on the same side of the substrate as the release layer.

(4) 剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する除電層の面積の割合は、3〜30%である上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の剥離フィルム。   (4) The release film according to any one of the above (1) to (3), wherein the ratio of the area of the charge removal layer to the area of the release film in a plan view of the release film is 3 to 30%.

(5) 前記除電層は、導電性粒子を含むものである上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の剥離フィルム。   (5) The release film according to any one of (1) to (4), wherein the charge removal layer includes conductive particles.

(6) 前記導電性粒子は、カーボンナノファイバーである上記(5)に記載の剥離フィルム。   (6) The release film according to (5), wherein the conductive particles are carbon nanofibers.

(7) 前記除電層は、導電性高分子材料を含むものである上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の剥離フィルム。   (7) The release film according to any one of (1) to (6), wherein the charge removal layer includes a conductive polymer material.

(8)剥離フィルムは、グリーンシートと接合して用いられるものである上記(1)ないし(7)のいずれかに記載の剥離フィルム。   (8) The release film according to any one of (1) to (7), wherein the release film is used by being bonded to a green sheet.

(9) 前記除電層は、剥離層上に形成される前記グリーンシートと接触する領域に設けられている上記(8)に記載の剥離フィルム。   (9) The release film according to (8), wherein the charge removal layer is provided in a region in contact with the green sheet formed on the release layer.

(10) 剥離フィルム上に、セラミックス粒子とバインダーとを含むグリーンシート材料を付与し、グリーンシート前駆体を形成するグリーンシート材料付与工程と、
前記グリーンシート前駆体を固化する固化工程とを有し、
前記剥離フィルムは、帯状の基材と、前記基材上に設けられ、主として剥離剤で構成された剥離層と、前記剥離フィルムの幅方向の少なくとも一方の端部付近に前記剥離フィルムの長手方向に沿って設けられた前記剥離フィルムを除電する除電層とを有することを特徴とするグリーンシートの製造方法。
(10) A green sheet material application step of applying a green sheet material containing ceramic particles and a binder on the release film to form a green sheet precursor;
Solidifying step of solidifying the green sheet precursor,
The release film is a strip-shaped substrate, a release layer provided on the substrate and mainly composed of a release agent, and the longitudinal direction of the release film near at least one end in the width direction of the release film. A method for producing a green sheet, comprising: a neutralization layer that neutralizes the release film provided along the surface.

(11) 前記除電層と外部の除電手段とが接触することにより、前記剥離フィルムを除電する上記(10)に記載のグリーンシートの製造方法。   (11) The method for producing a green sheet according to (10), wherein the release film is neutralized by contact between the static elimination layer and an external static elimination means.

(12) 前記グリーンシート材料付与工程では、前記グリーンシート材料を前記剥離フィルムに付与する際に前記剥離フィルムの除電を行う上記(10)または(11)に記載のグリーンシートの製造方法。   (12) The method for producing a green sheet according to (10) or (11), wherein in the green sheet material application step, the release film is neutralized when the green sheet material is applied to the release film.

(13) 前記グリーンシート付与工程では、前記グリーンシート前駆体を、前記除電層と接するように形成する上記(10)ないし(12)のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法。   (13) The green sheet manufacturing method according to any one of (10) to (12), wherein, in the green sheet applying step, the green sheet precursor is formed so as to be in contact with the charge removal layer.

本発明によれば、帯電およびブロッキングを防止することのできる剥離フィルム、および剥離フィルムの帯電およびブロッキングを防止することのできるグリーンシートの製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the peeling film which can prevent charging and blocking, and the green sheet which can prevent charging and blocking of a peeling film can be provided.

以下、図面に基づいて本発明について説明する。
[第1実施形態]
≪剥離フィルム≫
剥離フィルムは、グリーンシートの製造に用いられるものであり、一般に、剥離フィルム上にグリーンシートの材料を含む塗工液(グリーンスラリー)を塗工し、固化させることでグリーンシートが形成される。
The present invention will be described below with reference to the drawings.
[First Embodiment]
≪Release film≫
The release film is used for the production of a green sheet. Generally, a green sheet is formed by applying a coating liquid (green slurry) containing a material for a green sheet on the release film and solidifying it.

図1は、本発明の第1実施形態に係る剥離フィルムの横断面図、図2には、図1に示す剥離フィルムの平面図である。図3は、図1に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図、図4は、図3の巻きから剥離フィルムを繰り出すときの縦断面図、図5は、グリーンシートが形成された図1に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図、図6は、図5の巻きから剥離フィルムを繰り出すときの縦断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view of a release film according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the release film shown in FIG. 3 is a cross-sectional view showing a part of the winding in a state where the release film shown in FIG. 1 is rolled, FIG. 4 is a longitudinal sectional view when the release film is unwound from the winding of FIG. 3, and FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a part of a roll in a state where the release film shown in FIG. 1 on which a green sheet is formed is rolled up, and FIG. 6 is a longitudinal cross-sectional view when the release film is unwound from the winding of FIG. is there.

図1、図2に示すように、剥離フィルム1は、基材11と、基材11上に設けられた剥離層12と、剥離層12上に設けられ、剥離フィルム1の幅方向の両方の端部に剥離フィルム1の長手方向に沿って設けられた除電層13とを有している。また、後述するようなグリーンシートの製造方法において、グリーンシートの材料は、剥離層12上のグリーンシート形成領域14に付与され、グリーンシート20が剥離層12上に接合した状態で形成される。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the release film 1 is provided on the base material 11, the release layer 12 provided on the base material 11, and the release layer 12, both in the width direction of the release film 1. It has the static elimination layer 13 provided along the longitudinal direction of the peeling film 1 in the edge part. In the green sheet manufacturing method as described later, the green sheet material is applied to the green sheet forming region 14 on the release layer 12, and the green sheet 20 is formed on the release layer 12.

このように除電層を設けることにより、以下のような効果が得られる。
図3に示すように、剥離フィルム1をロール状に巻いた巻き30において、各剥離フィルム1は、基材11と隣り合う剥離フィルムの除電層13とが接するように積層されている。
By providing the charge removal layer in this way, the following effects can be obtained.
As shown in FIG. 3, in the winding 30 which wound the peeling film 1 in roll shape, each peeling film 1 is laminated | stacked so that the static elimination layer 13 of the peeling film adjacent to the base material 11 may contact | connect.

このため、図4に示すように、巻き30から剥離フィルム1を繰り出す際において、巻き30と剥離フィルム1とが分かれる部位(剥離する部位)に除電層13が存在することができ、当該部分に生じた電気(特に静電気)を好適に除電することができる。   For this reason, as shown in FIG. 4, when the release film 1 is unwound from the winding 30, the static elimination layer 13 can exist in a portion where the winding 30 and the release film 1 are separated (a portion to be peeled off). The generated electricity (especially static electricity) can be suitably eliminated.

また、図5に示すように、グリーンシート20が形成された剥離フィルム1をロール状に巻いた巻き40において、グリーンシート20の中央部は、剥離層12および隣り合う剥離フィルム1の基材11と接触している。このため、グリーンシート20の大部分は除電層13と接触しないものとなり、除電層13とグリーンシート20が接触することによるグリーンシート20の汚染が防止される。また、図6に示すように巻き40から剥離フィルム1およびグリーンシート20を繰り出す際において、グリーンシート20と巻き40との間でブロッキングが起きることを防止することができる。   Further, as shown in FIG. 5, in the winding 40 in which the release film 1 on which the green sheet 20 is formed is wound in a roll shape, the central portion of the green sheet 20 is the release layer 12 and the base material 11 of the adjacent release film 1. In contact with. For this reason, most of the green sheet 20 does not come into contact with the charge removal layer 13, and contamination of the green sheet 20 due to contact between the charge removal layer 13 and the green sheet 20 is prevented. Further, when the release film 1 and the green sheet 20 are unwound from the winding 40 as shown in FIG. 6, it is possible to prevent blocking between the green sheet 20 and the winding 40.

一方で、剥離フィルム1上のグリーンシート20の端部は、除電層13と接している。このため、図6に示すように、剥離フィルム1からグリーンシート20を剥離する際に、グリーンシート20と剥離フィルム1とが分かれる部位(剥離する部位)に除電層13が存在することができ、当該部分に生じた電気(特に静電気)を好適に除電することができる。   On the other hand, the end of the green sheet 20 on the release film 1 is in contact with the charge removal layer 13. For this reason, as shown in FIG. 6, when the green sheet 20 is peeled from the release film 1, the static elimination layer 13 can be present at a site where the green sheet 20 and the release film 1 are separated (site to be peeled off). Electricity (especially static electricity) generated in the portion can be suitably eliminated.

以下、本実施形態に係る剥離フィルム1を構成する各層について詳細に説明する。
<基材>
基材11は、帯状のシートであり、剥離フィルム1に、剛性、柔軟性等の物理的強度を付与する機能を有している。
Hereinafter, each layer which comprises the peeling film 1 which concerns on this embodiment is demonstrated in detail.
<Base material>
The substrate 11 is a belt-like sheet and has a function of imparting physical strength such as rigidity and flexibility to the release film 1.

また、基材11は、いかなるもので構成されていてもよいが、主として樹脂材料によって構成されることが好ましい。これにより、基材11は、引裂きや破断に対する十分な耐性を有するとともに、十分な可撓性を有することができる。   The substrate 11 may be composed of any material, but is preferably composed mainly of a resin material. Thereby, the base material 11 has sufficient resistance to tearing and breaking, and can have sufficient flexibility.

基材11に用いることのできる樹脂材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリメチルペンテン、ポリスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリイミド、フッ素樹脂、ポリアミド、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂、シクロオレフィン樹脂等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Although it does not specifically limit as a resin material which can be used for the base material 11, For example, polyesters, such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, ethylene -Vinyl acetate copolymer, polystyrene, polycarbonate, polymethylpentene, polysulfone, polyether ether ketone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polyether imide, polyimide, fluororesin, polyamide, acrylic resin, norbornene resin, cycloolefin resin Etc., and one or more of these can be used in combination.

この中でも、樹脂材料として、ポリエステルを用いることが好ましく、ポリエチレンテレフタレートを用いることが特に好ましい。   Among these, it is preferable to use polyester as the resin material, and it is particularly preferable to use polyethylene terephthalate.

この基材11の厚さは、特に限定されないが、10〜150μmであるのが好ましく、20〜120μmであるのがより好ましい。これにより、剥離フィルム1の柔軟性を適度なものとしつつ、剥離フィルムの引裂きや破断に対する耐性を特に優れたものとすることができる。   Although the thickness of this base material 11 is not specifically limited, It is preferable that it is 10-150 micrometers, and it is more preferable that it is 20-120 micrometers. Thereby, while making the softness | flexibility of the peeling film 1 moderate, the tolerance with respect to tearing and a fracture | rupture of a peeling film can be made especially excellent.

<剥離層>
剥離層12は、基材11上に設けられている。
剥離層12は、剥離フィルム1の剥離性を向上させる機能を有する。
<Peeling layer>
The release layer 12 is provided on the substrate 11.
The release layer 12 has a function of improving the peelability of the release film 1.

また、後述するようなグリーンシートの製造方法において、グリーンシートは、剥離フィルム1の剥離層12上に設けられるものである。   Further, in the method for producing a green sheet as will be described later, the green sheet is provided on the release layer 12 of the release film 1.

剥離層12は、主として剥離剤によって構成されている。
剥離層12に用いることのできる剥離剤としては、特には限定されないが、シリコーン樹脂で構成されたシリコーン系剥離剤;ポリビニルカーバメートや、アルキル尿素誘導体等の長鎖アルキル基を含有する化合物で構成された長鎖アルキル基含有化合物系剥離剤;不転化性アルキド樹脂、転化性アルキド樹脂等のアルキド樹脂で構成されたアルキド樹脂系剥離剤;高密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、直鎖状低蜜度ポリエチレン等のポリエチレン、アイソタクチック構造又はシンジオタクチック構造を有するプロピレン単独重合体や、プロピレン−α−オレフィン共重合体等の結晶性ポリプロピレン樹脂等のオレフィン樹脂で構成されたオレフィン樹脂系剥離剤;天然ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、メチルメタクリレート−ブタジエンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴムなどの合成ゴム等のゴムで構成されたゴム系剥離剤;(メタ)アクリル酸エステル系共重合体等のアクリル樹脂で構成されたアクリル樹脂系剥離剤等の各種剥離剤が挙げられ、これらを1種または2種以上組み合わせて用いることができる。
The release layer 12 is mainly composed of a release agent.
The release agent that can be used for the release layer 12 is not particularly limited, but is composed of a silicone release agent composed of a silicone resin; a compound containing a long-chain alkyl group such as polyvinyl carbamate or an alkyl urea derivative. Long-chain alkyl group-containing compound-based release agent; alkyd resin-based release agent composed of alkyd resin such as non-convertible alkyd resin and convertible alkyd resin; high-density polyethylene, low-density polyethylene, linear low-concentration polyethylene Olefin resin-based release agent composed of an olefin resin such as polyethylene, isopropylene homopolymer having an isotactic structure or syndiotactic structure, and crystalline polypropylene resin such as propylene-α-olefin copolymer; Rubber, butadiene rubber, isoprene rubber, styrene-butadiene Rubber-based release agent composed of rubber such as synthetic rubber such as methyl methacrylate-butadiene rubber and acrylonitrile-butadiene rubber; Acrylic resin-based release composed of acrylic resin such as (meth) acrylate copolymer Various release agents such as an agent can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

上述した中でも、剥離層12を構成する剥離剤としてシリコーン系剥離剤を用いた場合、グリーンシートの剥離層12からの剥離性を特に優れたものとすることがすることができる。このため、剥離層12からグリーンシートを剥離する際にブロッキングが起こることを確実に防止することができるとともに、剥離層12とグリーンシートとの間で静電気が発生しにくいものとなる。また、剥離フィルム1を複数枚積層した場合において、隣接する剥離フィルム1同士が特に容易に剥離できるものとなる。このため、剥離フィルム1の巻きから剥離フィルム1を繰り出す際に、ブロッキングが確実に防止されるものとなるとともに、静電気が発生しにくいものとなる。   Among those described above, when a silicone release agent is used as the release agent constituting the release layer 12, the peelability of the green sheet from the release layer 12 can be made particularly excellent. For this reason, it is possible to reliably prevent blocking when the green sheet is peeled from the release layer 12, and static electricity is hardly generated between the release layer 12 and the green sheet. Further, when a plurality of release films 1 are laminated, adjacent release films 1 can be particularly easily peeled off. For this reason, when the release film 1 is unwound from the winding of the release film 1, blocking is reliably prevented and static electricity is hardly generated.

シリコーン系剥離剤は、シリコーン樹脂を主として含むシリコーン系剥離剤組成物を硬化させることにより得られる。   The silicone release agent is obtained by curing a silicone release agent composition mainly containing a silicone resin.

シリコーン系剥離剤組成物に用いることのできるシリコーン樹脂は、剥離層12を形成することのできるものであればよく、例えば、付加反応型、縮合反応型のシリコーン樹脂を用いることができる。このようなシリコーン樹脂は、剥離層12の形成時において、熱、光等のエネルギーが加えられることにより、重合反応することができる。この結果、シリコーン系剥離剤組成物が好適に硬化して剥離層12が形成される。中でも、付加反応型のシリコーン樹脂を用いることが好ましい。   The silicone resin that can be used for the silicone-based release agent composition is not particularly limited as long as it can form the release layer 12. For example, addition reaction type and condensation reaction type silicone resins can be used. Such a silicone resin can undergo a polymerization reaction when energy such as heat and light is applied when the release layer 12 is formed. As a result, the silicone release agent composition is suitably cured to form the release layer 12. Among them, it is preferable to use an addition reaction type silicone resin.

付加反応型のシリコーン樹脂としては、シリコーン系剥離剤組成物の硬化時に付加反応することのできるシリコーン樹脂であれば特に限定されないが、例えば、ビニル基を有するポリジメチルシロキサン、ヘキセニル基を有するポリジメチルシロキサン等のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いることができる。   The addition reaction type silicone resin is not particularly limited as long as it is a silicone resin that can undergo an addition reaction when the silicone release agent composition is cured. For example, polydimethylsiloxane having a vinyl group, polydimethylsiloxane having a hexenyl group. Polyorganosiloxane having an alkenyl group such as siloxane can be used.

また、シリコーン樹脂としては、上述したような付加反応型、縮合反応型のシリコーン樹脂に加え、重合反応に寄与しないシリコーン樹脂を含むものであってもよい。このようなシリコーン樹脂を含むことにより、剥離層12は特に剥離性に優れたものとなる。特に、このように重合反応に寄与するシリコーン樹脂と、寄与しないシリコーン樹脂とを同時に用いることにより、シリコーン樹脂の剥離層12からの流出を防止し、剥離層12の表面強度を特に優れたものとしつつ、剥離層12の剥離性を特に優れたものとすることができる。   Further, the silicone resin may include a silicone resin that does not contribute to the polymerization reaction in addition to the addition reaction type or condensation reaction type silicone resin as described above. By including such a silicone resin, the release layer 12 is particularly excellent in peelability. In particular, by simultaneously using the silicone resin that contributes to the polymerization reaction and the silicone resin that does not contribute to the polymerization reaction, the silicone resin is prevented from flowing out from the release layer 12, and the surface strength of the release layer 12 is particularly excellent. Meanwhile, the peelability of the release layer 12 can be made particularly excellent.

このような重合反応に寄与しないシリコーン樹脂としては、例えば、分子中にケイ素原子に結合したアルケニル基及び水素原子を有しないポリオルガノシロキサン、具体的には、トリメチルシロキシ基末端封鎖ポリジメチルシロキサン、ジメチルフェニルシロキシ基末端封鎖ポリジメチルシロキサンなどのシリコーン樹脂が挙げられる。   Examples of silicone resins that do not contribute to the polymerization reaction include polyorganosiloxanes that do not have alkenyl groups and hydrogen atoms bonded to silicon atoms in the molecule, specifically, trimethylsiloxy group end-capped polydimethylsiloxane, dimethyl Examples thereof include silicone resins such as phenylsiloxy group-end-capped polydimethylsiloxane.

また、シリコーン系剥離剤組成物は、架橋剤を含むことが好ましい。このような架橋剤によってシリコーン樹脂が架橋されることにより、シリコーン樹脂が剥離層12からグリーンシートへ浸透することが防止され、グリーンシートが汚染されることが確実に防止される。また、剥離層12の表面強度を特に優れたものとすることができるとともに、基材11と剥離層12との密着性が特に優れたものとなる。   Moreover, it is preferable that a silicone type release agent composition contains a crosslinking agent. By crosslinking the silicone resin with such a crosslinking agent, the silicone resin is prevented from penetrating from the release layer 12 to the green sheet, and the green sheet is reliably prevented from being contaminated. In addition, the surface strength of the release layer 12 can be made particularly excellent, and the adhesion between the substrate 11 and the release layer 12 becomes particularly excellent.

架橋剤としては、例えば、単量体中にSi−H結合を有するポリオルガノシロキサン、具体的には、ジメチルハイドロジェンシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ポリ(メチルハイドロジェンシロキサン)、ポリ(ハイドロジェンシルセスキオキサン)等が挙げられ、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the crosslinking agent include polyorganosiloxane having a Si—H bond in the monomer, specifically, dimethylhydrogensiloxy group end-capped dimethylsiloxane-methylhydrogensiloxane copolymer, trimethylsiloxy group endcapped. Examples thereof include dimethylsiloxane-methylhydrogensiloxane copolymer, trimethylsiloxy group end-capped poly (methylhydrogensiloxane), poly (hydrogensilsesquioxane) and the like, and one or a combination of two or more types may be used. it can.

シリコーン系剥離剤組成物における架橋剤は、シリコーン樹脂:100重量部に対し、0.1〜100重量部含まれることが好ましく、0.3〜50重量部含まれることがより好ましい。   The crosslinking agent in the silicone release agent composition is preferably contained in an amount of 0.1 to 100 parts by weight, and more preferably 0.3 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the silicone resin.

また、シリコーン系剥離剤組成物は、上述したような成分に加え、他の成分を含んでいてもよい。例えば、シリコーン系剥離剤組成物は、密着向上剤、重合開始剤、安定剤、シリカ、染料、顔料等を含むものであってもよい。   The silicone release agent composition may contain other components in addition to the components as described above. For example, the silicone release agent composition may contain an adhesion improver, a polymerization initiator, a stabilizer, silica, a dye, a pigment, and the like.

密着向上剤は、剥離層12と隣接する層(基材11、除電層13)との密着性を向上させる成分である。このような密着向上剤としては、例えば、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、3 −グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。   The adhesion improver is a component that improves the adhesion between the release layer 12 and the adjacent layers (base material 11 and charge removal layer 13). Examples of such adhesion improvers include vinyltriacetoxysilane, vinyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane. Is mentioned.

安定剤は、シリコーン系剥離剤組成物の保管時における、シリコーン樹脂の重合反応(硬化)を防止するための成分である。このような安定剤としては、例えば、3,5−ジメチル−1−ヘキセン−3−オール、3−メチル−1−ペンテン−3−オール、3−メチル−3−ペンテン−1−イン、3,5−ジメチル−3−ヘキセン−1−イン、テトラビニルシロキサン環状体、ベンゾトリアゾール等が挙げられる。   The stabilizer is a component for preventing the polymerization reaction (curing) of the silicone resin during storage of the silicone release agent composition. Examples of such a stabilizer include 3,5-dimethyl-1-hexen-3-ol, 3-methyl-1-penten-3-ol, 3-methyl-3-penten-1-yne, 3, 5-dimethyl-3-hexen-1-in, tetravinylsiloxane cyclic, benzotriazole and the like can be mentioned.

重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン類、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類、α−ヒドロキシケトン類、α−アミノケトン類、α−ジケトン類、α−ジケトンジアルキルアセタール類、アントラキノン類、チオキサントン類等が挙げられる。   Examples of the polymerization initiator include benzoins, benzophenones, acetophenones, α-hydroxy ketones, α-amino ketones, α-diketones, α-diketone dialkyl acetals, anthraquinones, thioxanthones, and the like.

この剥離層12の厚さは、特に限定されないが、0.01〜3μmであるのが好ましく、0.03〜1μmであるのがより好ましい。   Although the thickness of this peeling layer 12 is not specifically limited, It is preferable that it is 0.01-3 micrometers, and it is more preferable that it is 0.03-1 micrometer.

<除電層>
除電層13は、導電性を有し、剥離フィルム1に生じた電気を除去する機能を有する層である。
<Static elimination layer>
The charge removal layer 13 is a layer having conductivity and a function of removing electricity generated in the release film 1.

本実施形態において、除電層13は、剥離層12上の剥離フィルム1の幅方向の両方の端部に設けられている。また、除電層13は、剥離フィルム1の長手方向に沿って設けられている。言い換えると、剥離フィルム1には、その幅方向の中央付近に剥離層12が露出するように除電層13が設けられている。また、その露出した剥離層12上は、グリーンシート20が形成されるグリーンシート形成領域14となっている。   In the present embodiment, the charge removal layer 13 is provided at both ends in the width direction of the release film 1 on the release layer 12. Further, the charge removal layer 13 is provided along the longitudinal direction of the release film 1. In other words, the release film 1 is provided with the charge removal layer 13 so that the release layer 12 is exposed near the center in the width direction. Moreover, on the exposed peeling layer 12, it becomes the green sheet formation area 14 in which the green sheet 20 is formed.

このように、除電層13を、剥離フィルム1の端部に設けることにより、剥離フィルム1上に設けられるグリーンシート20が、除電層13と接触する部分が十分に少ないものとなる。この結果、除電層13に含まれる導電性の成分等がグリーンシート20に付着することが防止される。   Thus, by providing the static elimination layer 13 in the edge part of the peeling film 1, the part which the green sheet 20 provided on the peeling film 1 contacts with the static elimination layer 13 becomes a sufficiently small thing. As a result, the conductive component contained in the charge removal layer 13 is prevented from adhering to the green sheet 20.

また、除電層13は、剥離層12上に形成されるグリーンシート20と接触する領域に設けられている。このように、形成されたグリーンシート20と除電層13とが接触することにより、グリーンシート20に発生した電気をより確実に除去することができる。   Further, the charge removal layer 13 is provided in a region in contact with the green sheet 20 formed on the release layer 12. In this way, the electricity generated in the green sheet 20 can be more reliably removed by the contact between the formed green sheet 20 and the charge removal layer 13.

なお、グリーンシート20は、グリーンシート20の剥離フィルム1からの剥離後に、グリーンシート20の除電層13と接触した部分(端部)をグリーンシート20から切り取ってもよい。これにより、除電層13の成分がより確実に付着していないものとなる。   The green sheet 20 may be cut off from the green sheet 20 after the green sheet 20 is peeled off from the release film 1. Thereby, the component of the static elimination layer 13 will not adhere more reliably.

特に、本実施形態では、除電層13は、剥離層12上に設けられている。このため、形成されたグリーンシート20と除電層13とは、グリーンシート20が剥離フィルム1から剥離されるまで、常に接触しているものとなる。これにより、グリーンシート20は、より帯電しにくいものとなり、グリーンシート20に埃等の汚れが付着することがより確実に防止される。   In particular, in the present embodiment, the charge removal layer 13 is provided on the release layer 12. For this reason, the formed green sheet 20 and the charge removal layer 13 are always in contact until the green sheet 20 is peeled from the release film 1. Thereby, the green sheet 20 becomes more difficult to be charged, and dirt such as dust adheres to the green sheet 20 more reliably.

剥離フィルム1を平面視した場合における剥離フィルム1の面積に対する除電層13の面積の割合は、3〜30%であることが好ましく、5〜20%であることがより好ましい。これにより、剥離フィルム1に生じる電気をより確実に除去することができるとともに、比較的広い領域に、グリーンシート20を形成することができる。   The ratio of the area of the static elimination layer 13 to the area of the release film 1 in a plan view of the release film 1 is preferably 3 to 30%, and more preferably 5 to 20%. Thereby, while being able to remove the electricity which arises in the peeling film 1 more reliably, the green sheet 20 can be formed in a comparatively wide area | region.

また、剥離フィルム1を平面視した場合における前記除電層13の幅は、3〜150mmであることが好ましく、10〜100mmであることがより好ましい。これにより、後述するような外部の除電手段50A、50Bがより容易に除電層13に接触できるものとなり、剥離フィルム1およびグリーンシート20に生じた電気をより効率よく除去することができる。   Moreover, when the peeling film 1 is planarly viewed, the width of the charge removal layer 13 is preferably 3 to 150 mm, and more preferably 10 to 100 mm. Thereby, external static elimination means 50A and 50B which will be described later can more easily come into contact with the static elimination layer 13, and electricity generated in the release film 1 and the green sheet 20 can be more efficiently removed.

また、除電層13の厚さは、0.01〜3.0μmであることが好ましく、0.03〜1.0μmであることがより好ましく、0.05〜0.30μmであることがさらに好ましい。このように、所定以上の厚さとすることで、除電層13の除電性能を高いものとすることができる。また、除電層13の厚さを上記のように比較的薄いものとすることにより、除電層13によって形成される凸部を目立たないものとすることができる。このため、巻き30に、しわやたるみが発生することが防止される。この結果、グリーンシート20製造時において、巻き30に存在するしわやたるみから、剥離フィルム1の繰り出しに不具合が生じたり、後述するような外部の除電手段50A、50Bと除電層13とが接触しにくいものとなることがより確実に防止される。   Further, the thickness of the charge removal layer 13 is preferably 0.01 to 3.0 μm, more preferably 0.03 to 1.0 μm, and further preferably 0.05 to 0.30 μm. . Thus, the static elimination performance of the static elimination layer 13 can be made high by setting it as thickness more than predetermined. Moreover, the convex part formed by the static elimination layer 13 can be made not conspicuous by making the thickness of the static elimination layer 13 comparatively thin as mentioned above. For this reason, wrinkles and sagging are prevented from occurring in the winding 30. As a result, when the green sheet 20 is manufactured, there is a problem in the feeding of the release film 1 due to wrinkles and sagging that exist in the winding 30, or the external static elimination means 50A and 50B and the static elimination layer 13 as described later contact each other. It is more reliably prevented that it becomes difficult.

除電層13の表面抵抗率は、1013Ω/□以下であることが好ましく、1010Ω/□以下であることがより好ましい。 The surface resistivity of the charge removal layer 13 is preferably 10 13 Ω / □ or less, and more preferably 10 10 Ω / □ or less.

また、本実施形態において、除電層13は、硬化性樹脂と、硬化性樹脂中に分散した導電性を有する導電性粒子とによって構成される。このように導電性粒子を用いることにより、除電層13は、確実に高い導電性が付与される。また、後述するような製造方法において、このような材料を用いた場合、除電層13を、所望の形状で、効率よく形成することができる。   Moreover, in this embodiment, the static elimination layer 13 is comprised by curable resin and the electroconductive particle which has the electroconductivity disperse | distributed in curable resin. By using conductive particles in this way, the charge removal layer 13 is reliably imparted with high conductivity. In addition, when such a material is used in a manufacturing method as described later, the static elimination layer 13 can be efficiently formed in a desired shape.

除電層13に用いることのできる導電性粒子としては、特には限定されないが、例えば、金、銀、銅、ニッケル、チタン等の金属および金属酸化物等の金属系導電性粒子;グラファイトがプレート状に積層して繊維を形成したカーボンナノファイバー、グラファイトの1枚面を巻いて円筒状にした形状を有するカーボンナノチューブ等のカーボンナノファイバー、カーボンブラック、炭素繊維、黒鉛、フラーレン等のカーボン系導電性粒子等が挙げられ、これらを1種または2種以上組み合わせて用いることができる。   Although it does not specifically limit as electroconductive particle which can be used for the static elimination layer 13, For example, metal type electroconductive particles, such as metals, such as gold | metal | money, silver, copper, nickel, titanium, and a metal oxide; Carbon nanofibers that are laminated to form fibers, carbon nanofibers such as carbon nanotubes that have a cylindrical shape by winding one sheet of graphite, and carbon-based conductivity such as carbon black, carbon fibers, graphite, and fullerene Particle | grains etc. are mentioned, These can be used 1 type or in combination of 2 or more types.

この中でも、導電性粒子として、カーボン系導電性粒子を用いることが好ましく、カーボンナノファイバーを用いることがより好ましく、カーボンナノチューブを用いることがさらに好ましい。カーボン系導電性粒子は、比較的少量であっても、優れた導電性を示すことができる。このため、このようなカーボン系導電性粒子を用いた場合、除電層13を比較的薄いものした場合であっても、除電層13は、好適に導電性を有することができる。また、このため、剥離フィルム1を巻きにした場合に、しわやたるみが発生することが防止される。   Among these, carbon-based conductive particles are preferably used as the conductive particles, more preferably carbon nanofibers, and still more preferably carbon nanotubes. The carbon-based conductive particles can exhibit excellent conductivity even in a relatively small amount. For this reason, when such a carbon type electroconductive particle is used, even if it is a case where the static elimination layer 13 is made comparatively thin, the static elimination layer 13 can have electroconductivity suitably. For this reason, wrinkles and sagging are prevented when the release film 1 is wound.

特に、カーボンナノファイバーは、微小な粒子であると共に、導電性の特に高い粒子である。このため、カーボンナノファイバーを導電性粒子として用いた場合、上述したような効果をより顕著に得ることができる。また、特にカーボンナノファイバーの中でも、カーボンナノチューブは、引張り強度や、引裂き強度等の向上に寄与できる成分である。このため、導電性粒子として、カーボンナノチューブを用いた場合、除電層13は、ひび割れ、摩耗等が少ないものとなり、安定して優れた導電性を維持できるものとなる。また、除電層13の厚さを十分に薄いものとすることができる。   In particular, the carbon nanofiber is a fine particle and a particularly highly conductive particle. For this reason, when carbon nanofibers are used as conductive particles, the above-described effects can be obtained more remarkably. In particular, among carbon nanofibers, carbon nanotubes are components that can contribute to improvements in tensile strength, tear strength, and the like. For this reason, when carbon nanotubes are used as the conductive particles, the charge removal layer 13 has less cracks, wear, and the like, and can stably maintain excellent conductivity. Further, the thickness of the charge removal layer 13 can be made sufficiently thin.

上述したように、カーボンナノチューブは、グラファイトの層を巻いて円筒状にした形状を有している。また、カーボンナノチューブは、巨大な共役二重結合系を有しており、この共役二重結合系に中にあるπ電子によって導電性が生じる。また、炭素結合のみによって円筒状の繊維を形成しているため、物理的な強度に優れている。   As described above, the carbon nanotube has a cylindrical shape formed by winding a graphite layer. Carbon nanotubes have a huge conjugated double bond system, and conductivity is generated by π electrons in the conjugated double bond system. Further, since the cylindrical fibers are formed only by carbon bonds, the physical strength is excellent.

また、カーボンナノチューブとしては、1層のグラファイトの層が円筒を形成した構造を持つ単層カーボンナノチューブ、2層以上のグラファイトの層がそれぞれ円筒を形成しこれらの円筒が積層された構造を持つ多層カーボンナノチューブを用いることができるが、多層カーボンナノチューブを用いることが好ましい。外側にある層と内側にある層とでそれぞれ異なる機能を付与することにより、多層カーボンナノチューブは、導電性とともに、他の機能を有することができる。例えば、多層カーボンナノチューブの外側の層については表面処理して樹脂材料と親和性の優れたものとし、内側にある層についてはグラファイトの結晶配列を維持させて導電性を持たせることにより、カーボンナノチューブは、導電性を特に優れたものとしつつ、樹脂材料への分散性を特に優れたものとすることができる。   As the carbon nanotube, a single-walled carbon nanotube having a structure in which one graphite layer forms a cylinder, and a multilayer having a structure in which two or more graphite layers each form a cylinder and these cylinders are laminated. Although carbon nanotubes can be used, it is preferable to use multi-walled carbon nanotubes. By giving different functions to the outer layer and the inner layer, the multi-walled carbon nanotube can have other functions as well as conductivity. For example, the outer layer of the multi-walled carbon nanotube is surface-treated to have an excellent affinity with the resin material, and the inner layer is made carbon nanotube by maintaining the crystalline arrangement of graphite to have conductivity. Can make the dispersibility in the resin material particularly excellent while making the conductivity particularly excellent.

また、カーボンナノチューブは、その末端が開口しているものであってもよく、閉口しているものであってもよいが、開口していることが好ましい。なお、カーボンナノチューブの末端が閉口している場合、硝酸等によって処理することにより末端を開口させることができる。   In addition, the carbon nanotubes may be open at the ends or closed, but are preferably open. When the end of the carbon nanotube is closed, the end can be opened by treatment with nitric acid or the like.

また、カーボンナノチューブの末端形状は、特には限定されず、例えば、円筒状、円錐状等の各種形状をとることができる。   Moreover, the terminal shape of the carbon nanotube is not particularly limited, and can be various shapes such as a cylindrical shape and a conical shape.

また、カーボンナノチューブの平均外径は、0.5〜120nmであることが好ましく、1.0〜80nmであることがより好ましい。これにより、カーボンナノチューブは、除電層13中に均一に分散できるととともに、カーボンナノチューブ自体の導電性を十分に高いものとすることができる。また、このような平均外形のカーボンナノチューブを用いた場合、除電層13は、十分に平滑なものとなる。   Moreover, the average outer diameter of the carbon nanotube is preferably 0.5 to 120 nm, and more preferably 1.0 to 80 nm. As a result, the carbon nanotubes can be uniformly dispersed in the charge removal layer 13, and the conductivity of the carbon nanotubes themselves can be made sufficiently high. Further, when the carbon nanotube having such an average outer shape is used, the static elimination layer 13 becomes sufficiently smooth.

また、カーボンナノチューブの平均長さは、0.5〜20μmであることが好ましく、0.8〜15μmであることがより好ましい。これにより、カーボンナノチューブは、除電層13中に均一に分散できるととともに、カーボンナノチューブ自体の導電性を十分に高いものとすることができる。   Moreover, the average length of the carbon nanotubes is preferably 0.5 to 20 μm, and more preferably 0.8 to 15 μm. As a result, the carbon nanotubes can be uniformly dispersed in the charge removal layer 13, and the conductivity of the carbon nanotubes themselves can be made sufficiently high.

また、上述したようなカーボンナノチューブは、ゼオライトの細孔に鉄やコバルト系触媒を導入した触媒化学気相成長法(CCVD法)、気相成長法(CVD法)、レーザーアブレーション法、炭素棒・炭素繊維等を用いたアーク放電法等によって製造することができる。   Carbon nanotubes as described above can be produced by catalytic chemical vapor deposition method (CCVD method), vapor phase growth method (CVD method), laser ablation method, carbon rod, It can be manufactured by an arc discharge method using carbon fiber or the like.

また、カーボンナノチューブ中の非晶質のカーボン粒子は、20wt%以下であることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the amorphous carbon particle in a carbon nanotube is 20 wt% or less.

また、除電層13中における導電性粒子の含有量は、0.1〜30wt%であることが好ましく、0.3〜10wt%であることがより好ましい。これにより、除電層13の導電性は特に優れたものとなる。また、導電性粒子は、除電層13中に好適に分散することができ、除電層13の平滑性、表面強度を特に優れたものとすることができる。   Moreover, it is preferable that it is 0.1-30 wt%, and, as for content of the electroconductive particle in the static elimination layer 13, it is more preferable that it is 0.3-10 wt%. Thereby, the electrical conductivity of the static elimination layer 13 becomes especially excellent. Further, the conductive particles can be suitably dispersed in the static elimination layer 13, and the smoothness and surface strength of the static elimination layer 13 can be made particularly excellent.

また、本実施形態において、除電層13は、硬化性樹脂を含む。
硬化性樹脂は、除電層13において、上述したような導電性粒子を分散するバインダーとして機能するとともに、除電層13の形状を維持して、除電層13に物理的な強度を付与するものである。
Moreover, in this embodiment, the static elimination layer 13 contains curable resin.
The curable resin functions as a binder that disperses the conductive particles as described above in the static elimination layer 13 and maintains the shape of the static elimination layer 13 to impart physical strength to the static elimination layer 13. .

除電層13に用いることのできる硬化性樹脂としては、特に限定されず、例えば、光硬化性樹脂を用いることができる。   It does not specifically limit as curable resin which can be used for the static elimination layer 13, For example, a photocurable resin can be used.

光硬化性樹脂は、光反応性の各種単官能性モノマー、多官能性モノマー、多官能性オリゴマーおよびこれらの混合物を主として構成される光硬化性樹脂組成物を重合、硬化させることにより得ることができる。   The photocurable resin can be obtained by polymerizing and curing a photocurable resin composition mainly composed of various photoreactive monofunctional monomers, polyfunctional monomers, polyfunctional oligomers, and mixtures thereof. it can.

光硬化性樹脂組成物に含まれる多官能性モノマーとしては、特に限定されず、例えば、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどの多官能アクリレートが挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The polyfunctional monomer contained in the photocurable resin composition is not particularly limited. For example, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol Di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol adipate di (meth) acrylate, hydroxypivalate neopentyl glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, caprolactone modified dicyclo Pentenyl di (meth) acrylate, ethylene oxide modified phosphoric acid di (meth) acrylate, allylated cyclohexyl di (meth) acrylate, isocyanurate di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) ) Acrylate, propionic acid modified dipentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, propylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (acryloxyethyl) isocyanurate, propionic acid modified dipentaerythritol Polyfunctional acrylates such as penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate may be mentioned. Among these, one or a combination of two or more may be used. it can.

一方、多官能性のオリゴマーとしては、特には限定されず、例えば、ポリエステルアクリレート系、エポキシアクリレート系、ウレタンアクリレート系、ポリオールアクリレート系等のラジカル重合性オリゴマー、エポキシ、オキセタン樹脂、ビニルエーテル樹脂等のカチオン重合性オリゴマー等が挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   On the other hand, the polyfunctional oligomer is not particularly limited, and examples thereof include radically polymerizable oligomers such as polyester acrylate, epoxy acrylate, urethane acrylate, and polyol acrylate, and cations such as epoxy, oxetane resin, and vinyl ether resin. A polymerizable oligomer etc. are mentioned, Among these, it can be used 1 type or in combination of 2 or more types.

ここで、エポキシ系樹脂としては、例えば、ビスフェノール樹脂やノボラック樹脂などの多価フェノール類にエピクロルヒドリンなどでエポキシ化した化合物、直鎖状オレフィン化合物や環状オレフィン化合物を過酸化物などで酸化して得られた化合物等が挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Here, as the epoxy resin, for example, a compound obtained by epoxidizing polyphenols such as bisphenol resin or novolac resin with epichlorohydrin, a linear olefin compound or a cyclic olefin compound with a peroxide or the like is obtained. Among these, one or a combination of two or more can be used.

光反応性の単官能性モノマーとしては、例えば、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the photoreactive monofunctional monomer include cyclohexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, and the like. Among these, one or a combination of two or more can be used.

また、光硬化性樹脂組成物は、光重合開始剤を含むものであってもよい。光重合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルメタノン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−2(ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p−フェニルベンゾフェノン、4,4'−ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロロベンゾフェノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−ターシャリ−ブチルアントラキノン、2−アミノアントラキノン、2−メチルチオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、p−ジメチルアミン安息香酸エステルなどが挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、カチオン重合性のモノマー、オリゴマーに対する光重合開始剤としては、例えば、芳香族スルホニウムイオン、芳香族オキソスルホニウムイオン、芳香族ヨードニウムイオンなどのオニウムと、テトラフルオロボレート、ヘキサフルオロホスフェート、ヘキサフルオロアンチモネート、ヘキサフルオロアルセネートなどの陰イオンとからなる化合物等が挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Moreover, the photocurable resin composition may contain a photopolymerization initiator. Examples of the photopolymerization initiator include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2 , 2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, α-hydroxycyclohexyl phenylmethanone, 2-methyl-1- [4 -(Methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl-2 (hydroxy-2-propyl) ketone, benzophenone, p-phenylbenzophene 4,4'-diethylaminobenzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyl dimethyl ketal, acetophenone dimethyl ketal, p-dimethylamine benzoate, and the like can be used. Among these, one or a combination of two or more can be used. it can. Examples of photopolymerization initiators for cationic polymerizable monomers and oligomers include oniums such as aromatic sulfonium ions, aromatic oxosulfonium ions and aromatic iodonium ions, tetrafluoroborate, hexafluorophosphate, hexafluoroantimony. Examples thereof include compounds composed of anions, hexafluoroarsenates and the like, and among these, one kind or two or more kinds can be used in combination.

また、光硬化性樹脂組成物中において、光重合開始剤は、光反応性の各種モノマー、オリゴマーの合計量:100重量部に対して、0.2〜10重量部含まれることが好ましい。   Moreover, in a photocurable resin composition, it is preferable that a photoinitiator is contained 0.2-10 weight part with respect to the total amount: 100 weight part of various photoreactive monomers and oligomers.

また、除電層13は、導電性高分子材料を含んでいてもよい。除電層13が導電性高分子材料を含むことにより、除電層13は、導電性が特に優れたものとなる。また、導電性粒子が十分に分散されていない場合であっても、このような導電性高分子材料がこれらの導電性粒子の間に存在することにより、除電層13は、導電性を有することができる。   Further, the charge removal layer 13 may contain a conductive polymer material. When the charge removal layer 13 includes a conductive polymer material, the charge removal layer 13 is particularly excellent in conductivity. Further, even if the conductive particles are not sufficiently dispersed, the static elimination layer 13 has conductivity because such a conductive polymer material exists between these conductive particles. Can do.

導電性高分子材料としては、例えば、トランス型ポリアセチレン、シス型ポリアセチレン、ポリジアセチレンなどのポリアセチレン系;ポリ(p−フェニレン)やポリ(m−フェニレン)などのポリ(フェニレン)系;ポリチオフェン、ポリ(3−アルキルチオフェン)、ポリ(3−チオフェン−β−エタンスルホン酸)、ポリアルキレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホネートとの混合物などのポリチオフェン系;ポリアニリン、ポリメチルアニリン、ポリメトキシアニリンなどのポリアニリン系;ポリピロール、ポリ3−メチルピロール、ポリ3−オクチルピロールなどのポリピロール系;ポリ(p−フェニレンビニレン)などのポリ(フェニレンビニレン)系;ポリ(ビニレンスルフィド)系;ポリ(p−フェニレンスルフィド)系;ポリ(チエニレンビニレン)系化合物などが挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the conductive polymer material include polyacetylenes such as trans-type polyacetylene, cis-type polyacetylene, and polydiacetylene; poly (phenylene) -type such as poly (p-phenylene) and poly (m-phenylene); polythiophene, poly ( 3-alkylthiophene), poly (3-thiophene-β-ethanesulfonic acid), polythiophene systems such as a mixture of polyalkylenedioxythiophene and polystyrene sulfonate; polyaniline systems such as polyaniline, polymethylaniline, polymethoxyaniline; polypyrrole Polypyrrole systems such as poly (3-methylpyrrole) and poly-3-octylpyrrole; poly (phenylene vinylene) systems such as poly (p-phenylene vinylene); poly (vinylene sulfide) systems; poly (p-phenylene sulfide) systems; Thienirenbi Include such alkylene) compounds can be used singly or in combination of two or more of them.

上述した中でも、ポリアセチレン系、ポリチオフェン系、ポリアニリン系、ポリピロール系及びポリ(フェニレンビニレン)系化合物を用いた場合、除電層13は、導電性が特に優れたものとなる。   Among the above, when the polyacetylene-based, polythiophene-based, polyaniline-based, polypyrrole-based, and poly (phenylene vinylene) -based compounds are used, the charge removal layer 13 has particularly excellent conductivity.

また、除電層13中における導電性高分子材料の含有量は、0.01〜10質量%であることが好ましく、0.01〜5質量%であることがより好ましく、0.1〜3質量%であることがさらに好ましい。これにより、除電層13の導電性を特に優れたものとすることができるとともに、除電層13の物理的強度を十分に高いものとすることができる。   The content of the conductive polymer material in the charge removal layer 13 is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.01 to 5% by mass, and 0.1 to 3% by mass. % Is more preferable. Thereby, the electrical conductivity of the static elimination layer 13 can be made particularly excellent, and the physical strength of the static elimination layer 13 can be made sufficiently high.

≪剥離フィルムの製造方法≫
次に、上述したような剥離フィルムの製造方法について説明する。
≪Method for producing release film≫
Next, a method for producing the release film as described above will be described.

まず、基材11を準備する。
基材11には、各面に対し、酸化法や凹凸化法、プライマー処理等の表面処理がおこなわれるものであってもよい。このような場合、例えば、基材11と、形成される剥離層12との密着性を向上させることができる。
First, the base material 11 is prepared.
The base material 11 may be subjected to a surface treatment such as an oxidation method, a concavo-convex method, or a primer treatment on each surface. In such a case, for example, the adhesion between the base material 11 and the formed release layer 12 can be improved.

また、酸化法としては、例えば、コロナ放電処理、プラズマ放電処理、クロム酸処理(湿式)、火炎処理、熱風処理、オゾン・紫外線照射処理などが挙げられる。また、凹凸化法としては、例えば、サンドブラスト法、溶剤処理法などが挙げられる。これらの表面処理法は基材フィルムの種類に応じて適宜選ばれるが、一般にはコロナ放電処理法が効果及び操作性などの面から、好ましく用いられる。   Examples of the oxidation method include corona discharge treatment, plasma discharge treatment, chromic acid treatment (wet), flame treatment, hot air treatment, and ozone / ultraviolet irradiation treatment. Examples of the unevenness method include a sand blast method and a solvent treatment method. These surface treatment methods are appropriately selected according to the type of the base film, but generally, the corona discharge treatment method is preferably used from the viewpoints of effects and operability.

次に、基材11の一方の面に剥離層12を形成する。
剥離層12は、上述したような剥離剤またはその前駆物質を含む剥離層用塗工液を調製し、これを基材11上に付与、硬化させることにより形成できる。
Next, the release layer 12 is formed on one surface of the substrate 11.
The release layer 12 can be formed by preparing a release layer coating liquid containing the release agent as described above or a precursor thereof, and applying and curing it on the substrate 11.

剥離層用塗工液は、例えば、剥離剤としてシリコーン系の剥離剤を用いる場合、上述したようなシリコーン系剥離剤組成物を溶剤等に分散、溶解させることにより得ることができる。   For example, when a silicone release agent is used as the release agent, the release layer coating solution can be obtained by dispersing and dissolving the above-described silicone release agent composition in a solvent or the like.

このような溶剤としては、水、トルエン、ヘキサン、酢酸エチル、メチルエチルケトン、ヘプタン等が挙げられ、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of such a solvent include water, toluene, hexane, ethyl acetate, methyl ethyl ketone, heptane and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.

剥離層用塗工液は、基材11上に付与できるものであれば、よく、エマルションの状態であってもよいし、溶剤を含まないものであってもよい。   The release layer coating solution is not particularly limited as long as it can be applied onto the substrate 11 and may be in an emulsion state or may not contain a solvent.

また、シリコーン系の剥離剤が、重合等の反応により硬化するものである場合、触媒を用いてもよい。触媒としては、例えば、白金族の触媒が用いられる。この白金族の触媒としては、例えば、微粒子状白金、炭素粉末担体上に吸着された微粒子状白金、塩化白金酸、アルコール変性塩化白金酸、塩化白金酸のオレフィン錯体、パラジウム、ロジウム触媒等が挙げられる。触媒の使用量は、シリコーン樹脂および架橋剤の合計量に対し、1〜1000ppmであることが好ましい。   In addition, when the silicone release agent is cured by a reaction such as polymerization, a catalyst may be used. As the catalyst, for example, a platinum group catalyst is used. Examples of the platinum group catalyst include fine platinum, fine platinum adsorbed on a carbon powder carrier, chloroplatinic acid, alcohol-modified chloroplatinic acid, olefin complexes of chloroplatinic acid, palladium, rhodium catalyst, and the like. It is done. It is preferable that the usage-amount of a catalyst is 1-1000 ppm with respect to the total amount of a silicone resin and a crosslinking agent.

このようにして得られた剥離層用塗工液を、基材11の一方の面に、付与する。剥離層用塗工液は、例えば、グラビアコート法、バーコート法、マルチロールコート法などにより基材11に付与(塗工)することができる。   The release layer coating solution thus obtained is applied to one surface of the substrate 11. The peeling layer coating liquid can be applied (coated) to the substrate 11 by, for example, a gravure coating method, a bar coating method, a multi-roll coating method, or the like.

基材11に付与された剥離層用塗工液は、付与量(塗工量)は、固形分換算で、0.01〜3g/mであるのが好ましく、0.03〜1g/mであるのがより好ましい。 As for the coating liquid for peeling layers provided to the base material 11, it is preferable that the application amount (coating amount) is 0.01-3 g / m < 2 > in conversion of solid content, and 0.03-1 g / m. 2 is more preferable.

基材11上に付与された剥離層用塗工液の硬化は、例えば、加熱処理や、紫外線照射処理等の光照射処理によって行うことができる。   Curing of the release layer coating solution applied on the substrate 11 can be performed by, for example, heat treatment or light irradiation treatment such as ultraviolet irradiation treatment.

次に、除電層13を剥離層12上に形成する。
除電層13は、上述したような導電性粒子、硬化性樹脂組成物等を含む除電層用塗工液を剥離層12上に付与し、硬化することで形成される。
Next, the charge removal layer 13 is formed on the release layer 12.
The charge removal layer 13 is formed by applying a charge removal layer coating liquid containing the above-described conductive particles, curable resin composition, and the like onto the release layer 12 and curing.

除電層用塗工液は、溶剤に上述したような材料を溶解または分散させることにより得られる。   The coating solution for the charge removal layer can be obtained by dissolving or dispersing the above materials in a solvent.

除電層用塗工液に用いることのできる溶剤としては、例えばヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素、塩化メチレン、塩化エチレンなどのハロゲン化炭化水素、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノールなどのアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、2−ペンタノン、イソホロン、シクロヘキサノンなどのケトン、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル、エチルセロソルブなどのエーテル系溶剤、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル系溶剤などが挙げられる。   Examples of the solvent that can be used in the coating solution for the static elimination layer include aliphatic hydrocarbons such as hexane and heptane, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, halogenated hydrocarbons such as methylene chloride and ethylene chloride, methanol, Alcohols such as ethanol, propanol, isopropanol and butanol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, 2-pentanone, isophorone and cyclohexanone; esters such as ethyl acetate and butyl acetate; ether solvents such as ethyl cellosolve; ethylene glycol monoethyl ether Examples include glycol ether solvents.

このようにして得られた除電層用塗工液を、剥離層12上の必要な部分に付与する。除電層用塗工液は、例えば、グラビアコート法、ダイコート法、マルチロールコート法などにより剥離層12上の必要な部分に付与(パターンコート)することができる。   The neutralizing layer coating solution thus obtained is applied to a necessary portion on the release layer 12. The neutralizing layer coating liquid can be applied (pattern coating) to a necessary portion on the release layer 12 by, for example, a gravure coating method, a die coating method, a multi-roll coating method, or the like.

剥離層12上に付与された除電層用塗工液は、硬化性樹脂が光硬化性樹脂である場合、例えば、紫外線、可視光線等の光線を照射することにより硬化し、除電層13が形成される。これにより、剥離フィルム1が得られる。   When the curable resin is a photocurable resin, the coating liquid for the charge removal layer applied on the release layer 12 is cured by, for example, irradiating light such as ultraviolet rays or visible light, so that the charge removal layer 13 is formed. Is done. Thereby, the peeling film 1 is obtained.

除電層用塗工液に照射する光線は、例えば、紫外線の場合、高圧水銀ランプ、フュージョンHランプ、キセノンランプ等を用いて照射することができる。   For example, in the case of ultraviolet rays, the light beam applied to the neutralizing layer coating solution can be irradiated using a high-pressure mercury lamp, a fusion H lamp, a xenon lamp, or the like.

また、除電層の硬化性樹脂が、熱硬化性樹脂である場合、加熱処理によって除電層用塗工液を硬化し、除電層13を形成するものであってもよい。   Further, when the curable resin of the charge removal layer is a thermosetting resin, the charge removal layer coating liquid may be cured by heat treatment to form the charge removal layer 13.

≪グリーンシートの製造方法≫
次に、グリーンシートの製造方法について説明する。
≪Green sheet manufacturing method≫
Next, the manufacturing method of a green sheet is demonstrated.

本実施形態のグリーンシートの製造方法は、上述したような剥離フィルム1を用いてグリーンシート20を製造するものである。   The manufacturing method of the green sheet of this embodiment manufactures the green sheet 20 using the peeling film 1 as mentioned above.

本実施形態のグリーンシートの製造方法は、剥離フィルム1上に、セラミックス粒子とバインダーとを含むグリーンシート材料を付与してグリーンシート前駆体を形成するグリーンシート材料付与工程と、グリーンシート前駆体を固化する固化工程とを有する。   The green sheet manufacturing method of the present embodiment includes a green sheet material applying step of forming a green sheet precursor by applying a green sheet material containing ceramic particles and a binder on the release film 1, and a green sheet precursor. A solidifying step for solidifying.

<グリーンシート材料付与工程>
本工程では、セラミックス粒子とバインダーとを含むグリーンシート材料を剥離フィルム1上に付与し、グリーンシート前駆体を形成する。
<Green sheet material application process>
In this step, a green sheet material containing ceramic particles and a binder is applied on the release film 1 to form a green sheet precursor.

グリーンシート材料は、セラミックス粒子とバインダーが溶剤によって分散、溶解したスラリー(グリーンスラリー)の状態で剥離フィルム1に付与される。   The green sheet material is applied to the release film 1 in a slurry (green slurry) in which ceramic particles and a binder are dispersed and dissolved by a solvent.

グリーンシート材料に用いることのできるセラミックス粒子としては、特に限定されず、グリーンシートの製造に用いられる公知のセラミックス粒子を用いることができ、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)が挙げられる。 The ceramic particles that can be used for the green sheet material are not particularly limited, and known ceramic particles used for the production of green sheets can be used, and examples thereof include barium titanate (BaTiO 3 ).

また、グリーンシート材料に用いることのできるバインダーとしては、特に限定されず、グリーンシートの製造に用いられる公知のバインダーを用いることができ、例えば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、エチルセルロース等が挙げられる。   Moreover, it does not specifically limit as a binder which can be used for green sheet material, The well-known binder used for manufacture of a green sheet can be used, For example, an acrylic resin, polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, ethyl cellulose etc. are mentioned. It is done.

また、グリーンスラリーに用いることのできる溶剤としては、特に限定されず、例えば、メタノール、エタノール、トルエン、酢酸エチル、キシレン、メチルエチルケトン、メチルブチルケトン等が挙げられ、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Moreover, it does not specifically limit as a solvent which can be used for a green slurry, For example, methanol, ethanol, toluene, ethyl acetate, xylene, methyl ethyl ketone, methyl butyl ketone etc. are mentioned, It combines 1 type (s) or 2 or more types. Can be used.

以上のようなグリーンスラリーを剥離フィルム1上に付与する。
グリーンスラリーの剥離フィルム1上への付与は、剥離フィルム1の巻きから剥離フィルム1を繰り出し、繰り出された剥離フィルム1上にグリーンスラリーを塗工することにより行うことができる。
The green slurry as described above is applied onto the release film 1.
The green slurry can be applied onto the release film 1 by unwinding the release film 1 from the winding of the release film 1 and coating the green slurry on the unfolded release film 1.

グリーンスラリーの塗工は、例えば、ドクターブレード法、リップコート法、ロールコート法、ダイコート法等既存の塗工方式によって行うことができる。
また、本工程では、剥離フィルム1にグリーンスラリーを付与する際に、剥離フィルム1の除電を行う。
The green slurry can be applied by an existing coating method such as a doctor blade method, a lip coating method, a roll coating method, or a die coating method.
In this step, when the green slurry is applied to the release film 1, the release film 1 is neutralized.

また、図4に示すように、剥離フィルム1の除電は、繰り出された剥離フィルム1の除電層13に対して外部の除電手段50Aを接触させることにより行う。除電手段50Aとしては、導電性を有し、接地(アース)されているものであればよく、本実施形態では、除電手段50Aは、接地されたローラである。   As shown in FIG. 4, the charge removal of the release film 1 is performed by bringing an external charge removal means 50 </ b> A into contact with the charge removal layer 13 of the released release film 1. The neutralization unit 50A may be any one that is conductive and grounded. In the present embodiment, the neutralization unit 50A is a grounded roller.

このため、このように除電を行うことにより、除電層13は、生じた静電気を好適に除去することができ、繰り出された剥離フィルム1は、帯電が防止されたものとなる。この結果、剥離フィルム1は、巻きから安定して繰り出されることができる。また、剥離層12上が帯電することが防止されることにより、剥離層12上に埃が付着することが防止される。このため、塗工されたグリーンスラリーにピンホールや、ひび割れ、塗工むらが生じることが好適に防止される。   For this reason, by performing static elimination in this way, the static elimination layer 13 can suitably remove the generated static electricity, and the fed release film 1 is prevented from being charged. As a result, the release film 1 can be stably fed out from the winding. Further, by preventing the release layer 12 from being charged, dust is prevented from adhering to the release layer 12. For this reason, it is suitably prevented that pinholes, cracks, and coating unevenness occur in the coated green slurry.

また、グリーンスラリーは、除電層13と接するように付与されることが好ましい。すなわち、グリーンシート前駆体は、除電層13と接するように形成されることが好ましい。これにより、後述する工程において、形成されたグリーンシート20と除電層13とは、密着したものとなる。このため、形成されたグリーンシート20を剥離フィルム1から剥離する場合においても、グリーンシート20は、除電されつつ剥離される。このため、製造されるグリーンシート20に埃が付着することがより確実に防止される。   The green slurry is preferably applied so as to be in contact with the charge removal layer 13. That is, the green sheet precursor is preferably formed so as to be in contact with the charge removal layer 13. Thereby, in the process mentioned later, the formed green sheet 20 and the static elimination layer 13 become closely_contact | adhered. Therefore, even when the formed green sheet 20 is peeled off from the release film 1, the green sheet 20 is peeled off while being neutralized. For this reason, it can prevent more reliably that dust adheres to the green sheet 20 manufactured.

<固化工程>
次に、剥離フィルム1上に付与されグリーンシート材料を固化させる。
これにより、グリーンシート20が得られる。
<Solidification process>
Next, the green sheet material applied on the release film 1 is solidified.
Thereby, the green sheet 20 is obtained.

グリーンシート材料の固化は、グリーンスラリーから溶剤を除去することにより行うことができる。   The green sheet material can be solidified by removing the solvent from the green slurry.

グリーンスラリーからの溶剤の除去は、例えば、加熱、減圧乾燥によって行うことができる。   The removal of the solvent from the green slurry can be performed, for example, by heating or drying under reduced pressure.

このようにして得られたグリーンシート20は、通常、その表面にペースト状の内部電極が印刷され、剥離フィルム1から剥離され、所定の形状、大きさに裁断されることによって用いられる。   The green sheet 20 thus obtained is usually used by printing a paste-like internal electrode on its surface, peeling it from the release film 1, and cutting it into a predetermined shape and size.

グリーンシート20を剥離フィルム1から剥離する際には、図6に示すように、グリーンシート20が担持された剥離フィルム1の巻き40から、剥離フィルム1を繰り出した後、グリーンシート20が剥離フィルム1から剥離される。この際に、除電層13の少なくとも一部と、外部の除電手段50Bとが接触することが好ましい。これにより、剥離時に生じる電気を好適に除去することができ、グリーンシート20に埃等が付きにくいものとなる。   When the green sheet 20 is peeled from the release film 1, as shown in FIG. 6, after the release film 1 is unwound from the winding 40 of the release film 1 on which the green sheet 20 is carried, the green sheet 20 is peeled off. 1 is peeled off. At this time, it is preferable that at least a part of the static elimination layer 13 and the external static elimination means 50B come into contact with each other. Thereby, electricity generated at the time of peeling can be suitably removed, and the green sheet 20 becomes difficult to be attached with dust or the like.

また、グリーンシート20は、幅方向における端部を切断することにより、剥離フィルム1の除電層13による汚染が特に好適に防止されたものとなる。   Further, the green sheet 20 is particularly preferably prevented from being contaminated by the charge removal layer 13 of the release film 1 by cutting the end in the width direction.

[第2実施形態]
以下、本発明の第2実施形態について図を参照して説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
[Second Embodiment]
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. However, differences from the above-described embodiment will be mainly described, and description of similar matters will be omitted.

図7は、本発明の第2実施形態に係る剥離フィルムの横断面図、図8は、図7に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図、図9は、グリーンシートが形成された図7に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図である。   FIG. 7 is a cross-sectional view of the release film according to the second embodiment of the present invention, FIG. 8 is a cross-sectional view showing a part of the winding of the release film shown in FIG. These are the cross-sectional views which show a part of winding of the state which wound the peeling film shown in FIG. 7 in which the green sheet was formed in roll shape.

剥離フィルム1Aは、基材11と、基材11の一方の面に設けられた剥離層12と、基材11の剥離層12とは反対側の面に設けられた除電層13aとを有している。また、グリーンシート20は、剥離層12上にあるグリーンシート形成領域14に設けられるものである。   1 A of peeling films have the base material 11, the peeling layer 12 provided in the one surface of the base material 11, and the static elimination layer 13a provided in the surface on the opposite side to the peeling layer 12 of the base material 11. ing. The green sheet 20 is provided in the green sheet forming region 14 on the release layer 12.

本実施形態では、除電層13aがグリーンシート形成領域14と反対側の面に設けられている。このため、グリーンシート製造時において、グリーンスラリーをグリーンシート形成領域14に付与してグリーンシート前駆体を形成した際に、グリーンシート前駆体と除電層13aが接触しない。このため、除電層13aの成分がグリーンシート前駆体に溶出することが確実に防止され、形成されるグリーンシート20は、除電層13aによる汚染がより確実に防止されたものとなる。   In the present embodiment, the charge removal layer 13 a is provided on the surface opposite to the green sheet forming region 14. For this reason, at the time of manufacturing a green sheet, when the green slurry is applied to the green sheet forming region 14 to form the green sheet precursor, the green sheet precursor and the charge removal layer 13a do not come into contact with each other. For this reason, it is reliably prevented that the components of the charge removal layer 13a are eluted into the green sheet precursor, and the formed green sheet 20 is more reliably prevented from being contaminated by the charge removal layer 13a.

また、図8に示すように、剥離フィルム1Aをロール状に巻いた巻き30Aにおいては、各剥離フィルム1Aは、隣り合う剥離フィルム1Aの除電層13aと接触している。このため、巻き30Aから剥離フィルム1Aを繰り出した際において、巻き30Aと剥離フィルム1Aとの剥離部分には、除電層13aが存在することができ、剥離時に発生する電気を好適に除去することができる。   Further, as shown in FIG. 8, in the winding 30A in which the release film 1A is wound in a roll shape, each release film 1A is in contact with the charge removal layer 13a of the adjacent release film 1A. For this reason, when the release film 1A is unwound from the winding 30A, the static elimination layer 13a can be present in the peeling portion between the winding 30A and the release film 1A, and electricity generated at the time of peeling can be suitably removed. it can.

また、図9に示すように、グリーンシート20を形成した剥離フィルム1Aをロール状に巻いた巻き40Aにおいては、各グリーンシート20は、隣り合う剥離フィルム1Aの除電層13aと接触している。このため、巻き40Aから剥離フィルム1Aを繰り出した際において、巻き30Aとグリーンシート20との剥離部分には、除電層13aが存在することができ、剥離時に発生する電気を好適に除去することができる。   Moreover, as shown in FIG. 9, in the winding 40A obtained by winding the release film 1A on which the green sheet 20 is formed in a roll shape, each green sheet 20 is in contact with the charge removal layer 13a of the adjacent release film 1A. For this reason, when the release film 1A is unwound from the winding 40A, the static elimination layer 13a can be present at the peeling portion between the winding 30A and the green sheet 20, and electricity generated at the time of peeling can be suitably removed. it can.

以上、本発明を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。   As mentioned above, although this invention was demonstrated about embodiment of illustration, this invention is not limited to this.

例えば、図10に示すように、剥離フィルム1Bは、除電層13bが剥離層12aに埋設されているものであってもよい。このような場合、剥離フィルム1Bは、幅方向における凹凸が特に少ないものとなり、剥離フィルム1Bのシート送り、巻きからの繰り出しが特に容易なものとなる。   For example, as shown in FIG. 10, the release film 1 </ b> B may be one in which the charge removal layer 13 b is embedded in the release layer 12 a. In such a case, the release film 1B has particularly few unevenness in the width direction, and the sheet feeding and unwinding of the release film 1B are particularly easy.

また、例えば、図11に示すように、剥離フィルム1Cは、グリーンシート20が形成される面に設けられた剥離層12に加え、基材11の剥離層12とは反対側の面に、剥離層12bが設けられたものであってもよい。このような場合、グリーンシート20と、剥離フィルム1Cとの剥離が特に容易なものとなり、これらの剥離時における静電気の発生が特に抑制されたものとなる。また、特に剥離層12と剥離層12bとが同様の材料で構成されている場合、積層した剥離フィルム1C同士を剥離する際に、静電気が特に発生しにくいものとなる。   Further, for example, as shown in FIG. 11, the release film 1 </ b> C is peeled off on the surface of the base 11 opposite to the release layer 12 in addition to the release layer 12 provided on the surface on which the green sheet 20 is formed. The layer 12b may be provided. In such a case, peeling between the green sheet 20 and the release film 1C is particularly easy, and generation of static electricity at the time of peeling is particularly suppressed. In particular, when the release layer 12 and the release layer 12b are made of the same material, static electricity is hardly generated when the laminated release films 1C are released.

また、例えば、図12に示すように、剥離フィルム1Dは、除電層13cが剥離フィルム1の長手方向に沿って間欠的にグリーンシート20と接触するように設けられたものであってもよい。これにより、グリーンシート20の除電層13cとの接触を特に少ないものとしつつ、剥離フィルム1、グリーンシート20の帯電を防止することができる。また、形成されるグリーンシート20をより広い面積にわたって効率よく、電子回路基板の製造に用いることができる。   For example, as shown in FIG. 12, the release film 1 </ b> D may be provided so that the charge removal layer 13 c is intermittently in contact with the green sheet 20 along the longitudinal direction of the release film 1. Thereby, the peeling film 1 and the green sheet 20 can be prevented from being charged while making the contact of the green sheet 20 with the charge removal layer 13c particularly small. Further, the formed green sheet 20 can be efficiently used for manufacturing an electronic circuit board over a wider area.

また、上述した実施形態では、除電層は、剥離フィルムの一方の面の幅方向の両端に設けられたものとして説明したが、これに限定されない。例えば、除電層は、幅方向の一方の端部のみに設けられていてもよい。また、例えば、除電層は、剥離フィルムの両面に設けられていてもよい。   Moreover, although the static elimination layer demonstrated as what was provided in the both ends of the width direction of one surface of a peeling film in embodiment mentioned above, it is not limited to this. For example, the charge removal layer may be provided only at one end in the width direction. For example, the charge removal layer may be provided on both surfaces of the release film.

また、上述した実施形態では、除電層は、導電性粒子と硬化性樹脂とによって構成されているものとして説明したが、これに限定されない。例えば、除電層は、金属等の導電性を有する材料の薄膜によって構成されるものであってもよい。   In the above-described embodiment, the static elimination layer has been described as being composed of conductive particles and a curable resin, but is not limited thereto. For example, the charge removal layer may be configured by a thin film of a conductive material such as metal.

また、剥離フィルムの各層の間には、中間層が設けられていてもよい。
また、除電層はグリーンシートと接着され、グリーンシートを固定する機能を有していてもよい。これにより、搬送中のグリーンシートの浮き・剥がれを効果的に防止することができる。
Moreover, the intermediate | middle layer may be provided between each layer of a peeling film.
Further, the charge removal layer may be bonded to the green sheet and have a function of fixing the green sheet. Thereby, it is possible to effectively prevent the green sheet from being lifted or peeled off during conveyance.

また、上述した実施形態では、除電手段として、ローラを用いたがこれに限定されない。除電層に接触することができ、接地されたものであれば特に限定されず、例えば、設置されたブレード等を用いることができる。また、巻きの軸が除電手段として機能するものであってもよい。   Further, in the above-described embodiment, the roller is used as the charge eliminating unit, but the present invention is not limited to this. There is no particular limitation as long as it can contact the charge removal layer and is grounded. For example, an installed blade or the like can be used. Further, the winding shaft may function as a static elimination means.

次に、本発明の具体的な実施例について説明する。
1.剥離フィルムの製造
(実施例1)
まず、剥離層用塗工液の調製を行った。
Next, specific examples of the present invention will be described.
1. Production of release film (Example 1)
First, a release layer coating solution was prepared.

剥離層用塗工液は、付加反応型シリコーン、信越化学社製、商品名「KS−847H」):100質量部、白金触媒、信越化学社製、商品名「CAT−PL−50T」):1重量部を溶剤としてのトルエン中に固形分が1.1質量%となるように溶解させることで調製した。
次に、この剥離層用塗工液を、基材としてのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(厚さ:38μm、幅:200mm、三菱化学ポリエステルフィルム社製、商品名「T−100」)の一方の面に、乾燥後の厚さが0.1μmとなるようにグラビアコート法にて均一に塗工し、130℃の乾燥機で1分間乾燥して剥離層を形成した。
The release layer coating solution is addition-reactive silicone, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name “KS-847H”): 100 parts by mass, platinum catalyst, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name “CAT-PL-50T”): It was prepared by dissolving 1 part by weight in toluene as a solvent so that the solid content was 1.1% by mass.
Next, this release layer coating solution was used as a base material for a polyethylene terephthalate (PET) film (thickness: 38 μm, width: 200 mm, manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Film Co., Ltd., trade name “T-100”). The surface was uniformly coated by gravure coating so that the thickness after drying was 0.1 μm, and dried for 1 minute with a dryer at 130 ° C. to form a release layer.

次に、除電層用塗工液の調製を行った。
光硬化性樹脂としてのジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、N−ビニルピロリドンを重量比で45:20:10の割合で含むアクリル系モノマー:75質量部、および溶剤としての酢酸ブチル:20質量部、イソプロパノール:30質量部を含む硬化性樹脂溶液を準備した。
Next, a coating solution for the charge removal layer was prepared.
Acrylic monomer containing dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol hexaacrylate, and N-vinylpyrrolidone as a photocurable resin in a weight ratio of 45:20:10: 75 parts by mass, and butyl acetate as a solvent: 20 A curable resin solution containing 30 parts by mass of isopropanol was prepared.

また、導電性高分子材料としてのポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホネート(PEDT/PSS)を1.3質量%含む導電性高分子水溶液を準備した。   In addition, a conductive polymer aqueous solution containing 1.3% by mass of polyethylene dioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDT / PSS) as a conductive polymer material was prepared.

上述したような硬化性樹脂溶液:125質量部と、導電性高分子水溶液:15.5質量部と、光開始剤としての、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルメタノン:0.2質量部とを混合し、アクリル系モノマー及び導電性高分子材料の合計量が1質量%になるようにイソプロパノールで希釈して、混合液を得た。   Curable resin solution as described above: 125 parts by mass, conductive polymer aqueous solution: 15.5 parts by mass, and α-hydroxycyclohexylphenylmethanone as a photoinitiator: 0.2 parts by mass are mixed. The mixture was diluted with isopropanol so that the total amount of the acrylic monomer and the conductive polymer material was 1% by mass to obtain a mixed solution.

この混合液に、カーボンナノチューブの3.0質量%イソプロパノール分散液(平均直径:15nm、平均長さ:1μm、チューブ状、ジェムコ社製、商品名「CNF−T」)を、全固形分(除電層)中の含有量が1.0質量%になるように添加して、除電層用塗工液を調製した。   To this mixed solution, a 3.0 mass% isopropanol dispersion of carbon nanotubes (average diameter: 15 nm, average length: 1 μm, tubular, manufactured by Gemco, trade name “CNF-T”) Layer) was added so that the content in the layer was 1.0% by mass, to prepare a coating solution for the charge removal layer.

次に、この除電層用塗工液を、PETフィルムの剥離層上における幅方向の両端部:10mmに、乾燥後の厚さが0.05μmとなるようにグラビアコート法にて均一に塗工した。次いで、55℃の乾燥機で1分間加熱し、直ちにフュージョンHバルブ:240W/cm、1灯取付けのコンベヤ式紫外線照射機により、コンベヤスピード:10m/分の条件で紫外線を照射して、塗工された除電層塗工液を硬化させ、除電層を形成した。
これにより、剥離フィルムが得られた。
Next, apply this neutralizing layer coating solution uniformly by gravure coating method so that the thickness after drying is 0.05 μm at both ends in the width direction on the release layer of the PET film: 10 mm did. Next, the coating is heated for 1 minute in a dryer at 55 ° C., and immediately irradiated with UV light at a conveyor speed: 10 m / min with a fusion H bulb: 240 W / cm, and a conveyor type UV irradiator attached to one lamp. The neutralization layer coating solution thus formed was cured to form a neutralization layer.
Thereby, a release film was obtained.

(実施例2〜4)
除電層に含まれる材料の種類、含有量、除電層の厚さ、幅を表1に示すように変更した以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを製造した。
(Examples 2 to 4)
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the type, content, thickness, and width of the charge removal layer contained in the charge removal layer were changed as shown in Table 1.

(実施例5)
除電層用塗工液の調製において、導電性高分子水溶液を用いず、カーボンナノチューブを、全固形分(除電層)中の含有量が5.0質量%になるように用いた以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを製造した。
(Example 5)
In the preparation of the coating solution for the charge removal layer, the carbon nanotubes were used so that the content in the total solid content (charge removal layer) was 5.0 mass% without using the conductive polymer aqueous solution. A release film was produced in the same manner as in Example 1.

(実施例6)
ステアリル変性アルキド樹脂とメチル化メラミンとの混合物(日立化成ポリマー社製、商品名「テスファイン303」):100重量部及びp−トルエンスルホン酸:3重量部をトルエンに溶解させ、固形分濃度が2wt%の剥離層用塗工液を調製した。
(Example 6)
Mixture of stearyl-modified alkyd resin and methylated melamine (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “Tesfine 303”): 100 parts by weight and p-toluenesulfonic acid: 3 parts by weight are dissolved in toluene, and the solid content concentration is A 2 wt% release layer coating solution was prepared.

この剥離層用塗工液を剥離層の形成に用い、剥離層形成時の乾燥条件を140℃、1分間とした以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを製造した。   A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that this release layer coating solution was used for forming the release layer, and the drying conditions for forming the release layer were 140 ° C. for 1 minute.

(実施例7)
除電層を剥離層上には設けず、PETフィルムの剥離層が設けられた面とは反対側の面に、幅方向の両端部:10mmの除電層を設けた以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを製造した。
(Example 7)
Example 1 except that the charge-removing layer was not provided on the release layer, and both sides in the width direction: 10 mm were provided on the opposite side of the PET film from which the release layer was provided. A release film was produced in the same manner.

(実施例8、9)
除電層に含まれる材料の種類、含有量、除電層の厚さ、幅を表1に示すように変更した以外は、前記実施例7と同様にして剥離フィルムを製造した。
(Examples 8 and 9)
A release film was produced in the same manner as in Example 7 except that the type and content of the material contained in the charge removal layer, the thickness and width of the charge removal layer were changed as shown in Table 1.

(比較例1)
除電層を形成しなかった以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを製造した。
(Comparative Example 1)
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the charge removal layer was not formed.

(比較例2)
除電層を、剥離層上には設けず、基材の剥離層とは反対側の面に全面に設けた以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを製造した。
(Comparative Example 2)
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the charge removal layer was not provided on the release layer, but was provided on the entire surface of the substrate opposite to the release layer.

表1に、各実施例および各比較例の剥離フィルムについて、剥離層、除電層の構成を示す。なお、表中、「CNT」は、カーボンナノチューブ、「CNP」は、プレート状のカーボンが積層して形成されたカーボンナノファイバー(ジェムコ社製、商品名「CNF−P」)、「PEDT」は、ポリエチレンジオキシチオフェン、「PSS」は、ポリスチレンスルホネートをそれぞれ示す。   In Table 1, about the peeling film of each Example and each comparative example, the structure of a peeling layer and a static elimination layer is shown. In the table, “CNT” is a carbon nanotube, “CNP” is a carbon nanofiber formed by laminating plate-like carbon (trade name “CNF-P” manufactured by Gemco), and “PEDT” is , Polyethylene dioxythiophene, and “PSS” represent polystyrene sulfonate, respectively.

Figure 2009226894
Figure 2009226894

2.剥離フィルムの評価
2.1 繰り出し時の帯電量
各実施例、各比較例で得られた剥離フィルムをロール状に巻き取った状態で、23℃、50%RHの条件で30日間保管後、スリッターにて100m/分で繰り出した際の剥離層上の帯電量を、静電気測定機(SIMCO社製:FMX−002)を用いて測定し、下記の評価基準に従って評価した。また、繰り出し時においては、接地したローラ(除電手段)を剥離フィルムの除電層に接触させることにより除電を行った。
2. 2. Evaluation of release film 2.1 Charge amount during unwinding The release film obtained in each Example and each Comparative Example was wound in a roll shape and stored for 30 days under conditions of 23 ° C. and 50% RH. The amount of charge on the release layer when it was fed out at 100 m / min was measured using a static electricity meter (SIMX: FMX-002) and evaluated according to the following evaluation criteria. Further, at the time of unwinding, static elimination was performed by bringing a grounded roller (static elimination means) into contact with the static elimination layer of the release film.

◎:帯電量が5.0kV未満。
○:帯電量が5.0kV以上、8.0kV未満。
△:帯電量が8.0kV以上、10.0kV未満。
×:帯電量が10.0kV以上。
A: Charge amount is less than 5.0 kV.
○: Charge amount is 5.0 kV or more and less than 8.0 kV.
Δ: Charge amount is 8.0 kV or more and less than 10.0 kV.
X: Charge amount is 10.0 kV or more.

2.2 耐ブロッキング性評価
各実施例、各比較例で得られた剥離フィルムをロール状に巻き取った状態で、40℃条件で30日間保管後、ロール外観の目視確認および、巻き出し時の状態を確認し、下記の評価基準に従って評価した。
2.2 Evaluation of blocking resistance In the state where the release film obtained in each Example and each Comparative Example was wound up in a roll shape, the film was stored for 30 days at 40 ° C., and then visually checked for roll appearance and unwinded. The state was confirmed and evaluated according to the following evaluation criteria.

◎:ブロッキングの発生が全く見られない。
○:ブロッキングがわずかに見られるが、実用上問題ない。
×:ブロッキングが顕著に見られ、剥離フィルムが正常に剥離できない。
(Double-circle): Generation | occurrence | production of blocking is not seen at all.
○: Slight blocking is observed, but there is no practical problem.
X: Blocking is noticeable and the release film cannot be normally peeled off.

3.セラミックスグリーンシートの製造
チタン酸バリウム(BaTiO)粉体:100重量部、ポリビニルブチラール:8重量部、ジオクチルフタレート:4重量部に、トルエンとエタノールとの混合液(重量比1:1):80重量部を加え、ボールミルにて混合、分散させて、グリーンスラリーを調製した。
3. Production of ceramic green sheet Barium titanate (BaTiO 3 ) powder: 100 parts by weight, polyvinyl butyral: 8 parts by weight, dioctyl phthalate: 4 parts by weight, mixed liquid of toluene and ethanol (weight ratio 1: 1): 80 Part by weight was added and mixed and dispersed in a ball mill to prepare a green slurry.

このスラリーを、上記各実施例および各比較例で得られた剥離フィルム上に乾燥後の厚みが5μmとなるようにドクターブレード法により均一に塗工し、グリーンシート前駆体(塗膜)を形成した。(グリーンシート材料付与工程)。このとき、巻きから繰り出される剥離フィルムについて、剥離フィルム上にスラリーが塗工される直前に、接地したローラ(除電手段)を剥離フィルムの除電層に接触させることにより除電を行った。   The slurry is uniformly applied by a doctor blade method on the release film obtained in each of the above Examples and Comparative Examples so that the thickness after drying becomes 5 μm, thereby forming a green sheet precursor (coating film). did. (Green sheet material application process). At this time, the release film fed out from the roll was subjected to static elimination by bringing a grounded roller (static elimination means) into contact with the static elimination layer of the release film immediately before the slurry was applied on the release film.

この剥離フィルム上に形成されたグリーンシート前駆体を、乾燥処理して剥離フィルム上にグリーンシート(セラミックグリーンシート)を作製した(固化工程)。   The green sheet precursor formed on the release film was dried to produce a green sheet (ceramic green sheet) on the release film (solidification step).

4.グリーンシートを担持した剥離フィルムの評価
4.1 繰り出し時の帯電量
グリーンシートが担持された各実施例、各比較例の剥離フィルムをロール状に巻き取った状態で、23℃、50%RHの条件で30日間保管後、スリッターにて100m/分で繰り出した際のグリーンシート上の帯電量を、静電気測定機(SIMCO社製:FMX−002)を用いて測定し、下記の評価基準に従って評価した。また、繰り出し時においては、接地したローラ(除電手段)を剥離フィルムの除電層に接触させることにより剥離フィルムの除電を行った。
4). Evaluation of Release Film Carrying Green Sheet 4.1 Charge Amount at Feeding out The release film of each example and each comparative example carrying a green sheet was rolled up in a roll shape at 23 ° C. and 50% RH. After storing for 30 days under the conditions, the amount of charge on the green sheet when fed out at 100 m / min with a slitter was measured using a static electricity meter (SIMX: FMX-002) and evaluated according to the following evaluation criteria. did. Further, at the time of feeding, the release film was neutralized by bringing a grounded roller (static elimination means) into contact with the neutralization layer of the release film.

◎:帯電量が8.0kV未満。
○:帯電量が8.0kV以上、10.0kV未満。
△:帯電量が10.0kV以上、15.0kV未満。
×:帯電量が15.0kV以上。
A: Charge amount is less than 8.0 kV.
○: Charge amount is 8.0 kV or more and less than 10.0 kV.
Δ: Charge amount is 10.0 kV or more and less than 15.0 kV.
X: Charge amount is 15.0 kV or more.

4.2 グリーンシート剥離時の帯電量
2.1で繰り出しを行った各実施例および各比較例のグリーンシートが担持された剥離フィルムについて、グリーンシート上に粘着テープ(日東電工(株)製、商品面「31Bテープ」)を貼り合わせた。この粘着テープ付きグリーンシートを23℃、湿度50%の条件下で24時間調湿後、60mm×70mmに裁断し、剥離帯電量測定用サンプルを作製した。引張り試験機を用いて、100m/分の速度で、180°方向に剥離フィルムを引っ張り、このときのグリーンシート面の帯電量を、静電気測定機(SIMCO社製:FMX−002)を用いて測定した。剥離フィルム面の剥離帯電量は上記と同様な条件でグリーンシート側を剥離し、剥離フィルム面の帯電量を測定し、下記の評価基準に従って評価した。また、剥離時においては、接地したローラ(除電手段)をグリーンシート剥離直後の剥離フィルムの除電層に接触させることにより剥離フィルムの除電を行った。
4.2 Charge amount at the time of green sheet peeling About the release film carrying the green sheet of each example and each comparative example that was fed out in 2.1, an adhesive tape (manufactured by Nitto Denko Corporation, The product surface “31B tape”) was bonded. This green sheet with an adhesive tape was conditioned at 23 ° C. and 50% humidity for 24 hours, and then cut to 60 mm × 70 mm to prepare a sample for measuring the peel charge amount. Using a tensile tester, the release film was pulled in the direction of 180 ° at a speed of 100 m / min, and the amount of charge on the green sheet surface at this time was measured using a static electricity measuring device (manufactured by SIMCO: FMX-002). did. The peel charge amount on the release film surface was peeled off the green sheet side under the same conditions as described above, the charge amount on the release film surface was measured, and evaluated according to the following evaluation criteria. Further, at the time of peeling, the release film was neutralized by bringing a grounded roller (static elimination means) into contact with the neutralization layer of the release film immediately after green sheet peeling.

◎:帯電量が8.0kV未満。
○:帯電量が8.0kV以上、10.0kV未満。
△:帯電量が10.0kV以上、15.0kV未満。
×:帯電量が15.0kV以上。
A: Charge amount is less than 8.0 kV.
○: Charge amount is 8.0 kV or more and less than 10.0 kV.
Δ: Charge amount is 10.0 kV or more and less than 15.0 kV.
X: Charge amount is 15.0 kV or more.

4.3 耐ブロッキング性評価
グリーンシートが担持された各実施例、各比較例の剥離シートについて、幅方向に25mmの幅にカットして試験片を2枚作製した。2枚の試験片を一方の試験片のグリーンシート表面と、他方の試験片の剥離フィルムとが接触するように重ねた。次に、2枚重ね合わせた試験片に、1kg/cmの荷重をかけ、40℃の環境下で24時間放置した。
4.3 Evaluation of blocking resistance About each of the release sheets of each Example and each Comparative Example on which a green sheet was supported, two test pieces were prepared by cutting the sheet in a width direction of 25 mm. Two test pieces were overlapped so that the green sheet surface of one test piece and the release film of the other test piece were in contact with each other. Next, a load of 1 kg / cm 2 was applied to the two test pieces that were overlapped, and the test piece was left in an environment of 40 ° C. for 24 hours.

その後、2枚の試験片のうちの一方の試験片を剥離して目視にて確認し、下記の評価基準に従って評価した。   Thereafter, one of the two test pieces was peeled off, visually confirmed, and evaluated according to the following evaluation criteria.

◎:ブロッキングの発生が全く見られない。
○:ブロッキングがわずかに見られるが、実用上問題ない。
×:ブロッキングが顕著に見られ、グリーンシートが正常に剥離できない。
(Double-circle): Generation | occurrence | production of blocking is not seen at all.
○: Slight blocking is observed, but there is no practical problem.
X: Blocking is noticeable and the green sheet cannot be normally peeled off.

Figure 2009226894
Figure 2009226894

表2から明らかなように、本発明の剥離フィルムは、繰り出し時における帯電、ブロッキングが防止されており、繰り出しが容易なものであった。また、本発明の剥離フィルムは、グリーンシートを剥離する際に帯電が発生しにくいものであった。これに対して、比較例では満足な結果が得られなかった。   As is apparent from Table 2, the release film of the present invention was prevented from being charged and blocked during feeding, and was easy to feed. In addition, the release film of the present invention was not easily charged when the green sheet was peeled off. On the other hand, satisfactory results were not obtained in the comparative example.

本発明の第1実施形態に係る剥離フィルムの横断面図である。It is a cross-sectional view of the peeling film which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図2には、図1に示す剥離フィルムの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the release film shown in FIG. 図3は、図1に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a part of the winding in a state where the release film shown in FIG. 1 is rolled. 図4は、図3の巻きから剥離フィルムを繰り出すときの縦断面図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional view when the release film is drawn out from the winding of FIG. グリーンシートが形成された図1に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows a part of winding of the state which wound the peeling film shown in FIG. 1 in which the green sheet was formed in roll shape. 図5の巻きから剥離フィルムを繰り出すときの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view when paying out a peeling film from the winding of FIG. 本発明の第2実施形態に係る剥離フィルムの横断面図である。It is a cross-sectional view of a release film according to a second embodiment of the present invention. 図7に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows a part of winding of the state which wound the peeling film shown in FIG. 7 in roll shape. グリーンシートが形成された図7に示す剥離フィルムをロール状に巻いた状態の巻きの一部を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows a part of winding of the state which wound the peeling film shown in FIG. 7 in which the green sheet was formed in roll shape. 本発明の剥離フィルムのその他の実施形態を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows other embodiment of the peeling film of this invention. 本発明の剥離フィルムのその他の実施形態を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows other embodiment of the peeling film of this invention. 本発明の剥離フィルムのその他の実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows other embodiment of the peeling film of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、1A、1B、1C、1D ・・・剥離フィルム
11 ・・・基材
12、12a、12b ・・・剥離層
13、13a、13b、13c ・・・除電層
14 ・・・グリーンシート形成領域
20 ・・・グリーンシート
30、30A、40、40A ・・・巻き
50A、50B ・・・除電手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A, 1B, 1C, 1D ... Release film 11 ... Base material 12, 12a, 12b ... Release layer 13, 13a, 13b, 13c ... Static elimination layer 14 ... Green sheet formation area 20 ... Green sheets 30, 30A, 40, 40A ... Winding 50A, 50B ... Static elimination means

Claims (13)

帯状の基材と、
前記基材上に設けられ、主として剥離剤で構成された剥離層とを有する剥離フィルムであって、
前記剥離フィルムの幅方向の少なくとも一方の端部付近に前記剥離フィルムの長手方向に沿って設けられた前記剥離フィルムを除電する除電層を有することを特徴とする剥離フィルム。
A strip-shaped substrate;
A release film provided on the substrate and having a release layer mainly composed of a release agent,
A release film comprising a charge removal layer for removing electricity from the release film provided along the longitudinal direction of the release film in the vicinity of at least one end in the width direction of the release film.
剥離フィルムは、前記除電層と外部の除電手段とが接触することにより、除電されるものである請求項1に記載の剥離フィルム。   The release film according to claim 1, wherein the release film is one that is neutralized by contact between the charge removal layer and an external charge removal means. 前記除電層は、前記基材の、剥離層と同じ面側に設けられているものである請求項1または2に記載の剥離フィルム。   The release film according to claim 1 or 2, wherein the charge removal layer is provided on the same side of the substrate as the release layer. 剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する除電層の面積の割合は、3〜30%である請求項1ないし3のいずれかに記載の剥離フィルム。   The release film according to any one of claims 1 to 3, wherein a ratio of the area of the charge removal layer to the area of the release film in a plan view of the release film is 3 to 30%. 前記除電層は、導電性粒子を含むものである請求項1ないし4のいずれかに記載の剥離フィルム。   The release film according to claim 1, wherein the charge removal layer contains conductive particles. 前記導電性粒子は、カーボンナノファイバーである請求項5に記載の剥離フィルム。   The release film according to claim 5, wherein the conductive particles are carbon nanofibers. 前記除電層は、導電性高分子材料を含むものである請求項1ないし6のいずれかに記載の剥離フィルム。   The release film according to claim 1, wherein the charge removal layer includes a conductive polymer material. 剥離フィルムは、グリーンシートと接合して用いられるものである請求項1ないし7のいずれかに記載の剥離フィルム。   The release film according to any one of claims 1 to 7, wherein the release film is used by being bonded to a green sheet. 前記除電層は、剥離層上に形成される前記グリーンシートと接触する領域に設けられている請求項8に記載の剥離フィルム。   The release film according to claim 8, wherein the charge removal layer is provided in a region in contact with the green sheet formed on the release layer. 剥離フィルム上に、セラミックス粒子とバインダーとを含むグリーンシート材料を付与し、グリーンシート前駆体を形成するグリーンシート材料付与工程と、
前記グリーンシート前駆体を固化する固化工程とを有し、
前記剥離フィルムは、帯状の基材と、前記基材上に設けられ、主として剥離剤で構成された剥離層と、前記剥離フィルムの幅方向の少なくとも一方の端部付近に前記剥離フィルムの長手方向に沿って設けられた前記剥離フィルムを除電する除電層とを有することを特徴とするグリーンシートの製造方法。
A green sheet material application step of applying a green sheet material containing ceramic particles and a binder on the release film to form a green sheet precursor;
Solidifying step of solidifying the green sheet precursor,
The release film is a strip-shaped substrate, a release layer provided on the substrate and mainly composed of a release agent, and the longitudinal direction of the release film near at least one end in the width direction of the release film. A method for producing a green sheet, comprising: a neutralization layer that neutralizes the release film provided along the surface.
前記除電層と外部の除電手段とが接触することにより、前記剥離フィルムを除電する請求項10に記載のグリーンシートの製造方法。   The manufacturing method of the green sheet of Claim 10 which neutralizes the said peeling film by the said static elimination layer and external static elimination means contacting. 前記グリーンシート材料付与工程では、前記グリーンシート材料を前記剥離フィルムに付与する際に前記剥離フィルムの除電を行う請求項10または11に記載のグリーンシートの製造方法。   The method for producing a green sheet according to claim 10 or 11, wherein in the green sheet material application step, the release film is neutralized when the green sheet material is applied to the release film. 前記グリーンシート付与工程では、前記グリーンシート前駆体を、前記除電層と接するように形成する請求項10ないし12のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法。   The method for producing a green sheet according to any one of claims 10 to 12, wherein in the green sheet applying step, the green sheet precursor is formed in contact with the charge removal layer.
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