JP2009224742A - 半導体のパッケージング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】樹脂がはみ出してチップを損壊する事態を低減させることを可能にする半導体のパッケージング方法を提供する。
【解決手段】基板11の正面12の上にチップ配置区13を形成する。正面12の上方に遮断層14を配置し、遮断層14の下表面15をチップ配置区13に跨るように配置する。遮断層14の上表面17にUV樹脂層16を塗布する。露光および現像により、UV樹脂層16の中のチップ配置区13に対応する区域を除去する。遮断層14の中のチップ配置区13に対応する区域を除去し、UV樹脂層16を遮断層14の上方に位置させることにより開放的な収容室18を構成する。UV樹脂層16の上にキャップ層22を被せ、キャップ層22によって開放的な収容室18を封じ、UV樹脂層16を加熱することによりキャップ層22を遮断層14の上に固着する。
【選択図】図1
【解決手段】基板11の正面12の上にチップ配置区13を形成する。正面12の上方に遮断層14を配置し、遮断層14の下表面15をチップ配置区13に跨るように配置する。遮断層14の上表面17にUV樹脂層16を塗布する。露光および現像により、UV樹脂層16の中のチップ配置区13に対応する区域を除去する。遮断層14の中のチップ配置区13に対応する区域を除去し、UV樹脂層16を遮断層14の上方に位置させることにより開放的な収容室18を構成する。UV樹脂層16の上にキャップ層22を被せ、キャップ層22によって開放的な収容室18を封じ、UV樹脂層16を加熱することによりキャップ層22を遮断層14の上に固着する。
【選択図】図1
Description
本発明は半導体パッケージングに関し、特に半導体パッケージングのステップを改良する方法に関するものである。
チャンバーを有する従来のパッケージングユニット、例えばマイクロ機電チップまたはCMOSチップのパッケージング方法は基板のチップ配置区にチップを接着し、チップ配置区の周りに塀状の遮断層(dam)を形成し、遮断層の底面と基板の配置区の周辺との接合によってチップを中央に位置させて囲み、そののちチップと基板とを電気的に接続し、続いて遮断層の上表面に樹脂を塗布し、ガラスなどのキャップを遮断層の上方に貼り付ければ上述のチップを密閉空間内にパッケージングすることが可能である。
チャンバーを有する従来のマイクロ機電チップのパッケージング工程において、樹脂は膠状を呈し、物性が不安定であるため、塀状の遮断層の上方に樹脂を均質に塗布することは容易でない。また、遮断層に樹脂を塗布し、キャップを被せる場合、樹脂がはみ出してチップを汚染するような事態が発生することがある。また、遮断層にキャップを接着する場合、樹脂がまだ凝固していないことが原因でキャップのスライド現象が起こり、密封効果を低減させてしまうという事態が発生する。従って、上述の様々な事態は改善すべきである。
上述した通り、チャンバーを有する従来の半導体のパッケージング方法は設計および構造上の欠点が明らかであるため、改善すべきである。
本発明の主な目的は樹脂がはみ出してチップを損壊する事態を低減させることを可能にする半導体のパッケージング方法を提供することである。
上述の目的を達成するために、本発明による半導体のパッケージング方法は次のステップを含む。ステップ(a)は基板を用意し、基板の正面の上にチップ配置区を形成する。ステップ(b)は正面の上方に遮断層(dam)を配置し、方形の塊状を呈する遮断層の下表面をチップ配置区に跨るように配置する。ステップ(c)は遮断層の上表面にUV樹脂層を塗布する。ステップ(d)はUV樹脂層に露光および現像を行い、UV樹脂層の中のチップ配置区に対応する区域を除去する。ステップ(e)は遮断層の中のチップ配置区に対応する区域を除去し、UV樹脂層を遮断層の上方に位置させることにより開放的な収容室を構成する。ステップ(f)は開放的な収容室のチップ配置区にチップを配置し、ワイヤボンディングによって基板及びチップの間に導線を配置し、導線によってチップと基板とを電気的に接続する。ステップ(g)はUV樹脂層の上にキャップ層を被せ、キャップ層によって開放的な収容室を封じ、UV樹脂層を加熱することによりキャップ層を遮断層の上に固着する。
上述したステップにより、本発明は半導体をパッケージングする際に樹脂がはみ出すという現象を大幅に低減させ、製造工程のコストを削減することが可能である。
以下、本発明の一実施例によるステップ及び特徴を説明するため、図1および図2A〜2Gに基づいて説明を進める。
本発明の一実施例による半導体のパッケージング方法は次のステップを含む。
本発明の一実施例による半導体のパッケージング方法は次のステップを含む。
ステップ(a)は、正面12を有する基板11を用意し、正面12の上にチップ配置区13を形成する。
ステップ(b)は、基板11の正面12の上方に遮断層(dam)14を配置する。遮断層14は方形のプロップ状を呈し、かつ遮断層14はチップ配置区13に跨るように配置されるため、チップ配置区13は遮断層14の下表面15によって完全に被覆される。
ステップ(b)は、基板11の正面12の上方に遮断層(dam)14を配置する。遮断層14は方形のプロップ状を呈し、かつ遮断層14はチップ配置区13に跨るように配置されるため、チップ配置区13は遮断層14の下表面15によって完全に被覆される。
ステップ(c)は、遮断層14の上表面17に厚さが適切なUV樹脂層16を塗布し、UV樹脂層16を上表面17に分布させ、硬化させる。
ステップ(d)は、UV樹脂層16の上のチップ配置区13に対応する区域を除去するため、まずUV樹脂層16の上の保留したい部位にマスクを被せ、続いて露光および現像によってUV樹脂層16の上のマスクを被せた部位以外の部位をエッジングすることによりUV樹脂層16の上のチップ配置区13に対応する区域を除去し、そののちマスクを取り外す。
ステップ(d)は、UV樹脂層16の上のチップ配置区13に対応する区域を除去するため、まずUV樹脂層16の上の保留したい部位にマスクを被せ、続いて露光および現像によってUV樹脂層16の上のマスクを被せた部位以外の部位をエッジングすることによりUV樹脂層16の上のチップ配置区13に対応する区域を除去し、そののちマスクを取り外す。
ステップ(e)は、UV樹脂層16の上のチップ配置区13に対応する区域が除去されたため、UV樹脂層16の下方に位置する遮断層14が露出する。続いて遮断層14の中のチップ配置区13に対応する区域を除去する。除去方法は研磨、エッジング、穴あけなどの方法を採用することが可能である。またUV樹脂層16の中の除去された部分と遮断層14の中の除去された部分とはチップ配置区13に対応するため、UV樹脂層16と遮断層14とは開放的な収容室18を構成することが可能である。開放的な収容室18の底部はチップ配置区13となる。
ステップ(f)は、開放的な収容室18のチップ配置区13にチップ19を配置し、ワイヤボンディングによって基板11及びチップ19の間に導線21を配置することによりチップ19と基板11とを電気的に接続する。
ステップ(g)は、開放的な収容室18の上方にキャップ層22を被せる。開放的な収容室18は内部にチップ19を有し、キャップ層22は開放的な収容室18の中にチップ19を封じることが可能である。また開放的な収容室18はUV樹脂層16と遮断層14から構成され、UV樹脂層16は遮断層14の上方に位置付けられるため、キャップ層22をUV樹脂層16に被せて接合し、そののちUV樹脂層16を加熱することによりUV樹脂層16を軟化させてキャップ層22の上に固着すれば、チャンバーを有する半導体パッケージングが完成する。
ステップ(g)は、開放的な収容室18の上方にキャップ層22を被せる。開放的な収容室18は内部にチップ19を有し、キャップ層22は開放的な収容室18の中にチップ19を封じることが可能である。また開放的な収容室18はUV樹脂層16と遮断層14から構成され、UV樹脂層16は遮断層14の上方に位置付けられるため、キャップ層22をUV樹脂層16に被せて接合し、そののちUV樹脂層16を加熱することによりUV樹脂層16を軟化させてキャップ層22の上に固着すれば、チャンバーを有する半導体パッケージングが完成する。
なお、UV樹脂層16はB-stage epoxy接合剤を採用することが可能であり、キャップ層22はガラス層を採用することが可能である。
上述した通り、本発明は製造過程においてUV接合層16を遮断層14の上に予め固着することにより、半導体をパッケージングする際に樹脂がはみ出すという現象を大幅に減少させる、パッケージングのステップを簡単化する、パッケージングのプロセスをよりスムーズにするなどの効果を達成することが可能である。また本発明のパッケージングのプロセスには特別な技術を導入する必要がないため、製造上のコストを増加させることなく、パッケージング作業をより簡単に実施することが可能である。
上述した通り、本発明は製造過程においてUV接合層16を遮断層14の上に予め固着することにより、半導体をパッケージングする際に樹脂がはみ出すという現象を大幅に減少させる、パッケージングのステップを簡単化する、パッケージングのプロセスをよりスムーズにするなどの効果を達成することが可能である。また本発明のパッケージングのプロセスには特別な技術を導入する必要がないため、製造上のコストを増加させることなく、パッケージング作業をより簡単に実施することが可能である。
これにより、本発明は従来のものの欠点および使用に不便な点を解決することが可能である。
11:基板、12:正面、13:チップ配置区、14:遮断層、15:下表面、16:UV樹脂層、17:上表面、18:開放的な収容室、19:チップ、21:導線、22:キャップ層
Claims (3)
- 正面を有する基板を用意し、前記正面の上にチップ配置区を形成するステップ(a)と、
前記正面の上方に遮断層を配置し、前記遮断層の下表面を前記チップ配置区に跨るように配置するステップ(b)と、
前記遮断層の上表面にUV樹脂層を塗布し、固化させるステップ(c)と、
前記UV樹脂層の露光および現像を行い、かつ前記UV樹脂層の中の前記チップ配置区に対応する区域を除去するステップ(d)と、
前記遮断層の中の前記チップ配置区に対応する区域を除去し、前記UV樹脂層を前記遮断層の上方に位置させることにより開放的な収容室を構成するステップ(e)と、
前記開放的な収容室の前記チップ配置区にチップを配置し、かつワイヤボンディングによって前記基板及び前記チップの間に導線を配置するステップ(f)と、
前記UV樹脂層の上にキャップ層を被せ、前記キャップ層によって前記開放的な収容室を封じ、前記UV樹脂層を加熱することにより前記キャップ層を前記遮断層の上に固着するステップ(g)と、
を含むことを特徴とする半導体のパッケージング方法。 - 前記ステップ(e)において、前記遮断層の中の前記チップ配置区に対応する区域は研磨方法によって除去されることを特徴とする請求項1に記載の半導体のパッケージング方法。
- 前記UV樹脂層はB-stage epoxyであることを特徴とする請求項1に記載の半導体のパッケージング方法。
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