JP2009211005A - Color filter and method for manufacturing the same - Google Patents

Color filter and method for manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2009211005A
JP2009211005A JP2008056668A JP2008056668A JP2009211005A JP 2009211005 A JP2009211005 A JP 2009211005A JP 2008056668 A JP2008056668 A JP 2008056668A JP 2008056668 A JP2008056668 A JP 2008056668A JP 2009211005 A JP2009211005 A JP 2009211005A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
spacer
overcoat
color filter
resist material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008056668A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5217519B2 (en
Inventor
Shuji Kawaguchi
口 修 司 川
Seiji Tawaraya
屋 誠 治 俵
Kazuyuki Hino
野 和 幸 日
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP2008056668A priority Critical patent/JP5217519B2/en
Publication of JP2009211005A publication Critical patent/JP2009211005A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5217519B2 publication Critical patent/JP5217519B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter that can increase a compressive displacement per unit load in a low load region and decrease a compressive displacement per unit load in a high load region when a load is applied to a spacer, and to provide a method for manufacturing the color filter. <P>SOLUTION: The color filter 10 includes a color filter substrate 11 and a spacer 20 formed on the color filter substrate 11. The spacer 20 includes a black layer 22 for the spacer as the lowest layer, a blue layer 25 for the spacer, a red layer 26 for the spacer, a green layer 27 for the spacer and an overcoat layer 28 as an uppermost layer. The overcoat layer 28 has an upper part 30 covering the green layer 27 for the spacer as an uppermost layer, and the upper part 30 has an arc-like perpendicular cross section. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、横電界(IPS)方式駆動用のカラーフィルタおよびその製造方法に係り、とりわけスペーサに外方から荷重が加わった際、低荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位を大きくし、高荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位を小さくすることが可能なカラーフィルタおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a lateral electric field (IPS) driving color filter and a method of manufacturing the same, and particularly when a load is applied to the spacer from the outside, the compressive displacement per unit load in the low load region is increased to increase the load. The present invention relates to a color filter capable of reducing a compressive displacement per unit load in a region and a manufacturing method thereof.

従来より、フラットディスプレイとして、カラー液晶表示装置が用いられている。このような液晶表示装置においては、カラーフィルタと、薄膜トランジスタ(TFT)基板とを所定の間隙をもたせて向かい合わせ、この間隙部に液晶材料を注入して液晶層としている。この互いに向かい合うTFT基板とカラーフィルタとの間隔を維持するために、これらの間にスペーサを設け、これにより両者間の液晶層の厚みを面内均一に保持している。   Conventionally, a color liquid crystal display device has been used as a flat display. In such a liquid crystal display device, a color filter and a thin film transistor (TFT) substrate face each other with a predetermined gap, and a liquid crystal material is injected into the gap to form a liquid crystal layer. In order to maintain the distance between the TFT substrate and the color filter facing each other, a spacer is provided between them, thereby maintaining the thickness of the liquid crystal layer between them uniformly in the plane.

とりわけ横電界(IPS)方式の液晶表示装置に用いられるカラーフィルタおいては、例えば図6(a)(b)に示すように、カラーフィルタ基板101にブラックマトリックス層102を設け、このブラックマトリックス層102上に着色層103および保護膜104を順次積層する。その後、この保護膜104の上にフォトレジストにより柱状の樹脂スペーサ105を設けることにより、カラーフィルタ100を作製する。この樹脂スペーサ105により、薄膜トランジスタ(TFT)基板とカラーフィルタ100との間隔を保持するようになっている。   In particular, in a color filter used in a lateral electric field (IPS) type liquid crystal display device, for example, as shown in FIGS. 6A and 6B, a black matrix layer 102 is provided on a color filter substrate 101, and this black matrix layer is provided. A colored layer 103 and a protective film 104 are sequentially stacked on the layer 102. Thereafter, a columnar resin spacer 105 is provided on the protective film 104 with a photoresist, whereby the color filter 100 is manufactured. The resin spacer 105 keeps the distance between the thin film transistor (TFT) substrate and the color filter 100.

これに対して、フォトレジストにより柱状の樹脂スペーサ105を設ける工程を省略するため、図7(a)(b)に示すように3色の着色層113、114、115を積層して形成したスペーサ111を有するカラーフィルタ110も知られている。すなわち図7(a)(b)において、カラーフィルタ基板117およびブラックマトリックス層112上に第1着色層113を設け、この第1着色層113上に第2着色層114および第3着色層115を順次積層し、更に第3着色層115上に保護膜116を形成する。このようにして形成された第1着色層113、第2着色層114、および第3着色層115からなる積層体をスペーサ111として用いる。   On the other hand, in order to omit the step of providing the columnar resin spacer 105 with a photoresist, a spacer formed by laminating three colored layers 113, 114, and 115 as shown in FIGS. A color filter 110 having 111 is also known. That is, in FIGS. 7A and 7B, the first colored layer 113 is provided on the color filter substrate 117 and the black matrix layer 112, and the second colored layer 114 and the third colored layer 115 are provided on the first colored layer 113. A protective film 116 is formed on the third colored layer 115 by sequentially laminating. A laminate including the first colored layer 113, the second colored layer 114, and the third colored layer 115 formed in this manner is used as the spacer 111.

図7(a)(b)に示すカラーフィルタ110のスペーサ111を拡大した図を図8に示す。図8に示すように、スペーサ111は垂直に近いテーパー面からなる側部形状を有している。
特開平10−082909号公報 特開平10−104606号公報 特開2001−117103号公報
FIG. 8 shows an enlarged view of the spacer 111 of the color filter 110 shown in FIGS. As shown in FIG. 8, the spacer 111 has a side part shape having a tapered surface close to vertical.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-082909 JP-A-10-104606 JP 2001-117103 A

図9は、図6(a)(b)および図7(a)(b)に示す従来のスペーサに対して外方から垂直方向に荷重を負荷した場合における圧縮荷重と圧縮変位との関係を示すグラフである。図9に示すように、従来のスペーサは低荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位が比較的小さい。   FIG. 9 shows the relationship between the compression load and the compression displacement when a load is applied in the vertical direction from the outside to the conventional spacers shown in FIGS. 6 (a), 6 (b) and 7 (a), 7 (b). It is a graph to show. As shown in FIG. 9, the conventional spacer has a relatively small compressive displacement per unit load in the low load region.

ところで一般に、スペーサに対して外方から垂直方向に荷重を負荷した場合、低荷重域においては、スペーサの単位荷重あたりの圧縮変位は大きい(すなわち柔らかい)ことが好ましい。この理由は、液晶表示装置を製造する際、薄膜トランジスタ(TFT)等の基板とカラーフィルタとの間の間隔を調整しやすくするためである。これに対して、一般に高荷重域においては、スペーサの単位荷重あたりの圧縮変位は小さい(すなわち硬い)ことが好ましい。この理由は、液晶表示装置の使用時に衝撃等が加わった場合に、TFT基板とカラーフィルタ間に配置された液晶層を保護するためである。   In general, when a load is applied to the spacer in the vertical direction from the outside, it is preferable that the compression displacement per unit load of the spacer is large (that is, soft) in the low load region. This is because it is easy to adjust the distance between a substrate such as a thin film transistor (TFT) and a color filter when manufacturing a liquid crystal display device. In contrast, in general, in a high load region, it is preferable that the compression displacement per unit load of the spacer is small (that is, hard). This is because the liquid crystal layer disposed between the TFT substrate and the color filter is protected when an impact or the like is applied when the liquid crystal display device is used.

しかしながら、図6(a)(b)および図7(a)(b)に示す従来のスペーサを用いた場合、スペーサの材料等を変更して低荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位を大きくすると、高荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位も大きくなる。逆に、低荷重域におけるスペーサの単位荷重あたりの圧縮変位を小さくすると、高荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位も小さくなる傾向がある。したがって、仮にスペーサを構成する材料を変更しても、低荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位を大きくすることと、高荷重域における単位荷重あたりの圧縮変位を小さくすることとを両立させることは極めて困難である。   However, when the conventional spacers shown in FIGS. 6A and 6B and FIGS. 7A and 7B are used, if the material of the spacer is changed to increase the compressive displacement per unit load in the low load region. In addition, the compressive displacement per unit load in the high load region also increases. Conversely, if the compressive displacement per unit load of the spacer in the low load region is reduced, the compressive displacement per unit load in the high load region also tends to be reduced. Therefore, even if the material constituting the spacer is changed, it is possible to simultaneously increase the compression displacement per unit load in the low load region and reduce the compression displacement per unit load in the high load region. It is extremely difficult.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、低荷重域におけるスペーサの単位荷重あたりの圧縮変位を大きくするとともに、高荷重域におけるスペーサの単位荷重あたりの圧縮変位を小さくすることが可能なカラーフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and increases the compressive displacement per unit load of the spacer in the low load region and reduces the compressive displacement per unit load of the spacer in the high load region. It is an object of the present invention to provide a color filter that can be used and a method for manufacturing the same.

本発明は、カラーフィルタにおいて、カラーフィルタ基板と、カラーフィルタ基板に形成されたブラックマトリックス層、ブルー層、レッド層、およびグリーン層と、カラーフィルタ基板に形成されたスペーサとを備え、スペーサは、最下層のスペーサ用ブラック層と、スペーサ用ブラック層上に形成されたスペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層と、最上層のオーバーコート層とを有し、オーバーコート層は、スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層のうち最上層を覆う上方部を有し、オーバーコート層の上方部は、円弧状の垂直断面を有することを特徴とするカラーフィルタである。   The present invention provides a color filter, comprising a color filter substrate, a black matrix layer, a blue layer, a red layer, and a green layer formed on the color filter substrate, and a spacer formed on the color filter substrate, The lowermost spacer black layer, the spacer blue layer formed on the spacer black layer, the spacer red layer, the spacer green layer, and the uppermost overcoat layer, the overcoat layer is A color filter having an upper portion covering the uppermost layer among the blue layer for spacer, the red layer for spacer, and the green layer for spacer, and the upper portion of the overcoat layer has an arc-shaped vertical section It is.

本発明は、カラーフィルタの製造方法において、カラーフィルタ基板にスペーサ用ブラック層を形成するとともに、スペーサ用ブラック層上にスペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層を形成する工程と、スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層上にオーバーコート用レジスト材料を塗布する工程と、オーバーコート用レジスト材料をポストベークすることにより、オーバーコート用レジスト材料を硬化させるとともに熱フローさせて、スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層のうち最上層を覆うとともに円弧状の垂直断面を有する上方部を有するオーバーコート層を形成する工程とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   The present invention provides a process for forming a spacer black layer on a color filter substrate and forming a spacer blue layer, a spacer red layer, and a spacer green layer on the spacer black layer in a method for manufacturing a color filter. Applying the overcoat resist material onto the spacer blue layer, the spacer red layer, and the spacer green layer, and curing the overcoat resist material by post-baking the overcoat resist material. And a step of forming an overcoat layer that covers the uppermost layer of the spacer blue layer, the spacer red layer, and the spacer green layer and has an upper portion having an arc-shaped vertical cross section by causing heat flow. A method for producing a color filter characterized by

本発明は、カラーフィルタ基板にブラックマトリックス層、ブルー層、レッド層、およびグリーン層を、各々に対応するスペーサ用ブラック層、スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層と同時に形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   In the present invention, a black matrix layer, a blue layer, a red layer, and a green layer are formed on a color filter substrate simultaneously with a corresponding spacer black layer, spacer blue layer, spacer red layer, and spacer green layer. And a color filter manufacturing method.

本発明は、オーバーコート層を形成する工程において、150℃乃至200℃の温度でオーバーコート用レジスト材料を硬化および熱フローさせることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   The present invention is a method for producing a color filter, wherein in the step of forming an overcoat layer, the overcoat resist material is cured and heat-flowed at a temperature of 150 ° C. to 200 ° C.

本発明は、オーバーコート用レジスト材料を塗布する工程の後、オーバーコート用レジスト材料を減圧乾燥させる工程が設けられていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   The present invention is a method for producing a color filter, wherein a step of drying the overcoat resist material under reduced pressure is provided after the step of applying the overcoat resist material.

本発明は、オーバーコート用レジスト材料はUV硬化樹脂からなり、オーバーコート用レジスト材料を減圧乾燥させる工程の後、UV硬化樹脂からなるオーバーコート用レジスト材料を露光および現像させて所望パターンを形成する工程が設けられていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   In the present invention, the overcoat resist material is made of a UV curable resin, and after the step of drying the overcoat resist material under reduced pressure, the overcoat resist material made of the UV curable resin is exposed and developed to form a desired pattern. A process for producing a color filter, characterized in that a process is provided.

本発明は、オーバーコート用レジスト材料は熱硬化性樹脂からなり、オーバーコート用レジスト材料を塗布する工程において、オーバーコート用レジスト材料を所望パターンで塗布するとともに、オーバーコート層を形成する工程において、熱硬化性樹脂からなるオーバーコート用レジスト材料を熱硬化させることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   In the present invention, the overcoat resist material is composed of a thermosetting resin, and in the step of applying the overcoat resist material, the overcoat resist material is applied in a desired pattern and the overcoat layer is formed. An overcoat resist material made of a thermosetting resin is thermally cured.

以上のように本発明によれば、オーバーコート層の上方部は円弧状の垂直断面を有するので、スペーサに外方から荷重を加えた際、低荷重域においては、スペーサとTFT基板等との接触面積が小さくなり、スペーサの単位荷重あたりの圧縮変位を大きくすることができる。他方、高荷重域においては、スペーサとTFT基板等との接触面積が大きくなり、スペーサの単位荷重あたりの圧縮変位を小さくすることができる。   As described above, according to the present invention, the upper portion of the overcoat layer has an arc-shaped vertical cross section. Therefore, when a load is applied to the spacer from the outside, the spacer and the TFT substrate and the like are placed in a low load region. The contact area is reduced, and the compressive displacement per unit load of the spacer can be increased. On the other hand, in the high load region, the contact area between the spacer and the TFT substrate is increased, and the compressive displacement per unit load of the spacer can be reduced.

また本発明によれば、カラーフィルタを製造する際、プリベークする工程を設けず、オーバーコート用レジスト材料をポストベークする工程によってオーバーコート層を形成する。これにより、オーバーコート用レジスト材料に対して硬化および熱フローの両方の作用を生じさせることができるので、オーバーコート層の上方部に円弧状の垂直断面を確実に形成することができる。   According to the present invention, when manufacturing a color filter, an overcoat layer is formed by a step of post-baking a resist material for overcoat without providing a step of pre-baking. Thereby, since both the effect | action of hardening and a heat flow can be produced with respect to the resist material for overcoat, a circular-arc-shaped vertical cross section can be reliably formed in the upper part of an overcoat layer.

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。
図1は、本実施の形態によるカラーフィルタを示す平面図であり、図2は、本実施の形態によるカラーフィルタを示す断面図(図1のII−II線断面図)である。図3は、スペーサのオーバーコート層の上方部を示す詳細拡大図であり、図4(a)−(g)は、本実施の形態によるカラーフィルタの製造方法を示す概略工程図である。図5は、スペーサを圧縮した際の圧縮荷重と圧縮変位との関係を示すグラフである。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view showing a color filter according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view (cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1) showing the color filter according to the present embodiment. FIG. 3 is a detailed enlarged view showing an upper part of the overcoat layer of the spacer, and FIGS. 4A to 4G are schematic process diagrams showing a method for manufacturing a color filter according to the present embodiment. FIG. 5 is a graph showing the relationship between the compression load and the compression displacement when the spacer is compressed.

カラーフィルタの構成
まず、図1乃至図3によりカラーフィルタの概要について説明する。
Configuration of Color Filter First, an outline of a color filter will be described with reference to FIGS.

図1および図2に示すように、カラーフィルタ10は、カラーフィルタ基板11と、カラーフィルタ基板11に形成されたブラックマトリックス層12と、カラーフィルタ基板11に各々形成されたブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17と、カラーフィルタ基板11に形成されたスペーサ20とを備えている。また、ブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17上に、ブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17を覆う透明な保護層18が形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the color filter 10 includes a color filter substrate 11, a black matrix layer 12 formed on the color filter substrate 11, a blue layer 15 and a red layer formed on the color filter substrate 11, respectively. 16 and the green layer 17, and a spacer 20 formed on the color filter substrate 11. A transparent protective layer 18 that covers the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17 is formed on the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17.

このうちカラーフィルタ基板11としては、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、合成石英板等の可撓性のないリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有するフレキシブル材を用いることができる。   Among these, as the color filter substrate 11, a flexible material such as a non-flexible material such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, or a synthetic quartz plate, or a flexible material such as a transparent resin film or an optical resin plate. Can be used.

またブラックマトリックス層12は、ブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17からなる表示画素部の間およびブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17が形成された領域の外側に設けられている。このようなブラックマトリックス層12は、スパッタリング法、真空蒸着法等によりクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成したもの、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして形成したもの、カーボン微粒子、金属酸化物等の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして形成したもの等、いずれであってもよい。   The black matrix layer 12 is provided between the display pixel portion including the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17 and outside the region where the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17 are formed. Yes. Such a black matrix layer 12 is formed by forming a metal thin film such as chromium by sputtering, vacuum deposition or the like, and patterning this thin film, a polyimide resin containing light shielding particles such as carbon fine particles, Forming a resin layer of acrylic resin, epoxy resin, etc., patterning this resin layer, forming a photosensitive resin layer containing light shielding particles such as carbon fine particles, metal oxide, etc. Any of those formed by patterning the resin layer may be used.

一方、ブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17は、それぞれ青色、赤色、緑色に着色された着色層であり、アクリル系、ポリビニルアルコール系、ポリイミド系等の感光性樹脂または非感光性樹脂からなっている。   On the other hand, the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17 are colored layers that are colored blue, red, and green, respectively, and are photosensitive resins or non-photosensitive resins such as acrylic, polyvinyl alcohol, and polyimide. It is made up of.

さらに保護層18は、後述するようにUV硬化樹脂または熱硬化性樹脂からなるオーバーコート用レジスト材料18Aを硬化させて形成したものである。この保護層18は、カラーフィルタ10の表面を平坦化するとともに、ブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17に含有される成分の液晶層への溶出を防止するために設けられるものである。保護層18の厚みは、使用される材料の光透過率、カラーフィルタ10の表面状態等考慮して設定することができ、例えば、0.1乃至3.0μmの範囲で設定することができる。このような保護層18は、少なくとも、ブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17のうちカラーフィルタ10をTFT基板と貼り合わせた際に液晶層と接する部分を覆うように形成される。   Further, the protective layer 18 is formed by curing an overcoat resist material 18A made of a UV curable resin or a thermosetting resin, as will be described later. The protective layer 18 is provided to flatten the surface of the color filter 10 and to prevent the components contained in the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17 from eluting into the liquid crystal layer. . The thickness of the protective layer 18 can be set in consideration of the light transmittance of the material used, the surface state of the color filter 10, and the like, and can be set, for example, in the range of 0.1 to 3.0 μm. Such a protective layer 18 is formed so as to cover at least a portion of the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17 that comes into contact with the liquid crystal layer when the color filter 10 is bonded to the TFT substrate.

スペーサ20は、カラーフィルタ10をTFT基板と貼り合わせた際に両者間に間隔を形成するために設けられるものである。このスペーサ20は、保護層18よりも2−10μm程度の範囲で突出するように一定の高さをもつ。なおこの突出量は、液晶表示装置の液晶層に要求される厚み等から適宜設定することができる。また、スペーサ20の形成密度は、液晶層の厚みムラ、開口率、スペーサ20の形状、材質等を考慮して適宜設定することができる。   The spacer 20 is provided to form an interval between the color filter 10 and the TFT substrate when the color filter 10 is bonded to the TFT substrate. The spacer 20 has a certain height so as to protrude from the protective layer 18 in a range of about 2 to 10 μm. The amount of protrusion can be set as appropriate from the thickness required for the liquid crystal layer of the liquid crystal display device. In addition, the formation density of the spacers 20 can be appropriately set in consideration of the thickness unevenness of the liquid crystal layer, the aperture ratio, the shape, material, and the like of the spacers 20.

図2に示すように、スペーサ20は、最下層(すなわちカラーフィルタ基板11側)のスペーサ用ブラック層22と、スペーサ用ブラック層22上に順次形成されたスペーサ用レッド層26、スペーサ用ブルー層25、およびスペーサ用グリーン層27と、最上層のオーバーコート層28とを有している。なおスペーサ20を構成するスペーサ用ブラック層22、スペーサ用ブルー層25、スペーサ用レッド層26、スペーサ用グリーン層27、およびオーバーコート層28は、それぞれ上述したブラックマトリックス層12、ブルー層15、レッド層16、グリーン層17、および保護層18に対応しており、これら対応する層と同時に形成される。すなわちスペーサ用ブラック層22、スペーサ用ブルー層25、スペーサ用レッド層26、スペーサ用グリーン層27、およびオーバーコート層28は、それぞれブラックマトリックス層12、ブルー層15、レッド層16、グリーン層17、および保護層18に対応している。またスペーサ用ブラック層22、スペーサ用グリーン層25、スペーサ用レッド層26、スペーサ用グリーン層27およびオーバーコート層28は、対応するブラックマトリックス層12、ブルー層15、レッド層16、グリーン層17および保護層18と同一の材料からなる。   As shown in FIG. 2, the spacer 20 includes a spacer black layer 22 on the lowermost layer (that is, the color filter substrate 11 side), a spacer red layer 26 formed on the spacer black layer 22 in sequence, and a spacer blue layer. 25, the spacer green layer 27, and the uppermost overcoat layer 28. The spacer black layer 22, the spacer blue layer 25, the spacer red layer 26, the spacer green layer 27, and the overcoat layer 28 constituting the spacer 20 are respectively the black matrix layer 12, the blue layer 15, and the red described above. It corresponds to the layer 16, the green layer 17, and the protective layer 18, and is formed simultaneously with these corresponding layers. That is, the spacer black layer 22, the spacer blue layer 25, the spacer red layer 26, the spacer green layer 27, and the overcoat layer 28 are respectively the black matrix layer 12, the blue layer 15, the red layer 16, the green layer 17, And corresponding to the protective layer 18. The spacer black layer 22, the spacer green layer 25, the spacer red layer 26, the spacer green layer 27, and the overcoat layer 28 include the corresponding black matrix layer 12, blue layer 15, red layer 16, green layer 17 and It consists of the same material as the protective layer 18.

さらにオーバーコート層28は、スペーサ用レッド層26、スペーサ用ブルー層25、およびスペーサ用グリーン層27のうち最上層にあるスペーサ用グリーン層27を覆う上方部30を有している。   Further, the overcoat layer 28 has an upper portion 30 that covers the spacer green layer 27 that is the uppermost layer among the spacer red layer 26, the spacer blue layer 25, and the spacer green layer 27.

図2に示すように、このオーバーコート層28の上方部30は、円弧状の垂直断面を有している。すなわち図3に示すように、オーバーコート層28の上方部30は、上端から下方に向けて緩やかに傾斜した円弧状の垂直断面を有している。ここで図3は、スペーサ20のオーバーコート層28の上方部30を示す拡大図であり、図3において水平方向に対して垂直方向に約10倍程度拡大して示す図である。また、上方部30の水平断面は略円形状からなるとともに、この円弧状の水平断面の直径は、上方部30上端から下方に向けて徐々に拡大する。なおオーバーコート層28の上方部30の水平断面は、略円形状に限らず、楕円形状、または矩形形状等であってもよい。   As shown in FIG. 2, the upper portion 30 of the overcoat layer 28 has an arcuate vertical cross section. That is, as shown in FIG. 3, the upper portion 30 of the overcoat layer 28 has an arc-shaped vertical section that is gently inclined downward from the upper end. Here, FIG. 3 is an enlarged view showing the upper portion 30 of the overcoat layer 28 of the spacer 20, and is an enlarged view of about 10 times in the vertical direction with respect to the horizontal direction in FIG. Further, the horizontal section of the upper portion 30 has a substantially circular shape, and the diameter of the arc-shaped horizontal section gradually increases from the upper end of the upper portion 30 downward. The horizontal section of the upper portion 30 of the overcoat layer 28 is not limited to a substantially circular shape, and may be an elliptical shape, a rectangular shape, or the like.

なお、図2において、各着色層は、最下層からレッド層16(スペーサ用レッド層26)、ブルー層15(スペーサ用ブルー層25)、およびグリーン層17(スペーサ用グリーン層27)の順に積層されているが、各着色層を積層する順番は問わない。   In FIG. 2, each colored layer is laminated in the order of the red layer 16 (the spacer red layer 26), the blue layer 15 (the spacer blue layer 25), and the green layer 17 (the spacer green layer 27) from the bottom layer. However, the order of laminating the colored layers is not limited.

カラーフィルタの製造方法
次に、図1および図2に示すカラーフィルタ10の製造方法について、図4(a)−(g)により説明する。
Manufacturing Method of Color Filter Next, a manufacturing method of the color filter 10 shown in FIGS. 1 and 2 will be described with reference to FIGS.

まず図4(a)に示すように、カラーフィルタ基板11を準備する。   First, as shown in FIG. 4A, a color filter substrate 11 is prepared.

次に、カラーフィルタ基板11上にブラックマトリックス層12を形成する。またブラックマトリックス層12を形成するのと同時に、カラーフィルタ基板11上にスペーサ用ブラック層22が形成される(図4(b))。   Next, the black matrix layer 12 is formed on the color filter substrate 11. At the same time when the black matrix layer 12 is formed, the spacer black layer 22 is formed on the color filter substrate 11 (FIG. 4B).

この間、まずスパッタリング法、真空蒸着法等により形成したクロム等の金属薄膜、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有した樹脂層等からなる遮光層をカラーフィルタ基板11上に形成し、この遮光層上にポジ型あるいはネガ型の感光性レジストを用いて感光性レジスト層を形成する。次いで、感光性レジスト層をブラックマトリックス用のフォトマスクを介して露光、現像し、更に露出した遮光層をエッチングした後、残存する感光性レジスト層を除去することによって、ブラックマトリックス層12を形成する。   During this time, first, a light shielding layer made of a metal thin film such as chromium formed by sputtering, vacuum deposition, or the like, a resin layer containing light shielding particles such as carbon fine particles, and the like is formed on the color filter substrate 11. A photosensitive resist layer is formed using a positive or negative photosensitive resist. Next, the photosensitive resist layer is exposed and developed through a photomask for black matrix, the exposed light-shielding layer is etched, and then the remaining photosensitive resist layer is removed to form the black matrix layer 12. .

次に、カラーフィルタ基板11にレッド層16、ブルー層15、およびグリーン層17を順次形成する(図4(c)−(e))。この際、スペーサ用ブラック層22上に、スペーサ用レッド層26、スペーサ用ブルー層25、およびスペーサ用グリーン層27がそれぞれ同時に形成される。   Next, a red layer 16, a blue layer 15, and a green layer 17 are sequentially formed on the color filter substrate 11 (FIGS. 4C to 4E). At this time, the spacer red layer 26, the spacer blue layer 25, and the spacer green layer 27 are simultaneously formed on the spacer black layer 22.

この間、まずブラックマトリックス層12が形成されたカラーフィルタ基板11に、スピンコータ、ロールコータ等の手段により、着色感材を所定の膜厚になるように形成し、その後、露光、現像、処理の各工程を行う。同様の工程をレッド層16、ブルー層15、およびグリーン層17に関して繰り返し行う。この際、着色感材の上にさらに感光性ポジ型レジストを塗布し露光・現像を行って必要部分のパターンを残し、レッド層16、ブルー層15、およびグリーン層17に関して同様の工程を繰り返し行い、所定の着色画素となる部分と、レッド層16、ブルー層15、およびグリーン層17に各々対応するスペーサ用レッド層26、スペーサ用ブルー層25、およびスペーサ用グリーン層27となる部分とを各々形成する。   During this time, first, a color sensitive material is formed to a predetermined thickness on the color filter substrate 11 on which the black matrix layer 12 is formed by means of a spin coater, a roll coater, etc., and then each of exposure, development, and processing is performed. Perform the process. The same process is repeated for the red layer 16, the blue layer 15, and the green layer 17. At this time, a photosensitive positive resist is further applied onto the colored photosensitive material, exposure and development are performed to leave a necessary portion pattern, and the same steps are repeated for the red layer 16, the blue layer 15, and the green layer 17. A portion to be a predetermined coloring pixel and a portion to be a spacer red layer 26, a spacer blue layer 25, and a spacer green layer 27 corresponding to the red layer 16, the blue layer 15, and the green layer 17, respectively. Form.

続いてブラックマトリックス層12、ブルー層15、レッド層16、およびグリーン層17、スペーサ用ブラック層22、スペーサ用ブルー層25、スペーサ用レッド層26およびスペーサ用グリーン層27上にオーバーコート用レジスト材料18Aをスピンコータ、ロールコータ等の公知の手段を用いて塗布する(図4(f))。   Subsequently, an overcoat resist material is formed on the black matrix layer 12, the blue layer 15, the red layer 16, and the green layer 17, the spacer black layer 22, the spacer blue layer 25, the spacer red layer 26, and the spacer green layer 27. 18A is applied using a known means such as a spin coater or a roll coater (FIG. 4 (f)).

次いで、このようにして塗布されたオーバーコート用レジスト材料18Aを減圧乾燥させる。   Next, the overcoat resist material 18A applied in this manner is dried under reduced pressure.

なおこのようにして塗布されるオーバーコート用レジスト材料18Aは、上述したようにUV(紫外線)硬化樹脂または熱硬化性樹脂からなっている。   The overcoat resist material 18A applied in this way is made of UV (ultraviolet) curable resin or thermosetting resin as described above.

このうちオーバーコート用レジスト材料18AがUV硬化樹脂からなる場合、オーバーコート用レジスト材料18Aを減圧乾燥させる工程の後、プリベーク工程を介在させることなく、オーバーコート用レジスト材料18Aを露光および現像させて所望パターンを形成する。この際、オーバーコート用レジスト材料18Aをフォトマスクを介して露光し、次いで現像する。これにより、後述する保護層18およびオーバーコート層28を含む所望パターンを除く不要部分(例えば保護層18の外周部分等)を除去する。なお、このようなUV硬化樹脂としては、UV硬化型のアクリル樹脂等が挙げられる。   When the overcoat resist material 18A is made of UV curable resin, the overcoat resist material 18A is exposed and developed without a pre-baking step after the step of drying the overcoat resist material 18A under reduced pressure. A desired pattern is formed. At this time, the overcoat resist material 18A is exposed through a photomask and then developed. Thereby, unnecessary portions (for example, the outer peripheral portion of the protective layer 18 and the like) excluding a desired pattern including the protective layer 18 and the overcoat layer 28 described later are removed. Examples of such UV curable resins include UV curable acrylic resins.

他方、オーバーコート用レジスト材料18Aが熱硬化性樹脂からなる場合、上述した塗布工程において、オーバーコート用レジスト材料18Aを予め所望パターン、例えば保護層18の外周部分を除くパターンをもつように塗布しておく。次に、オーバーコート用レジスト材料18Aを減圧乾燥させ、その後プリベーク工程を介在させることなく、後述するポストベーク工程によりオーバーコート層28を形成する(図4(g))。なお、このような熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、キシレン樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられる。   On the other hand, when the overcoat resist material 18A is made of a thermosetting resin, the overcoat resist material 18A is previously applied in the above-described application process so as to have a desired pattern, for example, a pattern excluding the outer peripheral portion of the protective layer 18. Keep it. Next, the overcoat resist material 18A is dried under reduced pressure, and then the overcoat layer 28 is formed by a post-bake process described later without a pre-bake process (FIG. 4G). In addition, as such a thermosetting resin, thermosetting resins, such as a phenol resin, a melamine resin, an epoxy resin, and a xylene resin, are mentioned.

その後、オーバーコート用レジスト材料18Aをポストベークすることにより、オーバーコート用レジスト材料18Aを硬化させるとともに熱フローさせる。これにより、オーバーコート用レジスト材料18Aから保護層18が形成される。また、最上層のスペーサ用グリーン層27を覆うとともに円弧状の垂直断面を有する上方部30を有するオーバーコート層28が形成される(図4(g))。   Thereafter, the overcoat resist material 18A is post-baked to cure the overcoat resist material 18A and to cause heat flow. As a result, the protective layer 18 is formed from the overcoat resist material 18A. Further, an overcoat layer 28 that covers the uppermost spacer green layer 27 and has an upper portion 30 having an arc-shaped vertical cross section is formed (FIG. 4G).

オーバーコート用レジスト材料18Aをポストベークしてオーバーコート層28を形成する工程において、オーバーコート用レジスト材料18Aを硬化および熱フローさせる温度は150℃乃至200℃に設定される。このようにして、オーバーコート用レジスト材料18Aを減圧乾燥させた後、プリベーク工程を介在させることなく、比較的高温でオーバーコート用レジスト材料18Aをポストベークする。これにより、オーバーコート用レジスト材料18Aを硬化させるだけでなく、オーバーコート用レジスト材料18Aを熱フローさせることができる。このような熱フローの作用により、オーバーコート層28が硬化する際、上方部30の垂直断面を円弧状とすることができる。   In the step of forming the overcoat layer 28 by post-baking the overcoat resist material 18A, the temperature at which the overcoat resist material 18A is cured and heat-flowed is set to 150 ° C. to 200 ° C. In this manner, after the overcoat resist material 18A is dried under reduced pressure, the overcoat resist material 18A is post-baked at a relatively high temperature without a pre-baking step. Thereby, not only the overcoat resist material 18A can be cured, but also the overcoat resist material 18A can be heat-flowed. By such an action of the heat flow, when the overcoat layer 28 is cured, the vertical section of the upper portion 30 can be formed into an arc shape.

ポストベークの温度が150℃未満であると、オーバーコート用レジスト材料18Aを硬化させることはできるが十分に熱フローさせることはできず、オーバーコート層28の上方部30の垂直断面を円弧状とすることはできない。例えば、通常のプリベーク工程においては、レジスト材料中の溶剤を揮発させるため、レジスト材料を80℃乃至120℃程度の温度で加熱する。この場合、レジスト材料に対して上述した熱フローの作用を生じさせることはできない。他方、ポストベークの温度が200℃を上回ると、オーバーコート用レジスト材料18Aの性能に悪影響を及ぼす。   If the post-baking temperature is less than 150 ° C., the overcoat resist material 18A can be cured but cannot be sufficiently heat-flowed, and the vertical section of the upper portion 30 of the overcoat layer 28 has an arc shape. I can't do it. For example, in a normal prebaking process, the resist material is heated at a temperature of about 80 ° C. to 120 ° C. in order to volatilize the solvent in the resist material. In this case, the above-described heat flow cannot be applied to the resist material. On the other hand, when the post-baking temperature exceeds 200 ° C., the performance of the overcoat resist material 18A is adversely affected.

次に、スペーサ20に荷重を加えた際における本実施の形態の作用について説明する。   Next, the operation of the present embodiment when a load is applied to the spacer 20 will be described.

液晶表示装置の製造工程において、カラーフィルタ10のスペーサ20上にTFT基板40が載置される(図2の仮想線参照)。この製造工程において、一般にTFT基板40とカラーフィルタ10との間隔を調整することが行なわれる。本実施の形態において、スペーサ20のオーバーコート層28の上方部30は円弧状の垂直断面を有しているので、TFT基板40とスペーサ20との接触面積が相対的に小さい。したがって、TFT基板40からスペーサ20に小さい荷重を加えただけで、スペーサ20の上端を圧縮変形させることができ、TFT基板40とカラーフィルタ10との間隔を容易に調整することができる。   In the manufacturing process of the liquid crystal display device, the TFT substrate 40 is placed on the spacer 20 of the color filter 10 (see the phantom line in FIG. 2). In this manufacturing process, the distance between the TFT substrate 40 and the color filter 10 is generally adjusted. In the present embodiment, since the upper portion 30 of the overcoat layer 28 of the spacer 20 has an arcuate vertical cross section, the contact area between the TFT substrate 40 and the spacer 20 is relatively small. Therefore, the upper end of the spacer 20 can be compressed and deformed only by applying a small load from the TFT substrate 40 to the spacer 20, and the distance between the TFT substrate 40 and the color filter 10 can be easily adjusted.

他方、製造後の液晶表示装置に対して衝撃等が加えられ、スペーサ20に対して垂直方向に高荷重が加わることも想定される。この場合、スペーサ20のオーバーコート層28の上方部30が円弧状の垂直断面を有しているので、TFT基板40とスペーサ20との接触面積が相対的に大きい。したがって、TFT基板40とスペーサ20との間に垂直方向に高荷重が加わってもスペーサ20が変形しにくく、TFT基板40およびカラーフィルタ10の強度が高められ、TFT基板40とカラーフィルタ10との間の液晶層を保護することができる。   On the other hand, an impact or the like is applied to the manufactured liquid crystal display device, and a high load is assumed to be applied to the spacer 20 in the vertical direction. In this case, since the upper portion 30 of the overcoat layer 28 of the spacer 20 has an arcuate vertical cross section, the contact area between the TFT substrate 40 and the spacer 20 is relatively large. Therefore, even if a high load is applied between the TFT substrate 40 and the spacer 20 in the vertical direction, the spacer 20 is not easily deformed, and the strength of the TFT substrate 40 and the color filter 10 is increased. The liquid crystal layer in between can be protected.

図5に、スペーサ20を圧縮した際における圧縮荷重と圧縮変位との関係を示すグラフを示す。図5に示すように、本実施の形態によるスペーサ20は、荷重が加わった際、図6(a)(b)および図7(a)(b)に示す従来のスペーサと比較して、低荷重域におけるスペーサ20の単位荷重あたりの圧縮変位の変化が大きい(すなわちグラフの傾きが急である)。他方、高荷重域においては、従来のスペーサと比較してスペーサ20の単位荷重あたりの圧縮変位の変化が小さい(すなわちグラフの傾きがなだらかである)。   FIG. 5 is a graph showing the relationship between the compression load and the compression displacement when the spacer 20 is compressed. As shown in FIG. 5, the spacer 20 according to the present embodiment is less in comparison with the conventional spacers shown in FIGS. 6A, 7 </ b> B, and 7 </ b> A, 7 </ b> B when a load is applied. The change of the compressive displacement per unit load of the spacer 20 in the load region is large (that is, the slope of the graph is steep). On the other hand, in the high load region, the change of the compressive displacement per unit load of the spacer 20 is small compared with the conventional spacer (that is, the slope of the graph is gentle).

このように本実施の形態によれば、オーバーコート層28の上方部30が円弧状の垂直断面を有するので、スペーサ20に外方から荷重を加えた際、低荷重域においてはスペーサ20の接触面積を小さくしてスペーサ20の単位荷重あたりの圧縮変位を大きくすることができる。他方、高荷重域においては、スペーサ20の接触面積を大きくしてスペーサの単位荷重あたりの圧縮変位を小さくすることができる。   As described above, according to the present embodiment, the upper portion 30 of the overcoat layer 28 has an arcuate vertical cross section. Therefore, when a load is applied to the spacer 20 from the outside, the contact of the spacer 20 in the low load region. The compression displacement per unit load of the spacer 20 can be increased by reducing the area. On the other hand, in the high load region, the contact area of the spacer 20 can be increased to reduce the compressive displacement per unit load of the spacer.

また本実施の形態によれば、カラーフィルタ10を製造する際、プリベークする工程を設けることなく、オーバーコート用レジスト材料18Aをポストベークすることによりオーバーコート層28を形成する。この際、オーバーコート用レジスト材料18Aに対して硬化および熱フローの両方の作用を生じさせるので、オーバーコート層28の上方部30を円弧状の垂直断面とすることができる。また、プリベークする工程を省略することができるので、従来よりカラーフィルタ10の製造工程を簡略化することができる。   Further, according to the present embodiment, when the color filter 10 is manufactured, the overcoat layer 28 is formed by post-baking the overcoat resist material 18A without providing a pre-baking step. At this time, both the curing and the heat flow are caused to act on the overcoat resist material 18A, so that the upper portion 30 of the overcoat layer 28 can have an arcuate vertical cross section. In addition, since the pre-baking step can be omitted, the manufacturing process of the color filter 10 can be simplified compared to the prior art.

本発明の一実施の形態によるカラーフィルタを示す平面図。The top view which shows the color filter by one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態によるカラーフィルタを示す断面図(図1のII−II線断面図)。Sectional drawing which shows the color filter by one embodiment of this invention (II-II sectional view taken on the line of FIG. 1). スペーサのオーバーコート層の上方部を示す詳細拡大図。The detailed enlarged view which shows the upper part of the overcoat layer of a spacer. 本発明の一実施の形態によるカラーフィルタの製造方法を示す概略工程図。FIG. 3 is a schematic process diagram illustrating a method for manufacturing a color filter according to an embodiment of the present invention. スペーサを圧縮した際における圧縮荷重と圧縮変位との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the compression load at the time of compressing a spacer, and compression displacement. 従来のカラーフィルタを示す平面図および断面図(従来例1)。The top view and sectional drawing which show the conventional color filter (conventional example 1). 従来のカラーフィルタを示す平面図および断面図(従来例2)。The top view and sectional drawing which show the conventional color filter (conventional example 2). 従来のスペーサを示す詳細拡大図。The detailed enlarged view which shows the conventional spacer. 従来のスペーサを圧縮した際の圧縮荷重と圧縮変位との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the compression load at the time of compressing the conventional spacer, and compression displacement.

符号の説明Explanation of symbols

10 カラーフィルタ
11 カラーフィルタ基板
12 ブラックマトリックス層
15 ブルー層
16 レッド層
17 グリーン層
18 保護層
18A オーバーコート用レジスト材料
20 スペーサ
22 スペーサ用ブラック層
25 スペーサ用ブルー層
26 スペーサ用レッド層
27 スペーサ用グリーン層
28 オーバーコート層
30 上方部
40 TFT基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Color filter 11 Color filter board | substrate 12 Black matrix layer 15 Blue layer 16 Red layer 17 Green layer 18 Protective layer 18A Overcoat resist material 20 Spacer 22 Spacer black layer 25 Spacer blue layer 26 Spacer red layer 27 Spacer green Layer 28 Overcoat layer 30 Upper part 40 TFT substrate

Claims (7)

カラーフィルタにおいて、
カラーフィルタ基板と、
カラーフィルタ基板に形成されたブラックマトリックス層、ブルー層、レッド層、およびグリーン層と、
カラーフィルタ基板に形成されたスペーサとを備え、
スペーサは、最下層のスペーサ用ブラック層と、スペーサ用ブラック層上に形成されたスペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層と、最上層のオーバーコート層とを有し、
オーバーコート層は、スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層のうち最上層を覆う上方部を有し、
オーバーコート層の上方部は、円弧状の垂直断面を有することを特徴とするカラーフィルタ。
In the color filter,
A color filter substrate;
A black matrix layer, a blue layer, a red layer, and a green layer formed on the color filter substrate;
A spacer formed on the color filter substrate,
The spacer has a lowermost spacer black layer, a spacer blue layer formed on the spacer black layer, a spacer red layer, a spacer green layer, and an uppermost overcoat layer.
The overcoat layer has an upper portion that covers the uppermost layer of the spacer blue layer, the spacer red layer, and the spacer green layer,
A color filter, wherein an upper portion of the overcoat layer has an arcuate vertical cross section.
請求項1記載のカラーフィルタの製造方法において、
カラーフィルタ基板にスペーサ用ブラック層を形成するとともに、スペーサ用ブラック層上にスペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層を形成する工程と、
スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層上にオーバーコート用レジスト材料を塗布する工程と、
オーバーコート用レジスト材料をポストベークすることにより、オーバーコート用レジスト材料を硬化させるとともに熱フローさせて、スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層のうち最上層を覆うとともに円弧状の垂直断面を有する上方部を有するオーバーコート層を形成する工程とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
In the manufacturing method of the color filter of Claim 1,
Forming a spacer black layer on the color filter substrate, and forming a spacer blue layer, a spacer red layer, and a spacer green layer on the spacer black layer;
Applying a resist material for overcoat on the spacer blue layer, the spacer red layer, and the spacer green layer;
By post-baking the overcoat resist material, the overcoat resist material is cured and heat-flowed to cover the uppermost layer of the spacer blue layer, spacer red layer, and spacer green layer, and in an arc shape. And a step of forming an overcoat layer having an upper portion having a vertical cross section.
カラーフィルタ基板にブラックマトリックス層、ブルー層、レッド層、およびグリーン層を、各々に対応するスペーサ用ブラック層、スペーサ用ブルー層、スペーサ用レッド層、およびスペーサ用グリーン層と同時に形成することを特徴とする請求項2記載のカラーフィルタの製造方法。   A black matrix layer, a blue layer, a red layer, and a green layer are formed on the color filter substrate simultaneously with the corresponding spacer black layer, spacer blue layer, spacer red layer, and spacer green layer. The method for producing a color filter according to claim 2. オーバーコート層を形成する工程において、150℃乃至200℃の温度でオーバーコート用レジスト材料を硬化および熱フローさせることを特徴とする請求項2または3記載のカラーフィルタの製造方法。   4. The method for producing a color filter according to claim 2, wherein in the step of forming the overcoat layer, the overcoat resist material is cured and heat-flowed at a temperature of 150 to 200.degree. オーバーコート用レジスト材料を塗布する工程の後、オーバーコート用レジスト材料を減圧乾燥させる工程が設けられていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項記載のカラーフィルタの製造方法。   5. The method for producing a color filter according to claim 2, further comprising a step of drying the overcoat resist material under reduced pressure after the step of applying the overcoat resist material. オーバーコート用レジスト材料はUV硬化樹脂からなり、
オーバーコート用レジスト材料を減圧乾燥させる工程の後、UV硬化樹脂からなるオーバーコート用レジスト材料を露光および現像させて所望パターンを形成する工程が設けられていることを特徴とする請求項5記載のカラーフィルタの製造方法。
The overcoat resist material consists of UV curable resin,
6. The step of forming a desired pattern by exposing and developing the overcoat resist material made of a UV curable resin after the step of drying the overcoat resist material under reduced pressure is provided. A method for producing a color filter.
オーバーコート用レジスト材料は熱硬化性樹脂からなり、
オーバーコート用レジスト材料を塗布する工程において、オーバーコート用レジスト材料を所望パターンで塗布するとともに、オーバーコート層を形成する工程において、熱硬化性樹脂からなるオーバーコート用レジスト材料を熱硬化させることを特徴とする請求項5記載のカラーフィルタの製造方法。
The overcoat resist material consists of a thermosetting resin,
In the step of applying the resist material for overcoat, the resist material for overcoat is applied in a desired pattern, and in the step of forming the overcoat layer, the resist material for overcoat made of a thermosetting resin is thermally cured. The method for producing a color filter according to claim 5, wherein:
JP2008056668A 2008-03-06 2008-03-06 Manufacturing method of color filter Expired - Fee Related JP5217519B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008056668A JP5217519B2 (en) 2008-03-06 2008-03-06 Manufacturing method of color filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008056668A JP5217519B2 (en) 2008-03-06 2008-03-06 Manufacturing method of color filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009211005A true JP2009211005A (en) 2009-09-17
JP5217519B2 JP5217519B2 (en) 2013-06-19

Family

ID=41184191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008056668A Expired - Fee Related JP5217519B2 (en) 2008-03-06 2008-03-06 Manufacturing method of color filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5217519B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012053169A (en) * 2010-08-31 2012-03-15 Dainippon Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display device
JP2015156022A (en) * 2015-03-02 2015-08-27 大日本印刷株式会社 Color filter for liquid crystal display device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000171805A (en) * 1998-12-01 2000-06-23 Hitachi Ltd Liquid crystal display device
JP2001117103A (en) * 1999-10-15 2001-04-27 Nec Corp Liquid crystal display device and its manufacturing method
JP2004219529A (en) * 2003-01-10 2004-08-05 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
JP2005241858A (en) * 2004-02-25 2005-09-08 Seiko Epson Corp Electrooptical device, electronic apparatus, and method for manufacturing electrooptical device
JP2006184505A (en) * 2004-12-27 2006-07-13 Shin Sti Technology Kk Color filter and its manufacturing method
JP2007240599A (en) * 2006-03-06 2007-09-20 Mitsubishi Electric Corp Liquid crystal display and method of manufacturing the liquid crystal display

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000171805A (en) * 1998-12-01 2000-06-23 Hitachi Ltd Liquid crystal display device
JP2001117103A (en) * 1999-10-15 2001-04-27 Nec Corp Liquid crystal display device and its manufacturing method
JP2004219529A (en) * 2003-01-10 2004-08-05 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
JP2005241858A (en) * 2004-02-25 2005-09-08 Seiko Epson Corp Electrooptical device, electronic apparatus, and method for manufacturing electrooptical device
JP2006184505A (en) * 2004-12-27 2006-07-13 Shin Sti Technology Kk Color filter and its manufacturing method
JP2007240599A (en) * 2006-03-06 2007-09-20 Mitsubishi Electric Corp Liquid crystal display and method of manufacturing the liquid crystal display

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012053169A (en) * 2010-08-31 2012-03-15 Dainippon Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display device
JP2015156022A (en) * 2015-03-02 2015-08-27 大日本印刷株式会社 Color filter for liquid crystal display device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5217519B2 (en) 2013-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7961288B2 (en) Liquid crystal display panel and method of manufacturing the same
WO2016033841A1 (en) Liquid crystal display panel structure and method of fabricating same
JP2005234570A (en) Liquid crystal display device, color filter substrate, and protruding structure, and manufacturing method thereof
JP2009139672A (en) Liquid crystal display element, and manufacturing method for liquid crystal display element
JP4852862B2 (en) Manufacturing method of color filter and manufacturing method of color liquid crystal display device
KR20080022722A (en) Method of fabricating the color filter substrate for liquid crystal display device
JP2009069224A (en) Resin thin film and method for producing same, and color filter for liquid crystal and method for producing same
US20080003511A1 (en) Resist for soft mold and method for fabricating liquid crystal display using the same
JP5217519B2 (en) Manufacturing method of color filter
KR100892357B1 (en) Color Filter Panel for Liquid Crystal Display Device and A method for manufacturing the same
JPH09325206A (en) Color filter
KR101675843B1 (en) Flat display device and method of fabricating the same
CN111381402A (en) Liquid crystal display device and method for forming the same
JP2008261936A (en) Liquid crystal device, method for manufacturing the same, and substrate for liquid crystal device
KR20060070873A (en) Lcd and method of fabricating of the same
JP2007025066A (en) Manufacturing method for liquid crystal display panel
JP2019090954A (en) Color filter substrate and manufacturing method of the same, and display panel
TWI278698B (en) Liquid crystal display device with patterned black matrix frame and the method of manufacturing the same
JP2002082339A (en) Liquid crystal display
JP2006178301A (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
JP2009210970A (en) Method for manufacturing liquid crystal panel, and liquid crystal panel
JP2004280006A (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
JP2004361933A (en) Color filter substrate, method of manufacturing color filter substrate and display device
JP4561066B2 (en) Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof
JP2000241606A (en) Plate micro lens, plate lens, liquid crystal display, optical system and projection display device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120612

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120807

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130205

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130218

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5217519

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees