JP2008261936A - Liquid crystal device, method for manufacturing the same, and substrate for liquid crystal device - Google Patents

Liquid crystal device, method for manufacturing the same, and substrate for liquid crystal device Download PDF

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Hidefumi Yoshizoe
英史 吉副
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal device with which a pair of substrates is highly efficiently aligned with a simple structure and with a simple method, and which is equipped with a construction to suitably control a distance between the pair of substrates. <P>SOLUTION: The liquid crystal device 10 comprises a liquid crystal 20 interposed between the pair of substrates 18, 19. On the liquid crystal 20 side of one substrate 18 out of the pair of substrates 18, 19, a columnar object 40 protruding from the substrate surface is formed, and on the other hand, a recession 50 is formed on the liquid crystal 20 side of the other substrate 19. The liquid crystal device 10 is characterized in that the distance between the pair of substrates 18, 19 is controlled in the state in which the columnar object 40 is fitted in the recession 50, and the pair of substrates 18, 19 is aligned in a plane direction by combination of the columnar object 40 and the recession 50. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶装置、その製造方法、及び液晶装置用基板に関する。   The present invention relates to a liquid crystal device, a manufacturing method thereof, and a substrate for a liquid crystal device.

液晶装置は、例えば、TFT(Thin Film Transistor)が形成されたガラス製の透明基板と、RGBの各着色層を有するカラーフィルタが形成されたガラス製の透明基板との間に液晶層を挟持してなる。このような液晶装置において、基板間隔で規制される液晶層の厚み(いわゆるギャップ)は、液晶装置の表示むら等を防ぐためにもその値が基板面内で均一であることが要求される。そして、このギャップを均一にする手段として、柱状スペーサを透明基板の間に配置し、当該ギャップを透明基板の全面に亘って均一に保持する構成が知られている(例えば特許文献1参照)。
特開2002−333628公報(図1)
The liquid crystal device, for example, sandwiches a liquid crystal layer between a glass transparent substrate on which a TFT (Thin Film Transistor) is formed and a glass transparent substrate on which a color filter having RGB colored layers is formed. It becomes. In such a liquid crystal device, the thickness (so-called gap) of the liquid crystal layer regulated by the substrate interval is required to be uniform within the substrate surface in order to prevent display unevenness of the liquid crystal device. As a means for making this gap uniform, a configuration is known in which columnar spacers are arranged between transparent substrates and the gaps are uniformly held over the entire surface of the transparent substrate (see, for example, Patent Document 1).
JP 2002-333628 A (FIG. 1)

上記特許文献1に開示された液晶装置では、ギャップの均一性を確保するために、表示領域とともに、表示領域外にも柱状スペーサを形成している。また、表示領域外には、2枚の透明基板の組み合わせ位置を決めるためのアライメントマークが設けられている。   In the liquid crystal device disclosed in Patent Document 1, columnar spacers are formed outside the display area together with the display area in order to ensure the uniformity of the gap. In addition, an alignment mark for determining the combination position of the two transparent substrates is provided outside the display area.

ところが、このようなアライメントマークを設けて基板の位置合わせを行うだけでは十分に位置合わせできないことがある。また当該アライメントマークは製造後の液晶装置においては何ら機能を具備しないものである。したがって、このようなアライメントマークを付与する以外に基板の位置合わせを可能とする技術が望まれる。
一方で、柱状スペーサは、ギャップの均一性を確保する機能を有しているものの、それ以外の機能を有してはいない。柱状スペーサは、例えば球状スペーサに比して設置に手間が掛かるため、更なる付加価値も望まれるところである。
However, it may not be possible to sufficiently align the substrate only by providing such an alignment mark. The alignment mark has no function in the manufactured liquid crystal device. Therefore, there is a demand for a technique that enables alignment of the substrate other than providing such an alignment mark.
On the other hand, the columnar spacer has a function of ensuring the uniformity of the gap, but does not have any other function. Since columnar spacers require more time for installation than, for example, spherical spacers, further added value is desired.

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、簡便な構成と簡便な方法で、一対の基板のアライメントを高効率で行うことができるとともに、当該一対の基板間隔を好適に規制することが可能な構成を具備した液晶装置を提供することを目的とする。   The present invention has been completed based on the above-described circumstances, and a pair of substrates can be aligned with high efficiency by a simple configuration and a simple method, and the pair of substrates is preferably used. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal device having a configuration capable of being regulated.

上記の目的を達成するために本発明の液晶装置は、一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置であって、前記一対の基板のうち一方の基板の前記液晶側には、当該基板面から突出する柱状物が形成される一方、他方の基板の前記液晶側には凹部が形成され、前記柱状物が前記凹部に嵌め込まれた状態で、前記一対の基板の間隔が規制されるとともに、当該柱状物と凹部との組み合わせにより、前記一対の基板が平面方向で位置合わせされてなることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a liquid crystal device of the present invention is a liquid crystal device in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates, and the substrate is disposed on the liquid crystal side of one of the pair of substrates. While a columnar object protruding from the surface is formed, a recess is formed on the liquid crystal side of the other substrate, and the interval between the pair of substrates is regulated in a state where the columnar object is fitted in the recess. The pair of substrates are aligned in the plane direction by a combination of the columnar and the concave portion.

このような液晶装置によると、一対の基板のうち一方の基板に形成された柱状物は、他方の基板に形成された凹部に嵌め込まれる構成となっているため、その基板間隔を、柱状物の高さと凹部の形状との関係により規定される高さをそれぞれの配設場所に応じて設計しておくことで、好適に規制することが可能となる。   According to such a liquid crystal device, the columnar object formed on one of the pair of substrates is configured to be fitted into the recess formed on the other substrate. By designing the height defined by the relationship between the height and the shape of the recess in accordance with each placement location, it is possible to suitably regulate the height.

ところで、柱状物及び凹部は例えばフォトリソグラフィにより作製すると、高い位置精度にて任意の場所に、かつ、任意の形状で配置することができる。この特性を活かすことにより、柱状物の機能として、基板間隔の均一性の確保のみではなく、位置合わせ機能をも付与することができる構成としている。具体的には、柱状物と凹部との嵌め込みにより、一対の基板の平面方向での位置関係が自ずと規制される構成となっている。ゆえに、柱状物を、他方の基板に形成された凹部のうち、それぞれ特定の柱状物と対向すべき位置に形成された特定の凹部と組み合わせて嵌め込むことで、一対の基板の平面方向での微妙な位置関係さえも自然と規制され、かつ、位置ずれを起こすこともないため、アライメント(位置合わせ)を効率良く行うことが可能となる。   By the way, when the columnar object and the concave portion are produced by, for example, photolithography, they can be arranged at any place and in any shape with high positional accuracy. By making use of this characteristic, the alignment function can be provided as well as ensuring the uniformity of the distance between the substrates as the function of the columnar object. Specifically, the positional relationship in the planar direction of the pair of substrates is naturally regulated by fitting the columnar object and the recess. Therefore, by inserting the columnar object in combination with the specific concave portion formed at the position to be opposed to the specific columnar shape among the concave portions formed on the other substrate, in the planar direction of the pair of substrates Even a delicate positional relationship is naturally regulated and does not cause a positional shift, so that alignment (positioning) can be performed efficiently.

本発明の液晶装置は、表示領域と、当該表示領域の外側に設けられた額縁領域と、を備え、前記柱状物及び前記凹部は、前記表示領域に配設されてなるものとすることができる。
このように柱状物及び凹部が表示領域に配設されることで、表示領域における基板間隔の均一性が確保されるため表示むら等を防ぐことができるとともに、表面領域における基板間隔の設計値とのずれが生じないため、コントラスト等の表示特性が悪くなるという不具合を防ぐことが可能となる。
The liquid crystal device of the present invention includes a display area and a frame area provided outside the display area, and the columnar object and the recess may be provided in the display area. .
Since the columnar objects and the recesses are arranged in the display area in this way, the uniformity of the substrate spacing in the display area is ensured, so that display unevenness and the like can be prevented, and the design value of the substrate spacing in the surface area Therefore, it is possible to prevent a problem that display characteristics such as contrast are deteriorated.

さらに、本発明の液晶装置は、表示領域と、当該表示領域の外側に設けられた額縁領域と、を備え、前記柱状物及び前記凹部は、前記額縁領域に配設されてなるものとすることができる。
これにより、表示への影響を懸念せずに任意の場所に任意の数の柱状物及び凹部を配設することができるため、基板間隔の均一性をさらに向上させることが可能となる。
Furthermore, the liquid crystal device of the present invention includes a display area and a frame area provided outside the display area, and the columnar object and the recess are arranged in the frame area. Can do.
Thereby, since any number of columnar objects and recesses can be arranged at any place without concern for the influence on the display, the uniformity of the substrate interval can be further improved.

また、前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板には、複数の着色層を平面配置したカラーフィルタを備え、前記柱状物は、前記複数の着色層の一部若しくは全部を積層して形成されてなるものとすることができる。
これにより、着色層の形成時に、同時に柱状物を形成することができ、かつ、柱状物を形成するために新たな材料を使用する必要がないため、製造工程を簡略化することが可能となる。
In addition, at least one of the pair of substrates includes a color filter in which a plurality of colored layers are arranged in a plane, and the columnar body is formed by stacking a part or all of the plurality of colored layers. Can be.
Thereby, at the time of forming the colored layer, a columnar object can be formed at the same time, and since it is not necessary to use a new material to form the columnar object, the manufacturing process can be simplified. .

また、前記基板の前記液晶側に島状部が形成され、前記凹部は、前記島状部の一部が窪んだ状態で形成されてなるものとすることができる。
これにより、柱状物を嵌め込み可能な凹部を好適に形成することが可能となる。
Further, an island-shaped portion is formed on the liquid crystal side of the substrate, and the concave portion is formed in a state where a part of the island-shaped portion is depressed.
Thereby, it becomes possible to form suitably the recessed part which can insert a columnar thing.

また、前記凹部は、前記基板の一部が窪んだ状態で形成されてなるものとすることができる。
さらに、前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板には、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に対して層間絶縁膜を介して接続された画素電極とを備え、前記基板の一部が窪んだ状態は、前記層間絶縁膜の一部に形成された窪みに沿って形成されてなるものとすることができる。
Moreover, the said recessed part shall be formed in the state in which a part of said board | substrate was depressed.
Further, at least one of the pair of substrates includes a switching element and a pixel electrode connected to the switching element through an interlayer insulating film, and a state in which a part of the substrate is depressed is And formed along a depression formed in a part of the interlayer insulating film.

これにより、凹部を形成するために新たな材料を使用する必要がないため、製造工程を簡略化することが可能となる。さらに、一対の基板のアライメントを行う際の粗合わせ後、通常形成する層の一部が窪んだ形状であるから突起となるものがなく、一方の基板を平行移動してアライメントしても柱状物が凹部の外周壁に接触することがないため、基板をスムーズに移動させることができ、アライメントを効率良く行うことが可能となる。   Thereby, since it is not necessary to use a new material for forming the recess, the manufacturing process can be simplified. In addition, after rough alignment when aligning a pair of substrates, a part of the layer that is normally formed has a recessed shape, so there is no protrusion, and even if one substrate is translated and aligned, a columnar object Does not contact the outer peripheral wall of the recess, the substrate can be moved smoothly, and alignment can be performed efficiently.

また、本発明の液晶装置の製造方法は、上記課題を解決するために、第1基板に、当該基板面から突出する柱状物を形成する柱状物形成工程と、第2基板に、前記柱状物を嵌め込むことが可能な凹部を形成する凹部形成工程と、前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる貼合工程と、を含み、前記貼合工程において、前記第1基板と前記第2基板との平面方向の位置合わせを前記柱状物と前記凹部との嵌め込みの組み合わせに基づいて行うとともに、前記第1基板と前記第2基板との基板間隔を前記柱状物と前記凹部との嵌め込み方向における相対位置関係により規制することに特徴を有する。   Further, in order to solve the above problems, the method for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention includes a columnar object forming step of forming a columnar object protruding from the substrate surface on the first substrate, and the columnar object on the second substrate. A recess forming step for forming a recess into which the first substrate can be fitted, and a bonding step for bonding the first substrate and the second substrate. In the bonding step, the first substrate and the first The alignment in the planar direction with two substrates is performed based on the combination of the fitting of the columnar object and the recess, and the interval between the first substrate and the second substrate is fitted between the columnar object and the recess. It is characterized by being restricted by the relative positional relationship in the direction.

基板の貼合工程では、2枚の基板の平面方向での位置合わせの精度、及び基板間隔の均一性の確保が重要な要素となる。上記の方法によると、第1基板に柱状物を形成し第2基板に凹部を形成した後、貼合工程において、第1基板の各柱状物を、第2基板のそれぞれ特定の柱状物と対向すべき位置に形成された特定の凹部と組み合わせて嵌め込む。その結果、一対の基板の平面方向での微妙な位置合わせが自然と精度良く行うことができ、かつ、位置ずれを起こすこともないため、アライメントを効率良く行うことが可能となる。
さらに、柱状物の高さと凹部の形状との関係により規定される高さ(例えば、柱状物の高さと凹部の底面の高さとを合計した高さ)をそれぞれの配設場所に応じて設計しておき、貼合工程にて柱状物と凹部を嵌め込むことで基板間隔を好適に規制することが可能となる。
In the substrate bonding step, it is important to ensure the accuracy of alignment of the two substrates in the plane direction and to ensure the uniformity of the distance between the substrates. According to said method, after forming a columnar object in a 1st board | substrate and forming a recessed part in a 2nd board | substrate, in a bonding process, each columnar object of a 1st board | substrate is opposed to each specific columnar object of a 2nd board | substrate. It fits in combination with a specific recess formed at the position to be. As a result, delicate alignment in the planar direction of the pair of substrates can be performed naturally and accurately, and no positional shift can be caused, so that alignment can be performed efficiently.
Furthermore, the height defined by the relationship between the height of the columnar object and the shape of the recess (for example, the total height of the columnar object and the bottom surface of the recess) is designed according to the location of each. In addition, it is possible to suitably regulate the substrate interval by fitting the columnar object and the recess in the bonding step.

また、前記貼合工程において、前記第1基板と前記第2基板とはシール剤を介して貼り合わされるものであり、前記シール剤で囲まれた領域に液晶を満たす工程をさらに含み、前記柱状物形成工程及び前記凹部形成工程において、前記柱状物及び前記凹部を、前記シール剤の内側領域に形成する方法で製造することができる。
このような方法によると、液晶装置完成後に実際に画像が表示されるシール剤の内側領域における基板間隔の均一性を確保し易く表示むら等を防ぐことができるとともに、画像が表示される領域における基板間隔の設計値とのずれが生じないため、コントラスト等の表示特性が悪くなるという不具合を防ぐことが可能となる。
Moreover, in the said bonding process, the said 1st board | substrate and the said 2nd board | substrate are bonded together through a sealing agent, and further includes the process of filling a liquid crystal in the area | region enclosed with the said sealing agent, The said column shape In the object forming step and the concave portion forming step, the columnar object and the concave portion can be manufactured by a method of forming the inner region of the sealant.
According to such a method, it is easy to ensure the uniformity of the substrate interval in the inner region of the sealant where the image is actually displayed after completion of the liquid crystal device, and it is possible to prevent display unevenness and the like, and in the region where the image is displayed. Since a deviation from the design value of the substrate interval does not occur, it is possible to prevent a problem that display characteristics such as contrast are deteriorated.

さらに、前記貼合工程において、前記第1基板と前記第2基板とはシール剤を介して貼り合わされるものであり、前記シール剤で囲まれた領域に液晶を満たす工程をさらに含み、前記柱状物形成工程及び前記凹部形成工程において、前記柱状物及び前記凹部を、前記シール剤の外側領域に形成する方法で製造することができる。
このような方法によると、シール剤の外側領域には液晶を充填しないため、柱状物及び凹部の配設位置による液晶分子の配列の乱れ、及びそれに伴う表示品質への支障が生じるおそれが全くない。ゆえに、シール剤の外側領域においては、表示への影響を懸念せずに任意の場所に任意の数の柱状物及び凹部を配設することができるため、基板間隔の均一性をさらに向上させることが可能となる。
Furthermore, in the said bonding process, the said 1st board | substrate and the said 2nd board | substrate are bonded together through a sealing agent, and further includes the process of filling a liquid crystal in the area | region enclosed with the said sealing agent, The said columnar shape In the object forming step and the concave portion forming step, the columnar object and the concave portion can be manufactured by a method of forming the outer region of the sealant.
According to such a method, since the liquid crystal is not filled in the outer region of the sealant, there is no possibility that the alignment of the liquid crystal molecules is disturbed due to the positions of the columnar objects and the recesses, and the display quality is accordingly impaired. . Therefore, in the outer region of the sealant, since any number of columnar objects and recesses can be disposed at any place without concern for the influence on the display, the uniformity of the substrate interval can be further improved. Is possible.

また、前記第1基板又は前記第2基板のうちの一方の基板に、複数の着色層を平面配置したカラーフィルタを形成する工程をさらに含み、前記柱状物形成工程において、前記柱状物は、前記複数の着色層の一部若しくは全部を積層して形成する方法で製造することができる。
このような方法によると、カラーフィルタを形成する工程において、着色層と柱状物とを同じ工程内で形成することができ、かつ、柱状物を形成するために新たな材料を使用する必要がないため、製造工程を簡略化することが可能となる。
In addition, the method may further include a step of forming a color filter in which a plurality of colored layers are arranged in a plane on one of the first substrate and the second substrate. It can be manufactured by a method in which some or all of the plurality of colored layers are laminated.
According to such a method, in the process of forming the color filter, the colored layer and the columnar object can be formed in the same process, and there is no need to use a new material for forming the columnar object. Therefore, the manufacturing process can be simplified.

また、前記凹部形成工程は、前記第2基板に島状部を形成する工程と、前記島状部の表面を窪ませて凹部とする工程と、を含む工程とすることができる。
このような方法によると、任意の場所に島状部を形成し、さらにその表面を窪ませて凹部を形成することができるため、凹部を好適に形成することが可能となる。
Moreover, the said recessed part formation process can be made into the process including the process of forming an island-shaped part in the said 2nd board | substrate, and the process of making the surface of the said island-shaped part into a recessed part.
According to such a method, since the island-shaped portion can be formed at an arbitrary place and the surface of the island-shaped portion can be further recessed to form the concave portion, the concave portion can be preferably formed.

また、前記凹部形成工程において、前記凹部を、前記第2基板の一部を窪ませて形成する方法で製造することができる。
さらに、前記第2基板に対して、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に対して層間絶縁膜を介して接続された画素電極とを形成する工程を含み、前記凹部を、前記層間絶縁膜の一部が窪んだ状態で形成する方法で製造することができる。
Moreover, the said recessed part formation process WHEREIN: The said recessed part can be manufactured by the method of forming a part of said 2nd board | substrate indented.
The method further includes forming a switching element and a pixel electrode connected to the switching element via an interlayer insulating film on the second substrate, wherein the recess is formed in a part of the interlayer insulating film. It can manufacture by the method of forming in the state which depressed.

このような方法によると、凹部を形成するために新たな材料を使用する必要がないため、製造工程を簡略化することが可能となる。さらに、一対の基板のアライメントを行う際の粗合わせ後、通常形成する層の一部が窪んだ形状であるから突起となるものがなく、一方の基板を平行移動してアライメントしても柱状物が凹部の外周壁に接触することがないため、基板をスムーズに移動させることができ、アライメントを効率良く行うことが可能となる。   According to such a method, it is not necessary to use a new material in order to form the recess, so that the manufacturing process can be simplified. In addition, after rough alignment when aligning a pair of substrates, a part of the layer that is normally formed has a recessed shape, so there is no protrusion, and even if one substrate is translated and aligned, a columnar object Does not contact the outer peripheral wall of the recess, the substrate can be moved smoothly, and alignment can be performed efficiently.

また、本発明の液晶装置用基板は、上記課題を解決するために、一対の基材よりなる液晶装置用基板であって、前記基材のうち一方の基材には、当該基材面から突出する柱状物が形成される一方、他方の基材には凹部が形成され、前記柱状物が前記凹部に嵌め込まれた状態で、前記一対の基材の間隔が規制可能とされるとともに、当該柱状物と凹部との組み合わせにより、前記一対の基材が平面方向で位置合わせ可能とされることを特徴とする。   Moreover, in order to solve the said subject, the board | substrate for liquid crystal devices of this invention is a board | substrate for liquid crystal devices which consists of a pair of base material, Comprising: From the said base material surface to one base material among the said base materials While the protruding columnar object is formed, a recess is formed in the other base material, and the interval between the pair of base materials can be regulated in a state where the columnar object is fitted in the recess. The pair of base materials can be aligned in a planar direction by a combination of a columnar object and a concave portion.

このような液晶装置用基板によると、一対の基材のうち一方の基材に形成された柱状物が、他方基材に形成された凹部に嵌め込まれる構成となっているため、柱状物の高さと凹部の形状との関係により規定される高さ(例えば、柱状物の高さと凹部の底面の高さとを合計した高さ)をそれぞれの配設場所に応じて設計しておくことで、基材間隔を好適に規制することが可能となる。   According to such a substrate for a liquid crystal device, since the columnar object formed on one of the pair of substrates is fitted into the recess formed on the other substrate, the height of the columnar object is increased. By designing the height defined by the relationship between the height of the recess and the shape of the recess (for example, the sum of the height of the columnar object and the height of the bottom surface of the recess) according to the location of each, It is possible to suitably regulate the material interval.

さらに、柱状物及び凹部は例えばフォトリソグラフィにより作製すると、高い位置精度にて任意の場所に、かつ、任意の形状で配置することができる。この特性を活かすことにより、柱状物の機能として、基材間隔の均一性の確保のみではなく、位置合わせ機能をも付与することができる構成としている。具体的には、柱状物と凹部の嵌め込みにより、一対の基材の平面方向での位置関係が自ずと規制される構成となっている。ゆえに、柱状物を、他方の基材に形成された凹部のうち、それぞれ特定の柱状物と対向すべき位置に形成された特定の凹部と組み合わせて嵌め込むことで、一対の基材の平面方向での微妙な位置関係さえも自然と規制され、かつ、位置ずれを起こすこともないため、アライメントを効率良く行うことが可能となる。   Furthermore, if the columnar object and the concave portion are produced by, for example, photolithography, the columnar object and the concave portion can be arranged at an arbitrary position and in an arbitrary shape with high positional accuracy. By making use of this characteristic, the columnar object can be provided not only with the uniformity of the base material interval but also with an alignment function. Specifically, the positional relationship in the planar direction of the pair of base materials is naturally regulated by fitting the columnar object and the recess. Therefore, by inserting the columnar object in combination with the specific concave portion formed at the position to be opposed to the specific columnar shape among the concave portions formed on the other base material, the planar direction of the pair of base materials Even the subtle positional relationship in is naturally regulated and does not cause a positional shift, so that the alignment can be performed efficiently.

また、本発明の液晶装置用基板は、前記一対の基材には、シール剤を形成するシール剤形成領域を含み、前記柱状物及び前記凹部は、前記シール剤形成領域の内側に配設されてなることを特徴とする。
これにより、一対の基材を貼り合わせて製造される液晶装置において、実際に画像が表示されるシール剤形成領域の内側における基材間隔の均一性を確保し易いため、表示むら等を防ぐことができるとともに、画像が表示される領域における基材間隔の設計値とのずれが生じないため、コントラスト等の表示特性が悪くなるという不具合を防ぐことが可能となる。
In the substrate for a liquid crystal device of the present invention, the pair of base materials includes a sealant forming region for forming a sealant, and the columnar object and the recess are disposed inside the sealant forming region. It is characterized by.
As a result, in a liquid crystal device manufactured by bonding a pair of base materials, it is easy to ensure the uniformity of the base material interval inside the sealant forming region where an image is actually displayed, thereby preventing display unevenness and the like. In addition, since there is no deviation from the design value of the base material interval in the area where the image is displayed, it is possible to prevent a problem that display characteristics such as contrast deteriorate.

さらに、本発明の液晶装置用基板は、前記一対の基材には、シール剤を形成するシール剤形成領域を含み、前記柱状物及び前記凹部は、前記シール剤形成領域の外側に配設されてなることを特徴とする。
これにより、一対の基材を貼り合わせて製造される液晶装置において、シール剤形成領域の外側には液晶を充填しないため、柱状物及び凹部の配設位置による液晶分子の配列の乱れ、及びそれに伴う表示品質への支障が生じるおそれが全くない。ゆえにシール剤形成領域の外側においては、表示への影響を懸念せずに任意の場所に任意の数の柱状物及び凹部を配設することが可能となる。
Furthermore, in the substrate for a liquid crystal device of the present invention, the pair of base materials includes a sealant forming region for forming a sealant, and the columnar object and the recess are disposed outside the sealant forming region. It is characterized by.
As a result, in a liquid crystal device manufactured by bonding a pair of base materials, liquid crystal is not filled outside the sealing agent forming region. There is no risk of any accompanying display quality problems. Therefore, it is possible to dispose any number of columnar objects and recesses at any location outside the sealant forming region without concern about the influence on the display.

さらに、本発明の液晶装置用基板は、前記一対の基材には、シール剤を形成するシール剤形成領域と、当該シール剤形成領域の外側であって、前記一対の基材を貼り合わせた後に切り捨てられる領域である周辺領域とを含み、前記柱状物及び前記凹部は、前記周辺領域に配設されてなることを特徴とする。
これにより、周辺領域は貼り合わせ後に切り捨てられる領域であるから、液晶装置としての性能への影響を懸念せずに任意の場所に任意の数の柱状物及び凹部を配設することが可能となる。
Furthermore, in the substrate for a liquid crystal device of the present invention, the pair of base materials are bonded to the pair of base materials, the sealing agent forming region for forming the sealing agent and the outside of the sealing agent forming region. And a peripheral region that is a region to be cut off later, and the columnar object and the concave portion are arranged in the peripheral region.
Thus, since the peripheral region is a region that is cut off after bonding, it is possible to dispose any number of columnar objects and recesses in any location without concern for the performance of the liquid crystal device. .

本発明によると、簡便な構成と簡便な方法で、一対の基板のアライメントを高効率で行うことができるとともに、当該一対の基板間隔を好適に規制することが可能となる。   According to the present invention, a pair of substrates can be aligned with high efficiency with a simple configuration and a simple method, and the distance between the pair of substrates can be suitably regulated.

<実施形態1>
本発明の実施形態1を図1ないし図7を参照して説明する。
まず、液晶パネルを備える液晶装置の構造について説明する。液晶装置10は、図1及び図2に示すように、液晶パネル11と、液晶パネル11の裏側(図2に示す下側)に配される外部光源であるバックライト12とを表側(図2に示す上側)から被せたベゼル13により組み付け状態に保持した構成とされる。
<Embodiment 1>
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the structure of a liquid crystal device including a liquid crystal panel will be described. 1 and 2, the liquid crystal device 10 includes a liquid crystal panel 11 and a backlight 12 that is an external light source disposed on the back side (lower side shown in FIG. 2) of the liquid crystal panel 11 (see FIG. 2). It is set as the structure hold | maintained in the assembly | attachment state by the bezel 13 covered from the upper side.

バックライト12は、表側(液晶パネル11側)に向けて開口した略箱型をなすケース14と、ケース14内に互いに平行に並んだ状態で収容される複数本の線状光源15(例えば冷陰極管)と、ケース14の開口部に積層した状態で配される複数の光学シート16(例えば裏側から順に拡散板、拡散シート、レンズシート、及び輝度上昇シート)と、これら光学シート16群をケース14との間で挟んで保持するための略枠状をなすフレーム17とから構成される。各光学シート16は、各線状光源15から発せられる光を面状に変換するなどの機能を有する。   The backlight 12 includes a case 14 having a substantially box shape that opens toward the front side (the liquid crystal panel 11 side), and a plurality of linear light sources 15 (for example, cold lights) accommodated in the case 14 in a state of being arranged in parallel with each other. A plurality of optical sheets 16 (for example, a diffusion plate, a diffusion sheet, a lens sheet, and a brightness enhancement sheet in order from the back side), and a group of these optical sheets 16. The frame 17 is formed in a substantially frame shape to be held between the case 14 and the case 14. Each optical sheet 16 has a function of converting light emitted from each linear light source 15 into a planar shape.

液晶パネル11は、大まかには、全体として矩形状をなしており、一対の透明なガラス製の基板18,19を備えている。両基板18,19は、互いに対向して配され、その間に電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶20と、詳しくは後記する柱状物40及び凹部50(図3参照)とを介在させつつ、その周囲がシール剤21によって封止されている。両基板18,19は、柱状物40、凹部50及びシール剤21によって間に所定のギャップ(基板間隔)を空けた状態で保持される。また、両基板18,19の外面側には、それぞれ表裏一対の偏光板22,23が貼り付けられている。   The liquid crystal panel 11 generally has a rectangular shape as a whole, and includes a pair of transparent glass substrates 18 and 19. The two substrates 18 and 19 are arranged opposite to each other, and a liquid crystal 20 that is a substance whose optical characteristics change with application of an electric field therebetween, and a columnar object 40 and a recess 50 (see FIG. 3) described later in detail. The periphery is sealed with a sealing agent 21 while being interposed. The two substrates 18 and 19 are held by the columnar object 40, the recess 50 and the sealant 21 with a predetermined gap (interval between the substrates) therebetween. In addition, a pair of front and back polarizing plates 22 and 23 are attached to the outer surface sides of the substrates 18 and 19, respectively.

両基板18,19は、表側がCF基板18とされ、裏側がアレイ基板19とされる。アレイ基板19の内面側(液晶20側、CF基板18との対向面側)には、図3に示すように、スイッチング素子24(例えば、TFT)が多数個設けられ、当該スイッチング素子24には層間絶縁膜25を介してITO(Indium Tin Oxide)からなる画素電極26が接続されている。画素電極26の表面には、CF基板18との対向面側に窪みを有する凹部50が形成されている。さらに、画素電極26及び凹部50の表面には、配向膜27が形成されている。   The two substrates 18 and 19 have a CF substrate 18 on the front side and an array substrate 19 on the back side. As shown in FIG. 3, a large number of switching elements 24 (for example, TFTs) are provided on the inner surface side of the array substrate 19 (the liquid crystal 20 side and the surface facing the CF substrate 18). A pixel electrode 26 made of ITO (Indium Tin Oxide) is connected through an interlayer insulating film 25. On the surface of the pixel electrode 26, a recess 50 having a recess on the side facing the CF substrate 18 is formed. Further, an alignment film 27 is formed on the surface of the pixel electrode 26 and the recess 50.

一方、CF基板18には、アレイ基板19側の各画素電極26に対応した位置にカラーフィルタ31が多数個並んで設けられている。カラーフィルタ31は、第1着色層31Aと第2着色層31Bと第3着色層31Cとを備えている。また、隣接するカラーフィルタ31間には、遮光膜32(ブラックマトリクス)が形成され、各カラーフィルタ31が区画される。これらカラーフィルタ31と遮光膜32との表面にはITOからなる対向電極33が形成されている。さらに、対向電極33の内面側には柱状物40が設けられ、当該柱状物40は、カラーフィルタ31と遮光膜32との重なる位置に配され、対向するアレイ基板19側に設けられた凹部50に嵌め込まれた状態となっている。さらに対向電極33及び柱状物40の表面には、配向膜34が形成されている。なお、柱状物40は例えば3つの着色層31A,31B,31Cからなる画素を基準として、当該画素4つに対して3つ設けられる態様で形成されている。   On the other hand, a large number of color filters 31 are arranged on the CF substrate 18 at positions corresponding to the pixel electrodes 26 on the array substrate 19 side. The color filter 31 includes a first colored layer 31A, a second colored layer 31B, and a third colored layer 31C. Further, a light shielding film 32 (black matrix) is formed between adjacent color filters 31, and each color filter 31 is partitioned. A counter electrode 33 made of ITO is formed on the surfaces of the color filter 31 and the light shielding film 32. Further, a columnar object 40 is provided on the inner surface side of the counter electrode 33, and the columnar object 40 is disposed at a position where the color filter 31 and the light shielding film 32 overlap with each other, and the concave portion 50 provided on the facing array substrate 19 side. It is in a state fitted in. Further, an alignment film 34 is formed on the surfaces of the counter electrode 33 and the columnar object 40. The columnar object 40 is formed in such a manner that, for example, three columns are provided for four pixels with reference to a pixel composed of three colored layers 31A, 31B, and 31C.

ここで、柱状物40及び凹部50の構成について図3を参照して詳細に説明する。柱状物40及び凹部50は、共に絶縁材料を素材として形成されている。絶縁材料としては、感光性樹脂の他、窒化ケイ素等の無機材料を用いることができる。凹部50は、例えば直方体等の箱型をなした島状部51に形成されており、当該島状部51の上面から高さ方向(基板間隔方向)に対して半分相当の深さの窪みを有している。凹部50の窪みは、入り口は円形をなしており、底面に向かって徐々に内径が小さくなる、所謂すり鉢型の形状をなしている。凹部50の表面には配向膜27が形成されている。   Here, the structure of the columnar object 40 and the recessed part 50 is demonstrated in detail with reference to FIG. Both the columnar object 40 and the recess 50 are formed using an insulating material as a raw material. As the insulating material, an inorganic material such as silicon nitride can be used in addition to the photosensitive resin. The concave portion 50 is formed in a box-shaped island-shaped portion 51 such as a rectangular parallelepiped, for example, and a recess having a depth corresponding to half from the upper surface of the island-shaped portion 51 in the height direction (substrate spacing direction). Have. The depression 50 has a circular shape at the entrance, and has a so-called mortar shape in which the inner diameter gradually decreases toward the bottom surface. An alignment film 27 is formed on the surface of the recess 50.

一方、柱状物40は、対向電極33の表面から垂直に延び、その先端にかけて外径が小さくされる略円柱状の形状をなしている。柱状物40の表面には配向膜34が形成されており、柱状物40と配向膜34とからなる端面の外径は、凹部50と配向膜27とからなる窪みの底面の内径と一致している。さらに、柱状物40の端面及び凹部50底面並びにこれらの表面に形成された配向膜34及び配向膜27とはそれぞれ平行関係にあるため、柱状物40の先端部と凹部50の底面とは配向膜27、34を介して隙間のないように嵌め込まれている。   On the other hand, the columnar object 40 has a substantially cylindrical shape that extends vertically from the surface of the counter electrode 33 and whose outer diameter decreases toward the tip. An alignment film 34 is formed on the surface of the columnar object 40, and the outer diameter of the end surface composed of the columnar object 40 and the alignment film 34 coincides with the inner diameter of the bottom surface of the recess composed of the recess 50 and the alignment film 27. Yes. Furthermore, since the end face of the columnar object 40 and the bottom surface of the recess 50 and the alignment film 34 and the alignment film 27 formed on these surfaces are in a parallel relationship, the tip of the columnar object 40 and the bottom surface of the recess 50 are aligned with each other. 27 and 34 are fitted so that there is no gap.

続いて、液晶装置10の製造方法について説明する。ここでは特に、当該製造方法のうち、柱状物形成工程を含むCF基板作成工程(図4及び図5参照)、凹部形成工程を含むアレイ基板作成工程(図6及び図7参照)、及び基板貼合工程について詳細に説明するものとする。   Next, a method for manufacturing the liquid crystal device 10 will be described. Here, in particular, among the manufacturing methods, a CF substrate creating process including a columnar object forming process (see FIGS. 4 and 5), an array substrate creating process including a recess forming process (see FIGS. 6 and 7), and substrate pasting The combined process will be described in detail.

まず、CF基板作成工程においては、図4に示すように、ガラス等の基材101Aを用意し、その基材101Aの表面に例えばフォトリソグラフィ法を用いて遮光膜32、第1着色層31A、第2着色層31B及び第3着色層31Cを順次形成する。
その後、図5に示すように、例えばスパッタリング法により、その表面に対向電極33を形成する。次に、柱状物40を形成するために、例えば感光性樹脂膜42を形成し、これを露光・現像することで所定パターンの柱状物40を形成する(柱状物形成工程)。最後に対向電極33及び柱状物40の表面に、配向膜34を形成してCF基板(液晶装置用基板)18が得られる。
First, in the CF substrate creation process, as shown in FIG. 4, a base material 101A such as glass is prepared, and the light shielding film 32, the first colored layer 31A, and the like are formed on the surface of the base material 101A using, for example, a photolithography method. The second colored layer 31B and the third colored layer 31C are sequentially formed.
After that, as shown in FIG. 5, the counter electrode 33 is formed on the surface by, for example, sputtering. Next, in order to form the columnar object 40, for example, the photosensitive resin film 42 is formed, and this is exposed and developed to form the columnar object 40 having a predetermined pattern (columnar object forming step). Finally, an alignment film 34 is formed on the surfaces of the counter electrode 33 and the columnar object 40 to obtain a CF substrate (substrate for a liquid crystal device) 18.

一方、アレイ基板作成工程においては、図6に示すように、上記の基材101Aとは別途に基材(同様にガラス等からなる)101Bを用意し、その基材101Bの表面に公知の方法によりTFT(薄膜トランジスタ)からなるスイッチング素子24を形成した後、例えばプラズマCVD法により基材101B及びスイッチング素子24の表面を覆うように層間絶縁膜25を形成する。さらに例えばスパッタリング法及びフォトリソグラフィ法によりその表面に画素電極26を形成する。次に、凹部50を形成するために、例えばスピンコート法等により感光性樹脂膜52を形成する。
続いて、図7に示すように、この感光性樹脂膜52に対して、所定パターンの露光及び現像を行って島状部51とした後、当該島状部51に対し凹部50となり得る位置にさらなる露光を行って凹部50を形成する(凹部形成工程)。最後に画素電極26及び凹部50(島状部51)の表面に、配向膜27を形成してアレイ基板(液晶装置用基板)19が得られる。
On the other hand, in the array substrate creating step, as shown in FIG. 6, a base material (similarly made of glass or the like) 101B is prepared separately from the base material 101A, and a known method is applied to the surface of the base material 101B. After forming the switching element 24 made of TFT (Thin Film Transistor) by the above, an interlayer insulating film 25 is formed so as to cover the surface of the base material 101B and the switching element 24 by, for example, a plasma CVD method. Further, the pixel electrode 26 is formed on the surface by, for example, sputtering and photolithography. Next, in order to form the recess 50, a photosensitive resin film 52 is formed by, for example, a spin coating method.
Subsequently, as shown in FIG. 7, the photosensitive resin film 52 is exposed and developed in a predetermined pattern to form an island-shaped portion 51, and then, at a position where the island-shaped portion 51 can be a recess 50. Further exposure is performed to form the recess 50 (recess formation step). Finally, an alignment film 27 is formed on the surface of the pixel electrode 26 and the recess 50 (island-like portion 51) to obtain the array substrate (liquid crystal device substrate) 19.

続いて基板貼合工程へと移行する。
上記のようにして得られたアレイ基板19を、凹部50の開口部が例えば上側を向くように固定する。次に、液晶装置完成後に実際に画像を表示することとなる領域の外縁部に、例えばスクリーン印刷によりシール剤21(図2参照)を配設する。続いてCF基板18を、柱状物40が下側を向く(凹部50と柱状物40とが対向する)ように吊り上げ、アレイ基板19の上方まで搬送し、両液晶装置用基板18,19の平面方向の位置を大まかに合わせ込む(粗合わせ)。続いて、CF基板18を平行方向に微振動させながら、アレイ基板19に押し付けるように徐々に圧力をかけていくと、CF基板18に設けられた各柱状物40が、アレイ基板19のそれぞれ特定の柱状物40と対向すべき位置に形成された特定の凹部50に嵌め込み可能となった位置で、自然と嵌め込まれる。柱状物40が凹部50に完全に嵌め込まれるまで圧力をかけた後、シール剤21を硬化させることで両液晶装置用基板18,19を貼り合わせる。
Then, it transfers to a board | substrate bonding process.
The array substrate 19 obtained as described above is fixed so that the opening of the recess 50 faces upward, for example. Next, a sealant 21 (see FIG. 2) is disposed, for example, by screen printing on the outer edge of a region where an image is actually displayed after completion of the liquid crystal device. Subsequently, the CF substrate 18 is lifted so that the columnar object 40 faces downward (the concave portion 50 and the columnar object 40 face each other), and is transported to above the array substrate 19, and the planes of the substrates 18 and 19 for both liquid crystal devices. Roughly adjust the position of the direction (rough alignment). Subsequently, when the pressure is gradually applied to the array substrate 19 while slightly vibrating the CF substrate 18 in the parallel direction, each columnar object 40 provided on the CF substrate 18 identifies each of the array substrates 19. It is naturally fitted at a position where it can be fitted into a specific recess 50 formed at a position to be opposed to the columnar object 40. After applying pressure until the columnar object 40 is completely fitted in the recess 50, the sealing agent 21 is cured to bond the substrates 18 and 19 for both liquid crystal devices together.

その後、所定のサイズにて液晶パネル11を得るべく分断を行い、注入口(図示せず)から液晶20を注入し、その他、偏光板22,23を貼り付け、駆動回路等を接続して液晶パネル11を作製する。さらに、液晶パネル11に対して図1に示すようなバックライト12を付与することで、液晶装置10が作製される。   Thereafter, the liquid crystal panel 11 is divided to obtain a predetermined size, the liquid crystal 20 is injected from an injection port (not shown), and additionally, polarizing plates 22 and 23 are attached, and a drive circuit and the like are connected to connect the liquid crystal. Panel 11 is produced. Further, the liquid crystal device 10 is manufactured by applying the backlight 12 as shown in FIG.

以上説明したように、本実施形態によれば、CF基板18及びアレイ基板19上に、それぞれ柱状物40及び凹部50がフォトリソグラフィ法により位置精度良く配設されている。そして、CF基板18とアレイ基板19の平面方向での位置合わせの際に、各柱状物40が、それぞれ特定の柱状物40と対向すべき位置に形成された特定の凹部50に嵌め込み可能となった位置で、自然と嵌め込まれる。その結果、基板貼合工程において、これまで時間を要していた両基板18,19の平面方向のアライメントは、非常に精度良く、かつ、短時間にて行うことができる。   As described above, according to the present embodiment, the columnar object 40 and the recess 50 are disposed on the CF substrate 18 and the array substrate 19 with high positional accuracy by the photolithography method, respectively. When the CF substrate 18 and the array substrate 19 are aligned in the planar direction, each columnar object 40 can be fitted into a specific recess 50 formed at a position that should face the specific columnar object 40. It fits naturally in the different positions. As a result, in the substrate bonding step, the alignment in the planar direction of the two substrates 18 and 19 which has been time-consuming so far can be performed with very high accuracy and in a short time.

しかも、柱状物40と凹部50とは、プラズマCVD法及びフォトリソグラフィ法により寸法精度良く作製されている。その結果、柱状物40と凹部50とを嵌め込むことにより生じる高さもまた寸法精度の良いものとなっているため、柱状物40と凹部50との嵌め込みによるものはスペーサとしての機能を有する。ゆえに、基板貼合工程において、柱状物40と凹部50との嵌め込みより規定される高さ、すなわちCF基板18とアレイ基板19との基板間隔は精度良く得ることができ、容易に基板間隔の均一性を確保することができる。   Moreover, the columnar object 40 and the recess 50 are produced with high dimensional accuracy by a plasma CVD method and a photolithography method. As a result, since the height generated by fitting the columnar object 40 and the recess 50 is also good in dimensional accuracy, the thing due to the fitting of the columnar object 40 and the recess 50 has a function as a spacer. Therefore, in the substrate bonding step, the height defined by the fitting of the columnar object 40 and the recess 50, that is, the substrate interval between the CF substrate 18 and the array substrate 19 can be obtained with high accuracy, and the substrate interval can be easily uniform. Sex can be secured.

このようにして、CF基板18及びアレイ基板19にそれぞれ柱状物40及び凹部50を設けるという簡便な構成により、両液晶装置用基板18,19のアライメントを高効率で行うことができるとともに、その基板間隔を好適に規制することが可能な構成を具備した液晶装置10を提供することが可能となる。   In this way, with the simple configuration of providing the columnar object 40 and the recess 50 on the CF substrate 18 and the array substrate 19, respectively, the alignment of the substrates 18 and 19 for both liquid crystal devices can be performed with high efficiency, and the substrate. It is possible to provide the liquid crystal device 10 having a configuration capable of suitably regulating the interval.

<実施形態2>
本発明の実施形態2について図8ないし図11を参照して説明する。前記実施形態1との相違は、柱状物及び凹部の構成を変更したところにあり、その他は前記実施形態と同様である。前記実施形態と同一部分には、同一符号を付して重複する説明を省略する。
<Embodiment 2>
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The difference from the first embodiment is that the configuration of the columnar object and the concave portion is changed, and the others are the same as in the first embodiment. The same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

柱状物60は、略円柱状の形状をなしており、カラーフィルタ61を構成する例えば赤色の第1着色層61Aと、例えば緑色の第2着色層61Bと、例えば青色の第3着色層61Cとが積層することにより形成されてなる。このような柱状物60は以下のように形成することができる。図9に示すように、基材102Aの表面に遮光膜32及び第1着色層61Aを形成後、第2着色層用樹脂膜62Bを形成する。続いて、この第2着色層用樹脂膜62Bに対して、所定パターンの露光及び現像を行うと、第1着色層61Aと平面配列する第2着色層61Bとともに、遮光膜32と第1着色層61Bとの重なる特定の部分にも第2着色層61Bを形成することができる。
さらに、図10に示すように、同様にして第3着色層用樹脂膜62Cを形成した後、所定パターンの露光及び現像を行うと、第1着色層61A及び第2着色層61Bと平面配列する第3着色層61Cとともに、遮光膜32と第1着色層61Aと第2着色層61Bとの重なる部分にも第3着色層61Cを形成することができる。その後、対向電極33及び配向膜34を形成することにより、柱状物60を得ることができる。
The columnar object 60 has a substantially cylindrical shape, and includes, for example, a red first colored layer 61A, a green second colored layer 61B, and a blue third colored layer 61C that form the color filter 61, for example. Are formed by laminating. Such a columnar object 60 can be formed as follows. As shown in FIG. 9, after forming the light shielding film 32 and the first colored layer 61A on the surface of the substrate 102A, the second colored layer resin film 62B is formed. Subsequently, when this second colored layer resin film 62B is exposed and developed in a predetermined pattern, the light-shielding film 32 and the first colored layer together with the second colored layer 61B arranged in a plane with the first colored layer 61A. The second colored layer 61B can also be formed in a specific portion overlapping with 61B.
Further, as shown in FIG. 10, after the third colored layer resin film 62C is formed in the same manner, when a predetermined pattern of exposure and development is performed, the first colored layer 61A and the second colored layer 61B are planarly arranged. In addition to the third colored layer 61C, the third colored layer 61C can be formed in a portion where the light shielding film 32, the first colored layer 61A, and the second colored layer 61B overlap. Then, the columnar object 60 can be obtained by forming the counter electrode 33 and the alignment film 34.

一方、凹部70は、円形の入り口から底面に向かって徐々に内径が小さくなる、所謂すり鉢型の形状をなしており、層間絶縁膜75に設けられた窪みとして形成されてなる。このような凹部70は、以下のように形成することができる。図11に示すように、基材102Bの表面にスイッチング素子24及び層間絶縁膜75を形成する。その層間絶縁膜75に所定パターンの露光及び現像を行ってすり鉢状の窪みを形成する。その後、画素電極26及び配向膜27を形成することにより、凹部70を得ることができる。   On the other hand, the recess 70 has a so-called mortar shape in which the inner diameter gradually decreases from the circular entrance toward the bottom surface, and is formed as a recess provided in the interlayer insulating film 75. Such a recess 70 can be formed as follows. As shown in FIG. 11, the switching element 24 and the interlayer insulating film 75 are formed on the surface of the base material 102B. The interlayer insulating film 75 is exposed to a predetermined pattern and developed to form a mortar-shaped depression. Thereafter, the recess 70 can be obtained by forming the pixel electrode 26 and the alignment film 27.

本実施形態では、柱状物60は各着色層61A,61B,61Cが積層して形成されており、かつ、凹部70は層間絶縁膜75が窪んだ状態で形成されている。このような構成とすることにより、柱状物60及び凹部70を形成するために新たな材料を使用する必要がないため、製造工程を簡略化することができる。
また、凹部70は層間絶縁膜75が窪んだ状態で形成されているため、凹部70の周囲に突起となるものがない。ゆえに、基板貼合工程において、CF基板18を平行移動してアライメントしても柱状物60が凹部70の外周壁に接触することがないため、CF基板18をスムーズに移動させることができ、アライメントを効率良く行うことが可能となる。
In this embodiment, the columnar object 60 is formed by laminating colored layers 61A, 61B, and 61C, and the recess 70 is formed in a state where the interlayer insulating film 75 is depressed. By adopting such a configuration, it is not necessary to use a new material to form the columnar object 60 and the concave portion 70, so that the manufacturing process can be simplified.
Further, since the recess 70 is formed with the interlayer insulating film 75 depressed, there is no protrusion around the recess 70. Therefore, in the substrate bonding step, even if the CF substrate 18 is translated and aligned, the columnar object 60 does not come into contact with the outer peripheral wall of the recess 70, so that the CF substrate 18 can be moved smoothly and aligned. Can be performed efficiently.

<実施形態3>
本発明の実施形態3について図12及び図13を参照して説明する。前記実施形態1,2との相違は、柱状物及び凹部の構成及び配置を変更したところにあり、その他は前記実施形態と同様である。前記実施形態と同一部分には、同一符号を付して重複する説明を省略する。
<Embodiment 3>
Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIGS. The difference from the first and second embodiments is that the configuration and arrangement of the columnar object and the concave portion are changed, and the others are the same as in the first embodiment. The same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図12に示すように、液晶パネル11は、画素電極26等が配置されていて画像を表示可能とされる画面中央の表示領域AAと、この表示領域AAの外側を取り囲む額縁状をなして、画像を表示しない額縁領域NAとを備える。表示領域AAと額縁領域NAとの境界位置は、シール剤21が形成された位置とほぼ一致している。   As shown in FIG. 12, the liquid crystal panel 11 has a display area AA at the center of the screen on which the pixel electrode 26 and the like are arranged so that an image can be displayed, and a frame shape surrounding the outside of the display area AA. And a frame area NA that does not display an image. The boundary position between the display area AA and the frame area NA substantially coincides with the position where the sealing agent 21 is formed.

表示領域AAには、上記した実施形態2と同様の柱状物60及び凹部70が設けられている。
一方、額縁領域NAには、柱状物80及び凹部90が設けられている。柱状物80は、遮光膜32と同じ素材よりなる第1樹脂膜82と、各着色層61A,61B,61Cとそれぞれ同じ素材よりなる第2樹脂膜83Aと第3樹脂膜83Bと第4樹脂膜83Cとの積層により形成されてなる。一方、凹部90は、層間絶縁膜75と同じ素材よりなる島状部91の上面が窪んだ状態で形成されてなる。
In the display area AA, the columnar object 60 and the concave portion 70 similar to those in the second embodiment are provided.
On the other hand, a columnar object 80 and a recess 90 are provided in the frame area NA. The columnar object 80 includes a first resin film 82 made of the same material as the light shielding film 32, a second resin film 83A, a third resin film 83B, and a fourth resin film made of the same material as the colored layers 61A, 61B, 61C, respectively. It is formed by lamination with 83C. On the other hand, the recess 90 is formed in a state where the upper surface of the island-shaped portion 91 made of the same material as the interlayer insulating film 75 is depressed.

ところで、本実施形態では、図13に示すように、1枚の基材103Aから4枚のCF基板18を得る構成としている。基材103Aは、液晶装置完成後に表示領域AAとなり得るシール剤形成領域内側AA1と、額縁領域NAとなり得るシール剤形成領域外側NA1と、さらに液晶装置には使用されないため切り捨てられる周辺領域PA1とからなる。なお、シール剤形成領域は図13の二点鎖線にて示す位置である。   By the way, in this embodiment, as shown in FIG. 13, it is set as the structure which obtains the four CF board | substrates 18 from the one base material 103A. The base material 103A includes a sealant forming area inside AA1 that can become the display area AA after completion of the liquid crystal device, a sealant forming area outside NA1 that can become the frame area NA, and a peripheral area PA1 that is cut off because it is not used in the liquid crystal device. Become. Note that the sealant forming region is a position indicated by a two-dot chain line in FIG.

シール剤形成領域内側AA1には柱状物60が形成され、シール剤形成領域外側NA1と周辺領域PA1との領域には、柱状物80が形成されている。柱状物80を構成する各樹脂膜82,83A,83B,83Cは、それぞれシール剤形成領域内側AA1の遮光膜32および各着色層61A,61B,61Cの形成時に、同時に所定パターンの露光及び現像を行うことにより形成される。なお、柱状物60と柱状物80との高さの合致は、例えばスリットマスクを用いて露光量を調整することにより容易に行うことが可能である。   A columnar object 60 is formed in the sealant forming area inside AA1, and a columnar object 80 is formed in the area between the sealant forming area outside NA1 and the peripheral area PA1. The resin films 82, 83A, 83B, and 83C constituting the columnar object 80 are exposed and developed in a predetermined pattern at the same time when the light shielding film 32 and the colored layers 61A, 61B, and 61C in the sealant forming area inside AA1 are formed. It is formed by doing. The height matching between the columnar object 60 and the columnar object 80 can be easily performed by adjusting the exposure amount using, for example, a slit mask.

一方、異なる基材103Bからは4枚のアレイ基板19を得る構成としている(図示せず)。シール形成領域内側AA1には柱状物60と対向する位置に凹部70が形成され、シール剤形成領域外側NA1と周辺領域PA1との領域には、柱状物80と対向する位置に凹部90が形成されている。凹部90を備える島状部91は、シール剤形成領域内側AA1の層間絶縁膜75の形成時に、同時に所定パターンの露光及び現像を行うことにより形成される。さらに当該島状部91に対して凹部90となり得る位置にさらなる露光を行って凹部90を形成する。なお、凹部70と凹部90との高さの合致は、例えばスリットマスクを用いて露光量を調整することにより容易に行うことが可能である。   On the other hand, four array substrates 19 are obtained from different base materials 103B (not shown). A recess 70 is formed in the seal formation area inside AA1 at a position facing the columnar object 60, and a recess 90 is formed in a position between the sealant formation area outside NA1 and the peripheral area PA1 at a position facing the columnar object 80. ing. The island-like portion 91 including the concave portion 90 is formed by performing exposure and development of a predetermined pattern at the same time when the interlayer insulating film 75 in the sealant forming region inner side AA1 is formed. Further, the recess 90 is formed by further exposing the island-shaped portion 91 at a position where it can become the recess 90. Note that the height matching between the recess 70 and the recess 90 can be easily performed by adjusting the exposure amount using, for example, a slit mask.

以上説明したように、本実施形態では、基材のシール剤形成領域内側AA1には柱状物60及び凹部70を配設して、また、シール剤形成領域外側NA1及び周辺領域PA1には柱状物80及び凹部90を配設する構成となっている。これにより、シール剤形成領域外側NA1及び周辺領域PA1には液晶20を充填しないため、柱状物80及び凹部90の配設位置による液晶分子の配列の乱れ、またそれに伴う表示品質への支障が生じるおそれが全くない。ゆえに、シール剤形成領域外側NA1及び周辺領域PA1には、表示への影響を懸念せずに任意の場所に任意の数の柱状物80及び凹部90を好適に配設することが可能となる。   As described above, in the present embodiment, the columnar object 60 and the concave portion 70 are disposed in the sealant forming area inside AA1 of the base material, and the columnar object is disposed in the sealant forming area outer side NA1 and the peripheral area PA1. 80 and the recessed part 90 are arrange | positioned. Accordingly, the liquid crystal 20 is not filled in the sealant forming area outside NA1 and the peripheral area PA1, so that the arrangement of the liquid crystal molecules is disturbed due to the positions where the columnar objects 80 and the recesses 90 are disposed, and the display quality is accordingly impaired. There is no fear. Therefore, it is possible to suitably dispose any number of columnar objects 80 and recesses 90 in any place in the sealant forming area outside NA1 and the peripheral area PA1 without worrying about the influence on the display.

本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

上記した実施形態では、CF基板18に柱状物40、アレイ基板19に凹部50を設ける構成としたが、逆にCF基板18に凹部50を設け、アレイ基板19に柱状物40を設ける構成としても良い。   In the above-described embodiment, the CF substrate 18 is provided with the columnar object 40 and the array substrate 19 is provided with the recess 50. However, conversely, the CF substrate 18 may be provided with the recess 50 and the array substrate 19 provided with the columnar object 40. good.

上記した実施形態では、柱状物40を略円柱型とし凹部50を底面が円形のすり鉢型としたが、それぞれの形状はこれに限らず、任意の形状として良い。ただし、柱状物40の端部の外径と凹部50の底面の内径とが一致しており、隙間無く嵌め込むことが可能な形状とする必要がある。   In the above-described embodiment, the columnar object 40 is a substantially cylindrical shape, and the recess 50 is a mortar shape having a circular bottom surface, but each shape is not limited to this, and may be any shape. However, the outer diameter of the end of the columnar object 40 and the inner diameter of the bottom surface of the recess 50 are the same, and it is necessary to have a shape that can be fitted without a gap.

上記した実施形態では、柱状物60を3種の着色層61A,61B,61Cを全て積層してなる構成としたが、これに限らず、例えば第1着色層61Aのみ等、一部の着色層よりなる構成としても良い。   In the above-described embodiment, the columnar object 60 is configured by laminating all three types of colored layers 61A, 61B, and 61C. However, the present invention is not limited to this, and some colored layers such as only the first colored layer 61A are used. It is good also as a structure which consists of.

上記した実施形態では、凹部70は層間絶縁膜75が窪んだ状態で形成されてなるものとしたが、これに限らず、任意の膜が窪んだ状態で形成されてなるものとしても良い。   In the above-described embodiment, the recess 70 is formed with the interlayer insulating film 75 depressed. However, the present invention is not limited to this, and the recess 70 may be formed with any film depressed.

上記した実施形態では、柱状物80及び凹部90をシール剤形成領域外側NA1及び周辺領域PA1に配設したが、柱状物80及び凹部90を配設する領域は任意の領域のみでも良く、又は任意の領域の組み合わせとしても良い。   In the above-described embodiment, the columnar object 80 and the concave portion 90 are disposed in the sealant forming region outer side NA1 and the peripheral region PA1, but the region in which the columnar object 80 and the concave portion 90 are disposed may be only an arbitrary region or an arbitrary region. A combination of these areas may be used.

上記した実施形態では、スイッチング素子24としてTFTを用いたが、例えばTFD(薄膜ダイオード)を用いた液晶装置にも本発明は適用可能である。また、カラー表示する液晶装置以外にも、白黒表示する液晶装置にも本発明は適用可能である。   In the above-described embodiment, the TFT is used as the switching element 24. However, the present invention is also applicable to a liquid crystal device using, for example, a TFD (thin film diode). Further, the present invention can be applied to a liquid crystal device for monochrome display in addition to a liquid crystal device for color display.

本発明の実施形態1に係る液晶装置の概略構成を示す斜視図。1 is a perspective view showing a schematic configuration of a liquid crystal device according to Embodiment 1 of the present invention. 図1の液晶装置の概略構成を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of the liquid crystal device of FIG. 1. 図1の液晶装置の要部構成(液晶パネルの一部)を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a main configuration (a part of a liquid crystal panel) of the liquid crystal device of FIG. 1. 図1の液晶装置の製造方法について一工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows 1 process about the manufacturing method of the liquid crystal device of FIG. 図1の液晶装置の製造方法について一工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows 1 process about the manufacturing method of the liquid crystal device of FIG. 図1の液晶装置の製造方法について一工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows 1 process about the manufacturing method of the liquid crystal device of FIG. 図1の液晶装置の製造方法について一工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows 1 process about the manufacturing method of the liquid crystal device of FIG. 本発明の実施形態2に係る液晶装置の要部構成(液晶パネルの一部)を示す断面図。Sectional drawing which shows the principal part structure (part of liquid crystal panel) of the liquid crystal device which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図8の液晶装置の製造方法について一工程を示す説明図。FIG. 9 is an explanatory view showing one step in the method for manufacturing the liquid crystal device of FIG. 8. 図8の液晶装置の製造方法について一工程を示す説明図。FIG. 9 is an explanatory view showing one step in the method for manufacturing the liquid crystal device of FIG. 8. 図8の液晶装置の製造方法について一工程を示す説明図。FIG. 9 is an explanatory view showing one step in the method for manufacturing the liquid crystal device of FIG. 8. 本発明の実施形態3に係る液晶装置の要部構成(液晶パネルの一部)を示す断面図。Sectional drawing which shows the principal part structure (part of liquid crystal panel) of the liquid crystal device which concerns on Embodiment 3 of this invention. 図12の液晶装置に係る液晶装置用基板の概略構成を示す平面図。The top view which shows schematic structure of the board | substrate for liquid crystal devices which concerns on the liquid crystal device of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10...液晶装置、18...CF基板(基板、液晶装置用基板)、19...アレイ基板(基板、液晶装置用基板)、20...液晶、21...シール剤、24...スイッチング素子、25,75...層間絶縁膜、26...画素電極、31,61...カラーフィルタ、31A,61A...第1着色層、31B,61B...第2着色層、31C,61C...第3着色層、40,60,80...柱状物、50,70,90...凹部、51,91...島状部、101A,101B,102A,102B,103A,103B...基材、AA...表示領域、NA...額縁領域、AA1...シール剤形成領域内側、NA1...シール剤形成領域外側、PA1...周辺領域   10 ... Liquid crystal device, 18 ... CF substrate (substrate, substrate for liquid crystal device), 19 ... Array substrate (substrate, substrate for liquid crystal device), 20 ... Liquid crystal, 21 ... Sealing agent, 24 ... switching element, 25, 75 ... interlayer insulating film, 26 ... pixel electrode, 31, 61 ... color filter, 31A, 61A ... first colored layer, 31B, 61B ... Second colored layer, 31C, 61C ... Third colored layer, 40, 60, 80 ... Columnar, 50, 70, 90 ... Recess, 51, 91 ... Island-like portion, 101A, 101B , 102A, 102B, 103A, 103B ... base material, AA ... display area, NA ... frame area, AA1 ... inside sealant forming area, NA1 ... outside sealant forming area, PA1. .. Surrounding area

Claims (18)

一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置であって、
前記一対の基板のうち一方の基板の前記液晶側には、当該基板面から突出する柱状物が形成される一方、他方の基板の前記液晶側には凹部が形成され、
前記柱状物が前記凹部に嵌め込まれた状態で、前記一対の基板の間隔が規制されるとともに、当該柱状物と凹部との組み合わせにより、前記一対の基板が平面方向で位置合わせされてなることを特徴とする液晶装置。
A liquid crystal device having a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates,
A columnar object protruding from the substrate surface is formed on the liquid crystal side of one of the pair of substrates, while a recess is formed on the liquid crystal side of the other substrate,
In a state where the columnar object is fitted in the recess, the distance between the pair of substrates is regulated, and the pair of substrates are aligned in a planar direction by a combination of the columnar object and the recess. A characteristic liquid crystal device.
表示領域と、当該表示領域の外側に設けられた額縁領域と、を備え、
前記柱状物及び前記凹部は、前記表示領域に配設されてなることを特徴とする請求項1に記載の液晶装置。
A display area, and a frame area provided outside the display area,
The liquid crystal device according to claim 1, wherein the columnar object and the recess are arranged in the display area.
表示領域と、当該表示領域の外側に設けられた額縁領域と、を備え、
前記柱状物及び前記凹部は、前記額縁領域に配設されてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液晶装置。
A display area, and a frame area provided outside the display area,
The liquid crystal device according to claim 1, wherein the columnar object and the concave portion are arranged in the frame region.
前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板には、複数の着色層を平面配置したカラーフィルタを備え、
前記柱状物は、前記複数の着色層の一部若しくは全部を積層して形成されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の液晶装置。
At least one of the pair of substrates includes a color filter in which a plurality of colored layers are arranged in a plane,
4. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the columnar body is formed by stacking a part or all of the plurality of colored layers. 5.
前記基板の前記液晶側に島状部が形成され、
前記凹部は、前記島状部の一部が窪んだ状態で形成されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の液晶装置。
An island is formed on the liquid crystal side of the substrate,
5. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the recess is formed in a state in which a part of the island-shaped portion is depressed.
前記凹部は、前記基板の一部が窪んだ状態で形成されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の液晶装置。   5. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the recess is formed in a state in which a part of the substrate is depressed. 前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板には、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に対して層間絶縁膜を介して接続された画素電極とを備え、
前記基板の一部が窪んだ状態は、前記層間絶縁膜の一部に形成された窪みに沿って形成されてなることを特徴とする請求項6に記載の液晶装置。
At least one of the pair of substrates includes a switching element and a pixel electrode connected to the switching element via an interlayer insulating film,
The liquid crystal device according to claim 6, wherein the state in which the part of the substrate is recessed is formed along a recess formed in a part of the interlayer insulating film.
第1基板に、当該基板面から突出する柱状物を形成する柱状物形成工程と、
第2基板に、前記柱状物を嵌め込むことが可能な凹部を形成する凹部形成工程と、
前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる貼合工程と、を含み、
前記貼合工程において、前記第1基板と前記第2基板との平面方向の位置合わせを前記柱状物と前記凹部との嵌め込みの組み合わせに基づいて行うとともに、前記第1基板と前記第2基板との基板間隔を前記柱状物と前記凹部との嵌め込み方向における相対位置関係により規制することを特徴とする液晶装置の製造方法。
A columnar object forming step of forming a columnar object protruding from the substrate surface on the first substrate;
A recess forming step of forming a recess capable of fitting the columnar object into the second substrate;
A bonding step of bonding the first substrate and the second substrate,
In the bonding step, the planar alignment of the first substrate and the second substrate is performed based on a combination of fitting of the columnar object and the recess, and the first substrate and the second substrate The method of manufacturing a liquid crystal device is characterized in that the substrate interval is regulated by the relative positional relationship in the fitting direction between the columnar object and the recess.
前記貼合工程において、前記第1基板と前記第2基板とはシール剤を介して貼り合わされるものであり、
前記シール剤で囲まれた領域に液晶を満たす工程をさらに含み、
前記柱状物形成工程及び前記凹部形成工程において、前記柱状物及び前記凹部を、前記シール剤の内側領域に形成することを特徴とする請求項8に記載の液晶装置の製造方法。
In the bonding step, the first substrate and the second substrate are bonded through a sealing agent,
A step of filling a liquid crystal in a region surrounded by the sealant;
9. The method of manufacturing a liquid crystal device according to claim 8, wherein in the columnar object forming step and the recess forming step, the columnar object and the recess are formed in an inner region of the sealant.
前記貼合工程において、前記第1基板と前記第2基板とはシール剤を介して貼り合わされるものであり、
前記シール剤で囲まれた領域に液晶を満たす工程をさらに含み、
前記柱状物形成工程及び前記凹部形成工程において、前記柱状物及び前記凹部を、前記シール剤の外側領域に形成することを特徴とする請求項8に記載の液晶装置の製造方法。
In the bonding step, the first substrate and the second substrate are bonded through a sealing agent,
A step of filling a liquid crystal in a region surrounded by the sealant;
9. The method of manufacturing a liquid crystal device according to claim 8, wherein in the columnar object forming step and the recess forming step, the columnar object and the recess are formed in an outer region of the sealant.
前記第1基板又は前記第2基板のうちの一方の基板に、複数の着色層を平面配置したカラーフィルタを形成する工程をさらに含み、
前記柱状物形成工程において、前記柱状物は、前記複数の着色層の一部若しくは全部を積層して形成することを特徴とする請求項8ないし請求項10のいずれか1項に記載の液晶装置の製造方法。
Forming a color filter in which a plurality of colored layers are arranged in a plane on one of the first substrate and the second substrate;
11. The liquid crystal device according to claim 8, wherein in the columnar object forming step, the columnar object is formed by stacking a part or all of the plurality of colored layers. Manufacturing method.
前記凹部形成工程は、前記第1基板又は第2基板のうちの一方の基板に島状部を形成する工程と、前記島状部の表面を窪ませて凹部とする工程と、を含むことを特徴とする請求項8ないし請求項11のいずれか1項に記載の液晶装置の製造方法。   The recess forming step includes a step of forming an island-shaped portion on one of the first substrate and the second substrate, and a step of forming a recess by recessing the surface of the island-shaped portion. 12. The method of manufacturing a liquid crystal device according to claim 8, wherein the liquid crystal device is a liquid crystal device. 前記凹部形成工程において、前記凹部を、前記第1基板又は第2基板のうちの一方の基板の一部を窪ませて形成することを特徴とする請求項8ないし請求項11のいずれか1項に記載の液晶装置の製造方法。   12. The method according to claim 8, wherein, in the recess forming step, the recess is formed by recessing a part of one of the first substrate and the second substrate. A manufacturing method of a liquid crystal device given in the above. 前記第1基板又は第2基板のうちの一方の基板に対して、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に対して層間絶縁膜を介して接続された画素電極とを形成する工程を含み、
前記凹部形成工程において、前記凹部を、前記層間絶縁膜の一部が窪んだ状態で形成することを特徴とする請求項13に記載の液晶装置の製造方法。
Forming a switching element and a pixel electrode connected to the switching element via an interlayer insulating film on one of the first substrate and the second substrate;
14. The method of manufacturing a liquid crystal device according to claim 13, wherein, in the recess forming step, the recess is formed in a state in which a part of the interlayer insulating film is depressed.
一対の基材よりなる液晶装置用基板であって、
前記基材のうち一方の基材には、当該基材面から突出する柱状物が形成される一方、他方の基材には凹部が形成され、
前記柱状物が前記凹部に嵌め込まれた状態で、前記一対の基材の間隔が規制可能とされるとともに、当該柱状物と凹部との組み合わせにより、前記一対の基材が平面方向で位置合わせ可能とされることを特徴とする液晶装置用基板。
A substrate for a liquid crystal device comprising a pair of base materials,
On one of the substrates, a columnar object protruding from the substrate surface is formed, while a recess is formed on the other substrate.
While the columnar object is fitted in the recess, the distance between the pair of base materials can be regulated, and the pair of base materials can be aligned in the planar direction by a combination of the columnar object and the recess. A substrate for a liquid crystal device.
前記一対の基材には、シール剤を形成するシール剤形成領域を含み、
前記柱状物及び前記凹部は、前記シール剤形成領域の内側に配設されてなることを特徴とする請求項15に記載の液晶装置用基板。
The pair of base materials includes a sealing agent forming region for forming a sealing agent,
16. The substrate for a liquid crystal device according to claim 15, wherein the columnar object and the recess are disposed inside the sealant forming region.
前記一対の基材には、シール剤を形成するシール剤形成領域を含み、
前記柱状物及び前記凹部は、前記シール剤形成領域の外側に配設されてなることを特徴とする請求項15又は請求項16に記載の液晶装置用基板。
The pair of base materials includes a sealing agent forming region for forming a sealing agent,
The substrate for a liquid crystal device according to claim 15 or 16, wherein the columnar object and the recess are disposed outside the sealant forming region.
前記一対の基材には、シール剤を形成するシール剤形成領域と、当該シール剤形成領域の外側であって、前記一対の基材を貼り合わせた後に切り捨てられる領域である周辺領域とを含み、
前記柱状物及び前記凹部は、前記周辺領域に配設されてなることを特徴とする請求項15ないし請求項17のいずれか1項に記載の液晶装置用基板。
The pair of base materials includes a sealing agent forming region for forming a sealing agent and a peripheral region that is outside the sealing agent forming region and is a region that is cut off after the pair of base materials are bonded together. ,
18. The substrate for a liquid crystal device according to claim 15, wherein the columnar object and the concave portion are arranged in the peripheral region.
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