JP2009198155A - 結晶成長炉システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結晶成長炉システムは、隔離室、炉上側本体、及び制御室を含み、隔離室と制御室は互いに隔離して並べられる。ドアは、制御室から隔離室を隔離するか制御室と隔離室を連通するように、制御室と隔離室の間に設けられる。隔離室は特に、上板、炉下側本体及び昇降装置を含み、昇降装置は、密閉結晶成長炉を形成するように、炉下側本体を上方向に移動させて炉上側本体を閉鎖する、あるいは下方向に移動させて炉上側本体から離す。隔離室と制御室は互いに隔離して配置されるため、ノイズ、高温及び塵汚染を隔離室から分離することができ、制御室で作業する人員の安全と衛生が確保される。更に、炉上側本体が隔離室の外に配置され工場を冷却するため巨大な空調装置を必要とせずに、熱を大気に直接放散させることができるので、エネルギー節減と安全性の両面の利点を備える。
【選択図】なし
Description
炉上側本体は、隔離室の上板の上方に配置され、上板の開口部に一致する下側開口部が設けられる。
Claims (12)
- 上板および側壁を含む隔離室であって、前記上板に開口部が設けられ、前記隔離室が炉下側本体および昇降装置とともに配置され、前記炉下側本体に上側開口部が設けられ、前記上側開口部が前記上板の前記開口部に近づくように前記炉下側本体を上方向に、あるいは前記上板の前記開口部から離れるように下方向に選択的に移動させるために前記昇降装置が設けられる前記隔離室と、前記隔離室の前記上板の上方に配置され、前記上板の前記開口部に一致する下側開口部が設けられる炉上側本体と、前記隔離室の側壁に隣接して配置される制御室であって、ドアが前記側壁に設けられ、閉鎖されたときに前記隔離室と前記制御室を隔離し、開放されたときに前記制御室と前記隔離室を連通させるようにドアが選択的に開閉される前記制御室を備える結晶成長炉システム。
- 補強リングが、前記隔離室の前記上板の前記開口部の外周の周りに設けられる請求項1に記載の結晶成長炉システム。
- 前記隔離室の前記上板が補強コンクリート枠を含む請求項1に記載の結晶成長炉システム。
- 前記隔離室内の空気が空気清浄機を通じて清浄にされるように、前記隔離室に空気清浄機が設けられる別の側壁をさらに備える請求項1に記載の結晶成長炉システム。
- 前記隔離室に配置される前記昇降装置は、少なくとも1つのホブサドル送りねじ、少なくとも1つのナット、少なくとも1つの共通リンク、および駆動源を含み、前記少なくとも1つのナットは対応する前記少なくとも1つのホブサドル送りねじと係合し、前記駆動源は、前記少なくとも1つのホブサドル送りねじを回転させ、前記炉下側本体を移動させるように少なくとも1つの共通リンクを回転させる請求項1に記載の結晶成長炉システム。
- 上隔壁、複数の側隔壁、および下隔壁を含む加熱室をさらに含み、前記複数の側隔壁は前記上隔壁の周囲に並べられ、その下で組み立てられてから、前記炉上側本体に共に固定され、前記下隔壁は前記炉下側本体に固定される請求項1に記載の結晶成長炉システム。
- 前記加熱室は少なくとも1つのヒータを収容する請求項6に記載の結晶成長炉システム。
- 前記加熱室は、内側断熱層および外側保温層を含む2層構造を有する請求項6に記載の結晶成長炉システム。
- 前記炉上側本体は上側炉壁冷却アセンブリを含む請求項1に記載の結晶成長炉システム。
- 前記上側炉壁冷却アセンブリは噴霧冷却アセンブリを指す請求項9に記載の結晶成長炉システム。
- 前記炉下側本体は下側炉壁冷却アセンブリを含む請求項1に記載の結晶成長炉システム。
- 前記下側炉壁冷却アセンブリは噴霧冷却アセンブリを指す請求項11に記載の結晶成長炉システム。
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