DE102008028282A1 - Kristallzüchtungsofensystem - Google Patents

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Abstract

Ein Kristallzüchtungsofensystem weist eine isolierte Kammer, einen oberen Ofenkörper und einen Steuereinrichtungsraum auf, wobei die isolierte Kammer und der Steuereinrichtungsraum voneinander isoliert sind. Zwischen dem Steuereinrichtungsraum und der isolierten Kammer ist eine Tür vorgesehen, um den Steuereinrichtungsraum von der isolierten Kammer zu isolieren oder mit dieser zu verbinden. Die isolierte Kammer weist unter anderem ein oberes Bord, einen unteren Ofenkörper und eine Hebevorrichtung auf, wobei die Hebevorrichtung den unteren Ofenkörper nach oben bewegt und den oberen Ofenkörper verschließt, um einen geschlossenen Kristallzüchtungsofen zu bilden, oder nach unten, damit er sich von dem oberen Ofenkörper entfernt. Da die isolierte Kammer und der Steuereinrichtungsraum so angeordnet sind, dass sie voneinander isoliert sind, können auch Lärm, hohe Temperaturen und Verschmutzung durch Staub von dem isolierten Raum isoliert werden, so dass die Sicherheit und Gesundheit des Personals, das in dem Steuereinrichtungsraum arbeitet, gewährleistet werden kann. Da der obere Ofenkörper außerhalb der isolierten Kammer angeordnet ist, kann darüber hinaus Wärme direkt an die Umgebung abgegeben werden, ohne dass es notwendig ist, riesige Klimaanlagen zum Kühlen der Fabrik vorzusehen, so dass das System Vorzüge sowohl hinsichtlich der Energieeinsparung als auch hinsichtlich der Sicherheit hat.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Kristallzüchtungsofen, insbesondere ein Kristallzüchtungsofensystem.
  • 2. Beschreibung des Standes der Technik
  • In 1, einer schematischen Darstellung eines herkömmlichen Systems von Kristallzüchtungsöfen, befinden sich mehrere Kristallzüchtungsöfen 91 und ein Steuereinrichtungsraum 92 zusammen in einem abgeschlossenen Fabrikbereich 9. Wenn die Öfen 91 in Betrieb sind, entstehen hohe Temperaturen, und reines Wasser muss in den Raum zwischen der Innenwand und der Außenwand jedes Ofens 91 geleitet werden. Eine große Menge reinen Wassers erfordert jedoch auch eine Reinigungsvorrichtung 96, um für die Reinigung des Wassers zu sorgen. Darüber hinaus werden ein Kühlapparat 97 und Kühltürme 94 eingesetzt, um das reine Wasser, das in einem Speicher 95 enthalten ist, zu kühlen. Um sich dem Personal anzupassen, das in der Fabrik 9 arbeitet, um die Öfen 91 zu steuern, ist außerdem eine riesige Klimaanlage 93 erforderlich, um die von den Öfen 91 erzeugte Wärme zu reduzieren und die Temperatur im Inneren der Fabrik zu senken. Folglich sind die Kosten zur Bereitstellung und Wartung der Kühlanlage beträchtlich, ganz zu schweigen von der elektrischen Energie, die während des Betriebs der Kristallzüchtungsöfen verbraucht wird.
  • Da die Kristallzüchtungsöfen 91 alle in der Fabrik angeordnet sind, leiden die Bedienpersonen über einen langen Zeitraum unter dem Lärm, der während des Betriebs erzeugt wird, und unter der Luftverschmutzung durch Graphitpartikel, was die Gesundheit der Bedienpersonen beeinträchtigt. Falls ein die Öffentlichkeit betreffendes Unglück passiert, wenn beispielsweise der Kristallzüchtungsofen 91 explodiert, führt eine derartige Katastrophe zu großen Verlusten für die Firma und das Personal, da es in der Fabrik keine Isolier- oder Abschirmeinrichtungen gibt.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung soll ein Kristallzüchtungsofensystem schaffen, mit einer isolierten Kammer, einem oberen Ofenkörper und einem Steuereinrichtungsraum.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die isolierte Kammer ein oberes Bord und eine Seitenwand auf, wobei das obere Bord mit einer Öffnung versehen ist. Die isolierte Kammer ist zusammen mit einem unteren Ofenkörper und einer Hebevorrichtung angeordnet, wobei der untere Ofenkörper mit einer oberen Öffnung versehen ist und die Hebevorrichtung dazu vorgesehen ist, den unteren Ofenkörper wahlweise nach oben zu bewegen, so dass die obere Öffnung nahe an die Öffnung des oberen Bords gelangt, oder nach unten, so dass sie sich von der Öffnung des oberen Bords entfernt.
  • Der obere Ofenkörper ist oberhalb des oberen Bords der isolierten Kammer angeordnet und ist mit einer unteren Öffnung versehen, die entsprechend zu der Öffnung des oberen Bords passt.
  • Der Steuereinrichtungsraum befindet sich neben der Seitenwand der isolierten Kammer und grenzt an diese an, wobei in der Seitenwand eine Tür vorgesehen ist. Die Tür wird wahlweise geschlossen oder geöffnet, um den Steuereinrichtungsraum von der isolierten Kammer zu isolieren, wenn sie geschlossen ist, oder um den Steuereinrichtungsraum mit der isolierten Kammer zu verbinden, wenn sie geöffnet ist.
  • Da gemäß der vorliegenden Erfindung ein Kristallzüchtungsofen im Inneren der isolierten Kammer angeordnet ist, sind die isolierte Kammer und der Steuereinrichtungsraum voneinander isoliert. Somit können auch Lärm, hohe Temperaturen und Luftverschmutzung mit Staub von dem isolierten Raum isoliert werden, so dass die Sicherheit und Gesundheit des Personals, das in dem Steuereinrichtungsraum arbeitet, gewährleistet werden kann. Da der obere Ofenkörper außerhalb der isolierten Kammer angeordnet ist, kann darüber hinaus Wärme direkt an die Umgebung abgegeben werden. Die von dem Ofen erzeugte hohe Temperatur beeinträchtigt auch nicht das Personal in dem Steuereinrichtungsraum. Daher ist es nicht notwendig, riesige Klimaanlagen zum Kühlen der Fabrik vorzusehen, und Ausgaben für die Klimaanlagen und für Energiekosten können in deutlichem Maße eingespart werden. Außerdem sind die Kristallzüchtungsöfen jeweils voneinander beabstandet und isoliert. Wenn also ein die Öffentlichkeit betreffender Unglücksfall in einem bestimmten Ofen auftritt, sind andere Öfen hiervon nicht betroffen. Das Kristallzüchtungsofensystem gemäß der vorliegenden Erfindung hat offensichtlich Vorzüge sowohl hinsichtlich der Energieeinsparung als auch hinsichtlich der Sicherheit.
  • Darüber hinaus ist ein verstärkter Ring um den Umfang der Öffnung des oberen Bords an der isolierten Kammer vorgesehen. Das obere Bord weist einen verstärkten Betonrahmen auf, der nach dem Vergießen von flüssigem Beton ausgehärtet wird, um die Struktur des gesamten oberen Bords zu verstärken. Die isolierte Kammer kann eine weitere Seitenwand aufweisen, an der ein Luftreiniger vorgesehen ist. Wenn das Kristallwachstum abgeschlossen ist und der untere Ofenkörper geöffnet wird, werden Wärme und Staub aus dem Ofen in die isolierte Kammer freigegeben. In diesem Moment wird der Luftreiniger angeschaltet. Bis die Luft in der isolierten Kammer gereinigt und die Temperatur gesenkt ist, wird dann die Tür geöffnet, um Kristallblöcke auszuladen und die nächste Charge von Siliciummaterial einzuladen. Somit wird der Steuereinrichtungsraum nicht verschmutzt. Der Luftreiniger dient dazu, Abluft zu filtern und aus dem isolierten Raum auszustoßen sowie Luft von außen zu filtern und in den isolierten Raum zu saugen.
  • Die in dem isolierten Raum angeordnete Hebevorrichtung weist mindestens eine vertikale Spindel, mindestens eine Mutter, mindestens eine Universalverbindung und eine Antriebsquelle auf. Die mindestens eine Mutter steht entsprechend mit der mindestens einen vertikalen Spindel in Eingriff. Die Antriebsquelle versetzt die mindestens eine Universalverbindung in Rotation, um die vertikale Spindel in Rotation zu versetzen und den unteren Ofenkörper zu bewegen.
  • Darüber hinaus ist ein Heizraum im Inneren des Kristallzüchtungsofens angeordnet, wobei der Heizraum ein oberes Trennelement, mehrere seitliche Trennelemente und ein unteres Trennelement aufweist. Die mehreren seitlichen Trennelemente sind um das obere Trennelement herum angeordnet und unter diesem angebracht und werden dann zusammen an dem oberen Ofenkörper befestigt, während das untere Trennelement an dem unteren Ofenkörper befestigt ist. Der Heizraum nimmt mindestens ein Heizelement auf. Der Heizraum hat eine Doppelschichtstruktur und weist eine innere Isolierschicht und eine äußere Wärmedämmschicht auf.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung weist der obere Ofenkörper eine Kühlanordnung für die obere Ofenwand auf, die sich vorzugsweise auf eine Sprühkühlanordnung bezieht, um Wärme direkt an die Umgebung abzuführen. Der untere Ofenkörper weist eine Kühlanordnung für die untere Ofenwand auf, die sich vorzugsweise auf eine Sprühkühlanordnung bezieht. Somit ist es nicht notwendig, Kühlapparate, Kühltürme und Reinigungsvorrichtungen aufzustellen, und Ausgaben für diese Anlagen und für deren Wartung können eingespart werden.
  • Weitere Aufgaben, Vorteile und neue Merkmale der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
  • In der Zeichnung zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung eines herkömmlichen Kristallzüchtungsofens;
  • 2 eine schematische Darstellung eines Systems von Kristallzüchtungsöfen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 3 eine Schnittdarstellung eines Teils des Systems von Kristallzüchtungsöfen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 4 eine schematische Darstellung, in der gezeigt wird, wie ein unterer Ofenkörper sich von der Öffnung eines oberen Bords gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung entfernt;
  • 5 eine perspektivische Darstellung, in der gezeigt wird, wie der untere Ofenkörper sich der Öffnung des oberen Bords gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung nähert;
  • 6 eine schematische Darstellung eines Systems von Kristallzüchtungsöfen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
  • 7 eine schematische Darstellung eines Systems von Kristallzüchtungsöfen gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Wie aus 2 und 3 ersichtlich – einer schematischen Darstellung eines Systems von Kristallzüchtungsöfen gemäß der vorliegenden Erfindung und einer Schnittdarstellung eines Teils des Systems von Kristallzüchtungsöfen – weist das Kristallzüchtungsofensystem eine isolierte Kammer 1, einen oberen Ofenkörper 21 und einen Steuereinrichtungsraum 3 auf.
  • Die isolierte Kammer 1 weist ein oberes Bord 11 und eine Seitenwand auf 12, wobei das obere Bord 11 mit einer Öffnung 111 versehen ist und einen verstärkten Betonrahmen 113 aufweist, der nach dem Vergießen von flüssigem Beton ausgehärtet wird, um die Struktur des gesamten oberen Bords 11 zu verstärken. Ein verstärkter Ring 112 ist um den Umfang der Öffnung 111 herum vorgesehen, wobei der verstärkte Ring 112 mit dem verstärkten Betonrahmen 113 verschweißt ist.
  • Die isolierte Kammer 1 ist zusammen mit einem unteren Ofenkörper 22 und einer Hebevorrichtung 14 angeordnet, wobei der untere Ofenkörper 22 mit einer oberen Öffnung 221 versehen ist und die Hebevorrichtung 14 dazu vorgesehen ist, den unteren Ofenkörper 22 wahlweise nach oben zu bewegen, so dass die obere Öffnung 221 nahe an die Öffnung 111 des oberen Bords 11 gelangt, oder nach unten, so dass sie sich von der Öffnung 111 entfernt.
  • Der obere Ofenkörper 21 ist oberhalb des oberen Bords 11 der isolierten Kammer 1 angeordnet und ist mit einer unteren Öffnung 211 versehen, die entsprechend zu der Öffnung 111 des oberen Bords 11 passt. Wenn der untere Ofenkörper 22 durch die Hebevorrichtung 14 nach oben bewegt wird, kann die obere Öffnung 221 näher an die Öffnung 111 heran und unter die Öffnung 111 gelangen, so dass er mit dem oberen Ofenkörper 21 zu einem Kristallzüchtungsofen zusammengesetzt werden kann, in dem ein Ofeninnenraum gebildet wird.
  • Der Steuereinrichtungsraum 3 befindet sich neben der Seitenwand 12 der isolierten Kammer 1 und grenzt an diese an, wobei in der Seitenwand 12 eine Tür 121 vorgesehen ist. Die Tür 121 wird wahlweise geschlossen oder geöffnet, um den Steuereinrichtungsraum 3 von der isolierten Kammer 1 zu isolieren, wenn sie geschlossen ist, oder um den Steuereinrichtungsraum 3 mit der isolierten Kammer 1 zu verbinden, wenn sie geöffnet ist.
  • Da der Kristallzüchtungsofen 2 in der isolierten Kammer 1 angeordnet ist, sind die isolierte Kammer 1 und der Steuereinrichtungsraum 3 voneinander isoliert. Somit können auch Lärm, hohe Temperaturen und Luftverschmutzung mit Staub von dem isolierten Raum 1 isoliert werden, so dass die Sicherheit und Gesundheit des Personals, das in dem Steuereinrichtungsraum 3 arbeitet, gewährleistet werden kann. Da der obere Ofenkörper 21 außerhalb der isolierten Kammer 1 angeordnet ist, kann darüber hinaus Wärme direkt an die Umgebung abgegeben werden. Die von dem Ofen 2 erzeugte hohe Temperatur beeinträchtigt auch nicht das Personal in dem Steuereinrichtungsraum 3. Daher ist es nicht notwendig, riesige Klimaanlagen zum Kühlen der Fabrik vorzusehen, und Ausgaben für die Klimaanlagen und für Energiekosten können in deutlichem Maße eingespart werden.
  • Wie in 2 dargestellt, sind die Kristallzüchtungsöfen 2 jeweils voneinander beabstandet und durch Seitenwände 15 voneinander isoliert. Wenn also ein die Öffentlichkeit betreffender Unglücksfall in einem bestimmten Ofen 2 auftritt, sind andere Öfen 2 hiervon nicht betroffen. Das Kristallzüchtungsofensystem gemäß der vorliegenden Erfindung hat offensichtlich Vorzüge sowohl hinsichtlich der Energieeinsparung als auch hinsichtlich der Sicherheit. Darüber hinaus weist die isolierte Kammer 1, wie aus 2 und 3 ersichtlich, eine weitere Seitenwand 13 auf, an der ein Luftreiniger 131 vorgesehen ist. Wenn das Kristallwachstum abgeschlossen ist und der untere Ofenkörper 22 geöffnet wird, werden Wärme und Staub aus dem Ofen 2 in die isolierte Kammer 1 freigegeben. In diesem Moment wird der Luftreiniger 131 angeschaltet. Bis die Luft in der isolierten Kammer 1 gereinigt und die Temperatur gesenkt ist, wird dann die Tür 121 geöffnet, um Kristallblöcke auszuladen und die nächste Charge von Siliciummaterial einzuladen. Somit wird der Steuereinrichtungsraum 3 nicht verschmutzt. Der Luftreiniger 131 dient dazu, Abluft zu filtern und aus dem isolierten Raum 1 auszustoßen sowie Luft von außen zu filtern und in den isolierten Raum 1 zu saugen.
  • Wie aus 3 ersichtlich, ist ein Heizraum 4 im Inneren des Kristallzüchtungsofens 2 angeordnet, wobei der Heizraum 4 ein oberes Trennelement 41, vier seitliche Trennelemente 42 und ein unteres Trennelement 43 aufweist. Die vier seitlichen Trennelemente 42 sind um das obere Trennelement 41 herum angeordnet und unter diesem angebracht und werden dann zusammen an dem oberen Ofenkörper befestigt 21, während das untere Trennelement 43 an dem unteren Ofenkörper 22 befestigt ist. Folglich kann das untere Trennelement 43 sich zusammen mit dem unteren Ofenkörper 22 nach oben bewegen und entsprechend mit der Unterseite der vier seitlichen Trennelemente 42 dicht abschließen. Der Heizraum 4 nimmt mindestens ein Heizelement 40 auf, um das Kristallmaterial in einem Tiegel 46 zu erwärmen. Der Heizraum 4 hat eine Doppelschichtstruktur und weist eine innere Isolierschicht 44 und eine äußere Wärmedämmschicht 45 auf.
  • Wie in 3 dargestellt, weist der obere Ofenkörper 21 eine Kühlanordnung 5 für die obere Ofenwand auf, die sich vorzugsweise auf eine Sprühkühlanordnung 51 bezieht, um Wärme direkt an die Umgebung abzuführen. Der untere Ofenkörper 22 weist eine Kühlanordnung 6 für die untere Ofenwand auf, die sich vorzugsweise auf eine Sprühkühlanordnung 61 bezieht. Somit ist es nicht notwendig, Kühlapparate, Kühltürme und Reinigungsvorrichtungen aufzustellen, und Ausgaben für diese Anlagen und für deren Wartung können eingespart werden.
  • Wie aus 4 ersichtlich, einer schematischen Darstellung, in der gezeigt wird, wie der untere Ofenkörper 22 sich von der Öffnung des oberen Bords 11 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung entfernt, weist außerdem die Hebevorrichtung 14 drei vertikale Spindeln 141, drei Muttern 142, eine Universalverbindung 143 und eine Antriebsquelle 144 auf. Die drei Muttern 142 sind jeweils mit dem unteren Ofenkörper 22 verschweißt und stehen mit den drei vertikalen Spindeln 141 in Eingriff. Die Antriebsquelle 144 versetzt die Universalverbindung 143 in Rotation, um die vertikalen Spindeln 141 in Rotation zu versetzen, so dass die Muttern 142 sich zusammen mit dem unteren Ofenkörper 22 nach unten bewegen und sich von der Öffnung 111 des oberen Bords 11 entfernen können.
  • Wie in 5 dargestellt, versetzt die Antriebsquelle 144 die Universalverbindung 143 in Rotation, um die vertikalen Spindeln 141 in Rotation zu versetzen, so dass die Muttern 142 sich zusammen mit dem unteren Ofenkörper 22 nach oben bewegen und sich der Öffnung 111 des oberen Bords 11 nähern können.
  • Nachfolgend wird auf 6 und 7 Bezug genommen; sie zeigen schematische Darstellungen von Systemen von Kristallzüchtungsöfen gemäß einer zweiten und einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Konstruktionskonzept der zweiten bzw.
  • dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ähnelt dem der ersten Ausführungsform darin, dass hier ein isolierter Raum 7, 71 und ein Steuereinrichtungsraum 8, 81 existieren, mit Ausnahme dessen, dass bei der zweiten Ausführungsform der isolierte Raum 7 symmetrisch an zwei Seiten des Steuereinrichtungsraums 8 angeordnet ist, wie in 6 dargestellt, und dass bei der dritten Ausführungsform der isolierte Raum 71 um den Steuereinrichtungsraum 81 herum angeordnet ist, wie in 7 dargestellt. Selbstverständlich können alle Kristallzüchtungsöfen, wie sie in den drei Ausführungsformen beschrieben wurden, die Aufgaben der Energieeinsparung, der Sauberkeit und der Sicherheit erfüllen.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf ihre bevorzugten Ausführungsformen erläutert wurde, versteht es sich, dass noch viele andere Modifikationen und Änderungen möglich sind, ohne vom Umfang der nachfolgend beanspruchten Erfindung abzuweichen.

Claims (12)

  1. Kristallzüchtungsofensystem, mit: einer isolierten Kammer, die ein oberes Bord und eine Seitenwand aufweist, wobei das obere Bord mit einer Öffnung versehen ist und die isolierte Kammer zusammen mit einem unteren Ofenkörper und einer Hebevorrichtung angeordnet ist, und wobei der untere Ofenkörper mit einer oberen Öffnung versehen ist und die Hebevorrichtung dazu vorgesehen ist, den unteren Ofenkörper wahlweise nach oben zu bewegen, so dass die obere Öffnung nahe an die Öffnung des oberen Bords gelangt, oder nach unten, so dass sie sich von der Öffnung des oberen Bords entfernt; einem oberen Ofenkörper, der oberhalb des oberen Bords der isolierten Kammer angeordnet und mit einer unteren Öffnung versehen ist, die entsprechend zu der Öffnung des oberen Bords passt; und einem Steuereinrichtungsraum, der sich neben der Seitenwand der isolierten Kammer befindet und an diese angrenzt, wobei in der Seitenwand eine Tür vorgesehen ist, und wobei die Tür wahlweise geschlossen oder geöffnet wird, um den Steuereinrichtungsraum von der isolierten Kammer zu isolieren, wenn sie geschlossen ist, oder um den Steuereinrichtungsraum mit der isolierten Kammer zu verbinden, wenn sie geöffnet ist.
  2. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 1, bei dem ein verstärkter Ring um den Umfang der Öffnung des oberen Bords an der isolierten Kammer vorgesehen ist.
  3. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 1, bei dem das obere Bord der isolierten Kammer einen verstärkten Betonrahmen aufweist.
  4. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 1, bei dem die isolierte Kammer außerdem eine weitere Seitenwand aufweist, an der ein Luftreiniger vorgesehen ist, so dass die Luft im Inneren der isolierten Kammer durch den Luftreiniger gereinigt werden kann.
  5. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 1, bei dem die in dem isolierten Raum angeordnete Hebevorrichtung mindestens eine vertikale Spindel, mindestens eine Mutter, mindestens eine Universalverbindung und eine Antriebsquelle aufweist, und bei dem die mindestens eine Mutter entsprechend mit der mindestens einen vertikalen Spindel in Eingriff steht, wobei die Antriebsquelle die mindestens eine Universalverbindung in Rotation versetzt, um die mindestens eine vertikale Spindel in Rotation zu versetzen und den unteren Ofenkörper zu bewegen.
  6. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 1, das außerdem einen Heizraum aufweist, der ein oberes Trennelement, mehrere seitliche Trennelemente und ein unteres Trennelement aufweist, wobei die mehreren seitlichen Trennelemente um das obere Trennelement herum angeordnet und unter diesem angebracht sind und dann zusammen an dem oberen Ofenkörper befestigt werden, während das untere Trennelement an dem unteren Ofenkörper befestigt ist.
  7. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 6, bei dem der Heizraum mindestens ein Heizelement aufnimmt.
  8. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 6, bei dem der Heizraum eine Doppelschichtstruktur mit einer inneren Isolierschicht und einer äußeren Wärmedämmschicht hat.
  9. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 1, bei dem der obere Ofenkörper eine Kühlanordnung für die obere Ofenwand aufweist.
  10. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 9, bei dem die Kühlanordnung für die obere Ofenwand sich auf eine Sprühkühlanordnung bezieht.
  11. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 1, bei dem der untere Ofenkörper eine Kühlanordnung für die untere Ofenwand aufweist.
  12. Kristallzüchtungsofensystem nach Anspruch 11, bei dem die Kühlanordnung für die untere Ofenwand sich auf eine Sprühkühlanordnung bezieht.
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