JP2009195972A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009195972A JP2009195972A JP2008043089A JP2008043089A JP2009195972A JP 2009195972 A JP2009195972 A JP 2009195972A JP 2008043089 A JP2008043089 A JP 2008043089A JP 2008043089 A JP2008043089 A JP 2008043089A JP 2009195972 A JP2009195972 A JP 2009195972A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- suction device
- suction
- laser
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】加工対象物2を支持するための加工面4aを有する加工ステージ4を備え、加工対象物2の加工に用いられるレーザ光3を、加工面4aに沿って直交する2方向に移動可能に構成しているレーザ加工装置1において、加工粉塵を吸引するための一対の吸引手段7,8を備え、一対の吸引手段7,8を、加工対象物2の被加工表面2aに近接させるように加工面4aの近傍で2方向のうち一方方向に互いに間隔を空けて配置し、レーザ光3を、一対の吸引手段7,8の間に照射するように構成し、一対の吸引手段7,8のうち少なくとも一方を、レーザ光3の一方方向への移動に同期して一方方向に移動するように構成していることを特徴とするレーザ加工装置1。
【選択図】図1
Description
本発明の第一実施形態におけるレーザ加工装置について以下に説明する。図1は、本発明の第一実施形態のレーザ加工装置1において、フィルム基板2をレーザ光3によって加工する状態を示す概略斜視図である。レーザ加工装置1は、フィルム基板2を加工ステージ4の加工面4a(破線で示す)上でレーザ光3によって加工する構成となっている。
本発明の第二実施形態におけるレーザ加工装置を以下に説明する。第二実施形態のレーザ加工装置の基本的な構造および加工方法は、図1〜図3を用いて説明した第一実施形態のレーザ加工装置1と同一である。第一実施形態と基本的な構造を同一とするものには、同一の名称および同一の符号を用いるものとする。なお、第二実施形態のレーザ加工装置21は、第一実施形態のレーザ加工装置1と同様な方向で定義されるものとする。また、第二実施形態のレーザ加工装置21においても、第一実施形態の第一変形例〜第六変形例と同様の変更が可能である。このことを踏まえて、第二実施形態のレーザ加工装置21について、第一実施形態から変更した特徴的な形態を説明する。
2 フィルム基板
2a 被加工表面
2b 切込ライン
3 レーザ光
4 加工ステージ
4a 加工面
4b 背面部
5 ガルバノスキャナ
6 レーザ発振機
7 第1吸引装置
7a 吸引口
8 第2吸引装置
8a 吸引口
9 移動装置
9a ガイドバー
10 フィードローラ
11 加工室
11a 右側面
11b 上側面
11c 左側面
11d 下側面
12 搬入口
13 搬出口
14 空気流入装置
15 排気装置
16 ブロア
17 第1ダクト
18 第2ダクト
19 第1制御弁
20 第2制御弁
U,Lw,F,B,Lf,R 矢印
D1,D2,D3,D4,D5 距離
Claims (3)
- 加工対象物を支持するための加工面を有する加工ステージを備え、加工対象物の加工に用いられるレーザ光を、前記加工面に沿って直交する2方向に移動可能に構成しているレーザ加工装置において、
加工粉塵を吸引するための一対の吸引手段を備え、該一対の吸引手段を、加工対象物の被加工表面に近接させるように前記加工面の近傍で前記2方向のうち一方方向に互いに間隔を空けて配置し、前記レーザ光を、前記一対の吸引手段の間に照射するように構成し、前記一対の吸引手段のうち少なくとも一方を、前記レーザ光の前記一方方向への移動に同期して前記一方方向に移動するように構成していることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記吸引手段の吸引動作の制御が、前記レーザ光の前記一方方向の照射位置に対応して行われる構成となっている特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御が、前記一対の吸引手段の吸引動作を互いに切り替える構成となっていることを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008043089A JP5152645B2 (ja) | 2008-02-25 | 2008-02-25 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008043089A JP5152645B2 (ja) | 2008-02-25 | 2008-02-25 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009195972A true JP2009195972A (ja) | 2009-09-03 |
JP5152645B2 JP5152645B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=41140090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008043089A Expired - Fee Related JP5152645B2 (ja) | 2008-02-25 | 2008-02-25 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5152645B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102275039A (zh) * | 2010-06-14 | 2011-12-14 | 株式会社Lg化学 | 用于移除膜卷切割系统的副产物的装置 |
KR20190024654A (ko) * | 2017-08-28 | 2019-03-08 | 주식회사 에스디에이 | 분진흡입기능이 구비된 레이저 가공 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09327787A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Roland D G Kk | レーザー加工機用排煙装置 |
JP2000263255A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-26 | Olympus Optical Co Ltd | マーキング装置 |
JP2005014083A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-20 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
-
2008
- 2008-02-25 JP JP2008043089A patent/JP5152645B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09327787A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Roland D G Kk | レーザー加工機用排煙装置 |
JP2000263255A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-26 | Olympus Optical Co Ltd | マーキング装置 |
JP2005014083A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-20 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102275039A (zh) * | 2010-06-14 | 2011-12-14 | 株式会社Lg化学 | 用于移除膜卷切割系统的副产物的装置 |
KR20190024654A (ko) * | 2017-08-28 | 2019-03-08 | 주식회사 에스디에이 | 분진흡입기능이 구비된 레이저 가공 장치 |
KR102139282B1 (ko) * | 2017-08-28 | 2020-07-30 | 주식회사 에스디에이 | 분진흡입기능이 구비된 레이저 가공 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5152645B2 (ja) | 2013-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9604410B2 (en) | Three dimensional printer | |
JP4231538B1 (ja) | レーザ加工機 | |
JP5964693B2 (ja) | 物質捕集方法及び物質捕集装置 | |
JP2015093827A (ja) | 切断集塵装置及び切断方法 | |
JP5383439B2 (ja) | X−y平面裁断装置 | |
JP5370622B1 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP4594786B2 (ja) | 切削装置 | |
ATE334772T1 (de) | Maschine und verfahren zum schneiden von öffnungen in ein substrat | |
KR20160012073A (ko) | 패키지 기판의 가공 방법 | |
JP2015209357A (ja) | ブレイク方法並びにブレイク装置 | |
JP5152645B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
CN110730694B (zh) | 激光清洗装置及激光清洗方法 | |
JP5355349B2 (ja) | レーザースクライブ装置 | |
JP2010155258A (ja) | 基板処理装置 | |
EP2402111A2 (en) | Thin film removal apparatus | |
JP5849606B2 (ja) | スクライブ装置 | |
JP5918044B2 (ja) | 加工方法および加工装置 | |
JP2011125877A (ja) | レーザ加工方法及び装置 | |
CN106132628A (zh) | 激光加工机以及激光加工方法 | |
JP5919447B1 (ja) | 加工装置 | |
JP2012030249A (ja) | 集塵装置及びこれを用いたレーザ加工装置並びにソーラパネル製造方法 | |
JP5331440B2 (ja) | レーザー加工装置のチャックテーブルの付着物除去方法 | |
KR20180000306A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
JP6525845B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JPH11314190A (ja) | レーザー加工装置及び集塵方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20100812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120330 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121122 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |