JP2009195875A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 分離する試料を保持するロータと、
   該ロータを内蔵するロータ室を画成するチャンバと、
   該チャンバ上方に開閉可能に配置されて該チャンバ内を密閉可能なドアと、
   該ドアにより密閉された該チャンバ内を減圧する第一真空ポンプ及び第二真空ポンプと、
   該チャンバと該第二真空ポンプと間に位置する真空配管と、
   該真空配管の途中に設けられ、該真空配管の連通を遮断するバルブと、
   該バルブの開閉を制御する制御装置と、を備え、
   該第二真空ポンプはスクロール形ドライ真空ポンプであり、
   該制御装置は該スクロール形ドライ真空ポンプへ通電された時に該バルブを開状態にすると共に該スクロール形ドライ真空ポンプへの通電が停止された状態で該バルブを閉状態にすることを特徴とする遠心機。
2. 該第一真空ポンプは、油拡散真空ポンプであることを特徴とする請求項１記載の遠心機。
3. 該油拡散真空ポンプはチャンバ内に接続されると共に、該スクロール形ドライ真空ポンプに該真空配管によって連通されていることを特徴とする請求項２に記載の遠心機。
4. 該制御装置は該遠心機へ通電された時に該バルブを開状態にすると共に該遠心機への通電が停止された状態で該バルブを閉状態にすることを特徴とする請求項３に記載の遠心機。