JP2009191339A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板を昇降させるリフトピンの動作不良を低減し、安定した成膜および確実な基板の受け渡しが行われる成膜装置を提供する。
【解決手段】化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置において、基板が載置される載置台15と、載置台15に穿孔されたリフトピン穴16と、リフトピン穴16に挿入され基板を載置台15より上方に支持するリフトピン17と、を備え、リフトピン17の先端部18の外形がリフトピン穴16の径より大きく形成されている。このことから、成膜時にリフトピン17の先端部18でリフトピン穴16を塞ぐことで生成ガスがリフトピン穴16内に侵入するのを防ぎ、リフトピン穴16の内壁およびリフトピン17に薄膜が形成されることを抑制できる。
【選択図】図2
【解決手段】化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置において、基板が載置される載置台15と、載置台15に穿孔されたリフトピン穴16と、リフトピン穴16に挿入され基板を載置台15より上方に支持するリフトピン17と、を備え、リフトピン17の先端部18の外形がリフトピン穴16の径より大きく形成されている。このことから、成膜時にリフトピン17の先端部18でリフトピン穴16を塞ぐことで生成ガスがリフトピン穴16内に侵入するのを防ぎ、リフトピン穴16の内壁およびリフトピン17に薄膜が形成されることを抑制できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置に関する。
半導体装置、電気光学装置などの製造において、化学気相成長法を用いた成膜装置が用いられている。
例えば成膜装置として、CVD(Chemical Vapor Deposition)装置が知られている。枚葉式の平行平板型のCVD装置は、チャンバー内に生成ガスを噴出させるシャワープレートと、基板が載置される載置台とを備え、これらが対向するように設けられている。基板は載置台上で加熱され、生成ガスをチャンバー内に流入させて、この基板表面で化学気相反応を行わせて基板に所望の薄膜を成膜している。また、減圧雰囲気でプラズマを発生させて、熱エネルギーだけでなくプラズマエネルギーを併用して成膜を行うプラズマCVD装置も同様な化学気相反応を利用している。
例えば成膜装置として、CVD(Chemical Vapor Deposition)装置が知られている。枚葉式の平行平板型のCVD装置は、チャンバー内に生成ガスを噴出させるシャワープレートと、基板が載置される載置台とを備え、これらが対向するように設けられている。基板は載置台上で加熱され、生成ガスをチャンバー内に流入させて、この基板表面で化学気相反応を行わせて基板に所望の薄膜を成膜している。また、減圧雰囲気でプラズマを発生させて、熱エネルギーだけでなくプラズマエネルギーを併用して成膜を行うプラズマCVD装置も同様な化学気相反応を利用している。
このような枚葉式のCVD装置において、基板を一枚ごとチャンバー内に搬入およびチャンバー外への搬出のために、載置台には複数のリフトピン穴が設けられ、リフトピン穴に挿入されたリフトピンが昇降可能に備えられている(特許文献1参照)。
成膜前の基板の受け取りには、リフトピンが載置台より上方に上昇し、搬送アームから複数のリフトピン上に基板が乗せ換えられる。そして、リフトピンが下降して載置台に基板が載置される。
成膜後の基板の搬出には、基板を乗せてリフトピンが上昇し、基板の下に搬送アームのフォーク部が入り、リフトピンが下降して搬送アームに基板が受け渡され、チャンバー外へ搬出される。
成膜前の基板の受け取りには、リフトピンが載置台より上方に上昇し、搬送アームから複数のリフトピン上に基板が乗せ換えられる。そして、リフトピンが下降して載置台に基板が載置される。
成膜後の基板の搬出には、基板を乗せてリフトピンが上昇し、基板の下に搬送アームのフォーク部が入り、リフトピンが下降して搬送アームに基板が受け渡され、チャンバー外へ搬出される。
上記のような化学気相反応を用いる成膜装置では、基板上だけでなくチャンバー内の各部にも薄膜が形成される。載置台のリフトピン穴およびリフトピンにも生成ガスが入り込み薄膜が形成される。この成膜が継続されることで、リフトピン穴とリフトピンに薄膜の生成物が堆積して隙間が少なくなり、リフトピンが動作不良となる問題がある。
また、チャンバー内の各部に形成された薄膜の生成物は、ある厚さまで積層されると剥離が発生し、異物として基板に付着する不具合がある。このため、チャンバー内を定期的にプラズマエッチングして生成物を除去して、さらに、チャンバー内にSiO2などの薄膜を被着させるプリコート方法が実施されている。このときにも、リフトピン穴とリフトピンに薄膜の生成物が形成され、リフトピンが動作不良となる問題がある。
リフトピンが動作不良になると、基板の受け渡しが良好に行えずに基板の落下、割れなどが生ずる。また、例えば、成膜時に一つのリフトピンが載置台の下方に戻りきらずに載置台の上に出た状態で基板が載置されたときには、基板が傾いた状態になり、基板の温度が充分に上昇しないことから、成膜不良となる。
また、チャンバー内の各部に形成された薄膜の生成物は、ある厚さまで積層されると剥離が発生し、異物として基板に付着する不具合がある。このため、チャンバー内を定期的にプラズマエッチングして生成物を除去して、さらに、チャンバー内にSiO2などの薄膜を被着させるプリコート方法が実施されている。このときにも、リフトピン穴とリフトピンに薄膜の生成物が形成され、リフトピンが動作不良となる問題がある。
リフトピンが動作不良になると、基板の受け渡しが良好に行えずに基板の落下、割れなどが生ずる。また、例えば、成膜時に一つのリフトピンが載置台の下方に戻りきらずに載置台の上に出た状態で基板が載置されたときには、基板が傾いた状態になり、基板の温度が充分に上昇しないことから、成膜不良となる。
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる成膜装置は、化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、前記リフトピンの先端部の外形が、前記リフトピン穴の径より大きく形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、リフトピンの先端部の外形がリフトピン穴の径より大きく形成されていることから、成膜時にリフトピンの先端部でリフトピン穴を塞ぐことで生成ガスが侵入するのを防ぎ、リフトピン穴の内壁およびリフトピンに薄膜が形成されることを抑制できる。このようにして、リフトピン穴の内壁およびリフトピンに薄膜が形成されることに起因するリフトピンの動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
[適用例2]上記適用例にかかる成膜装置において、前記載置台の前記リフトピン穴の上部に座ぐり部が設けられ、前記リフトピンが下降した状態で前記リフトピンの先端部が前記載置台上面より突出しないことが望ましい。
この構成によれば、リフトピン先端部が載置台上面より突出しないので、基板を載置台の広い面積で接して置くことができ、基板を確実に加熱することができる。
[適用例3]本適用例にかかる成膜装置は、化学気相成長により基板上に薄膜が成膜される成膜装置であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、前記載置台の前記リフトピン穴を含む位置に溝部が形成され、前記溝部を往復動して前記リフトピン穴を塞ぐシャッターが備えられていることを特徴とする。
この構成によれば、載置台のリフトピン穴を含む位置に溝部が形成され、溝部を往復動するシャッターが備えられている。このことから、成膜時にシャッターでリフトピン穴を塞ぐことで生成ガスがリフトピン穴内に侵入するのを防ぎ、リフトピン穴の内壁およびリフトピンに薄膜が形成されるのを抑制できる。このようにして、リフトピン穴の内壁およびリフトピンに薄膜が形成されることに起因するリフトピンの動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
[適用例4]本適用例にかかる成膜装置は、化学気相成長により基板上に薄膜が成膜される成膜装置であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、前記リフトピン穴にガス導入管が接続され、前記リフトピン穴に不活性ガスが流動可能であることを特徴とする。
この構成によれば、リフトピン穴にガス導入管が接続されリフトピン穴に不活性ガスが流動可能である。このことから、成膜時にリフトピン穴に不活性ガスを流動させることで、生成ガスがリフトピン穴内に侵入することなく、リフトピン穴の内壁およびリフトピンに薄膜が形成されることがない。このようにして、リフトピン穴の内壁およびリフトピンに薄膜が形成されることに起因するリフトピンの動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
[適用例5]本適用例にかかる成膜装置は、化学気相成長により基板上に薄膜が成膜される成膜装置であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、前記リフトピンに回転装置が接続され、前記リフトピンが回転可能であることを特徴とする。
この構成によれば、リフトピンに回転装置が接続されていることから、リフトピンを成膜中に回転させることができる。成膜中に薄膜がリフトピン穴およびリフトピンに積層されていっても、リフトピンを回転させることで、リフトピンの動く隙間を確保でき、リフトピンの動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。本実施形態では成膜装置としてCVD装置を例にとって説明する。
(第1の実施形態)
(第1の実施形態)
図1は本実施形態のCVD装置を説明する模式説明図である。図2は本実施形態のCVD装置における載置台を示す概略図であり、図2(a)は平面図、図2(b)は同図(a)のA−A断線に沿う部分断面図である。
図1に示すように、CVD装置1は、枚葉式の平行平板型であり、アルミニウムを母材とするチャンバー10に第1のプレート11と第2のプレート14とが対向して配置されている。
チャンバー10には、生成ガス6をチャンバー10外部から内部に導入する銅、アルミニウムなどで形成されたガス導入管33が設けられている。ガス導入管33は、チャンバー10を貫通して第1のプレート11に接続されている。
図1に示すように、CVD装置1は、枚葉式の平行平板型であり、アルミニウムを母材とするチャンバー10に第1のプレート11と第2のプレート14とが対向して配置されている。
チャンバー10には、生成ガス6をチャンバー10外部から内部に導入する銅、アルミニウムなどで形成されたガス導入管33が設けられている。ガス導入管33は、チャンバー10を貫通して第1のプレート11に接続されている。
第1のプレート11には拡散プレート12とシャワープレート13が設けられている。拡散プレート12はガス導入管33から導入された生成ガス6を拡散させ、多数のガス噴出口を有するシャワープレート13から均等に生成ガス6を吐出するように設けられている。そして、シャワープレート13から第2のプレート14に向かって生成ガス6が噴出する構造となっている。
第2のプレート14は、基板5を載置する載置台15を含んでおり、載置台15には載置台15を貫通するリフトピン穴16が設けられている。リフトピン穴16にはチャンバー10内に基板5を搬入・搬出させる際に基板5を支持するリフトピン17が挿入されている。リフトピン17を昇降させることで、基板5の受け渡しが行われている。
基板5の搬入の際には、リフトピン17が上昇した位置で保持され、そこに基板5が載置された搬送アーム(図示せず)が移動して、このリフトピン17上に基板5を受け渡す。そしてリフトピン17が降下して、載置台15に基板5が載置される。基板5の搬出の際には、リフトピン17が上昇して基板5を載置台15から持ち上げる。そこに搬送アームのフォーク部が基板5の下に入って、基板5を搬送アームに受け渡す。
基板5の搬入の際には、リフトピン17が上昇した位置で保持され、そこに基板5が載置された搬送アーム(図示せず)が移動して、このリフトピン17上に基板5を受け渡す。そしてリフトピン17が降下して、載置台15に基板5が載置される。基板5の搬出の際には、リフトピン17が上昇して基板5を載置台15から持ち上げる。そこに搬送アームのフォーク部が基板5の下に入って、基板5を搬送アームに受け渡す。
リフトピン17は、図2に示すように、載置台15に形成されたリフトピン穴16に挿入されている。リフトピン17の先端部18は、他の部分に比べて外形が大きく形成されている。また、載置台15のリフトピン穴16の上部にはリフトピン17の先端部18の外形より大きい寸法の座ぐり部19が形成され、リフトピン17が下降状態にあるときに、その先端部18が載置台15の上面より突出しないように構成されている。この状態において、リフトピン17の先端部18がリフトピン穴16を塞ぐ構造となっている。
また、第2のプレート14の下方には加熱ランプ30が配置され、加熱ランプ30で載置台15を照射することで基板5の加熱が行われる。
チャンバー10には排気口31が設けられ、この排気口31には真空ポンプ32が接続され、チャンバー10内の気体を外部に排出可能に構成されている。
チャンバー10には排気口31が設けられ、この排気口31には真空ポンプ32が接続され、チャンバー10内の気体を外部に排出可能に構成されている。
上記のCVD装置1における成膜は、以下のように行われる。
載置台15の上に基板5を載置した後、各種材料の生成ガス6をシャワープレート13から基板5上へ送り出す。
そして、200〜800℃に保持された基板5の主面で分解、還元、酸化、または置換などの化学気相反応を行わせて、基板5の主面に所望の薄膜を成膜する。例えば、SiH4ガス、O2ガスなどの生成ガス6を導入してSiO2膜を基板5上に成膜する。
成膜に寄与しない余分な生成ガス6はチャンバー10の底部に形成された排気口31から真空ポンプ32を用いて排気される。
また、チャンバー10内のクリーニング後に行われるプリコートでは、基板を載置台15に載置せずに行われ、上記と同様に成膜が行われる。
載置台15の上に基板5を載置した後、各種材料の生成ガス6をシャワープレート13から基板5上へ送り出す。
そして、200〜800℃に保持された基板5の主面で分解、還元、酸化、または置換などの化学気相反応を行わせて、基板5の主面に所望の薄膜を成膜する。例えば、SiH4ガス、O2ガスなどの生成ガス6を導入してSiO2膜を基板5上に成膜する。
成膜に寄与しない余分な生成ガス6はチャンバー10の底部に形成された排気口31から真空ポンプ32を用いて排気される。
また、チャンバー10内のクリーニング後に行われるプリコートでは、基板を載置台15に載置せずに行われ、上記と同様に成膜が行われる。
以上のように、本実施形態のCVD装置1では、リフトピン17が下降状態にあるとき、その先端部18が載置台15のリフトピン穴16を塞ぐ構造となっている。このことから、載置台15に基板を乗せて成膜するとき、およびプリコートで基板を載置台15に乗せないで成膜するときにおいても、リフトピン穴16内に生成ガス6が侵入してその内壁に成膜されることを抑制できる。また、リフトピン穴16内にあるリフトピン17の部分についても、生成ガス6による成膜を抑制することができる。
このようにして、リフトピン穴16の内壁およびリフトピン17に薄膜が形成されることに起因するリフトピン17の動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板5の受け渡しが確実に行われるCVD装置1を提供できる。
また、座ぐり部19が形成されていることから、リフトピン17の先端部18が載置台15上面より突出せずに基板5を載置台15の広い面積で接して置くことができ、基板5の加熱が効果的に行える。
(第2の実施形態)
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板5の受け渡しが確実に行われるCVD装置1を提供できる。
また、座ぐり部19が形成されていることから、リフトピン17の先端部18が載置台15上面より突出せずに基板5を載置台15の広い面積で接して置くことができ、基板5の加熱が効果的に行える。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態のCVD装置について説明する。本実施形態のCVD装置は第1の実施形態における載置台に形成されたリフトピン穴周辺の構成が異なり、この部分について詳細に説明する。
図3は本実施形態のCVD装置における載置台を示す概略図であり、図3(a)は平面図、図3(b)は同図(a)のB−B断線に沿う部分断面図である。
図3は本実施形態のCVD装置における載置台を示す概略図であり、図3(a)は平面図、図3(b)は同図(a)のB−B断線に沿う部分断面図である。
図3に示すように、載置台15にはリフトピン穴16が形成されている。リフトピン穴16には基板を支持する棒状のリフトピン27が挿入されている。そして、リフトピン27を昇降させることで、基板の受け渡しが行われる。
また、円板状の載置台15には、平面視でリフトピン穴16を含むように溝部21が形成されている。この溝部21は載置台15の外周において開放された形状の溝となっており、その外周からシャッター22が溝部21に進入可能に構成されている。
また、円板状の載置台15には、平面視でリフトピン穴16を含むように溝部21が形成されている。この溝部21は載置台15の外周において開放された形状の溝となっており、その外周からシャッター22が溝部21に進入可能に構成されている。
シャッター22は板状に形成され、往復機構により往復動する接続部材23に取り付けられている。また、シャッター22の板厚は溝部21の深さ寸法より小さく形成され、シャッター22が載置台15の上面から突出しないように構成されている。
このように、リフトピン27が下降状態にあるときに、シャッター22にてリフトピン穴16を塞ぐことを可能とする構造になっている。
このように、リフトピン27が下降状態にあるときに、シャッター22にてリフトピン穴16を塞ぐことを可能とする構造になっている。
以上、本実施形態のCVD装置において、載置台15のリフトピン穴16を含む位置に溝部21が形成され、溝部21を往復動するシャッター22が備えられていることことから、成膜時にシャッター22でリフトピン穴16を塞ぐことができる。このようにして、生成ガスがリフトピン穴16内に侵入するのを防ぎ、リフトピン穴16の内壁およびリフトピン27に薄膜が形成されることを抑制できる。このようにして、リフトピン穴16の内壁およびリフトピン27に薄膜が形成されることに起因するリフトピン27の上下動の動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われるCVD装置を提供できる。
(第3の実施形態)
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われるCVD装置を提供できる。
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態のCVD装置について説明する。本実施形態のCVD装置は第1の実施形態における載置台に形成されたリフトピン穴周辺の構成が異なり、この部分について詳細に説明する。
図4は本実施形態のCVD装置におけるリフトピン穴の周辺部分を説明する部分断面図である。
図4は本実施形態のCVD装置におけるリフトピン穴の周辺部分を説明する部分断面図である。
図4に示すように、載置台15にはリフトピン穴16が形成されている。リフトピン穴16には基板を支持する棒状のリフトピン28が挿入されている。そして、リフトピン28を昇降させることで、基板の受け渡しが行われる。
リフトピン穴16には、ガス導入管(図示せず)が接続され、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスがリフトピン穴16内に流動可能に構成されている。
リフトピン穴16には、ガス導入管(図示せず)が接続され、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスがリフトピン穴16内に流動可能に構成されている。
このように本実施形態のCVD装置において、リフトピン穴16にガス導入管が接続されリフトピン穴16に不活性ガスが流動可能であることから、成膜時にリフトピン穴16に不活性ガスを流動させることで、生成ガスがリフトピン穴16内に侵入することなく、リフトピン穴16の内壁およびリフトピン28に薄膜が形成されることがない。このようにして、リフトピン穴16の内壁およびリフトピン28に薄膜が形成されることに起因するリフトピン28の動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
(第4の実施形態)
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
(第4の実施形態)
次に、第4の実施形態のCVD装置について説明する。本実施形態のCVD装置は第1の実施形態における載置台に形成されたリフトピン穴周辺の構成が異なり、この部分について詳細に説明する。
図5は本実施形態のCVD装置におけるリフトピン穴の周辺部分を説明する部分断面図である。
図5は本実施形態のCVD装置におけるリフトピン穴の周辺部分を説明する部分断面図である。
図5に示すように、載置台15にはリフトピン穴16が形成されている。リフトピン穴16には基板を支持する棒状のリフトピン29が挿入されている。そして、リフトピン29を昇降させることで、基板の受け渡しが行われる。
リフトピン29には回転装置(図示せず)が接続され、リフトピン29がリフトピン穴16の中で回転可能に構成されている。
リフトピン29には回転装置(図示せず)が接続され、リフトピン29がリフトピン穴16の中で回転可能に構成されている。
このように本実施形態のCVD装置において、リフトピン29に回転装置が接続されていることから、リフトピン29を成膜中に回転させることができる。成膜中に薄膜がリフトピン穴16およびリフトピン29に積層されていっても、リフトピン29を回転させることで、リフトピン29の動く隙間を確保でき、リフトピン29の動作不良を低減することができる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
このことから、安定して成膜を行うことができ、基板の受け渡しが確実に行われる成膜装置を提供できる。
なお、本実施形態では成膜装置としてCVD装置にて説明したが、本発明は成膜に熱エネルギーとプラズマエネルギーとを利用するプラズマCVD装置、HDP−CVD(High Density Plasma Chemical Vapor Deposition)装置などにおいても実施することが可能である。
1…CVD装置、5…基板、6…生成ガス、10…チャンバー、11…第1のプレート、12…拡散プレート、13…シャワープレート、14…第2のプレート、15…載置台、16…リフトピン穴、17…リフトピン、18…リフトピンの先端部、19…座ぐり部、21…溝部、22…シャッター、23…接続部材、27,28,29…リフトピン、30…加熱ランプ、31…排気口、32…真空ポンプ、33…ガス導入管。
Claims (5)
- 化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置であって、
前記基板が載置される載置台と、
前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、
前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、
前記リフトピンの先端部の外形が、前記リフトピン穴の径より大きく形成されていることを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置において、
前記載置台の前記リフトピン穴の上部に座ぐり部が設けられ、前記リフトピンが下降した状態で前記リフトピンの先端部が前記載置台上面より突出しないことを特徴とする成膜装置。 - 化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置であって、
前記基板が載置される載置台と、
前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、
前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、
前記載置台の前記リフトピン穴を含む位置に溝部が形成され、前記溝部を往復動して前記リフトピン穴を塞ぐシャッターが設けられていることを特徴とする成膜装置。 - 化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置であって、
前記基板が載置される載置台と、
前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、
前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、
前記リフトピン穴にガス導入管が接続され、前記リフトピン穴に不活性ガスが流動可能であることを特徴とする成膜装置。 - 化学気相成長により基板上に薄膜を成膜する成膜装置であって、
前記基板が載置される載置台と、
前記載置台に穿孔されたリフトピン穴と、
前記リフトピン穴に挿入され前記基板を前記載置台より上方に支持可能なリフトピンと、を備え、
前記リフトピンに回転装置が接続され、前記リフトピンが回転可能であることを特徴とする成膜装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012222301A (ja) * | 2011-04-13 | 2012-11-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
JPWO2013136384A1 (ja) * | 2012-03-14 | 2015-07-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 締結部材および真空装置 |
JP2023031244A (ja) * | 2021-08-24 | 2023-03-08 | サムス カンパニー リミテッド | 静電チャックを含む基板処理装置と基板処理方法、及び静電チャックの製造方法 |
-
2008
- 2008-02-18 JP JP2008035642A patent/JP2009191339A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012222301A (ja) * | 2011-04-13 | 2012-11-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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JP7356544B2 (ja) | 2021-08-24 | 2023-10-04 | サムス カンパニー リミテッド | 静電チャックを含む基板処理装置と基板処理方法、及び静電チャックの製造方法 |
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