JP2009187981A - 太陽電池パネルのスクライブ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】1台の機械で太陽電池パネルの各膜の絶縁分離溝のスクライブと、電極膜の露出ハツリとが行なえるようにする。
【解決手段】絶縁基板の上面に製膜してある電極膜に光電変換領域毎に電気的に絶縁するための並列する分離溝を加工した素板で、上記電極膜の上に光吸収層を、上記光吸収層の上に透明電極層を製膜した素板Aを荷受けするように設けたテーブル11と、このテーブルの上を横切るように設けたフレーム13と、このフレームの両側間に並列状に配置したスクライブ位置への移動調整可能なベース14と、この各ベースに昇降手段16を介し昇降するように垂設した上記光吸収層、上記透明電極膜に分離溝をスクライブするニードル19と上記荷受けした素板の両側縁のライン直上或いは上記フレームの両側端に昇降手段を介し垂設すると共に、上記電極膜の両側縁を露出させるように上記透明電極膜及び光吸収膜をハツリする刃物45からなる構成を採用する。
【選択図】図2
【解決手段】絶縁基板の上面に製膜してある電極膜に光電変換領域毎に電気的に絶縁するための並列する分離溝を加工した素板で、上記電極膜の上に光吸収層を、上記光吸収層の上に透明電極層を製膜した素板Aを荷受けするように設けたテーブル11と、このテーブルの上を横切るように設けたフレーム13と、このフレームの両側間に並列状に配置したスクライブ位置への移動調整可能なベース14と、この各ベースに昇降手段16を介し昇降するように垂設した上記光吸収層、上記透明電極膜に分離溝をスクライブするニードル19と上記荷受けした素板の両側縁のライン直上或いは上記フレームの両側端に昇降手段を介し垂設すると共に、上記電極膜の両側縁を露出させるように上記透明電極膜及び光吸収膜をハツリする刃物45からなる構成を採用する。
【選択図】図2
Description
この発明は、太陽電池パネルのガラスなどの絶縁基板の表面に設けてある電極膜に設けてある光吸収層及び透明電極層に絶縁分離溝を加工すると共に、絶縁基板の両側縁上に電極用の電極膜をハツリにより露出させるようにしたスクライブ装置に関する。
ガラスなどの絶縁基板の表面に設けてある電極膜に光電変換領域毎に絶縁するための分離溝を、上記電極膜に分離溝幅に適した出力のレーザーを絶縁させて加工することは、特開2000−124488号公報や特開2001−320071号公報により既に知られている。
上記分離溝の加工ずみ電極膜の表面には、まず光吸収層(モリブデンなどの)が、次に透明電極層(硫化亜鉛や硫化インジウムなどの)が積層してある。
そして、上述の光吸収層には、レーザー加工により絶縁分離溝が、透明電極層には、レーザー加工により絶縁分離溝がそれぞれ並列状に加工する(例えば、特許文献1)。
特開平8−242011号公報
そして、上述の光吸収層には、レーザー加工により絶縁分離溝が、透明電極層には、レーザー加工により絶縁分離溝がそれぞれ並列状に加工する(例えば、特許文献1)。
ところで、特許文献1のレーザーエッチング方式によると、レーザーによる分離溝の加工にともない熱的ダメージにより加工のデブリや層の隣接縁の熱溶着にともない導通(短絡が生じやすい)するので、抵抗値に変化があり、不良品の発生原因になる問題があった。
特に、電気的に絶縁にするための分離溝を、分離溝の幅や深さに適合したレーザーを結合させて加工するので、上記条件に適合したレーザーの照射出力の設定に手数がかかる問題もあった。
また、絶縁基板の両側縁上面に電極膜を露出させて、+側と−側の電極とするので、各膜の絶縁分離溝の加工後に別の工程で光吸収膜及び透明電極膜を剥離(ハツリにより)するため非能率的で、大幅なコストアップになる問題があった。
そこで、この発明は、上述の問題を解決した太陽電池パネルのスクライブ装置を提供することにある。
上記の課題を解決するために、この発明は、ガラスなどの絶縁基板の上面に製膜してある電極膜に光電変換領域毎に電気的に絶縁するための並列する分離溝を加工した素板で、上記電極膜の上に光吸収層を製膜した素板、上記光吸収層の上に透明電極層を製膜した素板を荷受けするように設けたテーブルと、このテーブルの上を横切るように設けたフレームと、このフレームの両側間に並列状に配置したスクライブ位置への移動調整可能なベースと、この各ベースに昇降手段を介し昇降するように垂設した上記光吸収層、上記透明電極膜に分離溝をスクライブするニードルと、上記荷受けした素板の両側縁のライン直上或いは上記フレームの両側端に昇降手段を介し垂設すると共に、上記電極膜の両側縁を露出させるように上記透明電極膜及び光吸収膜をハツリする刃物からなり、上記のテーブル或いはフレームのいずれか片方を走行手段により前後方向に進退走行させるようにした構成を採用する。
すると、光吸収層や透明電極層に絶縁分離溝の加工を能率よく、かつ抵抗値に変化がある不良品の発生が少ないと共に、素板の両側縁に刃物により光吸収膜と透明電極膜とをハツリにより剥離して電極膜を露出させた加工が1台の機械で能率よく行なう。
以上のように、この発明の太陽電池パネルのスクライブ装置によれば、テーブル上に光吸収層や透明電極層の製膜してある素板を荷受けしたのち、ベースのニードルを昇降手段により降送して、走行手段によりテーブル或いはフレームのいずれか片方を走行させることで、電極膜上の光吸収層や光吸収層上の透明電極膜にニードルによりスクライブしながら並列する絶縁分離溝を対向する二辺縁間に加工することができる。
このため、レーザーの照射による分離溝の加工にともない発生した熱的ダメージによるデブリや層の隣接縁の熱溶着にともなう導通での抵抗値の変化をきたす不良品の発生、そして、レーザー照射による分離溝の幅や深さに適合したレーザー出力の設定に手数がかかる問題をなくすることができると共に、素板の両側縁上にハツリ刃物により光吸収膜及び透明電極膜をハツリにより剥離しながら電極膜を露出させる加工を1台の機械で能率よく行なうことができる。
このため、スクライブとハツリとを別々の工程で行なうために発生した大幅なコストアップの問題をなくすることができる。
この発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
この発明の実施形態では、図5の(イ)に示すように、ガラスなどの絶縁基板1の上面には、電極膜が製膜され、製膜された電極膜2には、光電変換領域毎に電気的に絶縁するための対向する二辺の縁間に並列する分離溝3が形成してある。
この発明の実施形態では、図5の(イ)に示すように、ガラスなどの絶縁基板1の上面には、電極膜が製膜され、製膜された電極膜2には、光電変換領域毎に電気的に絶縁するための対向する二辺の縁間に並列する分離溝3が形成してある。
上記分離溝3の形成は、既知のように光電変換領域毎に絶縁するための分離溝幅に適した出力のレーザーを結像させて加工する。
上記図5の(イ)に示す分離溝3の加工ずみ電極膜2の上面には、図5の(ロ)に示すようにモリブデンなどの光吸収膜4が製膜されて素板Aを形成する。
上記の素板Aは、図1から図3に示すテーブル11上に供給して荷受けする。
荷受けする素板Aは、例えば、中空のテーブル11の頂壁に無数の小孔12を設けて、テーブル11内の吸引にともないテーブル11上に素板Aを吸引保持させるようにしてある。
荷受けする素板Aは、例えば、中空のテーブル11の頂壁に無数の小孔12を設けて、テーブル11内の吸引にともないテーブル11上に素板Aを吸引保持させるようにしてある。
勿論、周知のように、例えばテーブル11上のピンを(図示省略)素板Aの1つのコーナーを挟む二辺縁に当接させて、定位置に素板Aを位置決めする。
13はテーブル11の上を横切るフレームで、このフレーム13の左右の両端間には、並列状に配置したベース14が並んでいる。
上記の各ベース14は、フレーム13の1面両端間に設けたレール15をガイドとして(蟻溝に突条を嵌め合わせて)スライド自在になり、周知の方法、例えば数値制御や人手により所定位置、すなわち、スクライブラインの直上に移動調整できるようにしておく。
そして、各ベース14には、昇降手段16により昇降する昇降体17が設けてあり、この昇降体17に支持させたホルダ18には、スクライブ用のニードル19が保持させてある。
上記の昇降手段16は、図示の場合ベース14に設けた縦方向のレール31にスライド自在に係合したスライダ32を有する昇降体33と、この昇降体33の上端からねじ込んだボールネジ34と、このボールネジ34を可逆駆動するようにベース14に据え付けたモーター35とで構成され、数値制御によりモーター35を運転してボールネジ34をドライブしながら昇降体33と共にホルダ18を降送しながらニードル19によるスクライブ深さを設定するようにしたが、上述の構成に限定されず、上記の目的を達成するその他の構成の昇降手段16を採用してもよい。
なお、図示のように、ホルダ18を有する軸材36の上端にシリンダ37による押圧力を付与しておくと、スクライブの際のニードル19の上下の微動を許容して、スクライブの際の追従をスムーズにすることなどができる。
そして、テーブル11或いはフレーム13のいずれか片方が走行手段Sにより進退走行するようにしてある。
図示の場合、フレーム13を進退走行させるようにしたが、限定されず、テーブル11を進退走行させてもよい。
上記の走行手段Sは、図示の場合、フレーム13を門型にして、フレーム13の両側下端のスライダ21をレール22にスライド自在に係合すると共に、モーター23の可逆運転により伝達機構24をへてレール22の外側で軸承してある雄ネジ25を駆動し、この雄ネジ25にフレーム13の両側下端に支持させてある雌ネジ26をねじ込んで構成したが、その他の手段で進退走行させてもよい。
上記のように構成すると、テーブル11上に素板Aを供給したのち、進退走行手段Sの運転によりフレーム13を前進走行させる。
このとき、昇降手段16によりスクライブ深さにニードル19を降下させておく。
すると、図5の(ハ)に示すように光吸収膜4をニードル19により並列する絶縁分離溝5をスクライブする。
すると、図5の(ハ)に示すように光吸収膜4をニードル19により並列する絶縁分離溝5をスクライブする。
上記のスクライブ後に昇降手段16によりニードル19を上昇させ、又進退走行手段Sによりフレーム13を後退させておく。
上記分離溝5のスクライブずみ素板Aの表面には、図5(ニ)に示す硫化亜鉛や硫化インジウムなどの透明電極膜6が製膜された素板Bを得る。
その後にテーブル11上に素板Bを荷受けしたのち、素板Aのスクライブ加工と同様の手順をへて素板Bの透明電極膜6に図5(ホ)に示すようにニードル19により並列する絶縁分離溝7をスクライブする。
すると、図に示すような分離溝5、7がスクライブされる。
すると、図に示すような分離溝5、7がスクライブされる。
なお、図1、3に示すように、テーブル11を旋回装置40により可逆回転できるようにすると共に、レール15により所望位置に移動調整できる(人手や数値制御により)左右両側のベース14の側にカメラP1、P2を搭載し、カメラP1、P2により素板A、Bの両側辺縁を読み取り、読み取りにともないテーブル11を正転、逆転させて、素板A、Bの位置をアライメントする。
そして、図1、2に示すようにフレーム13の両側端にハツリ量を設定する昇降手段42を介し昇降自在に垂設すると共に、電極膜2の両側縁部を露出させるように透明電極膜6及び光吸収膜4をハツリにより剥離する刃物45を設けておく。
上記の刃物45をニードル19と同様に、フレーム13のレール41をガイドとして(蟻溝と突条をスライド自在に嵌め合わせて)スライドするベース46には、昇降手段42により昇降する昇降体43が設けてあり、この昇降体43に支持させたホルダ44には、ハツリ用の刃物45が保持させてある。
上記の昇降手段42には、図示の場合、昇降手段16と同様にベース46に設けた縦方向のレール47にスライド自在に係合したスライダ48を有する昇降体49と、この昇降体49の上端からねじ込んだボールネジ50と、このボールネジ50を可逆駆動するようにベース46に据え付けたモーター51とで構成され、数値制御によりモーター51を運転してボールネジ50をドライブしながら昇降体49と共にホルダ44を降送しながら、刃物45によるハツリ量(深さ)を設定するようにしたが、上述の構成に限定されず、上記の目的を達成するその他の構成の昇降手段42を採用してもよい。
なお、図示のようにホルダ44を有する軸材52の上端にシリンダ53による押圧力を付与しておくと、ハツリの際刃物45の上下の微動を許容すると共に、付与押圧力により下方に押し戻してハツリの追従をスムーズにすることができる。
上記のように構成すると、図6(ホ)に示すようにニードル19により透明電極膜6に絶縁分離溝7をスクライブしたのち、昇降手段42により刃物45を降送し、次いで進退走行手段Sの運転によりフレーム13を前進走行させる。
すると、刃物45により素板Bの透明電極膜6及び光吸収膜4の両側縁部分をハツリにより剥離して、図6(ヘ)に示すように電極膜2の両側縁部を露出させる。
従って、1台の機械でスクライブとハツリとの加工が可能である。
従って、1台の機械でスクライブとハツリとの加工が可能である。
なお、図示の場合フレーム13と共に刃物45を進退走行させて、テーブル11を定置式としたが、限定されず、フレーム13と刃物45側を定置式にしてテーブル11を進退走行させてもよい。
その際、刃物45の昇降手段42の設置ベースをシリンダなどでテーブル11の側縁に対し接近、離反のスライド方式にすることもできる。
勿論、フレーム13のスライドベース46を入手や数値制御により所定位置に移動させて刃物42によるハツリ位置を決定すればよい。
1 絶縁基板
2 電極膜
3 分離溝
4 光吸収膜
5 分離溝
6 透明電極膜
A,B 素板
11 テーブル
12 小孔
13 フレーム
14、46 ベース
15、41 レール
16、42 昇降手段
17、43 昇降体
18 ホルダ
19 ニードル
S 走行手段
21 スライダ
22 レール
23 モーター
24 伝達機構
25 雄ネジ
26 雌ネジ
31、47 レール
32、48 スライダ
33、49 昇降体
34、50 ボールネジ
35、51 モーター
44 ホルダ
45 刃物
2 電極膜
3 分離溝
4 光吸収膜
5 分離溝
6 透明電極膜
A,B 素板
11 テーブル
12 小孔
13 フレーム
14、46 ベース
15、41 レール
16、42 昇降手段
17、43 昇降体
18 ホルダ
19 ニードル
S 走行手段
21 スライダ
22 レール
23 モーター
24 伝達機構
25 雄ネジ
26 雌ネジ
31、47 レール
32、48 スライダ
33、49 昇降体
34、50 ボールネジ
35、51 モーター
44 ホルダ
45 刃物
Claims (1)
- ガラスなどの絶縁基板の上面に製膜してある電極膜に光電変換領域毎に電気的に絶縁するための並列する分離溝を加工した素板で、上記電極膜の上に光吸収層を製膜した素板、上記光吸収層の上に透明電極層を製膜した素板を荷受けするように設けたテーブルと、このテーブルの上を横切るように設けたフレームと、このフレームの両側間に並列状に配置したスクライブ位置への移動調整可能なベースと、この各ベースに昇降手段を介し昇降するように垂設した上記光吸収層、上記透明電極膜に分離溝をスクライブするニードルと、上記荷受けした素板の両側縁のライン直上或いは上記フレームの両側端に昇降手段を介し垂設すると共に、上記電極膜の両側縁を露出させるように上記透明電極膜及び光吸収膜をハツリする刃物からなり、上記のテーブル或いはフレームのいずれか片方を走行手段により前後方向に進退走行させるようにしたことを特徴とする太陽電池パネルのスクライブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008023183A JP2009187981A (ja) | 2008-02-01 | 2008-02-01 | 太陽電池パネルのスクライブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008023183A JP2009187981A (ja) | 2008-02-01 | 2008-02-01 | 太陽電池パネルのスクライブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
ID=41070975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008023183A Pending JP2009187981A (ja) | 2008-02-01 | 2008-02-01 | 太陽電池パネルのスクライブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009187981A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101233400B1 (ko) | 2011-04-18 | 2013-02-28 | 에버테크노 주식회사 | 메카니컬 스크라이버의 스크라이브 팁 정렬장치 및 방법 |
EP2874189A3 (en) * | 2013-11-06 | 2015-07-08 | Samsung SDI Co., Ltd. | Scribing apparatus for manufacturing solar cells |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS62205669A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-10 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜太陽電池の製造方法 |
JP2000315809A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-11-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 集積型薄膜太陽電池の製造方法およびパターニング装置 |
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-
2008
- 2008-02-01 JP JP2008023183A patent/JP2009187981A/ja active Pending
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