JP2009180671A - 円筒内径測定方法及び装置、並びに円筒三次元表示方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】円筒内径を高速測定可能な測定方法、装置及び円筒内径測定から円筒三次元表示までの時間を短縮し円筒三次元表示の高速化が可能な表示方法、装置を提供する。
【解決手段】エアーマイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させて円筒内径を測定する方法において、測定ヘッドを被測定円筒開口端の一方側から他方側に螺旋移動させながら、被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置（被測定円筒の軸方向位置及び軸周り方向位置）の検出を行う。被測定円筒軸方向の１点で測定ヘッド停止状態での被測定円筒の内径を基準内径値として測定し、この基準内径値と、螺旋移動状態での内径測定値群中の基準内径値測定位置近傍での内径測定値との差を用いて螺旋移動状態における各内径測定値を補正する。補正済み円筒内径測定値を測定ヘッドの各位置における円筒内径測定値とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、エアーマイクロセンサ（空気マイクロメータ、エアーマイクロメータ、エアーマイクロゲージ等ともいう。）や電気マイクロセンサ等のマイクロセンサ、特にエアーマイクロセンサを用いて、シリンダブロックのボア穴等の円筒の内径を測定する円筒内径測定方法及び装置、並びに円筒三次元表示方法及び装置に関するものである。

従来、この種の円筒内径を測定する技術には、揺動腕をシリンダブロックのボア穴内に挿入して拡張させることで、その拡張量からボア穴内径を測定するというものがあった（例えば特許文献１）。

特開平５−１３３７０２号公報

しかしながら上記従来技術では、揺動腕を拡張しながら測定するため、測定点で揺動腕を停止させなければならなず、したがって円筒の内径測定に時間がかかった。

本発明は、上記のような実情に鑑みなされたもので、円筒の内径を高速に測定できる円筒内径測定方法及び装置、並びに円筒内径測定から円筒三次元表示までの時間を短縮し、円筒三次元表示の高速化を可能とした円筒内径測定方法及び装置、並びに円筒三次元表示方法及び装置を提供することを課題とする。

上記課題は、円筒内径測定方法及び装置、並びに円筒三次元表示方法及び装置を下記各態様の構成とすることによって解決される。
各態様は、請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴及びそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、１つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではなく、一部の事項のみを取り出して採用することも可能である。

以下の各項のうち、（１）項が請求項１に、（３）項が請求項２に、（５）項が請求項３に、（６）項が請求項４に、各々対応する。（２）項及び（４）項は請求項に係る発明ではない。

（１） マイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させてその円筒内径を測定する円筒内径測定方法であって、前記測定ヘッドを被測定円筒の一方の開口端側から他方の開口端側に向けて、軸周り方向に回転させると共に軸方向に移動させた状態で被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置検出を行い、被測定円筒軸方向における少なくとも１点において前記測定ヘッドを停止させた状態でその被測定円筒の内径を測定し、この停止状態における内径測定値と、前記回転移動状態における内径測定値群のうちの前記停止状態における内径測定値の測定位置近傍で測定された内径測定値との差に基づいて前記回転移動状態における各内径測定値に対して補正を行い、その補正の結果値を前記測定ヘッドの各位置における円筒内径測定値とすることを特徴とする円筒内径測定方法。
軸周り方向に回転させると共に軸方向に移動させた状態で検出される測定ヘッドの位置としては、測定ヘッドの軸周り回転角（θ）及び被測定円筒内の軸方向位置（Ｚ）が挙げられる。
（２） 測定ヘッドの前記回転移動状態における被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置検出を、測定ヘッドの、被測定円筒の両開口端間における軌跡をずらせた少なくとも１往復の移動中行うことを特徴とする（１）項に記載の円筒内径測定方法。
測定ヘッドの、被測定円筒の両開口端間における軌跡をずらせた軸方向の移動回数を増やせば内径測定値も増え、測定精度が増す。内径測定のための軸方向の移動の単位を往復動とすれば、被測定円筒に対する測定ヘッドの抜出し方向が進入方向と同方向となるので、測定ヘッドの移動機構が簡単となり、また、必要最少限の時間で軸方向移動２回分の測定が行える。
（３） マイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させてその円筒内径を測定する円筒内径測定装置であって、前記測定ヘッドを被測定円筒の一方の開口端側から他方の開口端側に向けて、軸周り方向に回転させると共に軸方向に移動させた状態で被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置検出を行う内径測定／測定ヘッド位置検出手段と、被測定円筒軸方向における少なくとも１点において前記測定ヘッドを停止させた状態でその被測定円筒の内径を測定する停止時内径測定手段と、この停止時内径測定手段により測定された内径測定値と、前記内径測定／測定ヘッド位置検出手段により測定された内径測定値群のうちの前記停止時内径測定手段により測定された内径測定値の測定位置近傍で測定された内径測定値との差に基づいて前記内径測定／測定ヘッド位置検出手段により測定された内径測定値に対して補正を行う内径測定値補正手段とを備え、この内径測定値補正手段による補正の結果値を前記測定ヘッドの各位置における円筒内径測定値とすることを特徴とする円筒内径測定装置。
本項の円筒内径測定装置は、（１）項の発明を具現化したものである。
（４） 内径測定／測定ヘッド位置検出手段は、測定ヘッドの前記回転移動状態における被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置検出を、測定ヘッドの、被測定円筒の両開口端間における軌跡をずらせた少なくとも１往復の移動中行うことを特徴とする（３）項に記載の円筒内径測定装置。
本項の円筒内径測定装置は（２）項の発明を具現化したものである。本項の発明によれば、円筒内径を高効率（高速）、高精度にて測定可能な円筒内径測定装置を提供できる。
（５） （１）項に記載の円筒内径測定方法による複数の円筒内径測定値、及びこの複数の円筒内径測定値を用いた補間演算により得られた円筒内径測定値を用いて前記被測定円筒の三次元表示を行うことを特徴とする円筒三次元表示方法。
補間は、例えば円筒内径測定方法による円筒内径測定値の測定位置近傍で測定された複数の内径測定値の平均値や対角（１８０°反対側）に位置する測定値等を用いて行われる。三次元表示としてはワイヤーフレーム表示が挙げられる。
（６） （３）項に記載の円筒内径測定装置による複数の円筒内径測定値、及びこの複数の円筒内径測定値を用いた補間演算により得られた円筒内径測定値を用いて前記被測定円筒の三次元表示を行う三次元表示手段を具備することを特徴とする円筒三次元表示装置。 本項の円筒三次元表示装置は（５）項の発明を具現化したものである。

（１）項に記載の発明によれば、円筒内径測定に当たり、測定する円筒軸方向各位置で測定ヘッドを停止させないので円筒の内径を高速に測定できる。
（３）項に記載の発明によれば、円筒内径を高速測定可能な円筒内径測定装置を提供できる。
（５）項に記載の発明によれば、被測定円筒の三次元表示を高速に行える。
（６）項に記載の発明によれば、被測定円筒の三次元表示を高速に行える円筒三次元表示装置を提供できる。
なお、（２）項、（４）項に記載の発明は、本発明（特許請求の範囲に記載した発明）ではないので、上記課題を解決するための手段の欄にその効果を述べた。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。なお、各図間において、同一符号は同一又は相当部分を示す。
図１は、本発明に係る円筒内径測定方法の一実施形態の概念図、図２は同測定方法及び同測定方法で測定された円筒内径測定値による円筒三次元表示方法の一実施形態を説明するためのフローチャートである。
本発明に係る円筒内径測定方法は、基本的にはマイクロセンサ、ここではエアーマイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させてその円筒内径を測定する方法である。
ここで、エアーマイクロセンサとは、一定圧力の空気を小さなすき間（エアーノズル）から被測定対象に向けて噴出させ、その圧力や流量の変化に基づいて被測定対象との距離（隙間等の寸法）を測定する非接触式の測定器で、空気マイクロメータ、エアーマイクロメータあるいはエアーマイクロゲージ等とも称されるものである（特開２００１−０９９６３４号公報、特開２００１−１０８４２９号公報、特開２００２−３１８１１２号公報等、参照）。
図１に示すように、本実施形態で用いられるエアーマイクロセンサは、その測定ヘッド１１の対角（１８０°離れた位置）に各々１個のエアーノズル１２を備えてなる。そして、この測定ヘッド１１を、被測定対象であるシリンダブロックボア穴等の被測定円筒１３内に挿入して作動させたときの測定エアーの背圧を空気Ａ／電圧Ｅ変換器に与えて電圧に変換し、これに基づき円筒内径測定値を得るものである。

本実施形態に係る円筒内径測定方法においては、まず、測定開始位置Ｚにて停止状態で円筒内径値Ｄを１点サンプリング（測定）する。停止状態においては、測定ヘッド１１に揺れ等の無用な動きはなく、したがって停止状態でサンプリングされた測定開始位置１点の円筒内径値は、以降の移動させながら行われる測定とは異なって正確な測定値となり、この円筒内径測定値は基準内径値とされる。
次に、上記測定ヘッド１１を、被測定円筒１３の一方の開口端側から他方の開口端側に向けて、高速に、軸周り方向に回転させると共に軸方向に移動させた状態で、つまり螺旋状に移動（螺旋移動）させながら、被測定円筒１３の内径測定と測定ヘッド１１の位置検出を行う。
本実施形態では、図１中の矢印アから分かるように、測定ヘッド１１は被測定円筒１３の上方の開口端側から下方の開口端側に向けて螺旋移動される。被測定円筒１３の内径測定と測定ヘッド１１の位置検出は一定時間間隔で行われ、被測定円筒１３の軸方向全長に亘る多数の位置の内径値Ｄがその被測定円筒軸方向位置Ｚと共にサンプリングされる。

そして、螺旋移動をさせながらサンプリングした被測定円筒１３の軸方向各位置における内径測定値は測定ヘッド１１の揺れ等による誤差を含むことから、その内径測定値の補正を上記基準内径値を用いて行い、その補正の結果値を被測定円筒１３の軸方向各位置における円筒内径測定値とする。
これにより、被測定円筒１３の軸方向の多数位置における円筒内径測定の高速化が可能となる。また、このような被測定円筒軸方向の多数位置における円筒内径測定値を用いることにより、円筒内径測定開始から円筒三次元表示までの時間を短縮でき、円筒三次元表示の高速化も可能となる。

以下、本実施形態の詳細を図２のフローチャート及び図３の概念図を参照して説明する。
ステップ１０１では、上述した測定開始位置、図１に示すように測定ヘッド１１を被測定円筒１３の上方開口端側から進入させる場合においてはその上方開口端から僅かに被測定円筒１３内に入った位置にて、停止状態で円筒内径値Ｄ（図３(a)参照）を１点サンプリング（測定）する。この位置における円筒内径測定値は測定ヘッド１１を停止した状態で取得しているので正確な値であり、基準内径値として保存しておく。

ステップ１０２では、測定ヘッド１１を被測定円筒１３の上方の開口端側から下方の開口端側に向けて高速に螺旋移動させながら（図１、図３(b)中、矢印ア参照）、被測定円筒１３の内径測定と測定ヘッド１１の位置検出を行う。
ここでは、被測定円筒軸方向の測定位置つまり測定値を増やし、測定精度を上げるため、測定ヘッド１１の上記螺旋移動を被測定円筒１３の上方開口端及び下方開口端間で往復させて行う。この往復の回数は多いほど測定値が増えて測定精度が高まる。この場合、測定ヘッド１１の螺旋移動の往路と復路の軌跡はずらされ、また、往復回数が複数回に亘る場合の往路，復路の各軌跡もずらされることは勿論であるが、軌跡の交叉は妨げない。要は、復路が往路の単純な逆戻りではなく、測定ヘッド１１を同方向に回転させたまま、被測定円筒１３内を軸方向に上げ下げすればよい。このような螺旋往復動作は、高速かつ一定速で行われ、またこの間の、被測定円筒１３の内径値測定及びこの測定時の被測定円筒１３の軸方向位置の検出（サンプリング）は、一定時間間隔、例えば数十μｓｅｃ周期で行われる。
なお、測定ヘッド１１の位置検出には、被測定円筒１３の内径測定時における同測定ヘッド１１の被測定円筒軸方向位置Ｚの他、同内径測定時の測定ヘッド１１の被測定円筒軸周り方向の回転位置（軸周り回転角θ）を含む。軸周り回転角θは、後述する円筒三次元表示の際に用いられる。

ステップ１０３では、螺旋往復動作中にサンプリングされた全ての円筒内径測定値を、上記基準内径値を用いて補正する。螺旋移動をさせながらサンプリングした被測定円筒１３の軸方向各位置における円筒内径測定値は測定ヘッド１１の揺れ等による誤差を含むからである。
この補正は、例えば上記基準内径値と、螺旋往復動作において測定された円筒内径値（円筒内径測定値）群中、上記基準内径値の測定位置近傍で測定された円筒内径値との差を、各円筒内径値に加算して行う。
以上のステップ１０１〜１０３までが本実施形態の円筒内径測定方法に係るステップであり、このような円筒内径測定方法によれば、円筒内径測定に当たり、被測定円筒１３の軸方向各位置で測定ヘッド１１を停止させないので円筒内径を高速に測定できる。

次に、このような円筒内径測定方法により測定された円筒内径測定値（以下、補正済み円筒内径測定値と記す。）を用いた円筒三次元表示方法について説明する。
まずステップ１０４では、適宜設定したワイヤーフレーム基準座標に対して、その近傍の複数の補正済み内径測定値を用いた補間演算、例えば平均値計算によりワイヤーフレームを表示する座標を求める。
ワイヤーフレーム基準座標に対して、その近傍に補正済み内径測定値が存在しない場合には、全ての補正済み内径測定値を用いた補間演算によりワイヤーフレームを表示する座標を求める（ステップ１０５）。
ワイヤーフレーム基準座標に対して、その近傍に補正済み内径測定値が１つしか存在しない場合には、それをワイヤーフレームを表示する座標とするか、あるいはステップ１０５の処理を施すかは適宜定められる。

ここで、ワイヤーフレーム基準座標について説明する。
上記ステップ１０１〜１０３で得られた補正済み円筒内径測定値は、螺旋往復動作中にサンプリングされた円筒内径測定値であるから、ワイヤーフレームとして表示できる位置からは多くの場合外れている。しかし円筒内径測定値のサンプリング時には、各内径測定時における測定ヘッド１１の被測定円筒軸方向位置Ｚの他、測定ヘッド１１の被測定円筒軸周り方向の回転位置（軸周り回転角θ）をも得られる。したがって、Ｚ軸を被測定円筒１３の中心軸とすれば、被測定円筒軸方向位置Ｚ及び軸周り回転角θにより、被測定円筒中心軸における高さ位置Ｚと方向θが得られる。そして、Ｚ軸からその方向θに向けて補正済み内径測定値を与えれば、その高さ位置Ｚにおける被測定円筒１３の輪郭点（座標）が求まる。そして、全ての被測定円筒軸方向位置Ｚ及び軸周り回転角θについて補正済み内径測定値を与えれば被測定円筒１３の多数の輪郭点が求まる。
しかしこの輪郭点は、ワイヤーフレームとして表示できる位置からは多くの場合外れている。そこで、ワイヤーフレーム基準座標を与える基準フレーム３１を図３(c)に示すように想定し、この基準フレーム３１上の座標（ワイヤーフレーム基準座標）に対して実際にワイヤーフレームを表示する座標を、そのワイヤーフレーム基準座標近傍に位置する複数の輪郭点を用いて補間演算により求める。例えば、図３(c)に示す基準フレーム３１の上方開口端Ｚ＝２０、回転角θ＝０°のワイヤーフレーム基準座標Ｐ２０に対するワイヤーフレーム表示座標は、Ｚ＝２０近傍、θ＝０°近傍であって補正済み内径測定値（ここではその半径）となる値が、ワイヤーフレーム基準座標Ｐ２０近傍に位置する２つの輪郭点ｐ１，ｐ２を用いた補間演算により求める。また、図３(c)に示す基準フレーム３１の下方開口端Ｚ＝０、回転角θ＝０°のワイヤーフレーム基準座標Ｐ０に対するワイヤーフレーム表示座標は、この近傍に補正済み内径測定値がないと仮定したとき、全ての補正済み内径測定値を用いた補間演算により求める。
図３(c)に示す基準フレーム３１は、Ｚ値をＺ軸上に３点（Ｚ＝０，１０，２０）採った例を示しているが、更に多くの点数（座標）を設定してもよいことは勿論である。Ｚ軸周り回転角θも多く設定すればより精度の高いワイヤーフレーム表示が可能となる。

ステップ１０６では、ステップ１０１〜１０３による補正済み円筒内径測定値及びステップ１０４〜１０５により得られた全座標にワイヤーフレーム表示点をプロット（ワイヤーフレーム３２を表示）する（図３(d)参照）。
なお、以上は内径測定を直径測定により行った場合の説明であり、内径測定を半径測定で行った場合には、次のようにしてワイヤーフレーム表示点をプロットする。
すなわち、内径測定を半径測定で行ったためにワイヤーフレーム基準座標近傍に内径測定値が存在しない場合には、半径測定で得られた片側の補正済み円筒内径測定値や補間演算による座標を１８０°反対側についてワイヤーフレーム表示点としてプロットする。

以上に述べた本実施形態の円筒三次元表示方法によれば、円筒内径測定から円筒三次元表示までの時間が短縮され、円筒内径測定から円筒三次元表示までの全体の処理の高速化が図れる。
螺旋移動をさせながらの円筒内径測定値のサンプリングであることによる、ワイヤーフレーム基準座標に対するワイヤーフレーム表示のための座標データの欠け（必要とする位置データの欠落）は、複数の補正済み円筒内径測定値を用いた補間演算により求めるので、ワイヤーフレーム表示のために直接用いることのできる座標データが少なくても簡易で滑らかな３次元表示が可能である。
測定ヘッド１１の螺旋移動の往復回数を多くすれば、測定値が増えて測定精度が高まり、より正確な３次元表示が可能となる。

図４は、上述した円筒三次元表示方法が適用された装置、ここではパーソナルコンピュータ（以下、パソコンという。）を備えたシリンダブロックボア穴ホーニング加工設備の概念図である。
この図において、４１は加工設備本体である。
加工設備本体４１は、シリンダブロック４２に対してボア穴ホーニング加工を施す砥石４３を備える。この砥石４３は、上下往復、回転、拡張及び回転トルク（主軸回転トルク）の各制御が可能である。制御は、上下往復及び拡張についてはサーボ制御が、回転（回転トルクを含む）についてはインバータ制御が用いられている。

定寸装置（内径測定装置）５１は、エアーマイクロセンサ４４で測定されたブロックボア穴４２ａ（被測定円筒１３）の内径について基本的な演算と判定処理を行い、結果を設備動作コントローラ５５に出力する。
サーボモータ用アンプ５２，５３は、ブロックボア穴内面への砥石拡張、砥石上下往復の加工動作を制御するためのサーボモータ用アンプで、その出力信号は設備動作コントローラ５５に与えられる。
トルクセンサ用アンプ５４は、ブロックボア穴内面への砥石回転の加工動作を砥石切れ味として監視し、結果を設備動作コントローラ５５に出力する。
設備動作コントローラ５５には、上記定寸装置５１及びアンプ５２〜５４以外にも、ボア穴ホーニング加工の必要に応じて他の制御機器も接続可能である。

設備動作コントローラ５５は、動作パラメータである設備動作条件データが設定され、かつ、定寸装置５１及びアンプ５２〜５４等からの信号が入力されて、設備動作、つまり砥石４３の上下往復、回転、拡張及び回転トルク等を制御し、シリンダブロックボア穴ホーニング加工を行わせる。
この設備動作コントローラ５５は、円筒内径測定及び円筒三次元表示用のパソコン５６とＬＡＮ（Ｌocal Ａrea Ｎetwork）で接続され、ＴＣＰ／ＩＰプロトコル通信が可能である。

上記パソコン５６は、同パソコン５６内に格納された円筒内径測定及び円筒三次元表示用のプログラムを実行することにより図２中のステップ１０１〜１０６の処理を行う。
すなわちパソコン５６は、ブロックボア穴（被測定円筒）４２ａの基準内径値、円筒内径測定値及び砥石４３に付設されたエアーマイクロセンサ測定ヘッドの位置検出値（被測定円筒の内径測定時における測定ヘッドの被測定円筒軸方向位置Ｚ及び軸周り回転角θ）を設備動作コントローラ５５から受信し、上述した円筒内径測定及び円筒三次元表示を実行する。

なおパソコン５６は、上記円筒内径測定及び円筒三次元表示用のプログラムとによって、内径測定／測定ヘッド位置検出手段、停止時内径測定手段、内径測定値補正手段及び三次元表示手段を構成する。
ここで、内径測定／測定ヘッド位置検出手段は、エアーマイクロセンサの測定ヘッドをブロックボア穴（被測定円筒）４２ａの一方の開口端側から他方の開口端側に向けて、軸周り方向に回転させると共に軸方向に移動させた状態でブロックボア穴４２ａの内径測定と上記測定ヘッドの位置検出を行う手段である。
停止時内径測定手段は、ブロックボア穴４２ａ軸方向における少なくとも１点において上記測定ヘッドを停止させた状態でそのブロックボア穴４２ａの内径を測定してその値を記憶する手段である。
内径測定値補正手段は、上記停止時内径測定手段により測定された正確な内径測定値と、上記内径測定／測定ヘッド位置検出手段により測定された内径測定値群のうちの上記停止時内径測定手段により測定された内径測定値の測定位置近傍で測定された内径測定値との差に基づいて上記内径測定／測定ヘッド位置検出手段により測定された内径測定値に対して補正を行う手段である。
三次元表示手段は、複数の円筒内径測定値、及びこの複数の円筒内径測定値を用いた補間演算により得られた円筒内径測定値を用いて上記ブロックボア穴４２ａの三次元表示を行う手段である。
内径測定／測定ヘッド位置検出手段及び停止時内径測定手段が定寸装置５１や設備動作コントローラ５５に備えているのであれば、それらをパソコン５６が備える必要はない。

以上述べた円筒三次元表示装置によれば、円筒内径測定から円筒三次元表示までの時間が短縮され、円筒内径測定から円筒三次元表示までの全体の処理の高速化を図ることができる。また円筒三次元表示を、ボア穴ホーニング加工に追随してリアルタイムで行うこともできるという効果もある。

なお上述実施形態において、エアーマイクロセンサの測定ヘッドを螺旋移動させるのは被測定円筒の内径測定を高速で行うためであるから、被測定円筒内径を高速測定できれば螺旋移動のみに限られない。例えば、図５中の矢印イに示すように、測定ヘッド（図１の測定ヘッド１１参照）を被測定円筒１３の上部開口端及び下部開口端間で往復動させながら軸周り方向に一定間隔で回転させ、その間に被測定円筒１３の内径測定を行うようにしてもよい。この場合も、内径測定に伴って測定ヘッド１１の位置（Ｚ及びθ）の検出を行うことは上述実施形態と同様である。
また上述実施形態では、マイクロセンサとしてエアーマイクロセンサを用いた場合について述べたが、他のマイクロセンサ、例えば電気マイクロセンサを用いてもよい。

本発明に係る円筒内径測定方法の一実施形態の概念図である。 同上測定方法及び同上測定方法で測定された円筒内径測定値による円筒三次元表示方法の一実施形態を説明するためのフローチャートである。 本実施形態による円筒三次元表示手順の概念図である。 円筒三次元表示方法が適用された装置を備えたボア穴ホーニング加工設備の概念図である。 円筒内径測定時における測定ヘッドの移動のさせ方の他の例を示す図である。

符号の説明

１１：測定ヘッド、１２：エアーノズル、１０１〜１０３：円筒内径測定方法に係る処理ステップ、１０４〜１０６：円筒三次元表示方法に係る処理ステップ。

Claims (4)

1. マイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させてその円筒内径を測定する円筒内径測定方法であって、
   前記測定ヘッドを被測定円筒の一方の開口端側から他方の開口端側に向けて、軸周り方向に回転させると共に軸方向に移動させた状態で被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置検出を行い、
   被測定円筒軸方向における少なくとも１点において前記測定ヘッドを停止させた状態でその被測定円筒の内径を測定し、
   この停止状態における内径測定値と、前記回転移動状態における内径測定値群のうちの前記停止状態における内径測定値の測定位置近傍で測定された内径測定値との差に基づいて前記回転移動状態における各内径測定値に対して補正を行い、その補正の結果値を前記測定ヘッドの各位置における円筒内径測定値とすることを特徴とする円筒内径測定方法。
2. マイクロセンサの測定ヘッドを被測定円筒内で軸方向に移動させてその円筒内径を測定する円筒内径測定装置であって、
   前記測定ヘッドを被測定円筒の一方の開口端側から他方の開口端側に向けて、軸周り方向に回転させると共に軸方向に移動させた状態で被測定円筒の内径測定と測定ヘッドの位置検出を行う内径測定／測定ヘッド位置検出手段と、
   被測定円筒軸方向における少なくとも１点において前記測定ヘッドを停止させた状態でその被測定円筒の内径を測定する停止時内径測定手段と、
   この停止時内径測定手段により測定された内径測定値と、前記内径測定／測定ヘッド位置検出手段により測定された内径測定値群のうちの前記停止時内径測定手段により測定された内径測定値の測定位置近傍で測定された内径測定値との差に基づいて前記内径測定／測定ヘッド位置検出手段により測定された内径測定値に対して補正を行う内径測定値補正手段とを備え、
   この内径測定値補正手段による補正の結果値を前記測定ヘッドの各位置における円筒内径測定値とすることを特徴とする円筒内径測定装置。
3. 請求項１に記載の円筒内径測定方法による複数の円筒内径測定値、及びこの複数の円筒内径測定値を用いた補間演算により得られた円筒内径測定値を用いて前記被測定円筒の三次元表示を行うことを特徴とする円筒三次元表示方法。
4. 請求項２に記載の円筒内径測定装置による複数の円筒内径測定値、及びこの複数の円筒内径測定値を用いた補間演算により得られた円筒内径測定値を用いて前記被測定円筒の三次元表示を行う三次元表示手段を具備することを特徴とする円筒三次元表示装置。

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