JP2009177495A - 固体撮像素子の検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】画素欠陥の補正を正確に行うことができる補正データを生成する。
【解決手段】検査対象のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動を制御し、受光素子から信号電荷を読み出したうえで垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第１撮像動作と、受光素子から信号電荷を読み出さずに垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第２撮像動作とを実行させる。第１撮像動作の下で得られる画像の第１欠陥アドレスと、第２撮像動作の下で得られる画像の第２欠陥アドレスとを比較し、第１欠陥アドレスにのみ存在する画素欠陥を一般的な点欠陥、第１及び第２欠陥アドレスに共通して存在する画素欠陥を特殊な点欠陥と判定し、画素欠陥が一般的な点欠陥の場合には、その欠陥アドレスをそのまま補正アドレスとし、画素欠陥が特殊な点欠陥である場合には、その欠陥アドレスに加えて、その特殊な点欠陥と同一水平位置の画素群の座標を補正アドレスとして補正データを生成する。
【選択図】図８

Description

本発明は、画像中から画素欠陥を検出して補正データを生成する固体撮像素子の検査装置及び検査方法に関する。

固体撮像素子は、被写体光を複数の受光素子にて光電変換を行い、光電変換によって得られた信号電荷を電圧信号に変換して出力するものである。固体撮像素子には、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）型やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）型がある。固体撮像素子は、半導体によって形成されており、半導体中の結晶欠陥等によって、固体撮像素子により撮像される画像中に画素欠陥が生じることがある。この画素欠陥には、欠陥の広がり方に応じて、点欠陥、線欠陥、面欠陥（シミ・ムラ欠陥とも呼ばれる）等の種類がある（例えば、特許文献１参照）。

固体撮像素子の製造工程では、製造した固体撮像素子の良否を判定するために、上記のような画素欠陥の有無を検出する必要がある。検出された画素欠陥の数が許容レベル以内の場合には、その固体撮像素子は、良品と判定され、その画素欠陥を補正するための補正データを添付して出荷される。この固体撮像素子を組み込むカメラの製造工程では、固体撮像素子により撮像される画像を、該固体撮像素子に添付された補正データに基づいて補正（隣接画素を用いた補間処理）を行うように補正回路を構成している。この補正データは、検査により検出された画素欠陥のアドレス情報からなる。
特開２００４−２９４２０２号公報

しかしながら、画像中の画素欠陥は、固体撮像素子の動作条件に応じて変化することがあり、この場合には、カメラに組み込んだ後の実動作時の動作条件が、画素欠陥の検査時の動作条件と同一でなければ、補正を正確に行うことができないといった問題がある。

本出願人は、ＣＣＤ型固体撮像素子において、動作条件により画素欠陥が点欠陥と線欠陥との間で変化する現象を見出している。具体的には、固体撮像素子に電源を投入した後、複数回の撮像を行った場合に、最初の撮像時には線欠陥が生じ、その後の撮像時には該線欠陥が点欠陥に変化するという現象である。検査時には、ＣＣＤ型固体撮像素子は、電源を投入したまま撮像動作が繰り返されるため、画素欠陥として点欠陥が検出され、そのアドレス情報が補正データとされる。このＣＣＤ型固体撮像素子が例えば一眼レフタイプのデジタルカメラに組み込まれると、該デジタルカメラでは撮像動作の直前に電源が投入されるため画素欠陥として線欠陥が生じ、点欠陥のアドレス情報からなる補正データでは正確な補正を行うことができない。このような画素欠陥は、ＣＣＤ型固体撮像素子の電荷転送路の欠陥に起因すると考えられており、受光素子から電荷転送路（垂直転送路）への信号電荷の読み出しを行うか否かに関係なく生じることが見出されている。

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、画素欠陥の補正を正確に行うことができる補正データを生成する固体撮像素子の検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の固体撮像素子の検査装置は、２次元マトリクス状に配置され、被写体光を光電変換して信号電荷を蓄積する複数の受光素子と、前記受光素子の垂直列ごとに配され、読み出しゲートを介して前記受光素子から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送路と、前記各垂直転送路の出力端に共通に接続され、前記各垂直転送路から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送路と、前記水平転送路から転送された信号電荷を撮像信号に変換して出力する出力部とを備えた固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子の検査装置において、前記固体撮像素子の駆動を制御し、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出したうえで垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第１撮像動作と、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出さずに垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第２撮像動作とを実行させる制御部と、前記各撮像信号に基づいて得られる各画像からノイズを除去して基準画像を生成し、この基準画像と前記画像との対応する画素ごとの差分値を所定の閾値と比較することで画素欠陥を検出する画素欠陥検出部と、前記第１撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第１欠陥アドレスとして記憶する第１欠陥アドレス格納部と、前記第２撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第２欠陥アドレスとして記憶する第２欠陥アドレス格納部と、前記第１欠陥アドレスと前記第２欠陥アドレスとを比較し、前記第１欠陥アドレスにのみ存在する画素欠陥を一般的な点欠陥、前記第１及び第２欠陥アドレスに共通して存在する画素欠陥を特殊な点欠陥と判定することで各画素欠陥の種別を判定する欠陥種別判定部と、画素欠陥の種別が一般的な点欠陥の場合には、該欠陥アドレスをそのまま補正アドレスとし、画素欠陥の種別が特殊な点欠陥である場合には、該欠陥アドレスに加えて、該特殊な点欠陥と同一水平位置の画素群の座標を補正アドレスとして補正データを生成する補正データ生成部と、を備えたことを特徴とする。

なお、前記画素欠陥検出部は、画像に対してメディアンフィルタ処理と平均化処理とを順に施すことによりノイズを除去し、基準画像を生成することが好ましい。

また、前記固体撮像素子は、カラーフィルタを備える単板カラー撮像の固体撮像素子である場合に、前記撮像信号に基づいて得られる画像を前記カラーフィルタの色成分ごとに分離して複数の色分離画像を生成する色分離部をさらに設け、前記画素欠陥検出部は、前記各色分離画像から画素欠陥を検出することが好ましい。

また、本発明の固体撮像素子の検査方法は、２次元マトリクス状に配置され、被写体光を光電変換して信号電荷を蓄積する複数の受光素子と、前記受光素子の垂直列ごとに配され、読み出しゲートを介して前記受光素子から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送路と、前記各垂直転送路の出力端に共通に接続され、前記各垂直転送路から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送路と、前記水平転送路から転送された信号電荷を撮像信号に変換して出力する出力部とを備えた固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子の検査方法において、前記固体撮像素子の駆動を制御し、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出したうえで垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第１撮像動作と、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出さずに垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第２撮像動作とを実行させ、前記各撮像信号に基づいて得られる各画像からノイズを除去して基準画像を生成し、この基準画像と前記画像との対応する画素ごとの差分値を所定の閾値と比較することで画素欠陥を検出し、前記第１撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第１欠陥アドレスとして、前記第２撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第２欠陥アドレスとして記憶し、前記第１欠陥アドレスと前記第２欠陥アドレスとを比較し、前記第１欠陥アドレスにのみ存在する画素欠陥を一般的な点欠陥、前記第１及び第２欠陥アドレスに共通して存在する画素欠陥を特殊な点欠陥と判定することで各画素欠陥の種別を判定し、画素欠陥の種別が一般的な点欠陥の場合には、該欠陥アドレスをそのまま補正アドレスとし、画素欠陥の種別が特殊な点欠陥である場合には、該欠陥アドレスに加えて、該特殊な点欠陥と同一水平位置の画素群の座標を補正アドレスとして補正データを生成することを特徴とする。

本発明によれば、受光素子から信号電荷の読み出しを行うか否かに関係なく生じる点欠陥（特殊な点欠陥）が検出された場合に、該点欠陥と同一水平位置の画素群の座標を補正アドレスとして追加して補正データを生成するため、画素欠陥の補正を正確に行うことができる。

図１において、ＣＣＤ型固体撮像素子１０は、２次元マトリクス状に配置され、被写体光を光電変換により信号電荷に変換して蓄積する複数の受光素子（フォトダイオード）１１と、垂直方向（Ｙ方向）に並ぶ受光素子１１の各列ごとに配され、読み出しゲート（ＴＧ）１２を介して受光素子１１から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直転送路（ＶＣＣＤ）１３とからなる撮像領域１４を備える。

ＶＣＣＤ１３は、複数の垂直転送電極を備え、垂直転送電極に印加される垂直転送パルスφＶ１〜φＶ４によって４相駆動される。これらの垂直転送電極のうち、第１及び第３の垂直転送パルスφＶ１，φＶ３が印加される転送電極は、ＴＧ１２のゲート電極を兼ねている。ＶＣＣＤ１３に読み出された信号電荷は、１水平走査期間の周期で水平転送路（ＨＣＣＤ）１５に転送される。ＨＣＣＤ１５は、各ＶＣＣＤ１３の出力端に共通に接続されており、ＶＣＣＤ１３から転送された１走査線分の信号電荷を水平方向（Ｘ方向）に転送する。ＨＣＣＤ１５は、複数の水平転送電極を備え、水平転送電極に印加される水平転送パルスφＨ１，φＨ２によって２相駆動される。

ＨＣＣＤ１５の出力端には、フローティングディフュージョンアンプからなる出力回路１６が配されている。この出力回路１６は、ＨＣＣＤ１５の出力端へ転送されてきた信号電荷を電圧信号（撮像信号）に変換して時系列的に出力を行う。

図２は、撮像領域１４上に配されているカラーフィルタを示している。カラーフィルタ２０は、複数の色セグメント２０ａ〜２０ｄからなる。各色セグメント２０ａ〜２０ｄは、それぞれが受光素子１１に対応するように市松状に配列されている。色セグメント２０ａは、赤色光を透過させるフィルタであり、符号Ｒを付して示している。色セグメント２０ｂは、青色光を透過させるフィルタであり、符号Ｂを付して示している。色セグメント２０ｃ，２０ｄは、緑色光を透過させるフィルタであり、符号Ｇ１，Ｇ２を付して示している。各色セグメント２０ａ〜２０ｄの配列は、いわゆるベイヤー配列となっている。つまり、カラーフィルタ２０は、２画素×２画素の大きさの領域に、青と赤がそれぞれ１つ、緑が２つ配置されている。

以上のように構成されたＣＣＤ型固体撮像素子１０は、画素ごとに、色セグメントにより分光された光の光量を取得し、これを光電変換して出力する単板カラー撮像方式のＣＣＤ型固体撮像素子である。

次に、ＣＣＤ型固体撮像素子１０を検査し、画素欠陥の補正データを生成する検査装置について説明する。図３において、検査装置３０は、照明装置３１、制御部３２、駆動部３３、アナログ信号処理部３４、画素欠陥検出部３５、欠陥アドレス格納部３６、欠陥種別判定部３７、及び補正データ生成部３８によって構成されている。

照明装置３１は、ハロゲンランプ等の光源、光源から発光された光を分光するカラーフィルタ、カラーフィルタを通過した光の強度分布を補正して一様にするＮＤフィルタと、ＮＤフィルタを通過した光の強度分布を更に一様にするロッドレンズ等を含み、検査対象のＣＣＤ型固体撮像素子１０に所定の波長範囲の一様光を照射する。

駆動部３３は、タイミングジェネレータを含み、制御部３２からの指令に従ってＣＣＤ型固体撮像素子１０に駆動信号（垂直転送パルス、水平転送パルス等）を与えるとともに、ＣＣＤ型固体撮像素子１０及びアナログ信号処理部３４に同期信号を与える。

アナログ信号処理部３４は、ＣＣＤ型固体撮像素子１０から出力された撮像信号に対し、相関二重サンプリング、Ａ／Ｄ変換等を含むアナログ信号処理を行い、デジタル化された画像データ（いわゆるＲＡＷデータ）を生成し、画素欠陥検出部３５に入力する。

制御部３２は、検査装置３０の各部を制御するとともに、駆動部３３を制御して、ＣＣＤ型固体撮像素子１０の動作を変更する。具体的には、制御部３２は、受光素子１１に蓄積された信号電荷をＴＧ１２を介してＶＣＣＤ１３に読み出したうえで垂直・水平転送動作を行い１画面分の撮像信号の出力を行う「第１撮像動作」と、受光素子１１に蓄積された信号電荷を読み出さずに垂直・水平転送動作（いわゆる空転送）を行い１画面分の撮像信号の出力を行う「第２撮像動作」との間で、ＣＣＤ型固体撮像素子１０の動作を変更する。

画素欠陥検出部３５は、図４に示すように、色分離部４０、フィルタ処理部４１、差分演算部４２、及び画素欠陥特定部４３によって構成されている。色分離部４０は、前述のカラーフィルタ２０の作用により、複数の色成分で構成される画像データ（ＲＡＷデータ）を同一の色成分ごとに分離する。具体的には、図５に示すように、各色セグメント２０ａ〜２０ｄの種類（Ｒ，Ｂ，Ｇ１，Ｇ２）ごとに、画像データ５０を色分離画像５１ａ〜５１ｄに分離する。

フィルタ処理部４１は、色分離部４０により色分離された色分離画像５１ａ〜５１ｄのそれぞれに対して、メディアンフィルタ処理と平均化処理とを順に施し、点キズ等のノイズが除去された基準画像を生成する。メディアンフィルタ処理とは、画像中の注目画素を中心として３画素×３画素の局所領域を設定し、注目画素の値を局所領域内の画素（注目画素も含む）の中央値（メディアン）で置き換える処理を、注目画素を一画素ずつ変更しながら行う周知のフィルタ処理である。また、平均化処理とは、メディアンフィルタ処理と類似した周知のフィルタ処理であり、注目画素の値を局所領域内の画素（注目画素も含む）の平均値で置き換える点のみがメディアンフィルタ処理とは異なる。

差分演算部４２は、フィルタ処理部４１により各色分離画像５１ａ〜５１ｄからノイズが除去された各基準画像と元の色分離画像との間で、対応する画素同士について差分値を算出し、ノイズ成分のみからなる差分画像を生成する。画素欠陥特定部４３は、差分演算部４２により生成された各差分画像を所定の閾値（スライス値）と比較し、該閾値を超える画素を画素欠陥として特定し、その画素欠陥のアドレス情報（欠陥アドレス）を出力する。

図３に戻り、欠陥アドレス格納部３６は、画素欠陥特定部４３から出力された欠陥アドレスを記憶するメモリ装置であり、第１欠陥アドレス格納部３６ａと第２欠陥アドレス格納部３６ｂとからなる。制御部３２の制御に基づき、第１欠陥アドレス格納部３６ａには、ＣＣＤ型固体撮像素子１０を前述の第１撮像動作で動作させた場合に得られる画像データに基づいて画素欠陥検出部３５により検出される画素欠陥の欠陥アドレス（第１欠陥アドレス）が記録され、第２欠陥アドレス格納部３６ｂには、ＣＣＤ型固体撮像素子１０を前述の第２撮像動作で動作させた場合に得られる画像データに基づいて画素欠陥検出部３５により検出される画素欠陥の欠陥アドレス（第２欠陥アドレス）が記録される。

欠陥種別判定部３７は、第１欠陥アドレス格納部３６ａに格納された第１欠陥アドレスと第２欠陥アドレス格納部３６ｂに格納された第２欠陥アドレスとを比較して、検出された各画素欠陥の種別を判定する。具体的には、欠陥種別判定部３７は、図６に示すように、第１欠陥アドレスと第２欠陥アドレスとを比較し、双方に存在する画素欠陥（画素欠陥Ａ）を「特殊な点欠陥」と判定し、第１欠陥アドレスにのみ存在する画素欠陥（画素欠陥Ｂ，Ｃ）を「一般的な点欠陥」と判定する。

この一般的な点欠陥とは、受光素子１１に欠陥の原因が存在するものあり、受光素子１１から信号電荷を読み出す第１撮像動作時には欠陥として検出されるが、受光素子１１から信号電荷を読み出さない第２撮像動作時には欠陥としては検出されない。一方の特殊な点欠陥とは、ＶＣＣＤ１３に欠陥の原因が存在するものであり、受光素子１１から信号電荷を読み出すか否かに係わらず、第１及び第２撮像動作時に共通して欠陥として検出される。この特殊な点欠陥は、動作条件によって、ＶＣＣＤ１３に沿う方向に延在する線欠陥に変化する可能性がある。

補正データ生成部３８は、欠陥種別判定部３７により判定された画素欠陥の種別に基づき、補正データを生成する。具体的には、補正データ生成部３８は、画素欠陥の種別が一般的な点欠陥の場合には、その欠陥アドレスをそのまま補正アドレスとし、画素欠陥の種別が特殊な点欠陥である場合には、その欠陥アドレスに加えて、その欠陥アドレスと同一Ｘアドレスの全ての画素群の座標を補正アドレスして補正データを作成する。つまり、図７に示すように、一般的な点欠陥である画素欠陥Ｂ，Ｃは、点欠陥としてその座標を補正アドレスとして補正データに取り込み、特殊な点欠陥である画素欠陥Ａは、その欠陥アドレスに加えて、その画素欠陥Ａと同一Ｘアドレス（同一水平位置）の画素群の座標を補正アドレスとして追加し、線欠陥として補正データに取り込む。

次に、図８に示すフローチャートに基づいて検査装置３０の作用を説明する。検査対象のＣＣＤ型固体撮像素子１０を検査装置３０の所定位置にセットし、検査をスタートさせると、まず、照明装置３１が作動し、ＣＣＤ型固体撮像素子１０の撮像領域１４に所定の波長範囲の一様光（検査光）が照射される（ステップＳ１）。

次いで、制御部３２の制御の下で、駆動部３３によりＣＣＤ型固体撮像素子１０が駆動され、受光素子１１からＶＣＣＤ１３への信号電荷の読み出しを伴う第１撮像動作が行われ、１画面分の撮像信号が出力される（ステップＳ２）。出力された１画面分の撮像信号は、アナログ信号処理部３４によりデジタルの画像データとなり、画素欠陥検出部３５に入力される。

画素欠陥検出部３５では、色分離部４０により、図５に示すように、各色成分ごとに色分離画像が生成される（ステップＳ３）。この色分離画像は、フィルタ処理部４１によりノイズ除去が行われ、基準画像が生成される（ステップＳ４）。この基準画像及び元の色分離画像は、差分演算部４２に入力され、基準画像と色分離画像との間で、対応する画素同士について差分値が算出され、差分画像が生成される（ステップＳ５）。この差分画像は、画素欠陥特定部４３に入力され、所定の閾値との比較により画素欠陥が特定され、その画素欠陥のアドレス情報（欠陥アドレス）が出力される（ステップＳ６）。この出力された欠陥アドレスは、第１欠陥アドレスとして第１欠陥アドレス格納部３６ａに格納される（ステップＳ７）。

次いで、ＣＣＤ型固体撮像素子１０の駆動が開始され、受光素子１１からＶＣＣＤ１３への信号電荷の読み出さずに空転送のみを行う第２撮像動作が行われ、１画面分の撮像信号が出力される（ステップＳ８）。続く、ステップＳ９〜ステップＳ１３までの処理は、上述のステップＳ３〜ステップＳ７の動作と同一であり、アナログ信号処理部３４によりデジタルの画像データが生成された後、画素欠陥検出部３５により、欠陥アドレスが検出され、第２欠陥アドレスとして第２欠陥アドレス格納部３６ｂに格納される。

次いで、欠陥種別判定部３７により、図６に示すように、第１欠陥アドレス格納部３６ａに格納された第１欠陥アドレスと、第２欠陥アドレス格納部３６ｂに格納された第２欠陥アドレスとの比較が行われ、第１欠陥アドレスにのみ存在する画素欠陥を「一般的な点欠陥」、第１及び第２欠陥アドレスに共通して存在する画素欠陥を「特殊な点欠陥」と判定することで画素欠陥の種別が判定される（ステップＳ１４）。

次いで、補正データ生成部３８により、図７に示すように、欠陥種別判定部３７により判定された画素欠陥の種別を参照し、画素欠陥の種別が一般的な点欠陥の場合には、その欠陥アドレスをそのまま補正アドレスとし、画素欠陥の種別が特殊な点欠陥である場合には、その欠陥アドレスに加えて、その特殊な点欠陥と同一Ｘアドレスの全ての画素群の座標を補正アドレスして補正データを作成する（ステップＳ１５）。

以上のようにして生成された補正データは、ＣＣＤ型固体撮像素子１０をカメラに組み込む製造工程にて、ＣＣＤ型固体撮像素子１０により取得される画像データの補正回路を構成する際に使用される。動作条件によって線欠陥へ変化する特殊な点欠陥は、そのアドレスを含む線欠陥として、確実に補正が行われる。

なお、上記実施形態では、第１撮像動作を行った後に第２撮像動作を行っているが、勿論、この順序は逆であっても良い。

また、上記実施形態では、特殊な点欠陥について、その欠陥アドレスに加えて、その特殊な点欠陥と同一Ｘアドレスの全ての画素群の座標を補正アドレスとしているが、図９（ａ）に示すように、特殊な点欠陥（画素欠陥Ａ）を起点とし、Ｙ方向の上流側（ＨＣＣＤ１５とは反対側）の画素群の座標のみを補正アドレスとして追加しても良い。また、図９（ｂ）に示すように、特殊な点欠陥（画素欠陥Ａ）を起点とし、上流側及び下流側へ所定素分（例えば１０画素程度）の画素群の座標を補正アドレスとして追加しても良い。

また、上記実施形態では、現画像からノイズを除去し基準画像を生成するためのフィルタ処理として、メディアンフィルタ処理と平均化処理とを行っているが、フィルタ処理はこれに限られず、いずれか一方の処理のみを用いても良いし、また、その他のフィルタ処理を用いても良い。

また、上記実施形態では、単板カラー撮像方式のＣＣＤ型固体撮像素子を検査対象としているが、本発明は、モノクロ撮像を行うＣＣＤ型固体撮像素子を検査対象とする場合にも適用可能である。この場合には、色分離部４０は不要となる。

ＣＣＤ型固体撮像素子の構成を示す模式図である。 カラーフィルタの構成を示す概略平面図である。 検査装置の構成を示すブロック図である。 画素欠陥検出部の構成を示すブロック図である。 色分離処理を説明する説明図である。 欠陥種別判定処理を説明する説明図である。 補正データ生成処理を説明する説明図である。 検査装置の作用を説明するフローチャートである。 補正データ生成処理のその他の例を説明する説明図である。

符号の説明

１０ ＣＣＤ型固体撮像素子
１１ 受光素子
１２ 読み出しゲート（ＴＧ）
１３ 垂直転送路（ＶＣＣＤ）
１５ 水平転送路（ＨＣＣＤ）
２０ カラーフィルタ
３０ 検査装置
３１ 照明装置
３２ 制御部
３３ 駆動部
３５ 画素欠陥検出部
３６ 欠陥アドレス格納部
３６ａ 第１欠陥アドレス格納部
３６ｂ 第２欠陥アドレス格納部
３７ 欠陥種別判定部
３８ 補正データ生成部
４０ 色分離部
４１ フィルタ処理部
４２ 差分演算部
４３ 画素欠陥特定部

Claims (4)

1. ２次元マトリクス状に配置され、被写体光を光電変換して信号電荷を蓄積する複数の受光素子と、前記受光素子の垂直列ごとに配され、読み出しゲートを介して前記受光素子から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送路と、前記各垂直転送路の出力端に共通に接続され、前記各垂直転送路から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送路と、前記水平転送路から転送された信号電荷を撮像信号に変換して出力する出力部とを備えた固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子の検査装置において、
   前記固体撮像素子の駆動を制御し、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出したうえで垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第１撮像動作と、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出さずに垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第２撮像動作とを実行させる制御部と、
   前記各撮像信号に基づいて得られる各画像からノイズを除去して基準画像を生成し、この基準画像と前記画像との対応する画素ごとの差分値を所定の閾値と比較することで画素欠陥を検出する画素欠陥検出部と、
   前記第１撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第１欠陥アドレスとして記憶する第１欠陥アドレス格納部と、
   前記第２撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第２欠陥アドレスとして記憶する第２欠陥アドレス格納部と、
   前記第１欠陥アドレスと前記第２欠陥アドレスとを比較し、前記第１欠陥アドレスにのみ存在する画素欠陥を一般的な点欠陥、前記第１及び第２欠陥アドレスに共通して存在する画素欠陥を特殊な点欠陥と判定することで各画素欠陥の種別を判定する欠陥種別判定部と、
   画素欠陥の種別が一般的な点欠陥の場合には、該欠陥アドレスをそのまま補正アドレスとし、画素欠陥の種別が特殊な点欠陥である場合には、該欠陥アドレスに加えて、該特殊な点欠陥と同一水平位置の画素群の座標を補正アドレスとして補正データを生成する補正データ生成部と、
   を備えたことを特徴とする固体撮像素子の検査装置。
2. 前記画素欠陥検出部は、画像に対してメディアンフィルタ処理と平均化処理とを順に施すことによりノイズを除去し、基準画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子の検査装置。
3. 前記固体撮像素子は、カラーフィルタを備える単板カラー撮像の固体撮像素子であって、前記撮像信号に基づいて得られる画像を前記カラーフィルタの色成分ごとに分離して複数の色分離画像を生成する色分離部をさらに備え、前記画素欠陥検出部は、前記各色分離画像から画素欠陥を検出することを特徴とする請求項１または２に記載の固体撮像素子の検査装置。
4. ２次元マトリクス状に配置され、被写体光を光電変換して信号電荷を蓄積する複数の受光素子と、前記受光素子の垂直列ごとに配され、読み出しゲートを介して前記受光素子から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送路と、前記各垂直転送路の出力端に共通に接続され、前記各垂直転送路から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送路と、前記水平転送路から転送された信号電荷を撮像信号に変換して出力する出力部とを備えた固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子の検査方法において、
   前記固体撮像素子の駆動を制御し、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出したうえで垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第１撮像動作と、前記受光素子から前記垂直転送路に信号電荷を読み出さずに垂直・水平転送動作を行い撮像信号を出力する第２撮像動作とを実行させ、
   前記各撮像信号に基づいて得られる各画像からノイズを除去して基準画像を生成し、この基準画像と前記画像との対応する画素ごとの差分値を所定の閾値と比較することで画素欠陥を検出し、
   前記第１撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第１欠陥アドレスとして、前記第２撮像動作の下で得られる画像から検出される画素欠陥のアドレスを第２欠陥アドレスとして記憶し、
   前記第１欠陥アドレスと前記第２欠陥アドレスとを比較し、前記第１欠陥アドレスにのみ存在する画素欠陥を一般的な点欠陥、前記第１及び第２欠陥アドレスに共通して存在する画素欠陥を特殊な点欠陥と判定することで各画素欠陥の種別を判定し、
   画素欠陥の種別が一般的な点欠陥の場合には、該欠陥アドレスをそのまま補正アドレスとし、画素欠陥の種別が特殊な点欠陥である場合には、該欠陥アドレスに加えて、該特殊な点欠陥と同一水平位置の画素群の座標を補正アドレスとして補正データを生成する
   ことを特徴とする固体撮像素子の検査方法。

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