JP2009177034A - 半導体パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハ1とキャップウエハ3を接合した後で、半導体ウエハ1またはキャップウエハ3側からスクライブラインに沿ってハーフカット4し、横方向のチップ同士を部分的に分割する。半導体ウエハ1またはキャップウエハ3のどちらかの基板の途中までハーフカット4を入れる場合、半導体ウエハ1とキャップウエハ3を接合している層までハーフカット4を入れる場合および半導体ウエハ1またはキャップウエハ3のどちらかの基板は完全に分割され、かつもう一方の基板の深さ方向の途中まで分割されている場合の様式がある。いずれの場合も接合基板の反り量が大幅に低減し、ウエハ歩留まりや製品歩留まりが向上する。
【選択図】図2
Description
次に、本発明の他の実施例について述べる。
次に、本発明の別の実施例を以下に述べる。
2・・・接合層
3・・・キャップウエハ(支持基板)
4・・・ハーフカット(分割領域)
Claims (7)
- 半導体ウエハを支持基板と接合した後で、支持基板と接合していない半導体ウエハの面に加工処理を行う半導体ウエハレベルパッケージの製造方法において、半導体ウエハに支持基板を接合した後に、接合した状態で支持基板または半導体ウエハの表面から一定深さのカットラインを形成し、その後で支持基板と接合していない半導体ウエハの面に加工処理を行うことを特徴とする、半導体ウエハレベルパッケージの製造方法。
- カットラインは、支持基板内のみまたは半導体ウエハ内のみの領域だけに存在することを特徴とする、請求項1に記載の半導体ウエハレベルパッケージの製造方法。
- カットラインの深さは、支持基板と半導体ウエハ間の接合層内にあり、支持基板または半導体ウエハは完全に単離していることを特徴とする、請求項1に記載の半導体ウエハレベルパッケージの製造方法。
- カットラインの深さは、支持基板を貫きそれに接合する半導体ウエハ内まで達しているか、または、半導体ウエハを貫きそれに接合する支持基板内にまで達しているか、のいずれかであることを特徴とする、請求項1に記載の半導体ウエハレベルパッケージの製造方法。
- 支持基板から一定深さのカットラインを形成した後で、半導体ウエハと接合する支持基板の面と反対の支持基板の面に保護テープを付着し、その後で支持基板と接合する半導体ウエハの面と反対の半導体ウエハの面を加工処理することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかの項に記載の半導体ウエハレベルパッケージの製造方法。
- 保護テープは、UVテープまたは熱発泡テープ等の自己剥離型粘着テープ剤であることを特徴とする、請求項5に記載の半導体ウエハレベルパッケージの製造方法。
- 支持基板または半導体ウエハの表面から一定深さのカットラインを形成する工程において、そのカットラインの形成方法は、回転刃による機械切削、加圧水の噴射による機械切削またはレーザー照射によるレーザーダイシング、ウエットエッチング、ドライエッチングのいずれかの方法、或いはこれらを複合した方法であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかの項に記載の半導体ウエハレベルパッケージの製造方法。
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