JP2009175010A - 振動センサ - Google Patents
振動センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009175010A JP2009175010A JP2008014103A JP2008014103A JP2009175010A JP 2009175010 A JP2009175010 A JP 2009175010A JP 2008014103 A JP2008014103 A JP 2008014103A JP 2008014103 A JP2008014103 A JP 2008014103A JP 2009175010 A JP2009175010 A JP 2009175010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- sides
- vibration sensor
- opening
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【課題】耐久性に優れ量産性の高い振動センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、パッケージ10と、パッケージ10の内部に搭載された振動子と、パッケージ10の下外面12が露出するように開口部28を有し、パッケージ10を開口部28の対向する2辺84で支持するように搭載する搭載部20と、を具備し、搭載部20の下面が実装されるべき実装面70である振動センサである。本発明によれば、搭載部20の開口部28の2辺84でパッケージ10を支持するため、耐久性に優れている。
【選択図】図4
【解決手段】本発明は、パッケージ10と、パッケージ10の内部に搭載された振動子と、パッケージ10の下外面12が露出するように開口部28を有し、パッケージ10を開口部28の対向する2辺84で支持するように搭載する搭載部20と、を具備し、搭載部20の下面が実装されるべき実装面70である振動センサである。本発明によれば、搭載部20の開口部28の2辺84でパッケージ10を支持するため、耐久性に優れている。
【選択図】図4
Description
本発明は、振動センサに関し、より詳細には振動子を有する振動センサに関する。
振動センサは、振動子の振動により角速度や加速度等を検出するセンサであり、カメラの手ぶれ防止やカーナビゲーションシステム、自動車やロボットの姿勢制御システム等に使用されている。
特許文献1には、角速度センサを内蔵したパッケージを回路基板に異方性導電エラストーマを用い搭載した角速度センサが開示されている。
特開2006−17524号公報
振動センサにおいては、外部の振動が振動子に伝搬すると振動センサの性能の劣化の要因となりうる。よって、振動子と実装面との干渉を抑制することが求められている。特許文献1に記載の振動センサによれば、異方性導電エラストーマを用い振動子と外部との干渉を抑制している。さらに、パッケージと回路基板との間の熱応力に起因した劣化を抑制している。
しかしながら、異方性導電エラストーマを用いたパッケージと回路基板との接着条件等により、異方性導電エラストーマが劣化する可能性がある。これにより、パッケージと回路基板間の断線や短絡が生じえる。
異方性導電エラストーマを用いない場合は、半田等でパッケージと回路基板とを接続することとなる。この場合、パッケージと回路基板との間に応力緩和や振動の干渉を抑制するための弾性樹脂等を設けることとなり製造工数が増大する。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、耐久性に優れ量産性の高い振動センサを提供することを目的とする。
本発明は、パッケージと、前記パッケージの内部に搭載された振動子と、前記パッケージの下外面が露出するように開口部を有し、前記パッケージを前記開口部の対向する2辺で支持するように搭載する搭載部と、を具備し、前記搭載部の下面が実装されるべき実装面であることを特徴とする振動センサである。本発明によれば、搭載部の開口部の2辺でパッケージを支持するため、パッケージと搭載部との熱膨張係数の差に起因した熱応力を開口部の別の2辺と外側面との間の部分で緩和させることができる。また、搭載部上にパッケージが搭載され、2辺近傍でパッケージが保持されているため、振動子と実装面との干渉を抑制することができる。さらに、パッケージを搭載部に搭載することにより振動センサが完成するため量産性に優れている。
上記構成において、前記2辺に沿って設けられ、前記パッケージと前記搭載部とを接続する接続部を具備する構成とすることができる。この構成によれば、熱応力に起因した接続部の劣化を抑制することができる。
上記構成において、前記2辺は前記振動子の幅方向に対向する2辺である構成とすることができる。この構成によれば、2辺と振動子との距離を、別の2辺と振動子との距離より長くすることができる。よって、振動の干渉をより抑制することができる。
上記構成において、前記パッケージは四角形状であり、前記開口部は前記パッケージの形状に対応する形状である構成とすることができる。
上記構成において、前記2辺に挟まれた別の2辺に対応する前記パッケージの辺は前記開口部を介し露出している構成とすることができる。この構成によれば、熱応力を一層緩和させることができる。
上記構成において、前記2辺に挟まれた別の2辺に対応する前記搭載部の前記開口部と外側面との幅は、前記2辺に対応する前記搭載部の前記開口部と外側面との幅より狭い構成とすることができる。この構成によれば、熱応力を一層緩和させることができる。
上記構成において、搭載部は、前記2辺に挟まれた別の2辺に対応する部分にくびれを有する構成とすることができる。この構成によれば、熱応力を一層緩和させることができる。
上記構成において、搭載部は、前記2辺の両端に対応する部分の前記開口部の内側面に上下に連通する溝を有する構成とすることができる。
上記構成において、前記パッケージの下外面に搭載されたチップ部品を具備し、前記開口部は、前記チップ部品を露出するように形成されている構成とすることができる。この構成によれば、チップ部品の交換や調整が容易となる。
上記構成において、前記接続部は、前記2辺のそれぞれに沿って対称に設けられている構成とすることができる。
上記構成において、前記開口部を覆うカバー部を具備する構成とすることができる。上記構成において、前記開口部は、前記カバー部を位置決めする溝を有する構成とすることができる。
上記構成において、前記振動子は音叉型振動子であり、前記実装面に平行な方向を回転軸とする角速度を検出する構成とすることができる。
本発明によれば、搭載部の開口部の2辺でパッケージを支持するため、パッケージと搭載部との熱膨張係数の差に起因した熱応力を開口部の別の2辺と外側面との間の部分で緩和させることができる。また、搭載部上にパッケージが搭載され、2辺近傍でパッケージが保持されているため、振動子と実装面との干渉を抑制することができる。さらに、パッケージを搭載部に搭載することにより振動センサが完成するため量産性に優れている。
以下、図面を参照に本発明の実施例について説明する。
図1は、実施例1に係る振動センサの下面から視た斜視図であり、図2は、上面から視た斜視図である。なお、以下の図面では下から上への方向をZ方向とする。図1および図2を参照に、例えばガラスエポキシ等の樹脂基板からなる搭載部20上にパッケージ10が搭載されている。搭載部20の上下面はそれぞれ平坦である。搭載部20には開口部が形成され、開口部はカバー部40で覆われている。カバー部40は爪42により搭載部20に固定されている。搭載部20の下面が、振動センサが実装されるべき実装面70である。実装面70には外部と接続する接続端子30が設けられている。上視した場合、搭載部20はパッケージ10を含むように設けられている。
図3はカバー部を外した分解斜視図であり、図4はカバー部を外した下面図(搭載部を透過しパッケージを点線で図示)である。図3および図4を参照に、搭載部20にはパッケージ10を下面から視た形状に対応する開口部28が設けられている。すなわち、パッケージ10を下面から視た形状は四角形状であり、開口部28の形状も四角形状である。パッケージ10の対向する2辺80に開口部28の2辺84が対応し、パッケージ10の2辺80に挟まれた別の2辺82に開口部28の2辺84に挟まれた別の2辺86が対応する。パッケージ10の下外面12に設けられた抵抗、コンデンサおよびサーミスタ等のチップ部品50(図3では不図示)が開口部28を介し露出している。開口部28には溝22および24が設けられている。
図5(a)は、爪42付近の拡大図、図5(b)は断面図である。図3、図5(a)および図5(b)を参照に、カバー部40の突起44が溝24に嵌ることによりカバー部40が位置決めされる。カバー部40の爪42が溝22に案内され搭載部20に係合することにより、カバー部40が固定される。
図6は、実施例1に係る振動センサのパッケージの断面図である。セラミックからなるパッケージ10の本体11の凹部18に樹脂からなる接着剤(不図示)を用いICチップ66が搭載されている。ICチップ66は、振動子60を駆動させる回路や検出信号から角速度に相当する信号を演算する制御回路の一部を構成する。パッケージの台座68には例えばシリコンからなる弾性樹脂64を介し例えば金属製の支持部62が固定されている。支持部62は樹脂からなる接着剤(不図示)を介し振動子60を支持している。ICチップ66とパッケージ10、振動子60とパッケージ10とは、バンプやボンディングワイヤ(不図示)により電気的に接続されている。本体11上には溶接または半田等を用い蓋14が固定されている。蓋14が設けられることにより、凹部18が密閉され、振動子60が封止される。
図7は、蓋14を外した状態のパッケージ10の平面図である。振動子は例えばLiNbO3またはLiTaO3等の圧電材料からなる音叉型振動子でありY方向(実装面70に平行な方向)を回転軸とする角速度を検出する。振動子60はY方向に伸びる複数のアーム61とアーム61を保持するベース63とを有している。ベース63が支持部62により保持されている(図6参照)。
図8は、搭載部20の下面図である。開口部28の2辺84に沿って端子32が設けられている。2辺84に対応する外側面には溝26が形成され、溝26内は金属膜38で覆われている。図9は図7のA−A断面図である。搭載部20は層21aおよび21bから形成される多層構造を有している。層21aには貫通電極34が設けられ、層21aと21bとの間には層間配線36が設けられている。搭載部20の実装面70に設けられた接続端子30は、金属膜38、層間配線36および貫通電極34を介し端子32と電気的に接続されている。接続端子30、端子32、貫通電極34、層間配線36および金属膜38は、例えば、CuまたはAu等の金属からなる。
図10はパッケージの下面図である。パッケージ10の下外面12には、抵抗、コンデンサやサーミスタ等のチップ部品50が配置されている。チップ部品50として、例えばレーザを照射しパターンの一部を除去することで抵抗値を調整可能なトリミング抵抗52も配置されている。パッケージ10の上外面12には端子19が設けられている。端子19は、パッケージ10内のICチップ66や振動子60と電気的に接続されている。
図11はパッケージ10を搭載部20に搭載する際の斜視図である。図7に示した搭載部20の端子32と図10に示したパッケージ10の端子19とを半田や溶接等の接続部90を用い電気的に接続する。これにより、搭載部20の接続端子30はパッケージ10と電気的に接続される。
実施例1によれば、図6のように、振動子60はパッケージ10の内部に搭載されている。図4のように、搭載部20は、パッケージ10の下外面12が露出するように開口部28を有し、パッケージ10を開口部28の対向する2辺84で支持するように搭載している。開口部28の2辺84でパッケージ10を支持するため、パッケージ10と搭載部20との熱膨張係数の差に起因した熱応力を開口部28の別の2辺86と外側面との間の部分88で緩和させることができる。搭載部20上にパッケージ10が搭載され、2辺84近傍でのみパッケージ10が保持されているため、振動子60と実装面70との干渉を抑制することができる。さらに、パッケージ10を搭載部20に搭載することにより振動センサが完成するため量産性に優れている。
また、図11のように、パッケージ10の下外面12に設けられた端子19(図10参照)と搭載部20の上面に設けられた端子32とを接続する接続部90が設けられている場合、パッケージ10と搭載部20と熱膨張係数の差に起因した熱応力により接続部90が劣化しやすい。そこで、接続部90を2辺84に沿って設けることにより熱応力に起因する接続部90の劣化を抑制することができる。
さらに、図7および図8を参照に、2辺84は振動子60の幅方向(すなわち図7および図8中のX方向)に対向する2辺である。これにより、2辺84と振動子60との距離は、別の2辺86と振動子60との距離より長くなる。パッケージ10を支持する2辺84が振動子60に近いと、振動の干渉が起こり得る。実施例1によれば、振動子60と実装面70との干渉を抑制することができる。
開口部28の形状は任意に設定できるが、製造を容易とするためパッケージは四角形状であり、開口部28は前記パッケージの形状に対応する形状であることが好ましい。
さらに、図4のように、パッケージ10の辺82は開口部28を介し露出している。このように開口部28を広くすることにより、辺82に対応する部分88の幅がより狭くなり、熱応力を一層緩和させることができる。
さらに、図8のように、別の2辺86に対応する搭載部20の開口部28と外側面との幅W2は、2辺84に対応する搭載部20の開口部28と外側面との幅W1より狭い。これにより、熱応力を辺86に対応する部分88により一層緩和させることができる。
さらに、図8のように、搭載部20は、別の2辺86に対応する部分88の中央部にくびれ23を有している。このように、くびれ23により熱応力を一層緩和させることができる。なお、くびれ23はカバー部40を搭載部20に固定するための爪42の案内溝22により形成されることが好ましい。
さらに、図8のように、搭載部20は、2辺84の両端に対応する部分の開口部28の内側面に上下に連通する溝24を有している。このように、2辺84のそれぞれの両側でくびれているため熱応力を一層緩和させることができる。なお、溝24はカバー部40を搭載部20に固定する際の位置決め溝としても機能することが好ましい。
さらに、図8のように、接続部(図8では端子32を図示)は2辺84それぞれに沿って対称に形成されていることが好ましい。つまり左右かつ上下に対称に形成されていることが好ましい。これにより、熱応力をより分散化させることができる。より好ましくは、接続部は2つの辺84それぞれに沿って等間隔に設けられることが好ましい。
さらに、図4のように、開口部28は、チップ部品50を露出するように形成されている。これにより、チップ部品50の交換やトリミング抵抗52の調整を行い振動センサの調整が容易となる。振動センサの調整としては、例えば、角速度や加速度を電圧に変換した際のオフセット電圧の調整等である。
なお、1枚のガラスエポキシ基板に複数の搭載部20を形成し、搭載部20にパッケージ10を搭載した後、搭載部20の接続端子30にプローブを接続させる。この状態で、振動センサの評価を行い、チップ部品50の交換等を行うことができる。その後、ガラシエポキシ基板切断し個々の搭載部20とすることにより振動センサを製造することもできる。
図6のように、振動子60は音叉型振動子であり、実装面70に平行方向を回転軸とする角速度を検出することができる。角速度センサにおいては、実装面に平行な方向を回転軸とする角速度を検出することが求められており、実施例1においては、このような角速度センサを安価に製造することができる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 パッケージ
12 パッケージの下外面
20 搭載部
23 くびれ
24 溝
28 開口部
30 接続端子
40 カバー部
50 チップ部品
60 振動子
70 実装面
84 開口部の2辺
86 開口部の別の2辺
12 パッケージの下外面
20 搭載部
23 くびれ
24 溝
28 開口部
30 接続端子
40 カバー部
50 チップ部品
60 振動子
70 実装面
84 開口部の2辺
86 開口部の別の2辺
Claims (13)
- パッケージと、
前記パッケージの内部に搭載された振動子と、
前記パッケージの下外面が露出するように開口部を有し、前記パッケージを前記開口部の対向する2辺で支持するように搭載する搭載部と、を具備し、
前記搭載部の下面が実装されるべき実装面であることを特徴とする振動センサ。 - 前記2辺に沿って設けられ、前記パッケージと前記搭載部とを接続する接続部を具備することを特徴とする請求項1記載の振動センサ。
- 前記2辺は前記振動子の幅方向に対向する2辺であることを特徴とする請求項1または2記載の振動センサ。
- 前記パッケージは四角形状であり、前記開口部は前記パッケージの形状に対応する形状であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の振動センサ。
- 前記2辺に挟まれた別の2辺に対応する前記パッケージの辺は前記開口部を介し露出していることを特徴とする請求項4記載の振動センサ。
- 前記2辺に挟まれた別の2辺に対応する前記搭載部の前記開口部と外側面との幅は、前記2辺に対応する前記搭載部の前記開口部と外側面との幅より狭いことを特徴とする請求項4記載の振動センサ。
- 搭載部は、前記2辺に挟まれた別の2辺に対応する部分にくびれを有することを特徴とする請求項4記載の振動センサ。
- 搭載部は、前記2辺の両端に対応する部分の前記開口部の内側面に上下に連通する溝を有することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の振動センサ。
- 前記パッケージの下外面に搭載されたチップ部品を具備し、
前記開口部は、前記チップ部品を露出するように形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の振動センサ。 - 前記接続部は、前記2辺のそれぞれに沿って対称に設けられていることを特徴とする請求項2記載の振動センサ。
- 前記開口部を覆うカバー部を具備することを特徴とする請求項1から10のいずれか一項記載の振動センサ。
- 前記開口部は、前記カバー部を位置決めする溝を有することを特徴とする請求項10記載の振動センサ。
- 前記振動子は音叉型振動子であり、前記実装面に平行な方向を回転軸とする角速度を検出することを特徴とする請求項1から12のいずれか一項記載の振動センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008014103A JP2009175010A (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 振動センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008014103A JP2009175010A (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 振動センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009175010A true JP2009175010A (ja) | 2009-08-06 |
Family
ID=41030253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008014103A Pending JP2009175010A (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 振動センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009175010A (ja) |
-
2008
- 2008-01-24 JP JP2008014103A patent/JP2009175010A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4701505B2 (ja) | 慣性トランスデューサ | |
JP4534912B2 (ja) | 角速度センサの取付構造 | |
US6708564B2 (en) | Angular velocity measuring apparatus | |
JP2006308543A (ja) | 角速度センサ | |
CN102679966A (zh) | 传感器模块、传感器器件及其制造方法、以及电子设备 | |
JP2009264820A (ja) | 慣性力センサ | |
US20160297675A1 (en) | Semiconductor device, and method of manufacturing device | |
US20110193645A1 (en) | Piezoelectric vibrator and oscillator using the same | |
EP1342988A2 (en) | Capacitive sensor | |
JP2007043017A (ja) | 半導体センサ装置 | |
US11784630B2 (en) | Vibrator device | |
JP2009041962A (ja) | 外力検知装置およびその製造方法 | |
US9123883B2 (en) | Vibration device | |
JP2009175010A (ja) | 振動センサ | |
JP5982889B2 (ja) | 物理量センサーモジュール及び電子機器 | |
JP5555974B2 (ja) | 圧電デバイスとこれを用いた電子機器、及び自動車 | |
JP6983490B2 (ja) | 電子部品 | |
US20070062281A1 (en) | Angular velocity sensor | |
JP5838694B2 (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス及び電子機器 | |
CN112444642A (zh) | 振动器件 | |
JP4923937B2 (ja) | センサ装置 | |
JP2006234462A5 (ja) | ||
JP2007132887A (ja) | ジャイロセンサモジュールとその製造方法 | |
JP6991300B2 (ja) | 電子部品 | |
JP2017181197A (ja) | 電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20090423 |